CN202390527U - 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架 - Google Patents

一种用于真空管镀膜的复合真空管工架 Download PDF

Info

Publication number
CN202390527U
CN202390527U CN2011205282595U CN201120528259U CN202390527U CN 202390527 U CN202390527 U CN 202390527U CN 2011205282595 U CN2011205282595 U CN 2011205282595U CN 201120528259 U CN201120528259 U CN 201120528259U CN 202390527 U CN202390527 U CN 202390527U
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum tube
actors
postures
movements
work frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011205282595U
Other languages
English (en)
Inventor
于洪文
马兵
张艳丽
安利娟
李春江
何晓倩
李宝山
陈志朋
李萍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANGDONG SANGLE SOLAR ENERGY CO Ltd
Original Assignee
SHANGDONG SANGLE SOLAR ENERGY CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHANGDONG SANGLE SOLAR ENERGY CO Ltd filed Critical SHANGDONG SANGLE SOLAR ENERGY CO Ltd
Priority to CN2011205282595U priority Critical patent/CN202390527U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202390527U publication Critical patent/CN202390527U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、及同轴固装的大齿轮、真空管工架及其底端设置的工架主轴，工架主轴上安装工架齿轮；其特征是：绕大转盘在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘固装在一自转轴上且同轴安装小齿轮，小齿轮与大齿轮啮合；各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；与小转盘同轴安装二级传动齿轮；在小转盘上方绕其轴线均布设置多个真空管工架；工架齿轮与二级传动齿轮啮合；工架主轴通过轴承安装在小转盘上；大齿轮与各小齿轮的传动比相同；二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。它可提高真空管镀膜效率，节省生产成本，也降低了真空镀膜对真空室操作空间的要求，还减少了靶材浪费。

Description

一种用于真空管镀膜的复合真空管工架
技术领域
本实用新型涉及真空管磁控溅射镀膜机技术领域，尤其是真空管磁控溅射镀膜机的真空管工架。
背景技术
镀膜是真空管生产中的关键技术，现有真空管磁控溅射镀膜机多为单机式生产，不能实现连续化镀膜方式，每一炉真空管都需要经过装管、抽真空、镀膜、放气、拾管过程，然后再进行下一炉的重复过程，镀膜时间占整个生产过程的60％左右，因此一炉装管数量决定了生产效率的高低。
如图1所示，普通镀膜机真空管工架2均匀的分布在大转盘1一周，通过自转轴与大转盘1连接，和大转盘1一起在真空室5内实现自转、公转动作，而靶材3的消耗在固定工艺参数下只与时间有关系，因此在保证质量的前提下如何提高单炉镀管数量是提高生产效率的关键因素。
实用新型内容
为了克服上述现有技术存在的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，它可提高真空管磁控溅射镀膜机一炉的装管数量，从而提高真空管镀膜效率。
为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案：一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、与大转盘同轴固装的大齿轮；还包括真空管工架，所述真空管工架底端设置一工架主轴，该工架主轴上安装有工架齿轮；
绕所述大转盘的轴线在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘中心处分别固装一根自转轴且同轴安装有小齿轮，所述各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；所述小齿轮与所述大齿轮啮合；与所述小转盘还同轴安装有二级传动齿轮；
在每个小转盘上方且绕小转盘轴线均布设置至少两个真空管工架；所述工架齿轮与所述二级传动齿轮啮合；所述工架主轴通过轴承安装在小转盘上；
所述大齿轮与各小齿轮之间的传动比相同；
所述二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。
本实用新型的有益效果是：它可提高真空管磁控溅射镀膜机一炉的装管数量，从而提高真空管镀膜效率。从而与现有技术相比能节省生产成本，在同样质量情况下折合单支管节省生产成本超过20％；生产效率提高约30％。同时，也降低了真空镀膜对真空室操作空间的要求，不需要建更大的真空室，还减少了靶材浪费。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：
图1为现有的真空管溅射镀膜机真空室的俯视结构状态示意图；
图2为采用本实用新型复合真空管工架的真空管溅射镀膜机真空室的俯视结构状态示意图；
图3为本实用新型实施例的主视图；
图中：1大转盘，2真空管工架，3靶材，5真空室，6复合真空管工架；7自转轴，8主传动轴，9大齿轮，10工架主轴，11工架齿轮，12小转盘，13小齿轮，14二级传动齿轮。
具体实施方式
如图1所示，该用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴8上的大转盘1、与大转盘1同轴固装的大齿轮9；还包括真空管工架2，所述真空管工架2底端设置一工架主轴10，该工架主轴10上安装有工架齿轮11。
绕所述大转盘1的轴线在其上方均布设置多个小转盘12，各小转盘12中心处分别固装一根自转轴7且同轴安装有小齿轮13，所述各自转轴7分别通过轴承安装在大转盘1上；所述小齿轮13与所述大齿轮9啮合；与所述小转盘12还同轴安装有二级传动齿轮14。
在每个小转盘12上方且绕小转盘12轴线均布设置有四个真空管工架2；所述工架齿轮11与所述二级传动齿轮14啮合；所述工架主轴10通过轴承安装在小转盘12上。
工作时，主传动轴8驱动大转盘1转动，大转盘1通过自转轴7、小转盘12带动各真空管工架2绕大转盘1的轴线公转。同时，与大转盘1同轴的大齿轮9驱动小齿轮13转动，小齿轮13带动自转轴7进行自转，安装在同一小转盘12上的真空管工架2绕该小转盘12的轴线自转。此外，自转轴7进一步通过二级传动齿轮14、工架齿轮11驱动真空管工架2进行二次自转。
这样增加单个真空镀膜机真空室内的真空管工架的数量，即增加了每次镀膜时安装的真空管数量，提高了工作效率；而且不影响镀膜质量，并同时减少了靶材空溅射的时间即减少了靶材的浪费。
本实用新型并不仅仅局限于上述实施例，作为其他实施方式：两个、三个、五个甚至更多个真空管工架设置在一个小转盘上，也能实现发明目的，连接及传动方式与上述方式相同。但优选上述四个真空管工架的方式。

