CN202917461U

CN202917461U - 晶圆转移装置

Info

Publication number: CN202917461U
Application number: CN 201220610660
Authority: CN
Inventors: 黄永莲; 高娜; 刘传军
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Corp; Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-11-16
Filing date: 2012-11-16
Publication date: 2013-05-01
Anticipated expiration: 2022-11-16

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆转移装置，包括一底座，所述底座的上表面设有两组卡槽，两个晶圆盒分别通过所述两组卡槽相对式安装于所述底座上，所述底座上还设有用于将晶圆从一个晶圆盒转移至另一个晶圆盒的晶圆移动机构。本实用新型提供的晶圆转移装置通过所述晶圆移动机构可以实现将晶圆从一个晶圆盒安全、便捷地转移到另一所需的晶圆盒，无需设备工程师对运输机台进行调整，另外由于本实用新型转移晶圆时无需将晶圆向上托离晶圆盒，因此可以避免现有技术中晶圆转移过程中掉片毁损的危险。

Description

晶圆转移装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆转移装置。

背景技术

半导体制造中，功率集成电路（Power IC）的未加工的晶圆（Raw wafer）种类很多，其中有很多晶圆是客户直接交付（Consign）过来的，部分客户交付的wafer使用晶圆盒（cassette）不符合半导体厂的通用传输机台要求。而对未加工的晶圆进行检验时需要把带有晶圆的晶圆盒通过通用传输机台运输至检测设备。

然而，半导体厂的通用的传输机台只能传输A5型号的晶圆盒。而有些客户交付过来的部分晶圆是用非A5cassette的晶圆盒运输的，其底部比A5型号cassette的底边长3毫米。正是由于不同型号cassette的底边尺寸不同，所以目前非A5cassette在半导体厂内通常的传输机台上不能传送。

目前的解决办法是，每次检验客户交付的晶圆时需要找传输机台的设备工程师调整机台，等检验完毕后，重新调整回去。在这期间会影响制造部正常晶圆下线使用此机台。而且此传输机台在传输晶圆时所需的时间比较长，并且在传输时是需要将晶圆向上托离晶圆盒,如果在机台发生故障的时候容易掉片使晶圆破损。

因此，如何提供一种可以将晶圆方便、安全地转移到符合要求的晶圆盒中去的晶圆转移装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆转移装置，可以方便地将将晶圆方便、安全地转移到符合要求的晶圆盒中。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆转移装置，包括一底座，所述底座的上表面设有两组卡槽，两个晶圆盒分别通过所述两组卡槽相对式安装于所述底座上，所述底座上还设有用于将晶圆从一个晶圆盒转移至另一个晶圆盒的晶圆移动机构。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述晶圆移动机构包括传输手臂、连杆和滑块，所述底座的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述连杆的一端与所述滑块固定连接，所述连杆的另一端与所述传输手臂固定连接，所述传输手臂具有一用于推动所述晶圆的竖向挡板。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述晶圆移动机构还包括一手柄，所述手柄与所述滑块固定连接。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述传输手臂还包括水平板和竖向连接板，所述水平板的一端与所述竖向挡板的下端固定连接，所述水平板的另一端与所述竖向连接板的上端固定连接，所述连杆的另一端与所述竖向连接板的下端固定连接。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座的四周下方设有支撑脚。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座的上表面间隔设置两条凸条，所述两条凸条的两侧分别开设一凹槽，所述两条凸条的两侧的凹槽形成所述两组卡槽。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座由防静电材料制成。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述防静电材料是尼龙或聚氯乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

本实用新型提供的晶圆转移装置，包括一底座，所述底座的上表面设有两组卡槽，两个晶圆盒分别通过所述两组卡槽相对式安装于所述底座上，所述底座上还设有用于将晶圆从一个晶圆盒转移至另一个晶圆盒的晶圆移动机构，通过晶圆移动机构可以实现将晶圆从一个晶圆盒安全、便捷地转移到另一所需的晶圆盒，无需设备工程师对运输机台进行调整，另外由于本实用新型转移晶圆时无需将晶圆向上托离晶圆盒，因此可以避免现有技术中晶圆转移过程中掉片毁损的危险。

附图说明

本实用新型的晶圆转移装置由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型一实施例的晶圆转移装置结构示意图。

图2为本实用新型一实施例的晶圆转移装置的底座的俯视图示意图。

图3为本实用新型一实施例的晶圆转移装置结构的使用状态示意图。

图中，1-底座、2-卡槽、3-晶圆盒、4-传输手臂、41-竖向挡板、42-水平板、43-竖向连接板、5-连杆、6-滑块、7-滑槽体、8-手柄、9-支撑脚、10-凸条。

