CN203339131U - 一种基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及液晶显示领域，公开了一种基板搬运装置。所述基板搬运装置包括：基座和与所述基座固定连接的用于承托基板的至少两根机械手指，检测设备，用于检测所述基板的位置信息；控制装置根据所述位置信息及存储的所述基板目标位置输出移动控制信号，以及将基板传送到目标位置的位置调节装置。本实用新型公开的基板搬运装置能够有效地减少基板在搬运过程中的破损，从而提高产品的良品率，有效地降低产品的生产成本。

Description

一种基板搬运装置

技术领域

本实用新型涉及液晶显示领域，特别是涉及一种基板搬运装置。

背景技术

在显示装置生产制造过程中，基板通常装在收纳卡匣里，进行某一工序时，需要借助机械手将基板取出，送入该工序加工设备的腔体中，该设备工作完成后再由机械手从设备腔体取出送回收纳卡匣。

如图1所示，机械手从收纳卡匣中取出基板14，此时如果基板14位于机械手指上的位置不在目标位置范围之内，将基板放入加工设备的腔体后，加工设备的限位柱10卡紧基板14，很容易造成基板破碎而导致产品不良；如图2所示，基板14由机械手从加工设备的腔体取出送往收纳卡匣11，如果基板14位于机械手上的位置不在目标位置范围之内，基板14很容易撞到收纳卡匣11的边缘造成基板破碎而导致产品不良，最终导致产品的生产成本提高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基板搬运装置，用以提高产品的良品率，有效地降低产品的生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种基板搬运装置，包括:

基座和用于承托基板的至少两根机械手指，每一根机械手指与所述基座固定连接；

检测设备，用于检测所述基板的位置信息；

控制装置，信号连接所述检测设备，根据所述基板的位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号；

位置调节装置，所述位置调节装置将基板传送至目标位置。

在本实用新型提供的基板搬运装置中，由于控制装置能够根据检测设备检测到的基板位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号，进而控制位置调节装置将基板传送至目标位置，因此本实用新型技术方案有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高了产品的良品率，有效地降低了产品的生产成本。

优选的，所述位置调节装置包括：第一基板位置调节装置和第二基板位置调节装置，所述第一基板位置调节装置可沿机械手指宽度方向传送基板，所述第二基板位置调节装置可沿机械手指长度方向传送基板。当基板的初始位置不在目标位置范围之内时，由于本实用新型包括第一基板位置调节装置和第二基板位置调节装置，可以方便地分别调节基板沿机械手指长度方向和沿机械手指宽度方向上的位置。

优选的，所述基板搬运装置还包括：第一驱动装置，信号连接所述控制装置，根据所述移动控制信号驱动第一基板位置调节装置调节所述基板的位置至沿机械手指宽度方向的目标位置；第二驱动装置，信号连接所述控制装置，根据所述移动控制信号驱动第二基板位置调节装置调节所述基板的位置至沿机械手指长度方向的目标位置。

控制装置根据检测设备检测到的基板位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号，第一驱动装置和第二驱动装置根据所述移动控制信号分别驱动第一基板位置调节装置和第二基板位置调节装置调节基板的位置直至目标位置，因此本实用新型技术方案有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高了产品的良品率，有效地降低了产品的生产成本。

优选的，所述检测设备包括检测基板沿机械手指宽度方向位置信息的位移传感器，以及用于检测基板沿机械手指长度方向是否超出设定位置范围的限位传感器。

检测设备采用位移传感器和限位传感器，分别检测基板在机械手指宽度和长度方向上的位置，使基板支撑装置的结构简单，且限位传感器具有寿命长，性能可靠，位置重复精度高的优点，有效地提高了基板支撑装置对基板位置的控制精度。

优选的，所述基板搬运装置还包括信号连接所述控制装置的第三驱动装置，所述基座具有沿机械手指宽度方向设置的轨道，所述位移传感器滑动装配于所述轨道上，所述第三驱动装置驱动所述位移传感器移动至基板沿机械手指宽度方向的边缘，所述控制装置根据所述位移传感器移动的位移得到基板沿机械手指宽度方向的偏移距离。

