CN203579447U - 可调式真空夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可调式真空夹具，涉及夹紧装置。本实用新型可调式真空夹具，包括用于放置被测件的测试台、设置于所述测试台上的多个气孔单元、与所述多个气孔单元相通的真空管道以及与所述真空管道相连的真空发生器。由于本实用新型可调式真空夹具中，在测试台上设置了多个气孔单元，并通过真空管道与多个气孔单元相通来吸紧被测件，使得本实用新型的真空夹具能灵活地适应多种尺寸的被测件，将被测件稳固地吸在测试台上进行测试。
Description
技术领域
本实用新型涉及夹紧装置，尤其涉及一种可调式真空夹具。
背景技术
在通信、电子、机械制造、汽车、以及包装行业里，经常会有对平面工件（特别是小型平面工件）的装夹要求。以光通信领域为例，近年我国宽带接入和光纤到户的发展使平面光波导芯片产品的需求量猛增。平面光波导是将光波导制作到平面基板上的技术，是实现光通信大容量和光器件集成化的有效手段。平面波导可以制成阵列波导光栅，光分路器，多通道可调光衰减器、光开关等光器件。在光通信网络中间，光信号依赖平面光波导制成的阵列波导光栅被广泛用来实现波分复用以提高传输效率。在光通信的最末端，光纤到户阶段，平面光波导光分路器则提供了目前最有效的无源光网络宽带接入方案。
而在生产平面光波导芯片过程中，重要的步骤之一即对芯片进行测试。在测试过程中，要保证芯片的位置不发生改变，则需要将芯片进行夹紧后进行测试工作。市场上常见的夹紧装置的夹紧力通常是来源于螺纹的紧固力，但是容易对平面光波导光分路器芯片造成伤害。目前真空夹具作为被测件和测试设备之间的连接体，已经广泛地应用于各种自动测试设备。
在相关技术中，应用真空夹具进行测试时，首先将被测件放置于承载台上，打开真空开关抽走真空夹具中的空气，夹具即可吸合，夹住被测件进行测试工作。在测试完成后，关闭真空开关，空气进入真空夹具，被测件与真空夹具分离。
该真空夹具对被测芯片的尺寸要求严格，一种夹具只适合某一尺寸的芯片，真空夹具使用不灵活。但是在实际工作过程中，芯片尺寸大多不相同。在测试尺寸较大的芯片时，由于芯片过大，较小的夹具无法吸住该芯片，芯片在夹具中不稳定，影响芯片的测试效果。而芯片尺寸较小时，芯片不能覆盖承载台上的所有气孔，导致丧失真空，芯片不稳定从而影响测试效果。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种灵活的可调式真空夹具。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种可调式真空夹具，包括用于放置被测件的测试台、设置于所述测试台上的多个气孔单元、与所述多个气孔单元相通的真空管道以及与所述真空管道相连的真空发生器。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述真空管道靠近所述气孔单元的端还设置有可拆式密封件，以隔断所述真空管道和与其相通的气孔单元。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述真空管道包括分别与所述多个气孔单元相连通的多个支管以及将所述多个支管连通的总管，所述总管连接于所述真空发生器。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述支管包括第一管段与第二管段，且所述第一管段的内径大于所述第二管段的内径。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件包括密封螺丝，所述密封螺丝包括头部与螺纹部。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件设置于所述支管内，且所述头部位于第一管段内，所述螺纹部位于第二管段内。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述第二管段内壁面还设有与所述螺纹部相对的螺纹段。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述密封件还包括密封垫片，所述密封垫片设置于所述密封螺丝与支管之间。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述气孔单元的大小大于或等于所述密封件的大小。
优选地，上述可调式真空夹具中，所述可调试真空夹具为芯片用可调式真空夹具，所述被测件为芯片。
综上所述，由于采取了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：
由于本实用新型可调式真空夹具中，在测试台上设置了多个气孔单元，并通过真空管道与多个气孔单元相通来吸紧被测件，使得本实用新型的真空夹具能灵活地适应多种尺寸的被测件，将被测件稳固地吸在测试台上进行测试。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
图1是本实用新型一个实施例的截面示意图；
图2是本实用新型实施例中测试台的截面示意图；
图3是本实用新型实施例中密封件的结构示意图。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
图1、图2示出了本实用新型一个优选实施例中的可调式真空夹具，可应用于光通信技术中平面光波导芯片的测试过程。该可调式真空夹具包括用于放置被测件的测试台1、设置于测试台1上的多个气孔单元11、与多个气孔单元11相通的真空管道2以及与真空管道2相连的真空发生器。可以理解地，该可调式真空夹具还可以应用于通信、电子、机械制造、汽车以及包装工业等领域中，一般可用于平面工件的定位。
在被测件进行测试工作时，被测件放置于测试台1上，以将设置于测试台1上的气孔单元11覆盖；然后打开真空发生器，将真空管道2内的空气抽空，使被测件吸附在测试台1上，再进行测试工作。由于测试台1上的气孔单元11有多个，在被测件较大时，真空管道2也能稳固地将被测件吸在测试台1上。
在一些实施例中，如图1所示，真空管道2靠近气孔单元11的端还设置有可拆式密封件3，以隔断真空管道2和与其相通的气孔。
