CN202583090U

CN202583090U - 石英坩埚用检验装置

Info

Publication number: CN202583090U
Application number: CN 201220084587
Authority: CN
Inventors: 张亚宁; 朱国新
Original assignee: Baoding Tianwei Yingli New Energy Resources Co Ltd
Current assignee: Baoding Tianwei Yingli New Energy Resources Co Ltd
Priority date: 2012-03-07
Filing date: 2012-03-07
Publication date: 2012-12-05
Anticipated expiration: 2022-03-07

Abstract

本实用新型提供了一种石英坩埚用检验装置，包括：用于放置石英坩埚，且中空的检验平台；支撑检验平台，且至少有一个侧面中空的支撑架；位于检验平台顶端，且可照透石英坩埚各个面的强光灯；与支撑架相连，且位于检验平台的底端并可反射石英坩埚的底面的反射镜；与强光灯电连接，可供强光灯发光的电源。本实用新型提供的石英坩埚用检验装置，与现有技术相比，在检验石英坩埚的过程中，强光灯可照透石英坩埚的各个面，且无需翻转待测的石英坩埚来检测其底面，直接观察反射镜呈现的石英坩埚底面即可，从而避免了翻转石英坩埚，减少了检验石英坩埚所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚的检验效率，减少了人力的浪费。

Description

石英坩埚用检验装置

技术领域

本实用新型涉及盛放多晶硅的石英坩埚检验技术领域，更具体地说，涉及一种石英坩埚用检验装置。

背景技术

随着太阳能电池行业地快速发展，多晶硅锭生产工艺也逐渐被广泛地应用。多晶硅锭生产过程中，一般用石英方坩埚盛放硅料、生产多晶硅锭，该石英方坩埚外形方正，呈长方体状，无顶面。石英方坩埚的质量对生产多晶硅锭有重要的影响。因此，在使用石英方坩埚之前需要对其进行检验，判断石英方坩埚的质量是否合格，即检验石英方坩埚是否有裂纹、气泡、阴影等。检验时，一般将石英方坩埚放置在石英方坩埚的搬运车上，在搬运前对石英方坩埚进行检验。

目前，还没有专门用于检验石英方坩埚的装置，只有用于盛放单晶硅的石英坩埚的检验装置，例如已经申请专利的一种石英坩埚检验装置(专利号为200920274237.3)，但是由于盛放多晶硅的石英坩埚较盛放单晶硅的石英坩埚横截面较大(一般盛放多晶硅的石英坩埚，即石英方坩埚呈长方体状，大约长为880mm，宽为880mm，高为420mm；一般盛放单晶硅的石英坩埚呈圆柱状，大约直径为560mm，高为340mm)，使得现有盛放单晶硅的石英坩埚的检验装置不能对盛放多晶硅的石英坩埚进行检验。所以，目前检验石英方坩埚质量还没有专业的装置，只是使用强光灯对石英方坩埚的内表面进行照射，由于石英被强光照射后会呈透明状，可从石英方坩埚的外表面进行检验，观察石英方坩埚是否存在裂纹、气泡、阴影等，若存在且超出规定的技术标准，则该石英方坩埚质量不合格；若不存在或者在规定的技术标准内，则该石英方坩埚质量合格。由于石英方坩埚的各个面均需要检验，而且石英方坩埚放置在搬运车上，不能对石英方坩埚的底面进行检验，所以需要将石英方坩埚翻转对其底面进行检验。

但是，上述检验方法需要将每一个待检验的石英方坩埚翻转，对其底面进行检验，增加了检验石英方坩埚的步骤，增加了检验石英方坩埚所需的时间和人力，使得石英方坩埚的检验效率较低，也造成了一定人力的浪费。

另外，石英方坩埚的材质为石英，易碎、易破，在翻转石英方坩埚的过程中，可能会由于工作人员的操作失误对石英方坩埚造成一定的损坏，使得石英方坩埚的损坏系数增大。

综上所述，如何提供一种石英坩埚用检验装置，以减少用于盛放多晶硅的石英坩埚检验所需的时间和人力，进而提高石英坩埚的检验效率，减少人力的浪费，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种石英坩埚用检验装置，减少了用于盛放多晶硅的石英坩埚检验所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚的检验效率，减少了人力的浪费。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种石英坩埚用检验装置，包括：

