CN203613301U - 拉制大直径n型单晶的导流筒 - Google Patents

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张龙龙
邓浩
李静
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Yinchuan Longi Silicon Materials Co ltd
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Ningxia Longi Silicon Materials Co Ltd
Yinchuan Longi Silicon Materials Co Ltd
Xian Longi Silicon Materials Corp
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Abstract

拉制大直径N型单晶的导流筒，包括导流筒内胆和导流筒外胆，导流筒内胆与导流筒外胆之间设有钼隔板和保温层。钼隔板内壁与导流筒内胆外壁紧密贴合。钼隔板上沿与导流筒外胆上沿紧密配合，内部构成空腔结构，保温层填充在该空腔内。本实用新型导流筒内胆与导流筒外胆之间设置钼隔板和保温层，由于钼隔板具有反射热量的功能，因此，提高了装置的保温性能，从而提高了晶体的生长速率，且降低了生产成本。

Description

拉制大直径N型单晶的导流筒
技术领域
本实用新型属于太阳能光伏行业单晶硅生产装置技术领域，涉及一种拉制大直径N型单晶的导流筒。
背景技术
目前市场上单晶太阳能硅片，主要以P型为主流的产品，但是单晶P型被预估在19%会遇到技术瓶颈。而N型产品目前的转换效率可以达到20%以上甚至更高，由于容易做到高转化效率的特性，N型高效单晶以后将是未来光伏市场的主导。
随着市场的发展，生产N型单晶工艺越来越成熟，高品质的N型单晶层出不穷。专利号为201210079838.5的专利，公布了一种提高N型硅单晶边缘少数载流子寿命的装置和方法，其中使用的导流筒内胆为高纯石英材质，可以有效提高N型单晶边缘少数载流子寿命，但因石英材料的保温性较差，其生长速率提高幅度不大，且随着晶棒尺寸的增大和投料量的增加，其生产成本也相应增高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种拉制大直径N型单晶的导流筒，解决现有技术存在的N型硅单晶生长速率慢的问题。
本实用新型的技术方案是，拉制大直径N型单晶的导流筒，包括导流筒内胆和导流筒外胆，导流筒内胆与导流筒外胆之间设有钼隔板和保温层。
本实用新型的特点还在于：
钼隔板内壁与导流筒内胆外壁紧密贴合。
钼隔板上沿与导流筒外胆上沿紧密配合，内部构成空腔结构，保温层填充在该空腔内。
导流筒内胆为高纯石英材质，钼隔板为钼材质，导流筒外胆为碳碳复合材料，保温层为石墨毡。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型导流筒内胆与导流筒外胆之间设置钼隔板和保温层，由于钼隔板具有反射热量的功能，因此，提高了装置的保温性能，从而提高了晶体的生长速率和N型少子寿命。
2、本实用新型可保证单晶品质，且降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型拉制大直径N型单晶的导流筒结构示意图；
图中，1.导流筒内胆，2.钼隔板，3.保温层，4.导流筒外胆。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
拉制大直径N型单晶的导流筒，包括导流筒内胆1和导流筒外胆4，导流筒内胆1与导流筒外胆4之间设有钼隔板2和保温毡4。钼隔板2内壁与导流筒内胆1外壁紧密贴合。钼隔板2上沿与导流筒外胆4上沿紧密配合，在其内部构成空腔结构，保温层3填充在该空腔内。
导流筒内胆1为高纯石英材质，钼隔板2为钼材质，导流筒外胆4为碳碳复合材料，保温层3为石墨毡。
采用本实用新型拉制大直径N型单晶的导流筒制作8英寸高寿命N型单晶，包括清理炉腔、装料、化料、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、冷却等步骤，具体如下：
第一步：按常规方法将单晶炉清炉处理，安装上述保持N型高少子寿命的提拉速装置，开始装料，加入140kg多晶硅和P掺杂剂，合炉后进行抽真空、熔料工序。
第二步：调整坩埚位置，使导流筒外胆下沿与硅料液面位置的距离为20mm。
第三步：待溶液温度稳定后，进行引晶操作。
第四步：引晶长度到200mm后，放肩，转肩。
第五步：等径生长，晶转10-13转/分钟，锅转4-7转/分钟，晶体生长平均拉速为1.3mm/min，按照常规工艺收尾和冷却。
本实施例在22寸热***下成功拉制出的N型硅单晶棒直径为205mm，<100>晶向，头部电阻率4.5-5.0Ω·cm，尾部电阻率0.8-1.0Ω·cm，氧含量≤16ppma，替位碳含量＜1ppma，非平衡少数载流子包括边缘寿命保持在13000-5000us之间，平均生长速率为1.3mm/min。
本实用新型拉制大直径N型单晶的导流筒不仅可以有效提高N型少子寿命，也大幅度提高了N型硅单晶的平均生长速率，降低了生产成本。

Claims (4)

1.拉制大直径N型单晶的导流筒，其特征在于：包括导流筒内胆（1）和导流筒外胆（4），所述导流筒内胆（1）与导流筒外胆（4）之间设有钼隔板（2）和保温层（3）。
2.如权利要求1所述的拉制大直径N型单晶的导流筒，其特征在于：所述钼隔板（2）内壁与导流筒内胆（1）外壁紧密贴合，间隙小于2mm。
3.如权利要求1-2任一项所述的拉制大直径N型单晶的导流筒，其特征在于：所述钼隔板（2）上沿与导流筒外胆（4）上沿紧密配合，内部构成空腔结构，保温层（3）填充在该空腔内。
4.如权利要求3所述的拉制大直径N型单晶的导流筒，其特征在于：所述导流筒内胆（1）为高纯石英导流筒内胆，所述导流筒外胆（4）为碳碳导流筒外胆，所述保温层（3）为石墨毡。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105239150A (zh) * 2015-09-10 2016-01-13 上海超硅半导体有限公司 单晶硅生长炉用导流筒及其应用
CN106521616A (zh) * 2016-12-13 2017-03-22 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司 一种单晶炉石英导流筒

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