CN203785643U - 一种高速平面度检测仪 - Google Patents

一种高速平面度检测仪 Download PDF

Info

Publication number
CN203785643U
CN203785643U CN201320876074.2U CN201320876074U CN203785643U CN 203785643 U CN203785643 U CN 203785643U CN 201320876074 U CN201320876074 U CN 201320876074U CN 203785643 U CN203785643 U CN 203785643U
Authority
CN
China
Prior art keywords
worktable
accuracy
work table
base
displacement sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201320876074.2U
Other languages
English (en)
Inventor
黄宏臻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GOOD VISION PRECISION INSTRUMENT Co Ltd
Original Assignee
GOOD VISION PRECISION INSTRUMENT Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GOOD VISION PRECISION INSTRUMENT Co Ltd filed Critical GOOD VISION PRECISION INSTRUMENT Co Ltd
Priority to CN201320876074.2U priority Critical patent/CN203785643U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203785643U publication Critical patent/CN203785643U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种高速平面度检测仪,所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述Z向工作台主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器;所述底座工作台上设有定位板。本实用新型结构稳定,自动化程度高,操作简单,功能强大,精度高,性价比优,适用范围广泛。

Description

一种高速平面度检测仪
技术领域
本实用新型涉及一种全自动,高精度测量工件平面度,粗糙度及平行度的设备,具体地说是一种高速平面度检测仪。
背景技术
随着科学技术的不断进步,人们对检测自动化的程度不断提高。一种高效,全自动检测玻璃工件平面度的设备是通过CCD激光位移传感器采集放置于工作台上的工件的高度数据,通过计算机运算处理,配合科学的软件算法得到工件的平面度,平行度数据。它由大理石底座,Y向工作台,X向工作台以及Z向工作台组成,机台采用龙门结构,右端单边驱动横梁移动。Z向工作台上装有CCD激光位移传感器和光学影像集成装置,可以通过视觉***快速观察被测目标并精确定位。工作时Z轴固定不动,Y,Z向工作台把测量点移到工件的不同点,CCD激光位移传感器测量工件表面高度数据,可得到工件的平面度,粗糙度等数据。同时旁边的光学影像集成装置可以同时进行产品的几何尺寸测量,两种测量模式可以同时进行,节约时间,提高工作效率,还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。但是现有的检测仪结构不够稳定,自动化程度不高,功能很少,精度不高,性价比低,适用范围不狭窄。为了解决现有技术的不足,本实用新型提出一种高速平面度检测仪。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型旨在提供一种高速平面度检测仪。
为实现该技术目的,本实用新型的方案是:一种高度平面度检测仪,包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位置传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、定位板;所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座采用优质天然大理石制作,它具有高精度,高稳定性;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上,左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度,右滑轨滑块组起辅助作用,主要支撑中间横梁,保证横梁与底座平面的平行度,通过安装在底座上的第一轴马达,第一轴高精密丝杆驱动,安装在左立柱侧的光栅尺准确测量数据,安装在左立柱两端的位置传感器可防止工作台超出工作范围,两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作,材料特性稳定质量轻,使设备具有高精度,高稳定性和很低的运动惯性;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向,保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度,通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动;所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接,保证运动方向与Y、X工作台运动方向及底座平面垂直,通过梯形螺杆螺母调节高度;所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器,通过更换固定块可对不同的产品进行检测;所述主板上还装有光学影像集成装置,以同时进行产品的几何尺寸测量,两种测量模式可以同时进行,节约时间,提高工作效率,还可以让两种测量模式下的测量数据关联共享。所述底座工作台上设有定位板可使更换工件时快速定位夹具。
