CN202478659U - 清除液体中气泡的装置 - Google Patents

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王振荣
刘红兵
张路
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Abstract

本实用新型公开了一种清除液体中气泡的装置，其特征在于，包括壳体，所述壳体设置有容腔，所述容腔与输液管路连通；还包括排气管，所述排气管具有进口和出口，所述进口位于壳体内与容腔连通，所述出口位于容腔外。本实用新型中的清除液体中气泡的装置，可以方便地收集液体中的气泡并可方便地排出，可以防止气泡影响电镀质量。

Description

清除液体中气泡的装置
技术领域
本实用新型涉及一种清除液体中气泡的装置。
背景技术
镀件电镀过程中，电镀液处于流动状态。流动中的电镀液容易产生气泡。存在气泡会影响电镀的质量。因此在电镀过程中，需要清除气泡以保证电镀质量。现有技术中，没有方便地清除电镀液中气泡的装置。
实用新型内容
本实用新型的第一个目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可方便地清除气泡的清除液体中气泡的装置。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
清除液体中气泡的装置，其特征在于，包括壳体，所述壳体设置有容腔，所述容腔与输液管路连通；还包括排气管，所述排气管具有进口和出口，所述进口位于壳体内与容腔连通，所述出口位于容腔外。
优选地是，所述的排气管设置有阀门。
优选地是，还包括副排气管，所述副排气管与排气管连通，所述阀门安装在副排气管上。
优选地是，所述阀门包括第一阀门和第二阀门，第一阀门与第二阀门均安装于副排气管上，并位于排气管与副排气管连通点的两侧。
优选地是，所述的排气管的进口位于壳体内容腔的上半部。
优选地是，所述输液管包括进液管和出液管，所述进液管和出液管均与壳体的容腔连通。
优选地是，所示的壳体设置有排气口，所排气口与容腔连通。
本实用新型中的清除液体中气泡的装置，可以方便地收集液体中的气泡并可方便地排出，可以防止气泡影响电镀质量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1所示，清除液体中气泡的装置，包括壳体1，所述壳体1设置有容腔2。壳体1上设置有排气口11。排气口11与容腔2连通。进液管3与容腔2连通；出液管3也与容腔2连通。排气管4具有进口41和出口42。进口41位于容腔2的上半部。出口42位于容腔2以外。排气管4的出口42与副排气管5连通。副排气管5上两端分别设置有第一阀门51和第二阀门52。第一阀门51和第二阀门52分列排气管4与副排气管5连通点的两侧。
使用时，镀液自进液管2进入壳体1的容腔2内。由于容腔2的截面积大于进液管2，镀液进入容腔2内后，其内含的气泡上升至镀液表面后扩散至容腔内。镀液然后经出液管3输送至使用地点。容腔2内的气体可经排气口11排出，也可经过排气管4、副排气管5排出。第一阀门51和第二阀门52用于控制排气管4和副排气管5的开和关。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims (7)

1.清除液体中气泡的装置，其特征在于，包括壳体，所述壳体设置有容腔，所述容腔与输液管路连通；还包括排气管，所述排气管具有进口和出口，所述进口位于壳体内与容腔连通，所述出口位于容腔外。
2.根据权利要求1所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，所述的排气管设置有阀门。
3.根据权利要求2所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，还包括副排气管，所述副排气管与排气管连通，所述阀门安装在副排气管上。
4.根据权利要求3所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，所述阀门包括第一阀门和第二阀门，第一阀门与第二阀门均安装于副排气管上，并位于排气管与副排气管连通点的两侧。
5.根据权利要求1所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，所述的排气管的进口位于壳体内容腔的上半部。
6.根据权利要求1所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，所述输液管包括进液管和出液管，所述进液管和出液管均与壳体的容腔连通。
7.根据权利要求1所述的清除液体中气泡的装置，其特征在于，所示的壳体设置有排气口，所排气口与容腔连通。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102912406A (zh) * 2012-11-12 2013-02-06 上海华力微电子有限公司 工艺腔体保护罩
CN103924282A (zh) * 2013-01-15 2014-07-16 深南电路有限公司 一种电镀缸
CN110090471A (zh) * 2018-01-31 2019-08-06 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种液箱和液体循环装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102912406A (zh) * 2012-11-12 2013-02-06 上海华力微电子有限公司 工艺腔体保护罩
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CN103924282A (zh) * 2013-01-15 2014-07-16 深南电路有限公司 一种电镀缸
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