CN203241563U - 偏振元件单元以及偏振光照射装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供偏振元件单元以及偏振光照射装置。所述偏振元件单元，具有：线栅偏振元件；第一框架，保持线栅偏振元件；以及第二框架，保持第一框架，在第二框架上设置有调整机构，该调整机构通过使第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向。所述偏振光照射装置，包括：上述偏振元件单元；以及光源，通过偏振元件单元所具有的线栅偏振元件向工件照射偏振光。

Description

偏振元件单元以及偏振光照射装置

技术领域

本申请的实用新型涉及用于照射偏振光的偏振元件单元以及使用偏振元件单元来照射偏振光的偏振光照射装置。

背景技术

在获得液晶板的定向膜或使用紫外线硬化型液晶的视角补偿膜的定向层等所用的定向处理中，采用通过向工件照射紫外线区域的偏振光而进行定向的光定向技术。以下，在本说明书中，将用光进行定向总称为光定向，将用光进行定向处理过的膜或层总称为光定向膜。另外，“定向”是指对于对象物的某些性质赋予方向性。

液晶板中所使用的光定向膜随着液晶板的大型化而大型化，伴随于此，照射偏振光的偏振光照射装置也大型化。例如视角补偿膜用的工件是带状并且较长的工件，在光定向处理后被切断成期望的长度来使用。最近，相应于液晶板的大小，工件也变大，其宽度是2000mm～3000mm左右。为了对于这样的宽幅并且带状的长工件进行光定向，提出了如例如专利文献1（日本专利第4506412号）所示那样地、将棒状的灯与线栅偏振元件的偏振光照射装置。

线栅偏振元件具有如下结构：在让利用的光（偏振光）透射的玻璃基板上形成有栅格。栅格具有如下图案（线和空间；Line-And-Space）：在设置空间的同时平行地形成多条在一定的方向上延伸的导电性或者半导电性的线。在射入的光当中，与栅格的长度方向平行的偏振成分的大部分被反射或被吸收，并且与栅格的长度方向正交的偏振成分透射。因此，透射线栅偏振元件后的光变成在与栅格的长度方向正交的方向上具有偏振轴的偏振光。在例如专利文献2（日本特开2002-328234号公报）、专利文献3（日本特表2003-508813号公报）中示出了这样的线栅偏振元件的详细。

如专利文献1中也记载的那样，制作大型的线栅偏振元件是困难的。因此，作为应对工件大型化的方法，开发了将多个线栅偏振元件单元化的技术。偏振元件单元具有如下结构：在框架内排列并保持多个线栅偏振元件。

当采用了如上所述的排列了多个线栅偏振元件的结构时，各线栅偏振元件的栅格的方向需要固定地对齐（一定に揃っている）。在不固定地对齐时，从各线栅偏振元件射出的偏振光的偏振轴将变得零乱，对工件的光定向处理也产生偏差。因此，如专利文献1所示，设置调整各线栅偏振元件的朝向的机构。

现有技术文献（专利文献）

专利文献1：日本专利第4506412号公报

专利文献2：日本特开2002-328234号公报

专利文献3：日本特表2003-508813号公报

当如专利文献1所示那样地采用调整各线栅偏振元件的朝向的机构时，可以采用使调整用的弹簧触碰在各线栅偏振元件上的机构。即，使各弹簧触碰在方形的板状的线栅偏振元件的一个边的两端附近。而且，使承受销触碰在相反侧的边的中间。通过使调整用的弹簧的一方转动使其前进并使另一方后退，由此使承受销的前端成为中心从而线栅偏振元件稍稍旋转，并且线栅偏振元件的朝向发生变化。对于各线栅偏振元件设置这样的调整机构，并分别调整各线栅偏振元件的朝向。

但是，如果在为如上所述地使调整用弹簧或承受销直接触碰线栅偏振元件的结构时，由于向线栅偏振元件施加直接力，所以容易产生变形。特别的，线栅偏振元件的基板是玻璃，在如上所述地施加力时容易产生变形。在线栅偏振元件变形时，射出的偏振光的偏振轴的朝向根据场所而不同，在光照射面中的偏振光的偏振轴上产生偏差。

