CN202478747U

CN202478747U - 气体处理装置

Info

Publication number: CN202478747U
Application number: CN2012200893898U
Authority: CN
Inventors: 顾晓冬; 钱刚; 陶金龙
Original assignee: Shanghai Integrated Circuit Research and Development Center Co Ltd
Current assignee: Shanghai IC R&D Center Co Ltd
Priority date: 2012-03-09
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2012-10-10
Anticipated expiration: 2022-03-09

Abstract

本实用新型公开了一种气体处理装置，用于处理尾气，包括腔体、过滤装置以及用于清洗所述过滤装置的喷水装置，所述腔体设有尾气进气口与尾气排放口，腔体的底部设有排水口，喷水装置和过滤装置设于腔体内，且喷水装置设置于过滤装置的上方，所述过滤装置包括过滤网以及设于所述过滤网上的若干过滤单元，所述气体处理装置还设有用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置。通过设置螺旋旋转装置，一方面，可以增加尾气经过过滤装置的路径，从而增加尾气和过滤单元的有效接触面积，提高过滤效率，另一方面，通过螺旋旋转装置旋转带动过滤单元上下翻滚以及喷水装置的喷雾作用，可以起到清洁各个过滤单元作用，延长装置的使用寿命。

Description

气体处理装置

技术领域

本实用新型涉及现代工厂制造领域、例如化工、制药及半导体等相关行业，尤其涉及一种气体处理装置。

背景技术

在工厂生产过程中，例如化工、制药及半导体企业，会产生各类有毒，刺激性的尾气，对人体及自然有害，因此，在排放尾气时需要对有毒有害气体进行相应的处理，以达到国家规定的排放标准，所以通常需要在工艺机台的排放口或者厂务排风***的排放口设置气体处理装置。

现有的气体处理装置如图1.1、图1.2、图1.3所示，其中，图1.1是现有的用于处理工艺机台尾气的气体处理装置的结构示意图，图1.2是现有的(立式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置的结构示意图，图1.3是现有的(卧式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置的结构示意图。

如图1.1所示，现有的用于处理工艺机台尾气的气体处理装置，包括腔体1、喷水装置4以及过滤装置2，所述腔体1的一侧的下部设有尾气进气口11，所述腔体1的另一侧上部设有尾气排放口7所述腔体1的底部设有排水口10，所述喷水装置4和过滤装置2设于所述腔体1内，所述喷水装置4设于过滤装置2的上方，所述喷水装置4具有向下雾状喷水的喷口，所述喷口均匀布置于所述过滤装置2的上方，所述过滤装置2是以内部填充过滤单元的网状结构过滤层。

如图1.2所示，现有的(立式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置的结构基本和现有的(立式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置相同，区别在于，所述腔体1的一侧的下部设有尾气进气口11，所述腔体1的顶部设有尾气排放口7，以适应工厂排风处理。

如图1.3所示，现有的(卧式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置，包括腔体1、喷水装置4以及过滤装置2，所述腔体1的两侧中部位置分别设有尾气进气口11与尾气排放口7，所述腔体1的底部还设有排水口10，所述喷水装置4和过滤装置2设于所述腔体1内，所述喷水装置4设于过滤装置2的上方，所述喷水装置4具有向下雾状喷水的喷口，所述喷口均匀布置于所述过滤装置2的上方，所述过滤装置2是以内部填充过滤单元的网状结构过滤层。

但是使用下来发现，由于这些需要处理的气体具有有毒气体，需要通过水洗方式进行尾气处理，喷水是从上往下，所以过滤装置2中的过滤层会从底部即由下至上开始堵塞，当过滤层堵塞后，过滤单元的过滤作用将失效，因此必须停机并进行清理工作，将过滤单元清洗，现阶段每月必须进行清洗，才能保证气体处理装置正常工作，然而，频繁地清洗过滤层，会降低气体处理装置的尾气处理能力，同时，也降低生产线上的生产效率。