位移传感器可以根据基板在机械手指上的实际位置在轨道上移动，能够较准确地检测基板的位置并反馈给控制装置，更加精确的调节基板在机械手指上的位置，进而有效地减少基板在搬运过程中的破损。

优选的，每一根机械手指分别对应一个位移传感器和一个限位传感器。

控制装置接收到每一个位移传感器所移动的位移信息以及每一个限位传感器的基板沿机械手指长度方向是否超出设定位置范围的信号并分别进行比较，可以提高控制装置判断基板位于机械手指上实际位置的精度，输出更加准确的移动控制信号，有效地减少基板在搬运过程中的破损。

优选的，所述位移传感器为光电传感器。

由于光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点，而且可测参数多，光电传感器的结构简单，形式灵活多样，因此,位移传感器优选采用光电传感器，以提高基板支撑装置中检测到基板位置的精度。

优选的，所述第一基板位置调节装置包括：位于所述基座内沿机械手指宽度方向设置的同步带，以及分别设置在两根机械手指上且与所述同步带相配合的两根滚轴；所述第一驱动装置驱动所述同步带转动，所述同步带带动所述两根滚轴转动，进而带动所述基板沿机械手指宽度方向移动。

优选的，所述第一基板位置调节装置包括：位于所述基座内沿机械手指宽度方向设置的齿条，以及分别设置在两根机械手指上且与所述齿条相配合的两根齿轮轴；所述第一驱动装置驱动所述齿条转动，所述齿条带动所述两根齿轮轴转动，进而带动所述基板沿机械手指宽度方向移动。

第一驱动装置通过驱动同步带或齿条带动第一基板位置调节装置，由于齿轮轴与滚轴在传动过程中传动过程平稳，因此，位于机械手指上的基板在位置调节的过程中不易滑落而导致基板破碎。

优选的，所述第二基板位置调节装置包括：分别对应所述两根机械手指且沿机械手指长度方向设置的两根丝杠，以及分别位于所述两根机械手指上且套设于所述丝杠上的丝杠套；所述第二驱动装置驱动所述两根丝杠转动，所述两根丝杠带动所述丝杠套移动，进而带动所述基板沿机械手指长度方向移动，使基板搬运装置的结构更加紧凑。

附图说明

图1为现有机械手将基板放入工艺设备腔体的工作状态示意图；

图2为现有机械手将基板放入收纳卡匣的工作状态示意图；

图3为本实用新型基板搬运装置实施例的结构示意图；

图4为本实用新型基板搬运装置实施例工作过程中的俯视透视结构示意图；

图5为本实用新型基板搬运装置第一实施例的原理示意图；

图6为本实用新型基板搬运装置第二实施例的原理示意图；

图7为本实用新型基板搬运装置第三实施例的原理示意图；

图8为本实用新型基板搬运装置第四实施例的原理示意图；

图9为本实用新型基板搬运装置传动连接一实施例的结构示意图；

图10为本实用新型基板搬运装置传动连接另一实施例的结构示意图。

附图标记：

10-限位柱   11-收纳卡匣

12-检测设备                12a-限位传感器

12b-位移传感器             13a-第一驱动装置

13b-第二驱动装置           14-基板

15a-同步带                 15b-齿条

16a-机械手指               16b-基座

16c-轨道                   17-控制装置

18-位置调节装置            18a-第一基板位置调节装置

18b-第二基板位置调节装置

具体实施方式

本实用新型的目的在于提供一种基板搬运装置，在该技术方案中，控制装置能够根据检测设备检测到的基板位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号，进而控制位置调节装置将基板传送至目标位置，当基板搬运装置搬运基板时，有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高了产品的良品率，有效地降低了产品的生产成本。

下面以具体实施例并结合附图进行详细说明，如图3～图5所示，本实用新型实施例所提供的基板搬运装置，包括：

基座16b、和用于承托基板14的至少两根机械手指16a，每一根机械手指16a与基座16b固定连接；

检测设备12，用于检测基板14的位置信息；

控制装置17，信号连接检测设备12，根据基板14的位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号；