实用新型内容

本件实用新型是为了解决上述课题而做出的，其目的在于在调整线栅偏振元件的朝向时，防止线栅偏振元件的变形，并避免在光照射面中产生偏振轴的偏差。

为了解决上述课题，本申请的技术方案1所述的实用新型具有如下结构：具有：线栅偏振元件；

第一框架，保持线栅偏振元件；以及

第二框架，保持第一框架，

在第二框架上设置有调整机构，该调整机构通过使第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向。

另外，为了解决上述课题，技术方案2所述的实用新型具有如下结构：在上述技术方案1的结构中，上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面形成比上述线栅偏振元件大的空间，在此侧壁面与上述线栅偏振元件之间存在由弹性体构成的缓冲件，通过此缓冲件，上述第一框架中的上述线栅偏振元件的位置得以保持。

另外，为了解决上述课题，技术方案3所述的实用新型具有如下结构：在上述技术方案1或2的结构中，上述线栅偏振元件是具有角部的形状，上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面具有形成与此角部同一角度的角部，通过使上述线栅偏振元件的角部与上述第一框架的角部抵接来保持上述线栅偏振元件相对于上述第一框架的朝向。

另外，为了解决上述课题，技术方案4所述的实用新型具有如下结构：在上述技术方案1至3中的任一结构中，上述第二框架保持多个第一框架，各第一框架只保持一个上述线栅偏振元件，对于各第一框架设置上述调整机构，上述调整机构能够独立地调整各线栅偏振元件的朝向。

另外，为了解决上述课题，技术方案5所述的实用新型具有如下结构：在上述技术方案1至4中的任一结构中，上述调整机构在上述第一框架抵接于上述第二框架的状态下使上述第一框架的姿势发生变化。

另外，为了解决上述课题，技术方案6所述的实用新型具有如下结构：在上述技术方案1至5中的任一结构中，上述调整机构具有：轴销，相对于上述线栅偏振元件的栅格延长的面而垂直；以及调整销，推压上述第一框架，以便以轴销为中心旋转上述第一框架。

另外，为了解决上述课题，技术方案7所述的实用新型具有如下结构：包括：上述技术方案1至6中的任一项所述的偏振元件单元；以及光源，通过偏振元件单元所具有的线栅偏振元件向工件照射偏振光。

实用新型的效果

如以下说明，通过本申请的技术方案1所述的实用新型，由于具有通过使保持线栅偏振元件的第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向的结构，所以在调整时不会产生线栅偏振元件的变形。因此，照射面中的偏振光的偏振轴不产生偏差，能够进行面内均匀性高的光定向处理。

另外，通过技术方案2所述的实用新型，除上述效果以外，由于在第一框架的侧壁面与线栅偏振元件之间设置有由弹性体构成的缓冲件，所以线栅偏振元件的位置被稳定地保持。因此，能够稳定且均匀性良好地进行光定向处理。

另外，通过技术方案3所述的实用新型，除上述效果以外，线栅偏振元件的角部相对于第一框架的侧壁面所成的角部而抵接，所以线栅偏振元件的朝向维持在稳定的状态。因此，提高了借助第一框架的间接的朝向调整的有效性。

另外，通过技术方案4所述的实用新型，除上述效果之外，由于各第一框架只保持一个线栅偏振元件，并且能够对于各个线栅偏振元件独立地调整朝向，所以能够细致地修正各线栅偏振元件的朝向的偏差。因此，能够容易地进行偏振轴的偏差更少的偏振光照射。

另外，通过技术方案5所述的实用新型，除上述效果之外，由于在第一框架抵接于第二框架的状态下使第一框架的姿势发生变化，所以防止有害物质进入或维持朝向调整的完成状态变得容易。

另外，通过技术方案6所述的实用新型，不仅得到上述技术方案1至5中的任一项所述的实用新型的效果，还能够向工件照射偏振光。

附图说明

图1是本件实用新型的实施方式涉及的偏振光照射装置的立体概略图。

图2是表示图1的装置所搭载的光照射部的结构的侧面剖视概略图。

图3是图1所示的偏振元件单元的俯视概略图。

图4是表示图1所示的偏振元件单元的组装的立体概略图。

图5是表示图1所示的偏振元件单元中的各线栅偏振元件的保持结构的俯视概略图。

图6是示意地表示利用图3以及图4所示的调整机构的调整的俯视图。

图7是表示各销的配置的其他例子的俯视概略图。

符号说明

11灯

12反射镜

20散热器

60灯罩

70光照射口

80偏振元件单元

81线栅偏振元件

811缓冲件

82第一框架

821销用孔

83第二框架

84遮光板

91调整销

92承受销

93轴销

具体实施方式

接下来，说明用于实施本件实用新型的方式（以下，实施方式）。

图1是本件实用新型的实施方式涉及的偏振光照射装置的立体概略图。图1所示的偏振光照射装置具有本件实用新型的实施方式涉及的偏振元件单元。此装置构成为具有：输送机构，输送工件W；以及光照射部10等，该光照射部10对于输送的工件W照射偏振光。在图1中，工件W是例如视角补偿膜用的带状的长的工件，被从送出辊R1送出，一边向图中箭头方向输送一边通过偏振光照射而进行光定向处理，并通过卷绕辊R2卷绕。

