CN203281546U - 硅片鼓泡清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片鼓泡清洗装置，包括清洗槽、托盘、通气管、连接管、止回阀和气泵，所述清洗槽的内壁设有环形凸起，所述托盘安装在所述环形凸起上，所述通气管安装在所述清洗槽的底部，所述通气管绕成螺旋形，所述通气管的表面开设有通气孔，所述通气管的一端密封且另一端连接所述连接管，所述连接管连接所述气泵，所述止回阀串接在所述连接管上。本实用新型硅片鼓泡清洗装置，清洗效果好且效率高，减少了清洗时间，节约了水的使用量，且在清洗过程中能防止杂质进入。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片清洗装置，特别涉及一种硅片鼓泡清洗装置。
背景技术
在硅基板太阳能电池生产过程中，需要使用硅片作为电池的基体材料，为了增加对太阳能光的吸收，需要对硅片表面进行绒面处理，即利用酸性液或碱性液对硅片表面进行腐蚀从而形成绒面。在绒面形成后，还需要对硅片表面进行清洗，传统的清洗装置清洗效果差，且容易将杂质带入。
实用新型内容
（一）要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗效果好且不易将杂质带入的硅片鼓泡清洗装置。
（二）技术方案
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片鼓泡清洗装置，包括清洗槽1、托盘2、通气管5、连接管7、止回阀8和气泵10，所述清洗槽1的内壁设有环形凸起3，所述托盘2安装在所述环形凸起3上，所述通气管5安装在所述清洗槽1的底部，所述通气管5绕成螺旋形，所述通气管5的表面开设有通气孔6，所述通气管5的一端密封且另一端连接所述连接管7，所述连接管7连接所述气泵10，所述止回阀8串接在所述连接管7上。
进一步的，还包括过滤器9，所述过滤器9串接在所述连接管7上，且所述过滤器9位于所述气泵10与所述止回阀8之间。
进一步的，所述通气孔6的直径大于等于2mm且小于等于3mm。
（三）有益效果
本实用新型硅片鼓泡清洗装置，清洗效果好且效率高，减少了清洗时间，节约了水的使用量，且在清洗过程中能防止杂质进入。
附图说明
图1为本实用新型硅片鼓泡清洗装置的结构示意图；
图2为本实用新型硅片鼓泡清洗装置的通气管的结构示意图。
具体实施方式
参阅图1～图2，本实用新型提供一种硅片鼓泡清洗装置，包括清洗槽1、托盘2、通气管5、连接管7、止回阀8和气泵10，在清洗槽1的内壁设有环形凸起3，托盘2安装在环形凸起3上，通气管5安装在清洗槽1的底部，该通气管5绕成螺旋形，在通气管5的表面开设有通气孔6，本实施例中，该通气孔6的直径大于等于2mm且小于等于3mm，优选的为2.5mm，通气管5的一端密封且另一端连接连接管7，连接管7连接气泵10，止回阀8串接在连接管7上；为了防止杂质进入，本实施例中还包括过滤器9，该过滤器9串接在连接管7上，且位于气泵10与止回阀8之间。
本实用新型硅片鼓泡清洗装置，清洗效果好且效率高，减少了清洗时间，节约了水的使用量，且在清洗过程中能防止杂质进入。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：包括清洗槽（1）、托盘（2）、通气管（5）、连接管（7）、止回阀（8）和气泵（10），所述清洗槽（1）的内壁设有环形凸起（3），所述托盘（2）安装在所述环形凸起（3）上，所述通气管（5）安装在所述清洗槽（1）的底部，所述通气管（5）绕成螺旋形，所述通气管（5）的表面开设有通气孔（6），所述通气管（5）的一端密封且另一端连接所述连接管（7），所述连接管（7）连接所述气泵（10），所述止回阀（8）串接在所述连接管（7）上。
2.如权利要求1所述的硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：还包括过滤器（9），所述过滤器（9）串接在所述连接管（7）上，且所述过滤器（9）位于所述气泵（10）与所述止回阀（8）之间。
3.如权利要求1所述的硅片鼓泡清洗装置，其特征在于：所述通气孔（6）的直径大于等于2mm且小于等于3mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013203126924U CN203281546U (zh) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 硅片鼓泡清洗装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2013203126924U CN203281546U (zh) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 硅片鼓泡清洗装置 |
Publications (1)
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Family
ID=49537920
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2013203126924U Expired - Fee Related CN203281546U (zh) | 2013-05-31 | 2013-05-31 | 硅片鼓泡清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203281546U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2013-05-31 CN CN2013203126924U patent/CN203281546U/zh not_active Expired - Fee Related
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| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20131113 Termination date: 20170531 |