因此，如何提供一种可以提高过滤效率并延长装置使用寿命的气体处理装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体处理装置，通过设置用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置，既可以提高气体处理装置的尾气处理效率，又可以提高气体处理装置的使用寿命。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种气体处理装置，用于处理尾气，包括腔体、过滤装置以及用于清洗所述过滤装置的喷水装置，所述腔体设有尾气进气口与尾气排放口，所述腔体的底部设有排水口，所述过滤装置设于所述腔体内，所述喷水装置设置于所述过滤装置的上方，所述过滤装置包括过滤网以及设于所述过滤网上的若干过滤单元，所述气体处理装置还设有用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述螺旋旋转装置包括马达、旋转轴以及螺旋叶片，所述螺旋叶片以螺旋上升形式设置于所述旋转轴上，所述马达带动所述旋转轴转动，所述过滤单元填充于所述螺旋叶片、过滤网、腔体内壁以及旋转轴所隔成的空间内。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述马达设置于所述腔体的上方，所述旋转轴的主***于所述腔体的内部，所述旋转轴的上端从所述腔体的顶部伸出并与所述马达的输出部连接。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述气体处理装置是立式结构，所述尾气进气口设置于所述腔体的一侧下部或底部，所述尾气排放口设置于所述腔体的另一侧上部或顶部。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述气体处理装置是卧式结构，所述尾气进气口与尾气排放口分别位于所述腔体的两侧的中部位置。

优选的，在上述的气体处理装置中，还包括除雾装置，所述除雾装置设置于所述喷水装置的上方。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述喷水装置具有若干具有向下雾状喷水的喷口，所述喷口均匀布置于所述过滤装置的上方。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述过滤网水平设置于所述腔体内，所述过滤网采用金属制成，呈网状分布。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述过滤单元是球状体或方形体或椭球状体。

优选的，在上述的气体处理装置中，所述过滤单元的外径比所述过滤网的孔径大，所述过滤单元的外径是2.5～4厘米，所述过滤网的孔径是1.5～2厘米。

本实用新型提供的气体处理装置，结构简单，使用方便，通过设置用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置，从尾气进气口进入腔体的尾气，在螺旋旋转装置的旋转带动下，会在过滤装置中螺旋式上升，一方面，可以增加尾气在过滤装置中的流经路径，从而增加过滤装置过滤尾气的有效面积，提高过滤装置的过滤效率；另一方面，通过螺旋旋转装置旋转带动过滤单元上下翻滚以及喷水装置对流动的过滤单元的喷雾作用，可以起到清洁各个过滤单元的作用，避免过滤装置出现堵塞现象，增加气体处理装置的使用期限，降低装置停机进行大型保养的频率，从而提高生产效率。本实用新型提供的气体处理装置，既可以用于工艺机台的尾气处理，也可以用于工厂排风***的气体处理。

附图说明

本实用新型的气体处理装置由以下的实施例及附图给出。

图1.1是现有的用于处理工艺机台尾气的气体处理装置的结构示意图。

图1.2是现有的(立式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置的结构示意图。

图1.3是现有的(卧式)工厂排风***水淋填充式气体处理装置的结构示意图。

图2.1是本实用新型实施例一的(立式)气处理装置的结构示意图。

图2.2是本实用新型实施例二的(立式)气处理装置的结构示意图。

图2.3是本实用新型实施例三的(卧式)气体处理装置的结构示意图。

图中，1-腔体、2-过滤装置、3-螺旋旋转装置、4-喷水装置、5-螺旋轴、6-马达、7-尾气排放口、8-螺旋叶片、9-过滤网、10-排水口，11-尾气进气口、12-除雾装置。

具体实施方式

以下将对本实用新型的气体处理装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关***或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