图2是表示图1的装置所搭载的光照射部10的结构的侧面剖视概略图。图2是工件W的输送方向上的剖视概略图。如图2所示，装置具有：光源；以及偏振元件单元80，具有线栅偏振元件81，该线栅偏振元件81使来自此光源的光偏振。

光源放射出光定向所需的波长的光。为了向工件W的宽度方向较长的图案照射光，使用棒状的灯11作为光源。在本实施方式中，由于用紫外区的光进行光定向，所以使用高压水银灯或在水银中加入其它金属的金属卤化物灯等。也可以排列多个放射出紫外区的所需的波长的光的LED来得到长的照射图案。另外，棒状的灯11以其长度方向是工件W的宽度方向的方式配置。在相对于宽度方向垂直的水平方向上输送工件W。

为了覆盖灯11而设置有流槽形（樋状）的反射镜12。反射镜12通过使来自灯11的光折返并使之朝向工件W来提高光的利用效率。如图1所示，来自灯11的光有的直接朝向工件W，有的由反射镜12反射而朝向工件W。在本实施方式中，使用反射面的剖视形状形成抛物面的结构（流槽形抛物面镜）作为流槽形的反射镜12。另外，有时也使用反射面的剖视形状形成椭圆面的结构（流槽形椭圆聚光镜）。

另外，为了解决由于来自灯11的光而产生的热的问题，采用如下对收容了灯11等的外壳（以下，称为灯罩）60内进行冷却的构造。如图1所示，反射镜12是左右一对。左右反射镜12在上部分离，并在灯11的上侧形成通风用的缝隙。在缝隙的上方设置散热器20，并在其上设置送风机30。在送风机30动作时，如图1虚线箭头所示那样、风通过散热器20流动，并冷却灯罩60内。

冷却的目的除抑制灯11自身的温度上升之外，还在于冷却灯罩60内的各构件，或使灯罩60的表面不热至限度以上。另外，除了通过冷却线栅偏振元件81来防止热的损伤的目的之外，还有防止由于线栅偏振元件81变成高温而使得工件W通过其辐射热被异常加热的目的。

为了使线栅偏振元件81位于灯11与工件W之间而设置偏振元件单元80。图3是图1所示的偏振元件单元80的俯视概略图。另外，图4表示图1所示的偏振元件单元80的组装的立体概略图。

如图3以及图4所示，偏振元件单元80具有：线栅偏振元件81；第一框架82，保持线栅偏振元件81；以及第二框架83，保持第一框架82。在本实施方式中，对应于工件W的大型化，采用了排列了多个线栅偏振元件81的结构。排列线栅偏振元件81的方向是工件W的宽度方向。

另外，如图3以及图4所示，为了堵住各第一框架82的邻接处的间隙而设置有遮光板84。遮光板84是避免不经过线栅偏振元件81的光（非偏振光）向工件W照射而遮光的结构。

图5是表示偏振元件单元80中的各线栅偏振元件81的保持结构的俯视概略图。如图5所示，用一个第一框架82保持一个线栅偏振元件81。

如图5所示，线栅偏振元件81是方形的板状。第一框架82是方形的框状（镜框状）。第一框架82的各边的剖视形状是L字形，并具有台阶。线栅偏振元件81在落入到此台阶的状态下被保持。线栅偏振元件81比第一框架82所形成的方形的开口大，并在封闭开口的状态下保持。从线栅偏振元件81射出的偏振光穿过此开口并照射工件W。

另外，第一框架82是方形的框状不具有必然性，但至少需要是使从线栅偏振元件81射出的偏振光通过并到达工件W的形状。

另外，由于第一框架82是避免对于线栅偏振元件81直接地作用力来进行朝向调整的问题的结构，所以为了在调整时不产生变形等而希望是刚性高的材质。例如，用不锈钢或铝等金属形成第一框架82。