作为优选,所述Y向运动工作台采用龙门结构。
作为优选,所述安装在Z向上的CCD位移传感器偏移测量。
本实用新型可准确读出Y向位置并向电脑传递数据,滑块两端装有位置传感器以防工作台超出测量范围,底座工作台上装有测量定位板,以便更换工件时可以快速定位,不需要调整产品,且结构稳定,自动化程度高,操作简单,功能强大,精度高,性价比优,适用范围广泛。
附图说明
图1为本实用新型中高速平面度测量仪的立体示意图;
图2为本实用新型中CCD激光位移传感器工作的示意图;
图中:底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
如图1~2所示,本实用新型实施例的一种高速平面度检测仪,包括底座1、第一轴马达2、第一轴高精密丝杆3、滑块组4、立柱5、光栅尺6、位置传感器7、中间横梁8、第二轴马达9、第二轴高精密丝杆10、高精密滑轨滑块11、工作台板12、梯形螺杆螺母13、滚珠导轨14、主板15、CCD激光位移传感器固定块16、光学影像集成装置17、CCD激光位移传感器18、视觉照明装置19、定夹具20;所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座1采用优质天然大理石制作,它具有高精度,高稳定性;所述Y向工作台安装在底座1上,它由两侧立柱5,中间横梁8组成,通过3组高精密滑轨滑块组4安装在底座1上,左侧两滑轨滑块组保证工作台的运动精度,右滑轨滑块组起辅助作用,主要支撑中间横梁,保证横梁与底座平面的平行度,通过安装在底座1上的第一轴马达2,第一轴高精密丝杆3驱动,安装在左立柱侧的光栅尺6准确测量数据,安装在左立柱两端的位置传感器7可防止工作台超出工作范围,两侧立柱及中间横梁采用优质天然大理石和优质航空硬铝合金制作,材料特性稳定质量轻,使设备具有高精度,高稳定性和很低的运动惯性;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板12采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块11与横梁连接导向,保证与Y工作台运动方向的垂直度及与底座平面的平行度,通过安装在横梁上的第二轴马达9和第二轴高精密丝杆10驱动;所述Z向工作台主板15安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨14与X向工作台板连接,保证运动方向与Y,X工作台运动方向及底座平面垂直,通过梯形螺杆螺母13调节高度;所述主板15上装有CCD激光位移传感器固定块16,上面固定有CCD激光位移传感器18,可对不同的产品进行检测;所述主板15上还装有上光学影像集成装置17和下光学影像集成装置19,可测量工件的几何形状和尺寸并对被测目标进行准确定位;所述底座1工作台上设有定夹具20可使更换工件时快速定位。
作为优选,所述Y向运动工作台采用龙门结构。
作为优选,所述安装在Z向上的CCD位移传感器18偏移测量。
以上所述,仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进,均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种高速平面度检测仪,包括底座、第一轴马达、第一轴高精密丝杆、滑块组、立柱、光栅尺、位移传感器、中间横梁、第二轴马达、第二轴高精密丝杆、高精密滑轨滑块、工作台板、梯形螺杆螺母、滚珠导轨、主板、固定块、上光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、下光学影像集成装置、定位板;其特征在于:所述底座(1)上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述底座采用优质天然大理石制作;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述工作台板采用优质航空硬铝合金制作,通过两组高精密滑轨滑块与横梁连接导向,通过安装在横梁上的第二轴马达和第二轴高精密丝杆驱动;所述主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器;所述底座工作台上设有定位板。 
2.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪,其特征在于:所述Z向工作台主板安装在X向工作台板上,通过高精密交叉滚子导轨与X向工作台板连接。 
3.根据权利要求1所述的一种高速平面度检测仪,其特征在于:所述Y向运动工作台采用龙门结构。 
CN201320876074.2U 2013-12-26 2013-12-26 一种高速平面度检测仪 Expired - Fee Related CN203785643U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320876074.2U CN203785643U (zh) 2013-12-26 2013-12-26 一种高速平面度检测仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320876074.2U CN203785643U (zh) 2013-12-26 2013-12-26 一种高速平面度检测仪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203785643U true CN203785643U (zh) 2014-08-20

Family

ID=51321821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201320876074.2U Expired - Fee Related CN203785643U (zh) 2013-12-26 2013-12-26 一种高速平面度检测仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203785643U (zh)