位置调节装置18，位置调节装置18将基板传送至目标位置。

检测设备12检测基板14的位置信息并发送给控制装置17，控制装置17接收到所述位置信息，将所述位置信息与控制装置17所存储的基板目标位置进行比较，输出移动控制信号，进而控制位置调节装置18调节基板14的位置至目标位置。当基板搬运装置搬运基板时，有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高了产品的良品率，有效地降低了产品的生产成本。

如图6所示的实施例，并结合图3所示，为了方便地分别沿机械手指长度方向和沿机械手指宽度方向上调节基板的位置，提高产品调节基板位置的灵活性，进一步的，位置调节装置18包括：第一基板位置调节装置18a和第二基板位置调节装置18b，第一基板位置调节装置18a可沿机械手指宽度方向传送基板，第二基板位置调节装置18b可沿机械手指长度方向传送基板。

如图7所示的实施例，所述基板搬运装置还包括：第一驱动装置13a，信号连接控制装置17，根据所述移动控制信号驱动第一基板位置调节装置18a调节基板14的位置至沿机械手指宽度方向的目标位置；

第二驱动装置13b，信号连接控制装置17，根据所述移动控制信号驱动第二基板位置调节装置18b调节基板14的位置至沿机械手指长度方向的目标位置。

如图7所示的实施例并结合图3和图4所示，检测设备12检测基板14的位置信息并发送给控制装置17，控制装置17接收到所述位置信息，将所述位置信息与控制装置17所存储的基板目标位置进行比较，输出移动控制信号，第一驱动装置13a接收到所述移动控制信号，驱动第一基板位置调节装置18a和第二基板位置调节装置18b调节基板14的位置至沿机械手指宽度方向的目标位置，第二驱动装置13b接收到所述移动控制信号，驱动第二基板位置调节装置18b调节基板14的位置至沿机械手指长度方向的目标位置。当基板搬运装置搬运基板时，有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高了产品的良品率，有效地降低了产品的生产成本。

控制装置17的类型不限，例如可以为PLC（Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器）或者PC（Personal Computer，个人计算机）等。

如图8所示，检测设备12包括检测基板14沿机械手指16a宽度方向位置信息的位移传感器12b，以及用于检测基板14沿机械手指16a长度方向是否超出设定位置范围的限位传感器12a。检测设备12采用位移传感器12b和限位传感器12a，分别检测基板在机械手指宽度和长度方向上的位置，使基板支撑装置的结构简单，且限位传感器具有寿命长，性能可靠，位置重复精度高，有效地提高基板支撑装置对基板位置的控制精度。实现检测基板的位置信息的检测设备有多种，上述实施例为本实用新型较佳的一种实施方式，在此不做具体的限定。

如图3所示，本实用新型提供的基板搬运装置还包括第三驱动装置（图中未示出），基座16b具有沿机械手指宽度16a方向设置的轨道16c，位移传感器12b滑动装配于轨道16c上第三驱动装置驱动位移传感器12b移动至基板14沿机械手指宽度16a方向的边缘，控制装置17根据所述位移传感器12b移动的位移得到基板14沿机械手指16a宽度方向的偏移距离。第三驱动装置可以为设置在基座上的驱动马达或驱动电机，轨道16c为丝杠，丝杠与第三驱动装置的输出轴通过联轴器连接，位移传感器12b套设于丝杠上，第三驱动装置驱动丝杠转动，从而带动位移传感器在丝杠上滑动，位移传感器可以根据基板在机械手指上的实际位置在轨道上移动，能够较准确地检测基板的位置并反馈给控制装置，更加精确的调节基板在机械手指上的位置，进而有效地减少基板在搬运过程中的破损。

本实用新型提供的基板搬运装置中，优选的，每一根机械手指16a分别对应一个位移传感器12b和一个限位传感器12a。如图3所示，对应一根机械手指16a设置了一个位移传感器12b和一个限位传感器12a，控制装置17接收到每一个位移传感器12b所移动的位移信息，分别将每一个位移传感器12b所移动的位移信息与目标位置比较得出差值的绝对值，并对这些差值的绝对值求平均得到基板实际偏移目标位置的距离；控制装置17接收到每一个限位传感器12a检测基板沿机械手指长度方向是否超出设定位置范围的信号并分别进行比较，可以更加准确地判断基板沿机械手指长度方向上的位置，从而提高控制装置判断基板位于机械手指上实际位置的精度，输出更加准确的移动控制信号，有效地减少基板在搬运过程中的破损。

