CN203644736U - 晶圆推进器及晶圆干燥槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了晶圆推进器及晶圆干燥槽，包括驱动机构和推进块，所述驱动机构与推进块电气连接，所述驱动机构用于驱动推进块沿预设的路径运动，所述推进块为立方体，所述立方体的侧面顶部设有至少有一个向立方体内表面凹陷的凹槽，所述凹槽的两侧各设有对称的突起部，以便固定晶圆。本实用新型通过在推进块顶部设有凹槽使得在推进块上的晶圆被固定，进一步的，凹槽底部的形状与晶圆的边缘弧度一致，从而进一步固定晶圆，防止晶圆滑落，以免造成不必要的损失。

Description

晶圆推进器及晶圆干燥槽

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路设备领域，具体是涉及一种晶圆推进器及晶圆干燥槽。 

背景技术

当今晶圆的干燥方式已从旋转甩干转变为混合蒸汽干燥，通过IPA与N2的混合蒸汽的方式改变水在晶圆表面张力从而使晶圆干燥，且已研发出新的干燥槽。但是现有的晶圆推进器不能将晶圆较好的固定从而使晶圆滑落，容易使晶圆造成缺陷，即使返工也难以去除。 

现有的晶圆推进器的推进块为一块立方体，立方体上未设置固定晶圆的装置，从而导致晶圆在工艺过程中易滑落而造成损失。 

因此，对现有的晶圆推进器进行改进并使晶圆推进器更好的固定晶圆成为本领域技术人员亟待解决的问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆推进器及晶圆干燥槽，使晶圆能够更好的被固定，不会在工艺过程中因外部原因滑落，防止造成不必要的损失。 

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供晶圆推进器，包括驱动机构和推进块，所述驱动机构与推进块电气连接，所述驱动机构用于驱动推进块沿预设的路径运动，所述推进块为立方体，所述立方体的侧面顶部设有至少一个向立方体内表面凹陷的凹槽，所述凹槽的两侧各设有对 称的突起部，以便固定晶圆。 

优选的，所述凹槽的截面形状为V形、方形或圆弧形。 

优选的，所述突起部的截面形状为多边形或圆弧形。 

优选的，所述多边形为三角形、矩形、或梯形。 

优选的，所述凹槽的底部呈两端高中间低的弧形，所述的弧形与晶圆的边缘弧形相匹配。 

优选的，所述推进块的材料为工程塑料。 

优选的，所述推进块为一体结构。 

优选的，所述驱动机构包括伺服电机，为驱动机构提供动力源。 

本实用新型还提供一种晶圆干燥槽，包括：干燥槽槽体、蒸汽喷嘴、晶圆支架，还包括上述的晶圆推进器，所述的晶圆推进器安装在干燥槽槽体底部且位于蒸汽喷嘴的下方，所述晶圆支架的高度大于推进块的高度。 

本实用新型的优势在于：通过在推进块顶部设有凹槽使得在推进块上的晶圆被固定，进一步的，凹槽底部的形状与晶圆的边缘弧度一致，从而进一步固定晶圆，防止晶圆滑落，以免造成不必要的损失。 

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本实用新型干燥槽侧视图； 

图2为本实用新型晶圆支架倾斜时的结构示意图； 

图3为本实用新型推动器推动晶圆的结构示意图； 

图4为本实用新型实施例一推动块的侧面结构示意图； 

图5为本实用新型实施例二推动块的侧面结构示意图； 

图6为本实用新型推动块的主视图。 

图中标号说明如下： 

1、干燥槽槽体；2、蒸汽喷嘴；3、晶圆支架；4、推进块；401、凹槽；402、突起部；5、晶圆；6、驱动机构。 

具体实施方式

体现本实用新型特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本实用新型能够在不同的示例上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本实用新型。 

下面结合图1至图6对本实用新型中的晶圆推进器及晶圆干燥槽作进一步的说明： 

现有的晶圆推进器的推进块为一块立方体，立方体上未设置固定晶圆的装置，从而导致晶圆在工艺过程中易滑落而造成损失。 

实施例一： 

请参考图3及图4，图3为推动器推动晶圆的结构示意图，图4为推动块的侧面结构示意图。本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种晶圆推进器，包括驱动机构6和推进块4，所述驱动机构6与推进块4电气连接，所述驱动机构6用于驱动推进块4沿预设的路径运动，所述推进块4为立方体，所述立方体的侧面顶部设有至少有一个向立方体内表面凹陷的凹槽401，所述凹槽401的两侧各设有对称的突起部402，以便固定晶圆5。 

