CN203310455U - 气体质量流量控制器的传感器 - Google Patents

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苏乾益
李凯
宋志辉
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Beijing Sevenstar Flow Co Ltd
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BEIJING SEVENSTAR QUALIFLOW ELECTRONIC EQUIPMENT MANUFACTURING Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种气体质量流量控制器的传感器，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过传感器底座上的两个通孔，传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在传感管的中间位置，外壳装在传感器底座上并用螺钉连接固定。电缆线装在外壳内并用胶水粘接固定，两组传感丝与电缆线上的四个端子焊接固定。外壳背面的孔内依次装有第一保温棉和堵块，堵块与外壳之间用胶水粘接固定。外壳的正面依次设有第二保温棉和盖板，盖板与外壳之间用螺钉固定。盖板与传感器底座之间用螺钉固定。结构简单、易于制造、低成本、可靠性高。

Description

气体质量流量控制器的传感器
技术领域
本实用新型涉及一种气体质量流量控制器，尤其涉及一种气体质量流量控制器的传感器。
背景技术
传感器是气体质量流量控制器上一个关键部件，它的性能对气体质量流量控制器的整体性能有很大的影响。
现有技术中的质量流量传感器存在着诸多的缺点。首先，现有的质量流量传感器内部的零部件数量较多，体积较大，制作工艺很复杂，生产制造成本高；其次，在实际使用过程中出现诸多的问题如：传感器内部短路，零漂大，抗干扰能力差，对安装位置很敏感，重复精度差，响应时间长和传感丝易断等缺点。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、易于制造、低成本、可靠性高的气体质量流量控制器的传感器。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：
本实用新型的气体质量流量控制器的传感器，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过所述传感器底座上的两个通孔，所述传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在所述传感管的中间位置，所述外壳装在所述传感器底座上并用螺钉连接固定。
由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的气体质量流量控制器的传感器，由于包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于外壳的槽内且传感管的两端分别穿过传感器底座上的两个通孔，传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在传感管的中间位置，外壳装在传感器底座上并用螺钉连接固定，结构简单、易于制造、低成本、可靠性高。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的气体质量流量控制器的传感器的拆分状态示意图；
图2为本实用新型实施例提供的气体质量流量控制器的传感器的外形结构示意图；
图3为图2的A－A向剖视结构示意图。
具体实施方式
下面将对本实用新型实施例作进一步地详细描述。
本实用新型的气体质量流量控制器的传感器，其较佳的具体实施方式是：
包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过所述传感器底座上的两个通孔，所述传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在所述传感管的中间位置，所述外壳装在所述传感器底座上并用螺钉连接固定。
电缆线装在所述外壳内并用胶水粘接固定，所述两组传感丝与所述电缆线上的四个端子焊接固定。
所述外壳背面的孔内依次装有第一保温棉和堵块，所述堵块与外壳之间用胶水粘接固定。
所述外壳的正面依次设有第二保温棉和盖板，所述盖板与外壳之间用螺钉固定。
所述盖板与所述传感器底座之间用螺钉固定。
本实用新型的气体质量流量控制器的传感器，能够克服现有的质量流量传感器所存的缺点，使传感器具有结构简单、易于制造、低成本和可靠性高等优点。
具体实施例：
如图1、图2、图3所示，包括传感器底座1、堵块2、第一保温棉3、外壳4、传感管5、电缆线6、第二保温棉7、盖板8、胶水9、传感丝10等。
两组传感丝10绕在传感管5的中间位置.
将已绕传感丝的传感管5穿过传感器底座1的孔，传感管5与传感器底座1之间用胶水粘接固定。
外壳4装在传感器底座1上，并且传感管5置于外壳4的槽内。外壳4与传感器底座1之间用螺钉连接固定。
电缆线6装在外壳4内，并用胶水粘接固定。
两组传感丝10与电缆线6上的四个端子进行焊接。
第一保温棉3装进外壳4的孔内，再将堵块2装进外壳4的孔内，堵块2与外壳4之间用胶水粘接固定。
第二保温棉7置于外壳4的正面。盖板8置于第二保温棉7前面，盖板8与外壳4之间用螺钉固定。同时，盖板8与传感器底座1也用螺钉固定。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过所述传感器底座上的两个通孔，所述传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在所述传感管的中间位置，所述外壳装在所述传感器底座上并用螺钉连接固定。
2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，电缆线装在所述外壳内并用胶水粘接固定，所述两组传感丝与所述电缆线上的四个端子焊接固定。
3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述外壳背面的孔内依次装有第一保温棉和堵块，所述堵块与外壳之间用胶水粘接固定。
4.根据权利要求3所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述外壳的正面依次设有第二保温棉和盖板，所述盖板与外壳之间用螺钉固定。
5.根据权利要求4所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述盖板与所述传感器底座之间用螺钉固定。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106768113A (zh) * 2016-12-09 2017-05-31 北京七星华创电子股份有限公司 一种流体输送测量装置
CN110727294A (zh) * 2018-07-17 2020-01-24 北京七星华创流量计有限公司 流体传感器及质量流量控制器
CN112816011A (zh) * 2020-12-22 2021-05-18 北京七星华创流量计有限公司 一种流体测量传感器及质量流量控制器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106768113A (zh) * 2016-12-09 2017-05-31 北京七星华创电子股份有限公司 一种流体输送测量装置
CN110727294A (zh) * 2018-07-17 2020-01-24 北京七星华创流量计有限公司 流体传感器及质量流量控制器
CN112816011A (zh) * 2020-12-22 2021-05-18 北京七星华创流量计有限公司 一种流体测量传感器及质量流量控制器
WO2022135134A1 (zh) * 2020-12-22 2022-06-30 北京七星华创流量计有限公司 流体测量传感器及质量流量控制器

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