CN203013688U

CN203013688U - 一种移动式密封装置

Info

Publication number: CN203013688U
Application number: CN 201220652756
Authority: CN
Inventors: 徐俊成; 高�浩; 李伟; 贾星杰; 孙文婷
Original assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Current assignee: North China Science And Technology Group Ltd By Share Ltd; Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2012-11-30
Filing date: 2012-11-30
Publication date: 2013-06-19
Anticipated expiration: 2022-11-30

Abstract

本实用新型提供一种移动式密封装置，该密封装置包括：移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。本实用新型提供的移动式密封装置安装在工艺腔室开口处，在机械手进入工艺腔室之前，该密封装置移动到最低位置，以使机械手能够进入工艺腔室中对硅片进行抓取与放置，在机械手退出工艺腔室后，使用该密封装置对工艺腔室进行及时密封。利用本实用新型提供的移动式密封装置对工艺腔室进行密封，能够使工艺腔室内部放置的硅片的周围微环境与外界环境做到更好的隔离，从而保证工艺腔室内部的洁净等级，使设备达到更高的工艺要求。

Description

一种移动式密封装置

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造工艺领域，具体涉及一种移动式密封装置。

背景技术

随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。在集成电路清洗工艺过程中，对于工艺腔室内部的微环境有较高的要求，为了保证一个良好的内部微环境，需要对硅片周围的工艺腔室进行密封，以使硅片与周围的环境进行隔绝。但是同时，在机械手对硅片进行抓取与放置的过程中，又不可避免的会使工艺腔室与外部环境连通。为使硅片在清洗的过程中尽可能的减小外部环境对其的影响，在硅片放置完毕后，应该对工艺腔室进行及时的密封，以保证工艺腔室的工艺要求。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种在机械手进入工艺腔室中对硅片进行抓取与放置并退出工艺腔室之后，能够及时对工艺腔室进行密封的移动式密封装置。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种移动式密封装置，该密封装置包括：移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。

进一步，所述驱动装置为气缸。

再进一步，所述气缸上设有能够上下移动的滑块。

其中，该密封装置还包括连接件；所述移动式密封板通过连接件与气缸的滑块连接。

其中，该密封装置还包括驱动装置保护罩，所述驱动装置位于所述驱动装置保护罩内。

进一步，所述驱动装置保护罩为电动执行器保护罩。

其中，所述电动执行器保护罩采用无尘防腐蚀的非金属材料。

其中，所述电动执行器保护罩一侧开有长凹槽，另一侧开有第一短凹槽和第二短凹槽。

其中，该密封装置还包括位置控制装置；所述位置控制装置安装在驱动装置保护罩内。

进一步，所述位置控制装置包括第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器和第二限位传感器分别安装在电动执行器保护罩的第一短凹槽和第二短凹槽中。

（三）有益效果

本实用新型提供的移动式密封装置安装在工艺腔室开口处，在机械手进入工艺腔室之前，该密封装置移动到最低位置，以使机械手能够进入工艺腔室中对硅片进行抓取与放置，在机械手退出工艺腔室后，使用该密封装置对工艺腔室进行及时密封。利用本实用新型提供的移动式密封装置对工艺腔室进行密封，能够使工艺腔室内部放置的硅片的周围微环境与外界环境做到更好的隔离，从而保证工艺腔室内部的洁净等级，使设备达到更高的工艺要求。

附图说明

图1是将移动式密封装置固定在工艺腔室面板上的示意图。

图2是本实用新型提供的移动式密封装置的结构图。

图3是图2所示的移动式密封装置的移动式密封板的结构图。

图4是图2所示的移动式密封装置的气缸的结构图。

图5是图2所示的移动式密封装置的连接件的结构图。

图6是不含顶盖情况下的电动执行器保护罩的结构图。

图7是图2所示的移动式密封装置的导轨滑块的结构图。

图中，1：工艺腔室；2：移动式密封装置；3：移动式密封板；301：第一孔；302：第二孔；4：气缸；401：滑块；5：连接件；501：第一通孔；502：第二通孔；6：电动执行器保护罩；601：第一短凹槽；602：第二短凹槽；603：长凹槽；7：第一限位传感器；8：第二限位传感器；9：导轨；10：导轨滑块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的移动式密封装置的具体实施方式作进一步详细说明。这些实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1所示，工艺腔室1上开有一个大小适中的口，用于从工艺腔室1内取放硅片，将移动式密封装置2通过螺钉等紧固件固定在工艺腔室1开口处（图中工艺腔室只显示其中一个面）。

如图2、图7所示，本实用新型提供的移动式密封装置2包括：移动式密封板3、驱动装置、导轨9和导轨滑块10，该密封装置还包括驱动装置保护罩、连接件5和位置控制装置；所述导轨9与导轨滑块10连接；所述移动式密封板3一端与导轨滑块10连接，另一端通过连接件5与驱动装置连接；所述导轨滑块10为两个。