Claims (1)

1.一种用于真空管镀膜的复合真空管工架，包括安装在主传动轴上的大转盘、与大转盘同轴固装的大齿轮；还包括真空管工架，所述真空管工架底端设置一工架主轴，该工架主轴上安装有工架齿轮；其特征是：
绕所述大转盘的轴线在其上方均布设置多个小转盘，各小转盘中心处分别固装一根自转轴且同轴安装有小齿轮，所述各自转轴分别通过轴承安装在大转盘上；所述小齿轮与所述大齿轮啮合；与所述小转盘还同轴安装有二级传动齿轮；
在每个小转盘上方且绕小转盘轴线均布设置至少两个真空管工架；所述工架齿轮与所述二级传动齿轮啮合；所述工架主轴通过轴承安装在小转盘上；
所述大齿轮与各小齿轮之间的传动比相同；
所述二级传动齿轮与各工架齿轮的传动比相同。
CN2011205282595U 2011-12-16 2011-12-16 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架 Expired - Fee Related CN202390527U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205282595U CN202390527U (zh) 2011-12-16 2011-12-16 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011205282595U CN202390527U (zh) 2011-12-16 2011-12-16 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202390527U true CN202390527U (zh) 2012-08-22

Family

ID=46665464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011205282595U Expired - Fee Related CN202390527U (zh) 2011-12-16 2011-12-16 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202390527U (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104328386A (zh) * 2014-10-09 2015-02-04 镇江四联机电科技有限公司 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构
CN105154845A (zh) * 2015-09-30 2015-12-16 扬中中科维康智能科技有限公司 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构
CN105420681A (zh) * 2015-12-09 2016-03-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装
CN106835060A (zh) * 2017-04-10 2017-06-13 天津职业技术师范大学 一种可实现三维连续转动的圆柱柄刀具涂层夹具装置
CN108396302A (zh) * 2018-05-29 2018-08-14 大连维钛克科技股份有限公司 基片承载轴连续摆动式转架
CN108950509A (zh) * 2018-08-27 2018-12-07 成都工业职业技术学院 一种行星式三级齿轮传动刀片夹具装置
CN109881170A (zh) * 2019-03-07 2019-06-14 厦门阿匹斯智能制造***有限公司 一种磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104328386A (zh) * 2014-10-09 2015-02-04 镇江四联机电科技有限公司 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构
CN105154845A (zh) * 2015-09-30 2015-12-16 扬中中科维康智能科技有限公司 一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构
CN105420681A (zh) * 2015-12-09 2016-03-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于控制平面元件膜厚均匀性的镀膜工装
CN106835060A (zh) * 2017-04-10 2017-06-13 天津职业技术师范大学 一种可实现三维连续转动的圆柱柄刀具涂层夹具装置
CN108396302A (zh) * 2018-05-29 2018-08-14 大连维钛克科技股份有限公司 基片承载轴连续摆动式转架
CN108950509A (zh) * 2018-08-27 2018-12-07 成都工业职业技术学院 一种行星式三级齿轮传动刀片夹具装置
CN108950509B (zh) * 2018-08-27 2023-11-07 成都工业职业技术学院 一种行星式三级齿轮传动刀片夹具装置
CN109881170A (zh) * 2019-03-07 2019-06-14 厦门阿匹斯智能制造***有限公司 一种磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202390527U (zh) 一种用于真空管镀膜的复合真空管工架
CN106732919A (zh) 一种中微量元素颗粒肥的生产方法
CN202010608U (zh) 一种坩埚制备装置
CN202371107U (zh) 差速器
CN103361616A (zh) 真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置
CN207241397U (zh) 两档电机后纵置集成式驱动桥总成
CN112337177A (zh) 一种菜叶加工用脱水筛杂一体机
CN215743831U (zh) 一种立式铝银浆生产球磨装置
CN2890078Y (zh) 真空镀膜机多级行星式工件架
CN214390449U (zh) 一种非金属纳米材料生产用球磨装置
CN201406467Y (zh) 三靶多支太阳能集热管镀膜机
CN202108940U (zh) 一种双轴联动装置
CN207830469U (zh) 一种减速器齿轮结构
CN201836306U (zh) 一种减速机
CN102086507A (zh) 溅镀装置
CN202065322U (zh) 拖拉机变速箱的主变速轴
CN202790403U (zh) 凸轮轴正时齿轮
CN207056879U (zh) 一种自动撒粉装置
CN205839119U (zh) 一种真空磁控镀膜机
CN103234009A (zh) 组合式铜管盘拉机用齿轮减速机
CN202139292U (zh) 一种应用于真空涂层领域的新型工件架
CN206911666U (zh) 一种胶水涂覆装置
CN201160460Y (zh) 往复涂布加料平面圆环转盘焙烤式锅糍机
CN201723659U (zh) 一种改良式变速器
CN207554709U (zh) 一种加工中心机床用变速箱

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120822

Termination date: 20121216