用于放置所述石英坩埚，且中空的检验平台；

支撑所述检验平台，且至少有一个侧面中空的支撑架；

位于所述检验平台顶端，且可照透所述石英坩埚各个面的强光灯；

与所述支撑架相连，且位于所述检验平台的底端并可反射所述石英坩埚的底面的反射镜；

与所述强光灯电连接，可供所述强光灯发光的电源。

优选的，上述石英坩埚用检验装置，还包括与所述强光灯相连并位于所述强光灯的顶端，且可与所述石英坩埚的顶端相接触的盖板；所述盖板不小于所述石英坩埚的顶端端口。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述电源设置在所述盖板上；所述盖板上设置有用于切断和接通所述电源和强光灯电连接状态的开关。

优选的，上述石英坩埚用检验装置，还包括设置于所述支撑架一侧的连接板，所述盖板与所述连接板可转动相连。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述连接板上开设有沿所述支撑架的高度方向延伸的条形安装孔，所述支撑架上开设有与所述条形安装孔相对应的固定孔，所述连接板通过分别穿过所述条形安装孔和所述固定孔的锁紧件设置于所述支撑架上。

优选的，上述石英坩埚用检验装置，还包括位于所述检验平台两侧，用于移动所述石英坩埚的滑轨。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述滑轨具体包括：

用于与所述石英坩埚的底面接触的水平分轨；

用于与所述石英坩埚的两侧面接触的竖直分轨，所述水平分轨和所述竖直分轨的延伸方向相同。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述水平分轨和所述竖直分轨结构相同，均包括：两个与所述检验平台固定相连的挡板，和位于两个所述挡板之间，与所述挡板滚动相连的若干滚轮；所述滚轮的轴线与所述挡板相垂直，且所述滚轮外凸于所述挡板，所述水平分轨的滚轮与所述竖直分轨的滚轮的轴线垂直。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述水平分轨设置于所述检验平台的中空位置。

优选的，上述石英坩埚用检验装置中，所述反射镜为单面反射镜。

本实用新型提供的石英坩埚用检验装置的使用方法如下：

将待检测的石英坩埚放置在由支撑架支撑的检验平台上，强光灯发出的强光可照透石英坩埚的各个面，使得石英坩埚呈透明状，则可对石英坩埚的侧面直接进行观察检验；由于检验平台为中空结构，石英坩埚的底面的形状可完整地现在反射镜上，则可直接透过支撑架中空的一侧观察反射镜的图案来检验石英坩埚的底面，即最终实现了可直接观察石英坩埚的侧面和反射镜呈现的石英坩埚底面是否有裂纹、气泡或者阴影，来判断石英坩埚的质量是否合格。

本实用新型提供的石英坩埚用检验装置，与现有技术相比，在检验石英坩埚的过程中，强光灯可照透石英坩埚的各个面，且无需翻转待测的石英坩埚来检测其底面，直接观察反射镜呈现的石英坩埚底面即可，从而避免了翻转石英坩埚，减少了检验石英坩埚所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚的检验效率，减少了人力的浪费。

同时，本实用新型提供的石英坩埚用检验装置，在检验石英坩埚的过程中，无需翻转石英坩埚，避免了在翻转过程中因工作人员操作失误对石英坩埚造成的损坏，进而减小了石英坩埚的损坏系数。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置的结构示意图；

图2为图1的A向结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置的检验平台的结构示意图。

上图1-图3中：

盖板1、强光灯2、石英坩埚3、连接板4、检验平台5、反射镜6、支撑架7、竖直分轨8、水平分轨9、挡板10。

具体实施方式

本实用新型提供了一种石英坩埚用检验装置，减少了用于盛放多晶硅的石英坩埚检验所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚的检验效率，减少了人力的浪费。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考附图1-3，图1为本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置的结构示意图；图2为图1的A向结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置的检验平台的结构示意图。

本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置，包括：用于放置石英坩埚3，且中空的检验平台5；支撑检验平台5，且至少有一个侧面中空的支撑架7；位于检验平台5顶端，且可照透石英坩埚3各个面的强光灯2；与支撑架7相连，且位于检验平台5的底端并可反射石英坩埚3的底面的反射镜6；与强光灯2电连接，可供强光灯2发光的电源。其中，支撑架7可由角钢或者钢管焊接而成；强光灯2可优先选用金卤灯，当然也可采用其他种类的灯，本实用新型对此不作具体地限定。

本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置的使用方法如下：

将待检测的石英坩埚3放置在由支撑架7支撑的检验平台5上，强光灯2发出的强光可照透石英坩埚3的各个面，使得石英坩埚3呈透明状，则可对石英坩埚3的侧面直接进行观察检验；由于检验平台5为中空结构，石英坩埚3的底面的形状可完整地现在反射镜6上，则可直接透过支撑架7中空的一侧观察反射镜6的图案来检验石英坩埚3的底面，即最终实现了可直接观察石英坩埚3的侧面和反射镜6呈现的石英坩埚3的底面是否有裂纹、气泡或者阴影，来判断石英坩埚3的质量是否合格。

本实用新型实施例提供的石英坩埚用检验装置，与现有技术相比，在检验石英坩埚3的过程中，强光灯2可照透石英坩埚3的各个面，且无需翻转待测的石英坩埚3来检测其底面，直接观察反射镜6呈现的石英坩埚3的底面即可，从而避免了翻转石英坩埚3，减少了检验石英坩埚3所需的时间和人力，进而提高了石英坩埚3的检验效率，减少了人力的浪费。

同时，上述实施例提供的石英坩埚用检验装置，在检验石英坩埚3的过程中，无需翻转石英坩埚3，避免了在翻转过程中因工作人员操作失误对石英坩埚3造成损坏，进而减小了石英坩埚3的损坏系数。

为了进一步保证强光灯2照透石英坩埚3，上述实施例提供的石英坩埚用检验装置中，可在检验的石英坩埚3的过程中将强光灯2放置在石英坩埚3的内部，这样可充利用强光灯2发出的强光，也保证了强光灯2照透石英坩埚3。将强光灯2置于石英坩埚3的内部，有多种实现方式。优选的，上述石英坩埚用检验装置，还包括与支撑架7和强光灯2相连，且可与石英坩埚3的顶端相接触的盖板1；盖板1不小于石英坩埚3的顶端端口；盖板1位于强光灯2的顶端。当盖板1与石英坩埚3的顶端端口接触后，强光灯2即位于石英坩埚3的内部，而且增加了盖板1，可避免强光灯2发出的强光泄露，可充分利用强光灯2发出的强光。本实用新型优先采用钢板作为盖板1。

为了节约能源，为检验石英坩埚3时，可将强光灯2关闭，上述实施例提供的石英坩埚用检验装置中，所述电源设置在盖板1上；盖板1上设置有用于切断和接通电源和强光灯2电连接状态的开关。当然，不设置开关也是可以的，电源设置在其他的位置也是可以的，本实用新型对此不做具体地的限定。

上述实施例提供的石英坩埚用检验装置中，实现盖板1与石英坩埚3的顶端端口接触，有多种方式：可将盖板1与支撑架7设置为分体式，需要检验石英坩埚3时，直接将盖板1搭放在石英坩埚3的顶端，由于强光灯2的顶端与盖板1相连，即盖板1位于强光灯2的顶端，即可实现盖板1与石英坩埚3的顶端端口接触；还可以通过一些部件来实现盖板1与石英坩埚3的顶端端口接触，优选的，上述石英坩埚用检验装置还包括设置于支撑架7一侧的连接板4，盖板1与连接板4可转动相连。检验石英坩埚3时，可转动盖板1，使其盖住石英坩埚3的顶端端口；检验完后，反方向转动盖板1，使得盖板1与石英坩埚3分离，取出石英坩埚3。连接板4与盖板1可通过转轴或者合页相连来实现转动相连；连接板4与支撑架7可通过焊接或者铆接或者螺纹连接件相连来实现固定相连，本实用新型对连接板4与盖板1、支撑架7的连接方式不做具体地限定。

由于石英坩埚3的大小不同，在检验高度不同的石英坩埚3时，为了方便检验石英坩埚3，盖板1的高低位置需要可调，优选的，上述实施例提供的石英坩埚用检验装置中，连接板4上开设有沿支撑架7的高度方向延伸的条形安装孔，支撑架7上开设有与条形安装孔相对应的固定孔，连接板4通过分别穿过条形安装孔和固定孔的锁紧件设置于支撑架7上。

检验石英坩埚3之前，需要将待检测的石英坩埚3放置在石英坩埚用检验装置的检验平台5上，一般通过搬运车送至检验区(检验装置附近)，再采用人工搬运，将石英坩埚3从搬运车移至检验平台5，这样搬运较慢，而且易对石英坩埚3造成损坏，优选的，上述实施例提供的石英坩埚用检验装置，还包括位于检验平台5两侧，用于移动石英坩埚3的滑轨。将该石英坩埚用检验装置垫高或者将其检验平台5的高度与搬运车的高度设计为同一高度，直接将石英坩埚3沿滑轨滑至到检验平台5上适当的位置，进而对石英坩埚3进行检验，加快了对石英坩埚3的检验，进一步提高了检验效率；同时，也避免了因搬运对石英坩埚3造成损坏，也节省了一定的人力。

滑轨可有多种设置方式，滑轨具体包括：用于与石英坩埚3的底面接触的水平分轨9；用于与石英坩埚3的两侧面接触的竖直分轨8，水平分轨9和竖直分轨8的延伸方向相同。竖直分轨8可保证石英坩埚3平稳地滑至适当的位置，避免了石英坩埚3在滑动过程中，滑离滑轨，甚至滑离检验平台5，提高了石英坩埚3在滑动过程中的安全度。可直接在检验平台5的两侧设置转轴作为竖直分轨8和水平分轨9，转轴与检验平台5的两侧转动相连，转轴的长度不宜过长，能够保证石英坩埚3的滑动和检验即可。还可以采用其他的方式，优选的，上述石英坩埚用检验装置中，水平分轨9和竖直分轨8结构相同，均包括：两个与检验平台5固定相连的挡板10，和位于两个挡板10之间，与挡板10滚动相连的若干滚轮；滚轮的轴线与挡板10相垂直，且滚轮外凸于挡板10，水平分轨9的滚轮与竖直分轨8的滚轮的轴线垂直。

由于石英易碎、易破、易裂，所以滚轮采用较质地较软的材质，优选的，滚轮为尼龙轮，当然，滚轮还可为塑料轮，本实用新型对滚轮的材质不做具体地限定。

上述实施例提供的石英坩埚用检验装置中，反射镜6优先采用单面反射镜，可降低该石英坩埚用检验装置的制造成本。

上述实施例提供的石英坩埚用检验装置，是针对用于盛放多晶硅的石英方坩埚的检验，也可以用于检验用于盛放单晶硅的石英单晶硅坩埚。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims

1.一种石英坩埚用检验装置，其特征在于，包括：

用于放置所述石英坩埚（3），且中空的检验平台（5）；

支撑所述检验平台（5），且至少有一个侧面中空的支撑架（7）；

位于所述检验平台（5）顶端，且可照透所述石英坩埚（3）各个面的强光灯（2）；

与所述支撑架（7）相连，且位于所述检验平台（5）的底端并可反射所述石英坩埚（3）的底面的反射镜（6）；

与所述强光灯（2）电连接，可供所述强光灯（2）发光的电源。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，还包括与所述强光灯（2）相连并位于所述强光灯（2）的顶端，且可与所述石英坩埚（3）的顶端相接触的盖板（1）；所述盖板（1）不小于所述石英坩埚（3）的顶端端口。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述电源设置在所述盖板（1）上；所述盖板（1）上设置有用于切断和接通所述电源和强光灯（2）电连接状态的开关。

4.根据权利要求2所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，还包括设置于所述支撑架（7）一侧的连接板（4），所述盖板（1）与所述连接板（4）可转动相连。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述连接板（4）上开设有沿所述支撑架（7）的高度方向延伸的条形安装孔，所述支撑架（7）上开设有与所述条形安装孔相对应的固定孔，所述连接板（4）通过分别穿过所述条形安装孔和所述固定孔的锁紧件设置于所述支撑架（7）上。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，还包括位于所述检验平台（5）两侧，用于移动所述石英坩埚（3）的滑轨。

7.根据权利要求6所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述滑轨具体包括：

用于与所述石英坩埚（3）的底面接触的水平分轨（9）；

用于与所述石英坩埚（3）的两侧面接触的竖直分轨（8），所述水平分轨（9）和所述竖直分轨（8）的延伸方向相同。

8.根据权利要求7所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述水平分轨（9）和所述竖直分轨（8）结构相同，均包括：两个与所述检验平台（5）固定相连的挡板（10），和位于两个所述挡板（10）之间，与所述挡板（10）滚动相连的若干滚轮；所述滚轮的轴线与所述挡板（10）相垂直，且所述滚轮外凸于所述挡板（10），所述水平分轨（9）的滚轮与所述竖直分轨（8）的滚轮的轴线垂直。

9.根据权利要求7所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述水平分轨（9）设置于所述检验平台（5）的中空位置。

10.根据权利要求1所述的石英坩埚用检验装置，其特征在于，所述反射镜（6）为单面反射镜。