CN202462201U - 研磨温控***和研磨装置 - Google Patents
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103753380A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-30 | 河南科技学院 | 基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制*** |
CN103978421A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 化学机械抛光终点侦测装置及方法 |
CN104290020A (zh) * | 2014-09-11 | 2015-01-21 | 衢州学院 | 一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置 |
CN104290020B (zh) * | 2014-09-11 | 2017-01-04 | 衢州学院 | 一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置 |
CN107088825A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-08-25 | 上海华力微电子有限公司 | 化学机械研磨机台、温度控制***及其温度控制方法 |
CN107097145A (zh) * | 2016-02-22 | 2017-08-29 | 株式会社荏原制作所 | 用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法 |
CN107891357A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-10 | 德淮半导体有限公司 | 晶圆加工装置及其加工方法 |
CN109877699A (zh) * | 2019-03-01 | 2019-06-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种化学机械研磨装置及方法 |
CN111230726A (zh) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 株式会社荏原制作所 | 温度调节装置及研磨装置 |
CN115066316A (zh) * | 2020-06-29 | 2022-09-16 | 应用材料公司 | 控制化学机械抛光的蒸汽产生 |
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2012
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103978421A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 化学机械抛光终点侦测装置及方法 |
CN103978421B (zh) * | 2013-02-07 | 2017-04-19 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 终点侦测方法及化学机械抛光***的抛光方法 |
CN103753380B (zh) * | 2013-12-18 | 2016-04-20 | 河南科技学院 | 基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制*** |
CN103753380A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-30 | 河南科技学院 | 基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制*** |
CN104290020A (zh) * | 2014-09-11 | 2015-01-21 | 衢州学院 | 一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置 |
CN104290020B (zh) * | 2014-09-11 | 2017-01-04 | 衢州学院 | 一种基于制冷片的可溶性固着软质磨料抛光装置 |
CN107097145B (zh) * | 2016-02-22 | 2021-03-30 | 株式会社荏原制作所 | 研磨装置、用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法 |
CN107097145A (zh) * | 2016-02-22 | 2017-08-29 | 株式会社荏原制作所 | 用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法 |
CN107088825A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-08-25 | 上海华力微电子有限公司 | 化学机械研磨机台、温度控制***及其温度控制方法 |
CN107891357A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-10 | 德淮半导体有限公司 | 晶圆加工装置及其加工方法 |
CN111230726A (zh) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 株式会社荏原制作所 | 温度调节装置及研磨装置 |
CN109877699A (zh) * | 2019-03-01 | 2019-06-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种化学机械研磨装置及方法 |
CN115066316A (zh) * | 2020-06-29 | 2022-09-16 | 应用材料公司 | 控制化学机械抛光的蒸汽产生 |
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GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20130425 |
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C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 100176 DAXING, BEIJING |
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TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130425 Address after: 100176 No. 18, Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone Patentee after: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation Address before: 201203 Shanghai City, Pudong New Area Zhangjiang Road No. 18 Patentee before: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation |
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Granted publication date: 20121003 |
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