在第一框架82中，形成台阶的侧壁面形成比线栅偏振元件81稍大的剖视方形的空间。线栅偏振元件81在使角部与第一框架82的相邻的两个边的侧壁面所构成的一个角部抵接的状态下被保持。

而且，如图5所示，为了在第一框架82的其他两个边的侧壁面与线栅偏振元件81之间形成的间隙中不松动地稳定地保持线栅偏振元件81，而存在缓冲件811。采用弹性体作为缓冲件811，在本实施方式中使用板簧。如图5所示，板簧是蛇行状地弯曲的形状，将线栅偏振元件81的端面与各侧壁面的空间填充并使线栅偏振元件81的姿势稳定化。在使用铝或者不锈钢等金属制的弹簧作为板簧时，由于不会产生由紫外线引起的劣化所以是优选。

保持各个线栅偏振元件81的第一框架82在第二框架83内排列，并用第二框架83保持。第二框架83作为整体也是方形的框状。但是，由于一列地排列并保持多个线栅偏振元件81，所以如图3所示，呈细长的方形。第二框架83的长度方向是灯11的长度方向，并且是工件W的宽度方向。第二框架83的宽度方向是工件W的输送方向。

如图2所示，第二框架83的框的一边的剖视形状也是L字形。在第二框架83中，在宽度方向观察到的两侧的框的内缘的分离间隔比第一框架82的宽度小。在第二框架83的宽度方向观察到的台阶的侧壁面的分离间隔比第一框架82的宽度大。第一框架82在落入到第二框架83的台阶的状态下排列，并被第二框架83所保持。另外，第二框架83也是不锈钢或铝等金属制。

在各线栅偏振元件81射出的偏振光在第二框架83所成的长方形的开口830（如图3所述）穿过并照射到工件W。另外，第二框架83的开口830通过保持线栅偏振素82的第一框架82以及遮光板84来封闭。关于第二框架83，为方形的框状也不具有必然性，但同样地至少需要是使从各线栅偏振元件81射出的偏振光通过并到达工件W的形状。

在各线栅偏振元件81上设置有调整各线栅偏振元件81的朝向的调整机构。各偏振元件的朝向的调整除了有如上所述地使各线栅偏振元件81的栅格在一个方向上对齐的调整之外，还有采用相对于工件W的相对的朝向并使之在规定的方向上对齐的调整。在本实施方式中，调整机构并不使构件直接触碰各线栅偏振元件81，而是通过改变第一框架82的姿势来间接地调整各线栅偏振元件81的朝向的机构。

对于第一框架82分别设置调整机构。即，第一框架82被设为能够通过各调节机构各自独立地变更姿势。各调节机构相应于各第一框架82的配置位置在第二框架83上以规定间隔设置。

如图3以及图4所示，各调整机构主要构成为具有：调整销91；承受销92；以及轴销93。调整销91装配在第二框架83的长度方向的一个边上。承受销92装配在长度方向的另一个边上。调整销91与承受销92在第二框架83的宽度方向上是相对的状态。调整销91以及承受销92固定在台座911、921上，各台座911、921固定在第二框架83上。

轴销93是为了调整而使第一框架82能够绕垂直的轴旋转的结构。轴销93是圆柱状，被固定在与装配了承受销92的边相同的边。另一方面，如图4所示，在第一框架82的下表面上形成有水平剖视形状是圆形的销用孔821。销用孔821形成在第一框架82的一个角部上。销用孔821是贯通第一框架82的孔，但也可以是轴销93的高度以上的深度。

如图4所示，保持线栅偏振元件81的第一框架82在轴销93嵌入到销用孔821的状态下载置于第二框架83上。这时，如图3所示，调整销91与承受销92是沿着第一框架82的宽度方向的边（与设置有销用孔821的边相反一侧的边）对置的状态。为了成为这样的状态，设定了调整销91、承受销92、轴销93的各装配位置。

图6是示意地表示利用图3以及图4所示的调整机构的调整的俯视图。在本实施方式中，调整销91是精密螺丝，承受销92是柱塞。在使调整销91旋转前进时，调整销91的前端将第一框架82稍稍推出。由此，如图6的箭头A1所示，第一框架82以轴销93为中心顺时针地稍稍旋转。在反向旋转调整销91而使之后退时，如图6的箭头A2所示，通过承受销92内的弹簧的作用，第一框架82逆时针地稍稍旋转。通过这样的微小角度的旋转，变更第一框架82的姿势，并调整保持的线栅偏振元件81的朝向。各调整机构是同样的结构，通过对各个调整销91进行操作，独立地调整各线栅偏振元件81的朝向。