实施例一

请参阅图2.1，图2.1是本实用新型实施例一的(立式)气体处理装置的结构示意图。由图2.1可见，这种气体处理装置，主要用于处理机台尾气，包括腔体1、过滤装置2以及用于清洗所述过滤装置2的喷水装置4，所述腔体1设有尾气进气口11与尾气排放口7，所述尾气进气口11可以设置于所述腔体1的一侧下部或底部，所述尾气排放口7设置于所述腔体1的另一侧上部或者顶部，本实施例中，所述尾气进气口11可以设置于所述腔体1的一侧下部，所述尾气排放口7设置于所述腔体1的另一侧上部，所述尾气排放口7用于连接厂务排风***(未图示)，所述腔体1的底部设有排水口10，所述过滤装置2设于所述腔体1内，所述喷水装置4设置于所述过滤装置2的外侧，用于向所述过滤装置2喷水，从尾气进气口11进入腔体的尾气经过所述过滤装置2后从尾气排放口7流出所述腔体。所述过滤装置2包括水平设置于所述腔体1内的过滤网9以及设于所述过滤网9上的若干过滤单元。所述气体处理装置还设有用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置3。所述气体处理装置是立式结构，所述尾气进气口11与所述尾气排放口7不再同一水平位置上，分别设置于所述腔体1两侧的下部位置和上部位置。采用立式结构可以减少占地面积。

通过设置用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置3，从尾气进气口11进入腔体1的尾气，在螺旋旋转装置3的旋转带动下，会在过滤装置2中螺旋式上升，一方面，可以增加尾气在过滤装置2中的流经路径，从而增加过滤装置2过滤尾气的有效面积，提高过滤装置的过滤效率；另一方面，螺旋旋转装置3慢速旋转，其转速设置为一圈每分钟，螺旋旋转装置3缓慢带动过滤单元旋转上升翻滚，并通过喷水装置4向流动的过滤单元喷洒清洗液，可以起到依次清洁各个过滤单元的作用，进而可以防止装置堵塞，从而提高过滤装置的使用寿命。

本实施例中，所述螺旋旋转装置3包括马达6、旋转轴5以及螺旋叶片8，所述螺旋叶片8以螺旋上升形式设置于所述旋转轴5上，所述马达6带动所述旋转轴5转动，所述过滤单元填充于所述螺旋叶片8、过滤网9、腔体1内壁以及旋转轴5所隔成的空间内，所述马达6设置于所述腔体1的上方，所述旋转轴5的主***于所述腔体1的内部，所述旋转轴5的上端从所述腔体1的顶部伸出并与所述马达6的输出部连接。

较佳的，在本实施例的气体处理装置中，所述喷水装置4设置于所述腔体1的顶部，所述喷水装置4具有若干具有向下雾状喷水的喷口，所述喷口均匀布置于所述腔体1的顶部。本实施例中，所述喷口的数量是4个。将4个喷口均匀布置于所述腔体1的顶部，可以实现对过滤装置2的全面、均匀清洗。

较佳的，在本实施例的气体处理装置中，还包括除雾装置12，所述除雾装置12设置于所述喷水装置4的上方，用于排除雾气。

较佳的，在本实施例的气体处理装置中，所述过滤单元的外径比所述过滤网9的孔径大。所述过滤网9采用金属制成，呈网状分布，所述过滤网9的孔径是1.5～2厘米。所述过滤单元是可以球状体或方形体或椭球状体。本实施例中，所述过滤单元采用球状体，俗称过滤球，所述过滤单元的材质是塑料，所述过滤单元的直径是2.5～4厘米。经多次实验证明，采用直径范围是2.5～4厘米的过滤球，对尾气的处理效果较好，处理效率较高。

