CN203690251U - 高度调节式扫描电镜样品座 - Google Patents

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严永林
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Qianjiang Xinrui Carbide Tools Co ltd
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SUZHOU XINRUI ALLOY TOOL CO Ltd
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Abstract

本实用新型涉及高度调节式扫描电镜样品座,包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧,旋转基座的下底面凸设有中心轴,中心轴上套置有弹簧,中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接,弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接,弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。可以同时对不同高度的样品进行测试,在测试前可以灵活的对样品位置进行调整,使样品待检测面接近同一高度,提高了样品的检测质量和效率。

Description

高度调节式扫描电镜样品座
技术领域
本实用新型涉及一种高度调节式扫描电镜样品座。
背景技术
扫描电镜是一种电子光学显像仪器,采用极细的电子束在样品表面扫描,高能电子射束与物质之交互作用产生各种讯号,这些讯号经由适当的检测器接收后,经放大器放大,然后送到显像管上成像,具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。
用扫描电镜观察样品时,应当利用导电性良好的样品夹具将样品紧固在样品室中,如果样品固定不好,在电子束的照射下,将会使图象发生微观飘移,导电性较差的样品尤为严重,从而会影响观察分析,特别会造成定点微区成分分析的误差。
目前,一般所使用的扫描电镜样品座高度固定,对于不同高度的样品不能同时进行测试,必须通过多次更换样品测试才能完成,大大影响了扫描电镜测试效率和测试成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种高度调节式扫描电镜样品座 ,旨在解决不同高度样品同时测试的问题。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
高度调节式扫描电镜样品座,特点是:包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧,所述旋转基座的下底面凸设有中心轴,中心轴上套置有弹簧,中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接,弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接,弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。
进一步地,上述的高度调节式扫描电镜样品座,所述套筒的上端凸设有台阶。
更进一步地,上述的高度调节式扫描电镜样品座,所述旋转基座上沿径向设有夹持凹槽。
本实用新型技术方案的实质性特点和进步主要体现在:
本实用新型扫描电镜样品座,其结构简单、操作方便,可以同时对不同高度的样品进行测试,在测试前可以灵活的对样品位置进行调整,使样品待检测面接近同一高度,提高了样品的检测质量和效率。采用高度可调的方式,可以简便灵活的随时对样品的高度位置进行调整,满足不同高度样品同时测试的要求。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
图1:本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,高度调节式扫描电镜样品座,包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座1、固定于样品台上的套筒2和弹簧3,旋转基座1的下底面凸设有中心轴,中心轴上套置有弹簧3,中心轴的下端通过螺纹C与套筒2相旋接,套筒2的轴线与中心轴的轴线同轴,弹簧3的上端与旋转基座1的下底面相抵接,弹簧3的下端与套筒2的上顶面相抵接。套筒2的上端凸设有台阶B,台阶B便于样品座在样品台上定位。旋转基座1上沿径向设有夹持凹槽A,便于用夹具将样品座安装到仪器样品台上。当旋转基座向上或向下工作时放松或挤压弹簧3,使旋转基座1与套筒2之间有适量的弹簧力而稳定。
测试前通过镊子夹持旋转基座1上凹槽A将套筒2插到扫描电镜测试台插孔中,通过套筒上端的台阶B对其定位,再调节旋转基座1将样品台上若干个测试样品测试面调整到接近的高度。
综上可见,本实用新型扫描电镜样品座,其结构简单、操作方便,可以同时对不同高度的样品进行测试,在测试前可以灵活的对样品位置进行调整,使样品待检测面接近同一高度,提高了样品的检测质量和效率。采用高度可调的方式,可以简便灵活的随时对样品的高度位置进行调整,满足不同高度样品同时测试的要求。
需要理解到的是:以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧,所述旋转基座的下底面凸设有中心轴,中心轴上套置有弹簧,中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接,弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接,弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。
2.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:所述套筒的上端凸设有台阶。
3.根据权利要求1所述的高度调节式扫描电镜样品座,其特征在于:所述旋转基座上沿径向设有夹持凹槽。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103700562A (zh) * 2013-12-25 2014-04-02 苏州新锐合金工具股份有限公司 高度调节式扫描电镜样品座
CN105606849A (zh) * 2016-03-01 2016-05-25 广州市刑事科学技术研究所 硅藻检验样品盒

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Patentee after: QIANJIANG XINRUI CARBIDE TOOLS CO.,LTD.

Address before: 215121 Weiting Science and Technology Park, Suzhou City Park, Jiangsu Province

Patentee before: SHAREATE TOOLS Ltd.

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Granted publication date: 20140702

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