另外，上述调整时，第一框架82的下表面与第二框架83的上表面抵接，第一框架82一边在第二框架83上滑动一边变更姿势。在使第一框架82从第二框架83浮起的状态下调整位置，由于没有摩擦所以具有调整变得容易的一面，但在进行光定向处理时希望第一框架82抵接第二框架83。这是因为，在进行光定向处理的液晶制造处理等中，在洁净室内存在硅氧烷化合物那样的有害的物质是周知的，在这样的物质进入灯罩内时，产生反射镜的白浊等污损。为了防止有害物质的进入，希望第一框架82抵接第二框架83。还有在漂浮的状态下进行调整后使第一框架82下降并抵接的方法，但当在下降时朝向偏离时，没有了调整的意义。因此，希望一边使第一框架82抵接第二框架83一边调整，并直接原样地保持调整后的朝向。

如上所述，线栅偏振元件81的调整是为了使栅格的方向朝向期望的方向的调整。这时，也考虑到了一边用显微镜观察栅格的朝向一边进行调整，但如日本特开2007-127567号公报所公开的那样、对在线栅偏振元件81透射出来的偏振光的偏振轴的朝向进行观测并以使该方向是期望的朝向的方式进行调整是实用的。因为调整的最终目的是使照射面上的偏振光的偏振轴在期望的朝向上对齐。

上述偏振元件单元80被预组装并搭载在偏振光照射装置上。在组装时，对于各线栅偏振元件81进行上述调整。为了调整，需要成为某一基准的方向。对于此，可以选择例如第二框架83的侧面831的长度方向。线性良好地事先制作侧面831，并以此侧面831的长度方向为基准进行各线栅偏振元件81的朝向调整。即，进行各线栅偏振元件81的朝向调整，以使在照射面的各点观测的偏振光的偏振轴相对于侧面831的长度方向为规定的朝向。

这样，通过相对于工件W在规定的朝向配置结束各线栅偏振元件81的调整后的偏振元件单元80，能够通过没有偏振轴的偏差的偏振光照射进行面内均匀性高的光定向处理。例如，当要在工件W的宽度方向上进行光定向处理时，可以在如上所述地为了使偏振光的偏振轴是第二框架83的侧面831的长度方向而预先调整各线栅偏振元件81的朝向，并且为了使第二框架83的侧面831的长度方向与工件W的宽度方向一致而精度良好地在装置上搭载偏振元件单元80。

如上所述，为了使工件W通过灯罩60的下方而对其进行输送，这时，对于工件W照射偏振光，并实施光定向处理。根据情况，有时到达途中的长度位置对工件W进行了处理后，改变各偏振元件81的朝向，并在不同的朝向进行光定向处理。这时，在从装置拆卸偏振元件单元80之后，从第二框架83对于每个第一框架82拆卸各线栅偏振元件81，改变朝向并重新设置。不言而喻，这时，再进行一次如上所述的调整。

通过实施方式的偏振元件单元80，由于具有通过使保持线栅偏振元件81的第一框架82的姿势发生变化来调整线栅偏振元件81的朝向的调整机构，所以在调整时不产生线栅偏振元件81的变形。因此，照射面中的偏振光的偏振轴不产生偏差，能够进行面内均匀性的高的光定向处理。

另外，由于在第一框架82的侧壁面与线栅偏振元件81之间设置有由弹性体构成的缓冲件811，所以线栅偏振元件81的位置得以稳定地保持。因此，能够稳定地均匀性良好地进行光定向处理。

另外，与线栅偏振元件81同样地，第一框架82的侧壁面所成的形状是方形、并且线栅偏振元件81的角部相对于侧壁面所成的角部而抵接的结构具有将线栅偏振元件81的朝向维持在稳定的状态的意义。即使如上所述地通过调整机构调整第一框架82的朝向，在线栅偏振元件81相对于第一框架82的朝向在各个时刻都发生变化时，调整也变得没有意义。使线栅偏振元件81的角部抵接于第一框架82的角部的结构使线栅偏振元件81相对于第一框架82的相对朝向不变，由此能够使借助第一框架82的间接的朝向调整的有效性更高。另外，由于线栅偏振元件81是方形，因此侧壁面形成90度，但当线栅偏振元件81是其他的形状例如是正三角形时，侧壁面成60度。

