CN202528331U - 一种用于蓝宝石晶棒c轴定向粘接装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,它包括机架、锁紧料板、调节装置和定位装置,调节装置包括千分尺、支架和调节板,支架固定在锁紧料板的一侧,千分尺有两个,水平同位固定在支架上,调节板正面为基准平面,背面连接在两个千分尺杆体的前端;定位装置包括位于锁紧料板上方和侧面的压紧调节螺栓,压紧调节螺栓与机架螺纹联接。本实用新型结构简单,可以通过方便调整晶棒M边与C面的偏离距离,达到调整C轴与M轴的偏角来调整C-plane[0001]offtoM[1-100]晶向角。可以较准确定向C-plane[0001]offtoM[1-100]晶向,极大地提高产品合格率。
Description
技术领域:
本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶棒切割LED用蓝宝石晶片前C轴定向粘接装置。
背景技术:
晶向是蓝宝石衬底片的重要技术参数,决定着GaN外延生长的质量,直接影响LED的发光效率,晶棒定向是切割的关键技术,要求极高,决定着陆产品的质量。而表面晶向只能由切割前的定向粘料而决定,此后加工工艺无法改变,因此切割前的定向粘接极其重要,目前尚无有效定向仪器能同时进行准确的定向和粘接,加工晶片生产企业只能要求晶棒生产厂在晶棒出厂时,将C-plane[0001]offto M[1-100] 晶向角修正到规定值,但晶棒生产厂在调整晶向时亦会产生误差,所切晶片的晶向偏角误差较大,得到的产品合格率不高。
实用新型内容
本实用新型的目的就是解决晶棒定向和粘接易产生误差,所切晶片的晶向偏角误差较大,得到的产品合格率不高的问题。
本实用新型采用的技术方案是:一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,其特征是它包括底板、机架、位于机架上的锁紧料板、调节装置和定位装置,所述的调节装置包括千分尺、支架和调节板,支架固定在锁紧料板的一侧,所述的千分尺水平固定在支架上,所述的调节板正面为基准平面,背面一端连接在千分尺杆体的前端,另一端定点铰接;所述的定位装置包括位于锁紧料板上方和侧面的压紧调节螺栓,压紧调节螺栓与机架螺纹联接。
采用上述技术方案,连接粘料板和锁紧料板,粘料板上粘接切割衬底。蓝宝石晶棒在定向仪上测量出C偏M晶向角度,算出C偏M需调整的晶向角度,根据调节板基准边长度与需调整的晶向角度,用三角函数计算出推动调节组件千分卡伸缩杆的伸缩距离,按此距离锁定千分卡,调节板的基准边被定位。在切割衬底上涂专用粘接胶,将蓝宝石晶棒压在涂胶切割衬底上,侧在紧贴被千分卡定位的调节板基准边,端面用标准直角尺校定与粘料板的垂直度,用机架上方的压紧螺栓压住晶棒,调节锁紧料板侧面的锁紧螺栓固定晶棒,待粘接胶全干后,完成了定向粘接。
所述的锁紧料板与支架之间通过直线导轨联接,使得锁紧料板能够沿直线导轨的滑轨滑动。
位于机架上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板,压紧调节螺栓通过压紧垫板与蓝宝石晶棒接触挤压。
所述的机架的底部设有撑脚。
本实用新型有益效果是:结构简单,可以通过方便调整晶棒M边与C面的偏离距离,达到调整C轴与M轴的偏角来调整C-plane[0001]offto M[1-100] 晶向角。使用此装置,可以较准确定向C-plane[0001]offto M[1-100] 晶向,保证了蓝宝石衬底片的技术指标,极大地提高产品合格率。
附图说明
图1为本实用新型示意图。
图2为图1的左视图。
图中,1、上压紧板,2、压紧垫板,3、机架,4、压紧调节螺栓,5、底板,6、蓝宝石晶棒C面,7、调节板,8、千分尺,9、蓝宝石晶棒M面,10、粘料板,11、锁紧料板,12、直线导轨,13、蓝宝石晶棒A面。
具体实施方式
如图1、图2所示,一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,它包括底板5、机架3、位于机架3上的锁紧料板11、调节装置和定位装置。
如图2所示,调节装置包括千分尺8、支架14和调节板7,支架14固定在锁紧料板11的一侧,千分尺8水平固定在支架14上,调节板7正面为基准平面,背面一端连接在千分尺杆体的前端,另一端定点铰接,这样转动千分尺8好能实现调节调节板7基准面的角度。
如图2所示,定位装置包括位于锁紧料板11上方和侧面的压紧调节螺栓4,压紧调节螺栓4与机架3螺纹联接。通过压紧调节螺栓4的移动实现对锁紧料板11的挤压实现定位。
锁紧料板11与机架3之间通过直线导轨12联接,使得锁紧料板11能够沿直线导轨12的滑轨滑动。锁紧料板11置于直线导轨12的托板上,支架14下部固接在直线导轨12的托盘边缘。位于机架3上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板2,压紧垫板2下方是与蓝宝石晶棒圆面相适配的弧面。压紧调节螺栓通过压紧垫板2与蓝宝石晶棒接触挤压。机架3的底部设有撑脚。
本实用新型是这样使用的,连接粘料板10和锁紧料板11,将锁紧料板11装在直线导轨12的托板上,粘料板10上粘接切割衬底。蓝宝石晶棒在定向仪上测量出C偏M晶向角度,算出C偏M需调整的晶向角度,根据调节板7基准边长度与需调整的晶向角度,用三角函数计算出推动调节组件千分卡8的调节杆伸缩距离,按此距离锁定千分卡8,调节板的基准边被定位。在切割衬底上涂专用粘接胶,将蓝宝石晶棒A面13压在涂胶切割衬底上,蓝宝石晶棒M面9紧贴被千分卡定位的调节组件基准边,蓝宝石晶棒C面6用标准直角尺校定与粘料板的垂直度,晶棒上端用上压紧板1和压紧垫板2压住晶棒,调节压紧螺栓4固定晶棒,待粘接胶全干后,完成了定向粘接。粘第二根晶棒时,锁紧料板沿直线导轨平移,重复以上操作即可。
Claims (4)
1.一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,其特征是它包括底板(5)、机架(3)、位于机架(3)上的锁紧料板(11)、调节装置和定位装置,所述的调节装置包括千分尺(8)、支架(14)和调节板(7),支架(14)固定在锁紧料板(11)的一侧,所述的千分尺(8)水平固定在支架(14)上,所述的调节板(7)正面为基准平面,背面一端连接在千分尺杆体的前端,另一端定点铰接;所述的定位装置包括位于锁紧料板(11)上方和侧面的压紧调节螺栓(4),压紧调节螺栓(4)与机架(3)螺纹联接。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,其特征是所述的锁紧料板(11)与机架(3)之间通过直线导轨(12)联接,使得锁紧料板(11)能够沿直线导轨(12)的滑轨滑动。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,其特征是位于机架(3)上方的压紧调节螺栓下方设有压紧垫板(2),压紧调节螺栓通过压紧垫板(2)与蓝宝石晶棒接触挤压。
4.根据权利要求3所述的一种用于蓝宝石晶棒C轴定向粘接装置,其特征是所述的机架(3)的底部设有撑脚。
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