CN202661412U - 一种x射线自动测量仪 - Google Patents

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甄伟
赵松彬
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Abstract

一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器。工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接。本实用新型实现了单晶体在生产过程中对晶体的检测实现自动化，减少X光对操作者的辐射，提高测量精度，便于数据的记录以及提高了生产效率。

Description

一种X射线自动测量仪
技术领域
本实用新型涉及一种单晶材料的监测装置，特别是涉及一种X射线自动测量仪。 
背景技术
单晶材料生产过程中需要对晶棒及晶片进行检验，检验其内部晶格的排列角度。传动检验设备需要人工检测，对操作者的要求比较高，同时误差比较大，在长时间的检测工作中不仅检验误差大而且还对操作者身体带来了X射线辐射。同时生产效率低下，对检验的数据不能及时记录和储存。 
实用新型内容
本实用新型的目的是为克服上述现有技术存在的缺陷和不足，而提供一种测量范围大、能满足0°-80°测量，并且自动化程度高的X射线自动测量仪。 
采用的技术方案是： 
一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器。工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接。样品台上固定有闪烁探测器和编码器， X光射发生器上安装单晶反射器，并配有电动光闸，实现自动控制。工作台上还设置有显示被测晶体峰值角度的显示器。
本实用新型实现了单晶体在生产过程中对晶体的检测实现自动化，减少X光对操作者的辐射，提高测量精度，便于数据的记录以及提高了生产效率。 
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。 
具体实施方式
一种X射线自动测量仪，包括机体3，机体内设置有变压器1、整流器2及气泵16，机体3上端固定有工作台4，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器10。工作台的两侧分别固定有测角仪6，测角仪6内装设有蜗轮蜗杆副7，且蜗杆上安装步进电机5，测角仪6上装设有一主轴8，主轴8的上部穿出测角仪6的壳体外，主轴8的上端固定有样品台13，样品台13连接一气泵吸管9，气泵吸管9与设置在机体3内的气泵相连接。样品台上固定有闪烁探测器15和编码器14， X光射发生器10上安装单晶反射器12，并配有电动光闸，实现自动控制。工作台4上还设置有显示被测晶体峰值角度的显示器11。 

Claims (1)

1.一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，其特征在于所述的工作台的中部固定有X射线发生器，工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接，样品台上固定有闪烁探测器和编码器， X光射发生器上安装单晶反射器，工作台上设置有显示被测晶体峰值角度的显示器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104807840A (zh) * 2015-04-28 2015-07-29 苏州新材料研究所有限公司 用于超导带材xrd织构测量的样品固定装置
CN107282465A (zh) * 2017-06-06 2017-10-24 安徽铜峰电子股份有限公司 一种晶片角度分选仪

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