在本实施方式中，通过导轨滑块10达到移动式密封板3在导轨9上滑动的效果只是本实用新型的优选方式，其他可以达到此效果的连接方式也在本实用新型的保护范围之内。

所述驱动装置采用气缸4驱动，用于驱动移动式密封板3的上下移动，以保证驱动过程平稳、可靠；为了达到良好的密封效果，所述移动式密封板3的面积应稍大于工艺腔室1上的开口的面积；所述连接件5用于连接气缸4和移动式密封板3；所述驱动装置保护罩为电动执行器保护罩6，所述驱动装置位于所述驱动装置保护罩内，用于隔离驱动装置与周围环境，减小由于驱动装置在移动过程中产生微小颗粒而影响工艺过程；所述位置控制装置安装在驱动装置保护罩内，其包括第一限位传感器7和第二限位传感器8，用于该密封装置2在上下移动时的限位保护；所述导轨9用于导向定位，以保证该密封装置2在移动过程中沿固定方向移动不会发生较大偏差；为了保证该移动式密封装置2的稳定性，所述导轨9与导轨滑块10的接触面积不能太小。

如图3所示，移动式密封板3上设有第一孔301和第二孔302，第一孔301和第二孔302分别位于移动式密封板3的左右两侧，第一孔301用于移动式密封板3与导轨滑块10的连接，第二孔302用于移动式密封板3与气缸4的连接。

如图4所示，气缸4上设有能够上下移动的滑块401，所述滑块401上开有螺纹孔；所述移动式密封板3通过连接件5与气缸4的滑块401连接。

如图5所示，连接件5上设有第一通孔501和第二通孔502，第一通孔501用于连接件5与移动式密封板3的连接，第二通孔502用于连接件5与气缸4上方的滑块401的连接；为了减小由于加工误差而造成的安装困难等问题，将所述第一通孔501加工成椭圆状。

如图6所示，电动执行器保护罩6一侧开有长凹槽603，用于连接件5的上下移动，另一侧开有第一短凹槽601和第二短凹槽602，分别用于安装第一限位传感器7和第二限位传感器8，当移动式密封板3移动到上极限位置或下极限位置时，第一限位传感器7或第二限位传感器8发出触发信号使气缸4停止驱动，以保护移动式密封装置2，同时也能够保证良好的密封效果；为了避免采用金属材料制成的电动执行器保护罩6产生微小颗粒而影响集成电路清洗的效果，电动执行器保护罩6采用无尘防腐蚀的非金属材料制成。

本实用新型提供的移动式密封装置2对工艺腔室1的密封过程如下：

S1：机械手将硅片放置到工艺腔室1的合适位置并退出腔室；

S2：驱动装置驱动移动式密封板3沿导轨9上下移动；

S3：第一限位传感器7和第二限位传感器8对移动式密封板3的滑移距离进行控制；

S4：当移动式密封板3完全覆盖工艺腔室1的开口时，驱动装置停止驱动，此时密封过程结束。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种移动式密封装置，其特征在于，该密封装置包括：移动式密封板（3）、驱动装置、导轨（9）和导轨滑块（10）；所述导轨（9）与导轨滑块（10）连接；所述移动式密封板（3）一端与导轨滑块（10）连接，另一端与驱动装置连接。

2.根据权利要求1所述的移动式密封装置，其特征在于，所述驱动装置为气缸（4）。

3.根据权利要求2所述的移动式密封装置，其特征在于，所述气缸（4）上设有能够上下移动的滑块（401）。

4.根据权利要求3所述的移动式密封装置，其特征在于，该密封装置还包括连接件（5）；所述移动式密封板（3）通过连接件（5）与气缸（4）的滑块（401）连接。

5.根据权利要求1所述的移动式密封装置，其特征在于，该密封装置还包括驱动装置保护罩，所述驱动装置位于所述驱动装置保护罩内。

6.根据权利要求5所述的移动式密封装置，其特征在于，所述驱动装置保护罩为电动执行器保护罩（6）。

7.根据权利要求6所述的移动式密封装置，其特征在于，所述电动执行器保护罩（6）采用无尘防腐蚀的非金属材料。

8.根据权利要求6所述的移动式密封装置，其特征在于，所述电动执行器保护罩（6）一侧开有长凹槽（603），另一侧开有第一短凹槽（601）和第二短凹槽（602）。

9.根据权利要求8所述的移动式密封装置，其特征在于，该密封装置还包括位置控制装置；所述位置控制装置安装在驱动装置保护罩内。

10.根据权利要求9所述的移动式密封装置，其特征在于，所述位置控制装置包括第一限位传感器（7）和第二限位传感器（8），所述第一限位传感器（7）和第二限位传感器（8）分别安装在电动执行器保护罩（6）的第一短凹槽（601）和第二短凹槽（602）中。