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104457573A (zh) * 2014-12-12 2015-03-25 苏州赛硕软件有限公司 一种镭射检测机构
CN104677313A (zh) * 2015-02-16 2015-06-03 太原理工大学 多角度智能化岩体结构面粗糙度系数测量仪及其测量方法
CN105423963A (zh) * 2015-12-29 2016-03-23 深圳市宝尔威精密机械有限公司 手机壳平面度测试仪
CN105651178A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于cmos拍摄成像的测量***
CN105651175A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于ccd飞行拍摄成像的测量***
CN105716547A (zh) * 2016-04-20 2016-06-29 西安交通大学 一种机械工件平面度快速测量装置及方法
CN105806225A (zh) * 2016-03-16 2016-07-27 苏州富强科技有限公司 一种基于线激光拍摄成像的测量***
CN105841641A (zh) * 2016-06-07 2016-08-10 东莞市三瑞自动化科技有限公司 一种基于激光三角法3d测量仪及平整度检测方法
CN105841630A (zh) * 2016-03-16 2016-08-10 苏州富强科技有限公司 一种基于点激光飞行扫描的测量***
CN105910553A (zh) * 2016-06-03 2016-08-31 广东正业科技股份有限公司 一种检测平面的检测仪及其检测方法
CN106767659A (zh) * 2016-12-20 2017-05-31 武汉钢铁股份有限公司 自动粗糙度测量设备
CN107014323A (zh) * 2017-06-06 2017-08-04 富加宜连接器(东莞)有限公司 一种点激光共面度测试装置及其方法
WO2017133176A1 (zh) * 2016-02-02 2017-08-10 意力(广州)电子科技有限公司 一种基于距离感应的面板平整度测试仪
CN107144220A (zh) * 2017-06-10 2017-09-08 苏州康鸿智能装备股份有限公司 一种点激光测量平台
CN107560571A (zh) * 2017-10-13 2018-01-09 郑州云海信息技术有限公司 一种服务器机壳平面度测量装置及其测量方法
CN107907077A (zh) * 2017-12-26 2018-04-13 宁波旭升汽车技术股份有限公司 一种散热器散热段检测机构
CN107990884A (zh) * 2017-12-19 2018-05-04 淮阴工学院 一种用于汽车引擎盖检测的均匀取点装置及检测方法
CN108507464A (zh) * 2018-03-02 2018-09-07 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像检测仪的检测方法
CN108507463A (zh) * 2018-03-02 2018-09-07 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像检测仪
CN108519050A (zh) * 2018-03-02 2018-09-11 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像测量仪的机械主体
CN109253693A (zh) * 2018-11-07 2019-01-22 燕山大学 狭长构件检测装置
CN109927394A (zh) * 2017-12-16 2019-06-25 绍兴豪春纺织科技有限公司 一种蓝光制网机
CN110220483A (zh) * 2019-06-28 2019-09-10 江苏省百斯特检测技术有限公司 一种三轴平面度检测***及其检测方法
CN110514153A (zh) * 2019-10-14 2019-11-29 重庆机电智能制造有限公司 一种大型零件平面检测装置
CN111721204A (zh) * 2020-06-30 2020-09-29 苏州天准科技股份有限公司 尺寸检测设备
CN116618809A (zh) * 2023-07-20 2023-08-22 上海泽丰半导体科技有限公司 金属基材固定治具、平面度检测治具及等离子抛光方法