具体实施方式

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关***或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1至图3，其中，图1所示为本实用新型一实施例的晶圆转移装置结构示意图；图2所示为本实用新型一实施例的晶圆转移装置的底座的俯视图示意图；图3所示为本实用新型一实施例的晶圆转移装置结构的使用状态示意图。这种晶圆转移装置，用于将晶圆（未图示）从一个晶圆盒3转移至另一个晶圆盒3，所述晶圆盒3包括前、后两侧板（未图示），所述前、后侧板的上、下端分别通过上、下连接板连接，所述前后侧板形成左、右贯通的开口，所述前、后侧板上从上至下对应设有若干晶圆托槽。由于晶圆盒3是本领域的常规技术，故在此不进行赘述。所述晶圆转移装置包括底座1，所述底座1的上表面设有两组卡槽2，两个晶圆盒3、3分别通过所述两组卡槽相对式安装于所述底座1上，所述底座1上还设有用于将晶圆从一个晶圆盒3转移至另一个晶圆盒3的晶圆移动机构。通过晶圆移动机构可以实现将晶圆从一个晶圆盒3安全、便捷地转移到另一个晶圆盒3，无需设备工程师对运输机台进行调整，另外由于本实用新型转移晶圆时无需将晶圆向上托离晶圆盒，因此可以避免现有技术中晶圆转移过程中掉片毁损的危险。

较佳的，在上述的晶圆转移装置中，所述晶圆移动机构包括传输手臂4、连杆5和滑块6，所述底座1的底部设有滑槽(未图示)，具体的，所述滑槽开设于滑槽体7中，所述滑槽体7安装于所述底座1的底部，所述滑块6的一部分卡合于所述滑槽内，所述连杆5的一端与所述滑块6固定连接，所述连杆5的另一端与所述传输手臂4固定连接，所述传输手臂4具有一用于推动所述晶圆的竖向挡板41。通过推动滑块6，可以带动连杆5以及传输手臂4移动，从而使得传输手臂4推动一个晶圆盒3中的所有晶圆向另一晶圆盒3移动，直至转移到另一晶圆盒3中。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述晶圆移动机构还包括一手柄8，所述手柄8与所述滑块6固定连接。通过设置手柄6，可以方便操作人员推动滑块6。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述传输手臂4还包括水平板42和竖向连接板43，所述水平板42的一端与所述竖向挡板41的下端固定连接，所述水平板42的另一端与所述竖向连接板43的上端固定连接，所述连杆5的另一端与所述竖向连接板43的下端固定连接。如此设置，可以便于竖向挡板41和连杆5连接，使得结构运动更加紧凑。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座1的四周下方设有支撑脚9，支撑脚9用于抬高所述底座1，便于为滑块6以及手柄8留出安装和活动空间。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座1的上表面间隔设置两条凸条10，所述两条凸条10的两侧分别开设一凹槽，所述两条凸条10的两侧的凹槽形成所述两组卡槽2。以上只是两组卡槽的一种结构，具有结构简单，工作可靠的优点，当然还可以采用其他结构，在此不一一赘述。

优选的，在上述的晶圆转移装置中，所述底座1由防静电材料制成，采用防静电材料支撑的底座1，不容易吸附杂质，以确保产品良率。优选的，所述防静电材料可以是尼龙（Nylon）或聚氯乙烯（PVC）或聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）。本实施例中，所述防静电材料采用所述防静电材料。

本实用新型的使用方法如下：

请继续参阅图1至图3，首先，通过手柄8将传输手臂滑到最左侧，并将装有晶圆的晶圆盒3安装于底座1上位于左侧的一组卡槽2上，将空的符合要求的晶圆盒3安装于底座1上位于右侧的一组卡槽上，使得左右两个晶圆盒3中的晶圆托槽（未图示）的高度一一对应；

然后，向右移动手柄8，使得传输手臂推动左侧晶圆盒3中的晶圆向右侧的晶圆盒3中移动，直至晶圆完全移动至右侧的晶圆盒3中。由此可以实现将晶圆从一个晶圆盒安全、便捷地转移到另一所需的晶圆盒，无需设备工程师对运输机台进行调整，同时也避免了现有技术中晶圆转移过程中掉片毁损的危险。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶圆转移装置，其特征在于，包括一底座，所述底座的上表面设有两组卡槽，两个晶圆盒分别通过所述两组卡槽相对式安装于所述底座上，所述底座上还设有用于将晶圆从一个晶圆盒转移至另一个晶圆盒的晶圆移动机构。

2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆移动机构包括传输手臂、连杆和滑块，所述底座的底部设有滑槽，所述滑块的一部分卡合于所述滑槽内，所述连杆的一端与所述滑块固定连接，所述连杆的另一端与所述传输手臂固定连接，所述传输手臂具有一用于推动所述晶圆的竖向挡板。

3.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆移动机构还包括一手柄，所述手柄与所述滑块固定连接。

4.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述传输手臂还包括水平板和竖向连接板，所述水平板的一端与所述竖向挡板的下端固定连接，所述水平板的另一端与所述竖向连接板的上端固定连接，所述连杆的另一端与所述竖向连接板的下端固定连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述底座的四周下方设有支撑脚。

6.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述底座的上表面间隔设置两条凸条，所述两条凸条的两侧分别开设一凹槽，所述两条凸条的两侧的凹槽形成所述两组卡槽。

7.根据权利要求1~6中任意一项所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述底座由防静电材料制成。

8.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述防静电材料是尼龙或聚氯乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯。