CN202528331U - 一种用于蓝宝石晶棒c轴定向粘接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，它包括机架、锁紧料板、调节装置和定位装置，调节装置包括千分尺、支架和调节板，支架固定在锁紧料板的一侧，千分尺有两个，水平同位固定在支架上，调节板正面为基准平面，背面连接在两个千分尺杆体的前端；定位装置包括位于锁紧料板上方和侧面的压紧调节螺栓，压紧调节螺栓与机架螺纹联接。本实用新型结构简单，可以通过方便调整晶棒M边与C面的偏离距离，达到调整C轴与M轴的偏角来调整C-plane［0001]offtoM[1-100]晶向角。可以较准确定向C-plane［0001]offtoM[1-100]晶向，极大地提高产品合格率。

Description

一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置

技术领域：

本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶棒切割LED用蓝宝石晶片前C轴定向粘接装置。

背景技术：

晶向是蓝宝石衬底片的重要技术参数，决定着GaN外延生长的质量，直接影响LED的发光效率，晶棒定向是切割的关键技术，要求极高，决定着陆产品的质量。而表面晶向只能由切割前的定向粘料而决定，此后加工工艺无法改变，因此切割前的定向粘接极其重要，目前尚无有效定向仪器能同时进行准确的定向和粘接，加工晶片生产企业只能要求晶棒生产厂在晶棒出厂时，将C-plane［0001]offto M[1-100] 晶向角修正到规定值，但晶棒生产厂在调整晶向时亦会产生误差，所切晶片的晶向偏角误差较大，得到的产品合格率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的就是解决晶棒定向和粘接易产生误差，所切晶片的晶向偏角误差较大，得到的产品合格率不高的问题。 

本实用新型采用的技术方案是：一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，其特征是它包括底板、机架、位于机架上的锁紧料板、调节装置和定位装置，所述的调节装置包括千分尺、支架和调节板，支架固定在锁紧料板的一侧，所述的千分尺水平固定在支架上，所述的调节板正面为基准平面，背面一端连接在千分尺杆体的前端，另一端定点铰接；所述的定位装置包括位于锁紧料板上方和侧面的压紧调节螺栓，压紧调节螺栓与机架螺纹联接。 

采用上述技术方案，连接粘料板和锁紧料板，粘料板上粘接切割衬底。蓝宝石晶棒在定向仪上测量出C偏M晶向角度，算出C偏M需调整的晶向角度，根据调节板基准边长度与需调整的晶向角度，用三角函数计算出推动调节组件千分卡伸缩杆的伸缩距离，按此距离锁定千分卡，调节板的基准边被定位。在切割衬底上涂专用粘接胶，将蓝宝石晶棒压在涂胶切割衬底上，侧在紧贴被千分卡定位的调节板基准边，端面用标准直角尺校定与粘料板的垂直度，用机架上方的压紧螺栓压住晶棒，调节锁紧料板侧面的锁紧螺栓固定晶棒，待粘接胶全干后，完成了定向粘接。 

所述的锁紧料板与支架之间通过直线导轨联接，使得锁紧料板能够沿直线导轨的滑轨滑动。 

位于机架上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板，压紧调节螺栓通过压紧垫板与蓝宝石晶棒接触挤压。 

所述的机架的底部设有撑脚。 

本实用新型有益效果是：结构简单，可以通过方便调整晶棒M边与C面的偏离距离，达到调整C轴与M轴的偏角来调整C-plane［0001]offto M[1-100] 晶向角。使用此装置，可以较准确定向C-plane［0001]offto M[1-100] 晶向，保证了蓝宝石衬底片的技术指标，极大地提高产品合格率。 

附图说明

     图1为本实用新型示意图。 

图2为图1的左视图。 

图中，1、上压紧板，2、压紧垫板，3、机架，4、压紧调节螺栓，5、底板，6、蓝宝石晶棒C面，7、调节板，8、千分尺，9、蓝宝石晶棒M面，10、粘料板，11、锁紧料板，12、直线导轨，13、蓝宝石晶棒A面。 

具体实施方式

如图1、图2所示，一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，它包括底板5、机架3、位于机架3上的锁紧料板11、调节装置和定位装置。 

如图2所示，调节装置包括千分尺8、支架14和调节板7，支架14固定在锁紧料板11的一侧，千分尺8水平固定在支架14上，调节板7正面为基准平面，背面一端连接在千分尺杆体的前端，另一端定点铰接，这样转动千分尺8好能实现调节调节板7基准面的角度。 

如图2所示，定位装置包括位于锁紧料板11上方和侧面的压紧调节螺栓4，压紧调节螺栓4与机架3螺纹联接。通过压紧调节螺栓4的移动实现对锁紧料板11的挤压实现定位。 

锁紧料板11与机架3之间通过直线导轨12联接，使得锁紧料板11能够沿直线导轨12的滑轨滑动。锁紧料板11置于直线导轨12的托板上，支架14下部固接在直线导轨12的托盘边缘。位于机架3上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板2，压紧垫板2下方是与蓝宝石晶棒圆面相适配的弧面。压紧调节螺栓通过压紧垫板2与蓝宝石晶棒接触挤压。机架3的底部设有撑脚。 

本实用新型是这样使用的，连接粘料板10和锁紧料板11，将锁紧料板11装在直线导轨12的托板上，粘料板10上粘接切割衬底。蓝宝石晶棒在定向仪上测量出C偏M晶向角度，算出C偏M需调整的晶向角度，根据调节板7基准边长度与需调整的晶向角度，用三角函数计算出推动调节组件千分卡8的调节杆伸缩距离，按此距离锁定千分卡8，调节板的基准边被定位。在切割衬底上涂专用粘接胶，将蓝宝石晶棒A面13压在涂胶切割衬底上，蓝宝石晶棒M面9紧贴被千分卡定位的调节组件基准边，蓝宝石晶棒C面6用标准直角尺校定与粘料板的垂直度，晶棒上端用上压紧板1和压紧垫板2压住晶棒，调节压紧螺栓4固定晶棒，待粘接胶全干后，完成了定向粘接。粘第二根晶棒时，锁紧料板沿直线导轨平移，重复以上操作即可。 

Claims (4)

1.一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，其特征是它包括底板（5）、机架（3）、位于机架（3）上的锁紧料板（11）、调节装置和定位装置，所述的调节装置包括千分尺（8）、支架（14）和调节板（7），支架（14）固定在锁紧料板（11）的一侧，所述的千分尺（8）水平固定在支架（14）上，所述的调节板（7）正面为基准平面，背面一端连接在千分尺杆体的前端，另一端定点铰接；所述的定位装置包括位于锁紧料板（11）上方和侧面的压紧调节螺栓（4），压紧调节螺栓（4）与机架（3）螺纹联接。

2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，其特征是所述的锁紧料板（11）与机架（3）之间通过直线导轨（12）联接，使得锁紧料板（11）能够沿直线导轨（12）的滑轨滑动。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，其特征是位于机架（3）上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板（2），压紧调节螺栓通过压紧垫板（2）与蓝宝石晶棒接触挤压。

4.根据权利要求3所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置，其特征是所述的机架（3）的底部设有撑脚。

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