被测件放置于测试台1上将设置于测试台1上的气孔单元11覆盖，再将被测件未覆盖的气孔单元11对应的真空管道2通过密封件3进行密封，从而增加被测件在测试过程中的稳定性。然后再将被测件已覆盖的气孔单元11下方对应的真空管道2的密封件3打开，使真空管道2与气孔单元11连通；最后打开真空发生器，将真空管道2内的空气抽空，使被测件吸附在测试台1上，进行测试工作。
在一些实施例中，如图1所示，真空管道2包括分别与多个气孔单元11相连通的多个支管21以及将多个支管21连通的总管22，总管22连接于真空发生器。在被测件较小时，未被覆盖的气孔单元11所对应的支管21通过密封件3密封，不会影响正常的测试过程；在被测件较大需要使用多组气孔单元11时，只需将需要使用的气孔单元11所对应的支管21的密封件3拧松，即可将被测件稳固地吸附于测试台1上，增强被测件在测试过程中的稳定性。
可以理解地，在一些实施例中，支管21的根数与气孔单元11的个数相应，一个气孔单元11对应一根支管21。
可以理解地，在一些实施例中，如图1所示，支管21的轴线相互平行。相互平行设置的支管21可方便总管22将其与真空发生器连通。
在一些实施例中，如图1所示，支管包括第一管段210与第二管段211，且第一管段210的内径大于第二管段211的内径。第一管段210的内径大小与其对应的气孔单元11的范围大小相当。
在一些实施例中，如图3所示，密封件3包括密封螺丝31，密封螺丝31包括头部310与螺纹部311。螺纹部311用于与真空管道密封连接。
在一些实施例中，如图1、图3所示，密封件3设置于支管21内，且头部310位于第一管段210内，螺纹部311位于第二管段211内。
可以理解地，在一些实施例中，第二管段211内壁面还设置有与螺纹部311相对应的螺纹段212。
可以理解地，在一些实施例中，如图1、图3所示，密封件3还包括密封垫片32，该密封垫片32设置于密封螺丝31与支管21之间。密封螺丝31与密封垫片32可增加支管21的密封性。
可以理解地，在一些实施例中，密封垫片32为橡胶垫片。可以理解地，在一些实施例中，该密封垫片32还可为石棉垫片或合成树脂垫片等。
在一些实施例中，气孔单元11的大小大于或等于密封件3的大小。以便用户能利用工具通过气孔单元11伸入到第一管段210对密封件3进行拧紧或拧松的动作。在对不需要使用的真空管道2进行密封时，通过气孔单元11处将密封件3拧紧以密封该真空管道2。
在一些实施例中，可调试真空夹具为芯片用可调式真空夹具，被测件为芯片。该芯片为光通信用平面光波导芯片。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种可调式真空夹具，其特征在于，包括用于放置被测件的测试台（1）、设置于所述测试台（1）上的多个气孔单元（11）、与所述多个气孔单元（11）相通的真空管道（2）以及与所述真空管道（2）相连的真空发生器。
2.根据权利要求1所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述真空管道（2）靠近所述气孔单元（11）的端还设置有可拆式密封件（3），以隔断所述真空管道（2）和与其相通的气孔单元（11）。
3.根据权利要求2所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述真空管道（2）包括分别与所述多个气孔单元（11）相连通的多个支管（21）以及将所述多个支管（21）连通的总管（22），所述总管（22）连接于所述真空发生器。
4.根据权利要求3所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述支管（21）包括第一管段（210）与第二管段（211），且所述第一管段（210）的内径大于所述第二管段（211）的内径。
5.根据权利要求4所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述密封件（3）包括密封螺丝（31），所述密封螺丝（31）包括头部（310）与螺纹部（311）。
6.根据权利要求5所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述密封件（3）设置于所述支管（21）内，且所述头部（310）位于第一管段（210）内，所述螺纹部（311）位于第二管段（211）内。
7.根据权利要求6所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述第二管段（211）内壁面还设有与所述螺纹部（311）相对的螺纹段（212）。
8.根据权利要求5所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述密封件（3）还包括密封垫片（32），所述密封垫片（32）设置于所述密封螺丝（31）与支管（21）之间。
9.根据权利要求2所述的可调式真空夹具，其特征在于，所述气孔单元（11）的大小大于或等于所述密封件的大小。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的可调式真空夹具，其特征在于，该可调式真空夹具为芯片用可调式真空夹具，所述被测件为芯片。
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| CN103465199A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 广东尚能光电技术有限公司 | 可调式真空夹具 |
| CN107740863A (zh) * | 2017-10-20 | 2018-02-27 | 长光卫星技术有限公司 | 用于带孔光学元件加工的密封工装 |
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| CN103465199B (zh) * | 2013-09-27 | 2016-06-08 | 广东尚能光电技术有限公司 | 可调式真空夹具 |
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