图4中，所述推进块4的凹槽401的截面形状为V形，所述突起部402的截面形状为三角形，请参考图6，图6为推动块的主视图，所述凹槽401的底部呈两端高中间低的弧形，所述的弧形与晶圆的边缘弧形相匹配，从而更好的固 定晶圆，防止晶圆滑落。 

其中，所述推进块4的材料优选为工程塑料的一体式结构，所述驱动机构6与推进块4电气连接，所述驱动机构6用于驱动推进块4沿预设的路径运动，所述驱动机构6包括伺服电机，为驱动机构6提供动力源。 

实施例二： 

在实施例一的基础上，实施例二与实施例一的不同之处在于，请参考图5，所述推进块4的凹槽401的截面形状为方形，所述突起部402的截面形状为矩形，所述凹槽401的底部依旧呈两端高中间低的弧形。 

为了进一步提高本实用新型，所述推进块4的凹槽401的截面形状为V形、方形或圆弧形中的任意一种；所述突起部的截面形状为三角形、矩形、梯形或圆弧形任意一种。 

本实用新型还提供一种晶圆干燥槽，包括：干燥槽槽体1、蒸汽喷嘴2、晶圆支架3，还包括上述的晶圆推进器，所述的晶圆推进器安装在干燥槽槽体1底部且位于蒸汽喷嘴2的下方，所述晶圆支架3的高度大于推进块4的高度。 

请参考图1，在晶圆5干燥过程中，机械手臂在干燥槽槽体1入口处将晶圆垂直放置在干燥槽槽体1中的晶圆支架3上；请参考图2，晶圆支架3向左侧倾斜，使晶圆悬停在推进器的上方；启动晶圆推进器，推进器向干燥槽槽体1上端推进，当推进块4接触到晶圆5时晶圆5自动滑落到推进块4的凹槽401上，推进器继续推动晶圆5继而对晶圆5进行干燥。 

本实用新型的优势在于：通过在推进块顶部设有凹槽使得在推进块上的晶圆被固定，进一步的，凹槽底部的形状与晶圆的边缘弧度一致，从而进一步固定晶圆，防止晶圆滑落，以免造成不必要的损失。 

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所 作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。 

Claims (9)

1.一种晶圆推进器，包括驱动机构和推进块，所述驱动机构与推进块电气连接，所述驱动机构用于驱动推进块沿预设的路径运动，其特征在于，所述推进块为立方体，所述立方体的侧面顶部设有至少一个向立方体内表面凹陷的凹槽，所述凹槽的两侧各设有对称的突起部，以便固定晶圆。 

2.根据权利要求1所述的晶圆推进器，其特征在于，所述凹槽的截面形状为V形、方形或圆弧形。 

3.根据权利要求2所述的晶圆推进器，其特征在于，所述突起部的截面形状为多边形或圆弧形。 

4.根据权利要求3所述的晶圆推进器，其特征在于，所述多边形为三角形、矩形、或梯形。 

5.根据权利要求1～4任一所述的晶圆推进器，其特征在于，所述凹槽的底部呈两端高中间低的弧形，所述的弧形与晶圆的边缘弧形相匹配。 

6.根据权利要求5所述的晶圆推进器，其特征在于，所述推进块的材料为工程塑料。 

7.根据权利要求5所述的晶圆推进器，其特征在于，所述推进块为一体结构。 

8.根据权利要求1所述的晶圆推进器，其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机，为驱动机构提供动力源。 

9.一种晶圆干燥槽，包括：干燥槽槽体、蒸汽喷嘴、晶圆支架，其特征在于，还包括权利要求1-8任意一个所述的晶圆推进器，所述的晶圆推进器安装在干燥槽槽体底部且位于蒸汽喷嘴的下方，所述晶圆支架的高度大于推进块的高度。 

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