由于光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点，而且可测参数多，光电传感器的结构简单，形式灵活多样，因此,本实用新型中的位移传感器12b优选采用光电传感器，以提高基板支撑装置中检测到基板位置的精度。

实现驱动第一基板位置调节装置18a和第二基板位置调节装置18b的第一驱动装置13a和第二驱动装置13b的形式有多种，在此不做限制。

同步带传动通过同步带内表面上等距分布的横向齿和带轮上的相应齿槽的啮合来传递运动。如图9所示，并结合图3所示，由于同步带传动的耐磨性好，不需油润滑，因此本实用新型中的一个优选实施例，第一基板位置调节装置18a包括：位于所述基座内16b沿机械手指宽度方向设置的同步带15a，以及分别设置在两根机械手指16a上且与同步带15a相配合的两根滚轴；第一驱动装置13a驱动同步带15a转动，同步带15a带动两根滚轴转动，进而带动基板14沿机械手指宽度方向移动。在此实施例中，第一驱动装置13a包括具有输出轴的驱动马达，以及套设于驱动马达的输出轴上的齿轮，驱动马达上的齿轮与同步带15a啮合，驱动马达上的齿轮转动进而带动与同步带相配合的两根滚轴转动，从而使基板在沿机械手指宽度方向上移动。

如图10所示，并结合图3所示，第一基板位置调节装置18a包括：位于基座16b内沿机械手指宽度方向设置的齿条15b，以及分别设置在两根机械手指16a上且与齿条15b相配合的两根齿轮轴；第一驱动装置13a驱动齿条15b转动，齿条15b带动两根齿轮轴转动，进而带动基板14沿机械手指宽度方向移动。在此实施例中，第一驱动装置13a包括具有输出轴的驱动马达，以及套设于驱动马达的输出轴上的齿轮，驱动马达上的齿轮与齿条15b啮合，驱动马达上的齿轮转动进而带动与齿条15b相配合的两根齿轮轴转动，从而使基板在沿机械手指宽度方向上移动。

由于齿轮轴与滚轴在传动过程中传动过程平稳，因此，位于机械手指上的基板在位置调节的过程中不易滑落而导致基板破碎。

第二基板位置调节装置18b包括：分别对应两根机械手指16a且沿机械手指长度方向设置的两根丝杠，以及分别位于两根机械手指16a上且套设于丝杠上的丝杠套；第二驱动装置13b驱动所述两根丝杠转动，所述两根丝杠分别带动所述丝杠套移动，进而带动所述基板沿机械手指长度方向移动，使基板搬运装置的结构更加紧凑。具体地，第二驱动装置13b包括具有输出轴的驱动马达，驱动马达的数量为两个，两个驱动马达的输出轴分别与两根丝杠通过联轴器连接，丝杠随着输出轴的转动而转动，带动套设于丝杠上的丝杠套移动，使基板14在沿机械手指长度方向上移动。

结合图3～图10所示，本实用新型一实施例提供的基板搬运装置具体包括：

基座16b、和用于承托基板14的两根机械手指16a，每一根机械手指16a与基座16b固定连接；位于基座16b上沿机械手指宽度16a方向设置的轨道16c；第一基板位置调节装置18a和第二基板位置调节装置18b，第一基板位置调节装置18a可沿机械手指宽度方向传送基板，第二基板位置调节装置18b可沿机械手指长度方向传送基板；

检测设备12，用于检测基板14的位置信息；检测设备12包括对应于每一根机械手指的分别位于两根机械手指上的限位传感器12a和位于基座16b上且套设于丝杠16c上的位移传感器12b；

控制装置17，信号连接检测设备12，根据基板14的位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号；

