CN202804484U - 一种采用激光束进行pcd表面平整化加工的装置 - Google Patents
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Abstract
一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置，含有加工头装置和装卡装置，加工头装置含有短焦距聚焦镜、镜筒、保护镜片、高压气入口；装卡装置含有旋转台、平移台；加工头装置的结构：短焦距聚焦镜安装在镜筒内，保护镜片安装在镜筒内并在短焦距聚焦镜的一侧，镜筒的一端成尖锥状，尖锥有中孔，高压气入口与尖锥的壳体连接，激光束通过短焦距聚焦镜、保护镜片和尖锥的中孔；装卡装置的结构：旋转台连接平移台。本实用新型的有益效果激光束不垂直于被加工面，而是成一个倾斜角，可使每次刻蚀的深度更浅，提高平整化的尺寸精度，并避免在工件表面形成较深的刻蚀坑。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置，属于激光加工技术领域。
背景技术
本实用新型主要是应用在加工金刚石复合片，使金刚石复合片表面平整，现有的加工方法有电火花和研磨加工，电火花加工方法主要是加工效率低，研磨加工方法主要是加工成本较高，为提高对金刚石复合片加工效率及降低加工成本，现发明一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置。
发明内容
为了克服现有技术结构的不足,本实用新型提供一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种采用激光束进行PCD表面平整化加工装置，含有加工头装置和装卡装置，加工头装置含有短焦距聚焦镜、镜筒、保护镜片、高压气入口；装卡装置含有旋转台、平移台；
加工头装置的结构：短焦距聚焦镜安装在镜筒内，保护镜片安装在镜筒内并在短焦距聚焦镜的一侧，镜筒的一端成尖锥状，尖锥有中孔，高压气入口与尖锥的壳体连接，激光束通过短焦距聚焦镜、保护镜片和尖锥的中孔；
装卡装置的结构：旋转台连接平移台。
加工头装置与装卡装置成一个倾斜角。
PCD复合片装卡在旋转台；倾斜角的夹角范围为0-90度。
本实用新型的有益效果激光束不垂直于被加工面，而是成一个倾斜角，可使每次刻蚀的深度更浅，提高平整化的尺寸精度，并避免在工件表面形成较深的刻蚀坑。
夹角范围为0-90度，与焦距相关。焦距越长，则合适的夹角越小。焦距约短，则夹角越大。若焦距足够短，则夹角甚至可以是90度，即垂直入射。
通过使用焦深较浅的短焦距聚焦镜片，再将激光束与工件被加工表面间夹角调制合适的角度。激光聚焦于需要被去除的PCD或CVD金刚石表面，刻蚀去除焦点位置的金刚石材料，并通过工件的移动和转动的综合运动，对工件表面均匀刻蚀。
由于采用的焦距较短，激光只能刻蚀焦点附近很小区域的金刚石材料，也即是只能刻蚀表面需要去除部分的材料。而表面的低凹处，则由于距离焦点较远，不会被刻蚀去除。
附图说明
当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定，其中：
图1为本实用新型结构示意图。
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
具体实施方式
显然，本领域技术人员基于本实用新型的宗旨所做的许多修改和变化属于本实用新型的保护范围。
实施例1：如图1所示，
一种采用激光束进行PCD表面平整化加工装置，含有加工头装置和装卡装置，加工头装置含有短焦距聚焦镜1、镜筒2、保护镜片3、高压气入口4、激光束5；装卡装置含有旋转台7、平移台8；PCD复合片6装卡在旋转台7。
加工头装置的结构：短焦距聚焦镜1安装在镜筒2内，保护镜片3安装在镜筒2内并在短焦距聚焦镜1的一侧，镜筒2的一端成尖锥状，尖锥有中孔，高压气入口4与尖锥的壳体连接，激光束5通过短焦距聚焦镜1、保护镜片3和尖锥的中孔；
装卡装置的结构：旋转台7连接平移台8；PCD复合片6装卡在旋转台7上。
加工头装置与装卡装置成一个倾斜角，倾斜角的夹角范围为0-90度。
如上所述，对本实用新型的实施例进行了详细地说明，但是只要实质上没有脱离本实用新型的发明点及效果可以有很多的变形，这对本领域的技术人员来说是显而易见的。因此，这样的变形例也全部包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置，其特征是含有加工头装置和装卡装置，加工头装置含有短焦距聚焦镜、镜筒、保护镜片、高压气入口；装卡装置含有旋转台、平移台；
加工头装置的结构：短焦距聚焦镜安装在镜筒内，保护镜片安装在镜筒内并在短焦距聚焦镜的一侧，镜筒的一端成尖锥状，尖锥有中孔，高压气入口与尖锥的壳体连接，激光束通过短焦距聚焦镜、保护镜片和尖锥的中孔；
装卡装置的结构：旋转台连接平移台。
2.根据权利要求1所述的一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置，其特征是：加工头装置与装卡装置成一个倾斜角。
3.根据权利要求2所述的一种采用激光束进行PCD表面平整化加工的装置，其特征是：PCD复合片装卡在旋转台；倾斜角的夹角范围为0-90度。
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| CN 201220262654 CN202804484U (zh) | 2012-06-06 | 2012-06-06 | 一种采用激光束进行pcd表面平整化加工的装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110797259A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-02-14 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 同质外延氮化镓衬底处理方法及氮化镓衬底 |
| CN113770670A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-10 | 瑞声精密制造科技(常州)有限公司 | 一种pcd立铣刀及其加工方法 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110797259A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-02-14 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 同质外延氮化镓衬底处理方法及氮化镓衬底 |
| CN110797259B (zh) * | 2019-10-23 | 2022-03-29 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 同质外延氮化镓衬底处理方法及氮化镓衬底 |
| CN113770670A (zh) * | 2021-09-26 | 2021-12-10 | 瑞声精密制造科技(常州)有限公司 | 一种pcd立铣刀及其加工方法 |
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