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104457573A (zh) * 2014-12-12 2015-03-25 苏州赛硕软件有限公司 一种镭射检测机构
CN104677313A (zh) * 2015-02-16 2015-06-03 太原理工大学 多角度智能化岩体结构面粗糙度系数测量仪及其测量方法
CN105423963A (zh) * 2015-12-29 2016-03-23 深圳市宝尔威精密机械有限公司 手机壳平面度测试仪
WO2017133176A1 (zh) * 2016-02-02 2017-08-10 意力(广州)电子科技有限公司 一种基于距离感应的面板平整度测试仪
CN105806225A (zh) * 2016-03-16 2016-07-27 苏州富强科技有限公司 一种基于线激光拍摄成像的测量***
CN105841630A (zh) * 2016-03-16 2016-08-10 苏州富强科技有限公司 一种基于点激光飞行扫描的测量***
CN105651175A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于ccd飞行拍摄成像的测量***
CN105651178A (zh) * 2016-03-16 2016-06-08 苏州富强科技有限公司 一种基于cmos拍摄成像的测量***
CN105716547A (zh) * 2016-04-20 2016-06-29 西安交通大学 一种机械工件平面度快速测量装置及方法
CN105910553A (zh) * 2016-06-03 2016-08-31 广东正业科技股份有限公司 一种检测平面的检测仪及其检测方法
CN105841641A (zh) * 2016-06-07 2016-08-10 东莞市三瑞自动化科技有限公司 一种基于激光三角法3d测量仪及平整度检测方法
CN106767659A (zh) * 2016-12-20 2017-05-31 武汉钢铁股份有限公司 自动粗糙度测量设备
CN107014323B (zh) * 2017-06-06 2023-02-03 富加宜连接器(东莞)有限公司 一种点激光共面度测试装置及其方法
CN107014323A (zh) * 2017-06-06 2017-08-04 富加宜连接器(东莞)有限公司 一种点激光共面度测试装置及其方法
CN107144220A (zh) * 2017-06-10 2017-09-08 苏州康鸿智能装备股份有限公司 一种点激光测量平台
CN107560571A (zh) * 2017-10-13 2018-01-09 郑州云海信息技术有限公司 一种服务器机壳平面度测量装置及其测量方法
CN109927394A (zh) * 2017-12-16 2019-06-25 绍兴豪春纺织科技有限公司 一种蓝光制网机
CN107990884A (zh) * 2017-12-19 2018-05-04 淮阴工学院 一种用于汽车引擎盖检测的均匀取点装置及检测方法
CN107907077A (zh) * 2017-12-26 2018-04-13 宁波旭升汽车技术股份有限公司 一种散热器散热段检测机构
CN108507464A (zh) * 2018-03-02 2018-09-07 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像检测仪的检测方法
CN108507463A (zh) * 2018-03-02 2018-09-07 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像检测仪
CN108519050A (zh) * 2018-03-02 2018-09-11 昆山世纪三友测量技术有限公司 一种非接触式影像测量仪的机械主体
CN109253693A (zh) * 2018-11-07 2019-01-22 燕山大学 狭长构件检测装置
CN110220483A (zh) * 2019-06-28 2019-09-10 江苏省百斯特检测技术有限公司 一种三轴平面度检测***及其检测方法
CN110514153A (zh) * 2019-10-14 2019-11-29 重庆机电智能制造有限公司 一种大型零件平面检测装置
CN111721204A (zh) * 2020-06-30 2020-09-29 苏州天准科技股份有限公司 尺寸检测设备
CN116618809A (zh) * 2023-07-20 2023-08-22 上海泽丰半导体科技有限公司 金属基材固定治具、平面度检测治具及等离子抛光方法
CN116618809B (zh) * 2023-07-20 2023-10-03 上海泽丰半导体科技有限公司 金属基材固定治具、平面度检测治具及等离子抛光方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203785643U (zh) 一种高速平面度检测仪
CN100595513C (zh) 圆柱体直径与形位误差综合测量仪
CN105091802B (zh) 一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置
CN100410623C (zh) 移动龙门式光学坐标测量仪
CN207936929U (zh) 一种航空叶片前后缘十字线激光扫描装置
CN102636137B (zh) 关节臂式坐标测量机中revo测头位置姿态标定方法
CN103358297A (zh) 一种能够进行多面划线的划线机
CN203704886U (zh) 平面度光学测量设备
CN103586740A (zh) 一种微细精密加工刀具工作形貌在位检测装置及方法
CN204924205U (zh) 一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置
CN202432999U (zh) 曲面抛光表面粗糙度非接触测量装置
CN105004252A (zh) 方形截面细长工件的拼接面与基准面间垂直度的检测方法
CN102620651B (zh) 影像测量仪
CN104515487B (zh) 二合一全自动三z轴测量仪
CN109269422A (zh) 一种点激光位移传感器测量误差校对的实验方法及装置
CN204535672U (zh) 自准直仪
CN102322812A (zh) 小阿贝误差三维测量***
CN104019744B (zh) 一种二维自标定标记点检测对准***
CN2903906Y (zh) 一种长度和弧度测量工具
CN112325816A (zh) 一种用于划片机几何精度测量和误差补偿的装置及方法
CN204128499U (zh) 多功能三坐标测量机
CN203344035U (zh) 一种高效三维测量划线机
CN110864624A (zh) 一机两用型测量仪器
CN102645182B (zh) 表面轮廓扫描式工件预截取部分称重装置
CN204881518U (zh) 绝对式高效三坐标测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140820

Termination date: 20191226