第一驱动装置13a，信号连接控制装置17，根据所述移动控制信号驱动第一基板位置调节装置18a调节基板14的位置至沿机械手指宽度方向的目标位置。

第二驱动装置13b，信号连接控制装置17，根据所述移动控制信号驱动第二基板位置调节装置18b调节基板14的位置至沿机械手指长度方向的目标位置；

第一基板位置调节装置18a包括：位于基座内16b沿机械手指宽度方向设置的同步带15a，以及分别设置在两根机械手指16a上且与同步带15a相配合的两根滚轴；

第二基板位置调节装置18b包括：分别对应两根机械手指16a且沿机械手指长度方向设置的两根丝杠，以及分别位于两根机械手指16a上且套设于丝杠上的丝杠套；

第一驱动装置13a包括具有输出轴的驱动马达，以及套设于驱动马达的输出轴上的齿轮，第二驱动装置13b包括两个分别与两根丝杠通过联轴器连接且具有输出轴的驱动马达；

第三驱动装置为设置在基座上的具有输出轴的驱动马达或驱动电机，轨道16c丝杠，丝杠与驱动马达或驱动电机的输出轴通过联轴器连接，第三驱动装置驱动位移传感器12b移动至基板14沿机械手指宽度16a方向的边缘。

假设控制装置17中所存储的在沿机械手指16a宽度方向上基板目标位置为：基板14沿机械手指宽度方向的边缘与机械手指16a外侧的边缘之间的距离为210mm±5mm，位移传感器12b初始位置位于沿机械手指16a宽度方向的机械手指16a外侧的边缘。第三驱动装置驱动位移传感器12b移动至基板14沿机械手指宽度方向的边缘，并将位移传感器12b移动的位移反馈给控制装置17，控制装置17根据所述位移与所存储的基板目标位置比较，若所述位移在基板目标位置范围之内，则控制装置17不输出移动控制信号；若所述位移不在基板目标位置范围之内，则控制装置17将所述位移与基板目标位置进行比较计算差值，并输出沿机械手指宽度方向的移动控制信号，第一驱动装置13a根据移动控制信号驱动第一基板位置调节装置18a在沿机械手指宽度方向上调节基板14的位置至基板目标位置。

限位传感器12a用于检测基板14沿机械手指16a长度方向是否超出设定位置范围。假设控制装置17中所存储的在沿机械手指16a长度方向上基板目标位置为：限位传感器12a检测不到基板14或者检测到基板14的边缘。若限位传感器12a检测到基板14但不是基板14的边缘，限位传感器12a将信号反馈给控制装置17，控制装置17输出沿机械手指长度方向的移动控制信号，第二驱动装置13b根据移动控制信号驱动第二基板位置调节装置18b在沿机械手指长度方向上调节基板14的位置至基板目标位置；若限位传感器12a检测不到基板或者检测到基板的边缘，则控制装置17不输出移动控制信号。

本实用新型一实施例提供的基板搬运装置的另一种工作方式如下：

假设控制装置17中所存储的在沿机械手指宽度方向上基板目标位置为：基板14沿机械手指16a宽度方向的边缘与机械手指16a外侧边缘之间的距离为210mm±5mm，位移传感器12b初始位置位于沿机械手指宽度方向的机械手指16a外侧的边缘。位移传感器12b能够检测到基板14但不是基板14的边缘为位移传感器12b的触发状态。

例如，每一个位移传感器12b同时沿机械手指16a宽度方向上向基板14的两侧边缘移动209mm，此时，若每一个位移传感器12b处于触发状态，则每一个位移传感器12b继续移动5mm，此时，每一个位移传感器12b由触发状态均变为非触发状态并将信号发送给控制装置17，控制装置17判断得到基板14处于基板目标位置，则不输出移动控制信号；

若其中一个位移传感器12b处于触发状态，另一个位移传感器12b处于非触发状态，触发状态的位移传感器12b机械移动至210mm，以此作为该位移传感器12b移动的初始位置，继续移动直至处于触发状态的位移传感器12b变为非触发状态，将触发状态的位移传感器12b从210mm处移动至非触发状态的位移反馈给控制装置17，控制装置17根据所述位移输出移动控制信号，第一驱动装置13a根据移动控制信号驱动第一基板位置调节装置18a在沿机械手指宽度方向上调节基板14的位置至基板目标位置。

限位传感器12a用于检测基板14沿机械手指16a长度方向是否超出设定位置范围。假设控制装置17中所存储的在沿机械手指16a长度方向上基板目标位置为：限位传感器12a检测不到基板14或者检测到基板14的边缘。若限位传感器12a检测到基板14但不是基板14的边缘，限位传感器12a将信号反馈给控制装置17，控制装置17输出沿机械手指长度方向的移动控制信号，第二驱动装置13b根据移动控制信号驱动第二基板位置调节装置18b在沿机械手指长度方向上调节基板14的位置至基板目标位置；若限位传感器12a检测不到基板或者检测到基板的边缘，则控制装置17不输出移动控制信号。

综上可知，采用本实用新型提供的基板搬运装置，能够调节基板位于机械手指上的位置，可以有效地减少了基板在搬运过程中的破损，从而提高产品的良品率，有效地降低产品的生产成本。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种基板搬运装置，包括：

基座和用于承托基板的至少两根机械手指，每一根机械手指与所述基座固定连接；其特征在于，所述基板搬运装置还包括：

检测设备，用于检测所述基板的位置信息；

控制装置，信号连接所述检测设备，根据所述基板的位置信息及存储的基板目标位置输出移动控制信号；

位置调节装置，所述位置调节装置将基板传送至目标位置。

2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述位置调节装置包括：第一基板位置调节装置和第二基板位置调节装置，所述第一基板位置调节装置可沿机械手指宽度方向传送基板，所述第二基板位置调节装置可沿机械手指长度方向传送基板。

3.如权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置还包括：第一驱动装置，信号连接所述控制装置，根据所述移动控制信号驱动第一基板位置调节装置调节所述基板的位置至沿机械手指宽度方向的目标位置；

第二驱动装置，信号连接所述控制装置，根据所述移动控制信号驱动第二基板位置调节装置调节所述基板的位置至沿机械手指长度方向的目标位置。

4.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述检测设备包括检测基板沿机械手指宽度方向位置信息的位移传感器，以及用于检测基板沿机械手指长度方向是否超出设定位置范围的限位传感器。

5.如权利要求4所述的基板搬运装置，其特征在于，所述基板搬运装置还包括：信号连接所述控制装置的第三驱动装置，所述基座具有沿机械手指宽度方向设置的轨道，所述位移传感器滑动装配于所述轨道上，所述第三驱动装置驱动所述位移传感器移动至基板沿机械手指宽度方向的边缘，所述控制装置根据所述位移传感器移动的位移得到基板沿机械手指宽度方向的偏移距离。

6.如权利要求4所述的基板搬运装置，其特征在于，每一根机械手指分别对应一个位移传感器和一个限位传感器。

7.如权利要求4～6任一所述的基板搬运装置，其特征在于，所述位移传感器为光电传感器。

8.如权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，所述第一基板位置调节装置包括：位于所述基座内沿机械手指宽度方向设置的同步带，以及分别设置在两根机械手指上且与所述同步带相配合的两根滚轴；

所述第一驱动装置驱动所述同步带转动，所述同步带带动所述两根滚轴转动，进而带动所述基板沿机械手指宽度方向移动。

9.如权利要求3所述的基板搬运装置，其特征在于，所述第一基板位置调节装置包括：位于所述基座内沿机械手指宽度方向设置的齿条，以及分别设置在两根机械手指上且与所述齿条相配合的两根齿轮轴；

所述第一驱动装置驱动所述齿条转动，所述齿条带动所述两根齿轮轴转动，进而带动所述基板沿机械手指宽度方向移动。

10.如权利要求8或9所述的基板搬运装置，其特征在于，所述第二基板位置调节装置包括：分别对应所述两根机械手指且沿机械手指长度方向设置的两根丝杠，以及分别位于所述两根机械手指上且套设于所述丝杠上的丝杠套；

所述第二驱动装置驱动所述两根丝杠转动，所述两根丝杠带动所述丝杠套移动，进而带动所述基板沿机械手指长度方向移动。

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