CN202440317U - 一种带有超纯氨净化器的连接管 - Google Patents
一种带有超纯氨净化器的连接管 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202440317U CN202440317U CN 201220038130 CN201220038130U CN202440317U CN 202440317 U CN202440317 U CN 202440317U CN 201220038130 CN201220038130 CN 201220038130 CN 201220038130 U CN201220038130 U CN 201220038130U CN 202440317 U CN202440317 U CN 202440317U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ammonia
- raw material
- pipe
- connecting tube
- purifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01C—AMMONIA; CYANOGEN; COMPOUNDS THEREOF
- C01C1/00—Ammonia; Compounds thereof
- C01C1/02—Preparation, purification or separation of ammonia
- C01C1/024—Purification
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种带有超纯氨净化器的连接管，设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进口管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的氨气进口连接的进口管口和出口管口，所述进口管口和出口管口之间设有氨气净化***。本实用新型通过在氨气原料管路和氨气使用设备之间预设净化器，有效净化即将进入原料使用设备的氨气原料，去除氨气原料在充装、储存、运输等环节中可能产生的杂质污染，有效保障后续工艺的安全运行和产品生产质量。
Description
技术领域
本实用新型属于工业气体加工生产领域，具体是一种带有超纯氨净化器的连接管。
背景技术
超纯氨在电子产品加工领域具有很重要的应用，如半导体芯片、LCD/LED液晶显示屏和平板显示设备等的制造过程中，需要使用大量的超纯氨,在这些过程中，要求氨的纯度要足够高,在沉积膜中即使是痕量的杂质，也会导致膜品质和性能的下降，如氧杂质会造成晶格欲陷，最终导致器件报废。然而，在氨气原料的生产过程中，即使制氨工厂能够把氨提纯到足够的纯度，由于在充装、储存、运输和使用等环节，超纯氨都存在被污染的可能，因此就有必要采取措施使确保进入使用氨气使用***的超纯氨纯度免遭污染。
发明内容
本实用新型的技术目的是提供一种简单、方便的装置解决现有技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是：
一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，其设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进口管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的进口管路连接的进口管口和出口管口，所述进口管口和出口管口之间设有氨气净化***。
进一步的技术方案包括：
在所述进口管口上设有控制管路启闭的电磁阀。
所述净化***包括脱氧单元和除水单元。
本装置在使用时，一端连接氨气原料管路，另一端连接氨气使用设备，使氨气原料通过所述净化器再进入氨气使用设备，用于去除氨气原料在充装、储存、运输和之前的使用环节中可能产生的杂质污染，有效保障了后续工艺的安全进行和产品质量，提高了产品的良品率，避免了不必要的损失，并且本实用新型结构简单、使用方便。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了阐明本实用新型的技术方案及技术目的，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型做进一步的介绍。
如图1所示， 一种带有超纯氨净化器的连接管，两端分别为进口管口1和出口管口2，使用时，将一端的进口管口1连接在氨气原料管路输出管路上，将另一端的出口管口2连接在氨气使用设备的氨气输入进口管路上，所述进口管口1和出口管口2上均设有密封装置。所述进口管口1和出口管口2之间设有氨气净化***3，所述净化***3包括脱氧单元和除水单元，用于净化进入氨气使用设备的氨气原料中的O2、H2O杂质。
所述进口管口1上还设有控制管路启闭的电磁阀4，当原料氨气污染超标，超出所述净化***3的净化能力范围使，即控制电磁阀4关闭进口管路1，停止原料供给。
以上已以较佳实施例公开了本实用新型，然其并非用以限制本实用新型，凡采用等同替换或者等效变换方式所获得的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，其设置于氨气原料管路与氨气使用设备的氨气进口管路之间，包括分别与氨气原料管路、氨气使用设备的氨气进口连接的进口管口和出口管口，所述进口管口和出口管口之间设有氨气净化***。
2.根据权利要求1所述的一种带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，在所述进口管口上设有控制管路启闭的电磁阀。
3.根据权利要求1或2所述的一种带有带有超纯氨净化器的连接管，其特征在于，所述净化***包括脱氧单元和除水单元。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220038130 CN202440317U (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种带有超纯氨净化器的连接管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220038130 CN202440317U (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种带有超纯氨净化器的连接管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202440317U true CN202440317U (zh) | 2012-09-19 |
Family
ID=46821771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220038130 Expired - Lifetime CN202440317U (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种带有超纯氨净化器的连接管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202440317U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102583444A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-07-18 | 张健 | 一种用于三段降膜燃煤法制碱的制碱装置及方法 |
-
2012
- 2012-02-07 CN CN 201220038130 patent/CN202440317U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102583444A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-07-18 | 张健 | 一种用于三段降膜燃煤法制碱的制碱装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104748507B (zh) | 化工厂含氨废气回收为液氨的处理***及其处理方法 | |
| CN204735022U (zh) | 氯硅烷废液的净化回收装置 | |
| CN202440317U (zh) | 一种带有超纯氨净化器的连接管 | |
| CN204549322U (zh) | 一种水泥生产物料输送装置 | |
| CN202785681U (zh) | 一种超净高纯氨水的连续生产装置 | |
| CN204852929U (zh) | 一种新型氮气站*** | |
| CN205461732U (zh) | 激光器废气回收装置 | |
| CN202358933U (zh) | 一种去除四氯化锗中含氢杂质的装置 | |
| CN202785659U (zh) | 一种二氧化氮含量的控制*** | |
| CN203075740U (zh) | 一种抽料过滤设备 | |
| CN204384102U (zh) | 一种硝酸储存装置 | |
| CN215853073U (zh) | 四氯化钛安全储存*** | |
| CN204508813U (zh) | 一种氦气提纯处理*** | |
| KR101750451B1 (ko) | 고순도 헥사클로로디실란 파티클 제거 장치 | |
| CN203777706U (zh) | 三嗪酮水解反应釜的除油压滤出料装置 | |
| CN103007319B (zh) | 一种工业微生物发酵生产用灭菌空气净化器 | |
| CN210012606U (zh) | 一种ppt级超高纯氨水生产线 | |
| CN202498062U (zh) | 一种高纯硅烷钢瓶清洗*** | |
| CN203954904U (zh) | 一种新型的气体除尘装置 | |
| CN203711018U (zh) | 工业生产废气处理设备 | |
| CN201999386U (zh) | 一种高纯度三氯氧磷加压储运供料装置 | |
| CN213040303U (zh) | 一种高纯电子气体的充装*** | |
| CN207330382U (zh) | 一种用于气相法白炭黑生产原料除杂质的装置 | |
| CN202199338U (zh) | 催化剂更换装置 | |
| CN207463178U (zh) | 一种脱溶釜负压*** |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Zhenning Liyang road Jiangning Lukou District of Nanjing City, Jiangsu Province, No. 100 210000 Patentee after: Nanjing special gas factory Limited by Share Ltd Address before: Zhenning Liyang road Jiangning Lukou District of Nanjing City, Jiangsu Province, No. 100 210000 Patentee before: Nanjing Special Gas Factory Co., Ltd. |
|
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20120919 |