本实施例的气体处理装置的使用方法如下：

该实施例是以半导体生产使用情况加以说明，从半导体制造设备排放出来的有毒尾气，经气体处理装置的腔体1底部的尾气进气口11，进入气体处理装置的腔体1内，尾气向上进入过滤装置2内，由于马达6带动旋转轴5及其上的螺旋叶片8转动，当尾气进入过滤装置2后，会沿着螺旋旋转装置3的螺旋路径螺旋上升式经过过滤单元，当喷水装置4喷洒水雾后，尾气的有毒成份会被过滤单元过滤掉，最后通过尾气排放口7进入厂务排风***。由于尾气在过滤装置2中螺旋式上升，相比现有技术中尾气在过滤装置2中直线式上升，可以显著增加尾气流经过滤装置2的路径，因而，可以增加尾气和过滤单元的有效接触面积，从而，提高过滤装置2的过滤效率，即提高气体处理装置处理尾气的效率；与此同时，螺旋旋转装置3的慢速旋转，可以缓慢带动过滤单元旋转上升翻滚，并通过喷水装置4喷洒清洗翻滚的过滤单元，可以实现对各个过滤单元的清洗工作，防止过滤装置2出现堵塞现象，从而提高该气体处理装置的使用寿命。

实施例二

请参阅图2.2，图2.2所示是本实用新型实施例二的(立式)气体处理装置的结构示意图。由图2.2可见，本实施例的气体处理装置与实施例一的气体处理装置的区别在于：所述尾气进气口11设置于所述腔体1的一侧下部，所述尾气排放口7设置于所述腔体1的顶部，以适应厂务排风***气体处理的需要。

实施例三

请参阅图2.3，图2.3是本实用新型实施例三的(卧式)气体处理装置的结构示意图。由图2.3可见，本实施例的气体处理装置与实施例一的气体处理装置的区别在于：所述气体处理装置是卧式结构，所述尾气进气口11与尾气排放口4分别位于所述腔体的两侧的中部位置，也就是说，所述尾气进气口11与所述尾气排放口7基本上处于同一水平位置上，并且所述喷水装置4有两组，设置于所述腔体1的顶部，每组喷水装置4分别具有若干具有向所述过滤装置进行雾状喷水的喷口，所述喷口分别均匀布置于所述腔体的顶部与，分别对过滤装置2的上部进行冲洗。本实施例的使用方法与实施例一基本相同，在此不再赘述。本实施例相比实施例一，可以相对减少该装置的所需的高度空间，以适应不同的应用场合。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种气体处理装置，用于处理尾气，其特征在于，包括腔体、过滤装置以及用于清洗所述过滤装置的喷水装置，所述腔体设有尾气进气口与尾气排放口，所述腔体的底部设有排水口，所述过滤装置设于所述腔体内，所述喷水装置设置于所述过滤装置的上方，所述过滤装置包括过滤网以及设于所述过滤网上的若干过滤单元，所述气体处理装置还设有用于带动所述过滤单元螺旋上升翻滚的螺旋旋转装置。

2.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述螺旋旋转装置包括马达、旋转轴以及螺旋叶片，所述螺旋叶片以螺旋上升形式设置于所述旋转轴上，所述马达带动所述旋转轴转动，所述过滤单元填充于所述螺旋叶片、过滤网、腔体内壁以及旋转轴所隔成的空间内。

3.根据权利要求2所述的气体处理装置，其特征在于，所述马达设置于所述腔体的上方，所述旋转轴的主***于所述腔体的内部，所述旋转轴的上端从所述腔体的顶部伸出并与所述马达的输出部连接。

4.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述气体处理装置是立式结构，所述尾气进气口设置于所述腔体的一侧下部或底部，所述尾气排放口设置于所述腔体的另一侧上部或顶部。

5.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述气体处理装置是卧式结构，所述尾气进气口与尾气排放口分别位于所述腔体的两侧的中部位置。

6.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，还包括除雾装置，所述除雾装置设置于所述喷水装置的上方。

7.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述喷水装置具有若干具有向下雾状喷水的喷口，所述喷口均匀布置于所述过滤装置的上方。

8.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述过滤网水平设置于所述腔体内，所述过滤网采用金属制成，呈网状分布。

9.根据权利要求1所述的气体处理装置，其特征在于，所述过滤单元是球状体或方形体或椭球状体。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的气体处理装置，其特征在于，所述过滤单元的外径比所述过滤网的孔径大，所述过滤单元的外径是2.5～4厘米，所述过滤网的孔径是1.5～2厘米。