另外，在本实施方式中，由于一个第一框架82仅保持一个线栅偏振元件81，并能够对于各个独立地调整朝向，所以能够细致地修正各线栅偏振元件81的朝向的偏差。因此，能够容易地进行偏振轴的偏差更少的偏振光照射。

还可以采用如下结构：一个第一框架82保持两个或者两个以上的线栅偏振元件81，并对于这种第一框架82进行姿势变更。这时，能够对于多个线栅偏振元件81一起进行朝向的调整，所以具有能够节省调整的时间的优点。但是，对于这多个线栅偏振元件81，需要预先通过某些手段对齐栅格的方向。在不对齐时，由于直接关系到照射面中的偏振轴的偏差，所以用上述调整机构不能够修正该偏差。在此意义下，一个第一框架82仅保持一个线栅偏振元件81并能够对于各个独立地调整朝向的结构的优点是显著的。

另外，线栅偏振元件81以垂直的轴销93为中心旋转这点对于充分地抑制偏振轴的偏差是优选的。调整的目的在于线栅偏振元件81中的栅格的长度方向的朝向的调整。因此，需要一边形成形成有栅格的面（以下，栅格面）位于同一面上的状态，一边变更线栅偏振元件81的朝向。因此，希望设定相对于栅格面垂直的旋转轴并使线栅偏振元件81绕该轴旋转。

如专利文献1所述，即使使销触碰在端面的三个位置并将其中一个位置作为支承销而在残留的两个位置进行销的推拉（突き引き），也能够进行朝向的调整。但是，这时，在三个销的触碰位置不在与栅格面平行的面内时，在调整时变为线栅偏振元件被推动的状态，栅格面比调整前变得倾斜。这时，由于栅格面变成相对于光轴倾斜的状态，所以为了充分地抑制偏振轴的偏差的调整变得困难。另一方面，由于绕相对于栅格面垂直的轴销93旋转而进行调整的结构，由于栅格面不会被推动，所以为了充分地抑制偏振轴的偏差的调整是容易的。

在上述实施方式中，调整销91是精密螺丝并且承受销92是柱塞，但有时也采用如下结构：用一对螺丝进行绕轴销93的旋转。这时，使一方的螺丝旋转而使之前进同时使另一方螺丝反向旋转而使之后退，来使第一框架82的姿势发生变化。

另外，也可以是如下结构：在第一框架82上设置轴销93，并在第二框架83上设置销用孔821。例如，在第一框架82的角部的下表面上设置轴销并使其向下方垂直地突出，并在第二框架83上设置嵌入该轴销的销用孔。

另外，各销的配置并不限定于上述位置。使用图7说明各销的配置的其他例子。图7是表示各销的配置的其他例子的俯视概略图。如图7所示，还可以是如下结构：在第一框架82的各边当中的、沿着第二框架83的长度方向的一方的边的中央形成销用孔并嵌入轴销93，并调整销91和承受销92在另一方的边的两端附近戳在第一框架82上。

Claims (7)

1.一种偏振元件单元，其特征在于，具有：

线栅偏振元件；

第一框架，保持线栅偏振元件；以及

第二框架，保持第一框架，

在第二框架上设置有调整机构，该调整机构通过使第一框架的姿势发生变化来调整线栅偏振元件的朝向。

2.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面形成比上述线栅偏振元件大的空间，在此侧壁面与上述线栅偏振元件之间存在由弹性体构成的缓冲件，通过此缓冲件，上述第一框架中的上述线栅偏振元件的位置得以保持。

3.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述线栅偏振元件是具有角部的形状，上述第一框架具有侧壁面，该侧壁面具有与此角部形成同一角度的角部，通过使上述线栅偏振元件的角部与上述第一框架的角部抵接来保持上述线栅偏振元件相对于上述第一框架的朝向。

4.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述第二框架保持多个第一框架，各第一框架只保持一个上述线栅偏振元件，对于各第一框架设置上述调整机构，上述调整机构能够独立地调整各线栅偏振元件的朝向。

5.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述调整机构在上述第一框架抵接于上述第二框架的状态下使上述第一框架的姿势发生变化。

6.如权利要求1所述的偏振元件单元，其特征在于，

上述调整机构具有：轴销，相对于上述线栅偏振元件的栅格延伸的面而垂直；以及调整销，推压上述第一框架，以便上述第一框架以轴销为中心旋转。

7.一种偏振光照射装置，其特征在于，具有：

权利要求1中所述的偏振元件单元；以及

光源，通过偏振元件单元所具有的线栅偏振元件向工件照射偏振光。

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