CN202290660U - 直线式轨道清洗机 - Google Patents
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Abstract
一种直线式轨道清洗机,包括:至少一喷洗构件,其具备一个以上的喷嘴组,且喷嘴组至少有一喷嘴为喷气喷嘴,喷嘴组设在一横杆内侧,横杆的外侧枢设在一立杆上,立杆连接在一线性移载单元上,线性移载单元呈线性位移时,同步带动喷嘴组往复位移;一制动元件,设在立杆上,用以带动横杆以枢接端为轴心作一角度的转动,使喷嘴组的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向一电路板上的芯片。本实用新型具有省时省人力的功效,其清洗喷嘴可调整转向,能对芯片的前、后侧皆进行清洗,具有提升清洗品质的功效,其清洗过程中,更注入有负离子风使得微细粉尘更干净,清洗干燥效果更为增进的功效。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种直线式轨道清洗机,尤指一种在直线上一贯自动化进行清水喷洗及二流体喷洗,并予以烘干的清洗机,用以自动化生产,可精简人力、避免人为因素而造成产品的不良,据以达成于一贯化生产的目的。
背景技术
传统半导体元件清洗机,是于清洗机的一清洗槽内,盛装清水、化学药剂等清洗液体,又将待清洁的芯片等半导体放设于该清洗槽内的一转盘上,利用一马达带动该转盘转动,使清洗液翻搅,而达到去除该半导体上脏污的目的。
然而,此种清洁方式,主要是对借由转动所生的离心力,使芯片上残留的环氧树脂等残余物脱离;对于半导体于制程过程中所产生的胶黏物、沾黏物等残余的黏性微物质,并无法以此种方式达成清洁的目的。
又,芯片等半导体元件设计精密,物件稍有微误,即对该半导体元件的导电性有影响,进而影响该等电子产品的良率及稳定性。
图1~图2所示,即为现有一种离心式清洗机,其包括:一机台10,一清洗槽11设在机台10上,一马达12位清洗槽11底部,用以带动一转盘13,而清洗液14及蒸气产生器15及蒸气调节阀16则设于机台10内部或周边,借由经喷嘴17,对转盘13上的电路板表面作清洗工作;此类型专利见诸于申请人所拥有的第98210043号「蒸气清洗方式之半导体元件清洗机」专利中。
但查,现有的芯片清洗机,多数必须借助人工直接于清洗槽中取放芯片,而于清洗过程令人力闲置,又于取放芯片的时候无法进行清洗的工作,不仅耗费人力成本且清洗效率差;另有将清洗槽设为掀盖式,则易造成芯片于取放过程中受到落尘的污染。
再者,如图3所示,现有的喷嘴方向呈固定的角度对电路板20的芯片21进行喷洗;但,如此一来,位于芯片211的后侧面,形成清洗的死角,使得清洗的品质受到影响,因此尚有改善空间。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于,克服现有技术存在的上述缺陷,而提供一种直线式轨道清洗机,其采用非离心方式的直线式移载来清洗电子元件,使其清水喷洗、二流体喷洗及干燥一贯自动化完成,具有省时省人力的功效增进,其清洗喷嘴可调整转向,能对芯片的前、后侧皆进行清洗,具有提升清洗品质的功效增进,其清洗过程中,更注入有负离子风使得微细粉尘更干净,清洗干燥效果更为增进的功效。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种直线式轨道清洗机,包含:
至少一喷洗构件,其具备一个以上的喷嘴组,且该喷嘴组至少有一喷嘴为喷气喷嘴,该喷嘴组设在一横杆内侧,该横杆的外侧枢设在一立杆上,该立杆连接在一线性移载单元上,该线性移载单元呈线性位移时,同步带动该喷嘴组往复位移;以及一制动元件,设在该立杆上,用以带动该横杆以枢接端为轴心作一角度的转动,使该喷嘴组的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向一电路板上的芯片,进而使得芯片的前后侧皆可被清洗到。
本实用新型依据前述特征,其一较佳实施例包含:
一组轨道,呈相向设置,并保持一预定距离的宽度,且其直立相向的内侧面,至少设有一组相向的第一滑槽,供预定宽度的电路板的两侧端嵌入该滑槽;一移载装置,设置于该轨道下方,其包括一架体,一用以控制该架体升降的顶升构件,以及一设于该架体上的往复式线性移位构件,该移位构件具有一推动该电路板在轨道上位移的杆件;数个升降式阻隔构件,设于该轨道之间,用以将该轨道区隔成一待料区、一个以上的喷洗区及一烘干区;至少一喷洗构件,其具备一个以上的喷嘴组,且该喷嘴组至少有一喷嘴为喷气喷嘴,该喷嘴组设在一横杆内侧,该横杆的外侧枢设在一立杆上,该立杆连接在一线性移载单元上,该线性移载单元呈线性位移时,同步带动该喷嘴组往复位移;以及一制动元件,设在该立杆上,用以带动该横杆以枢接端为轴心作一角度的转动,使该喷嘴组的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向一电路板上的芯片,进而使得芯片的前后侧皆可被清洗到。
又,该轨道固定一基体上,且该轨道更设有一组相向的第二滑槽,且该第二滑槽之间隙大于该第一滑槽,供不同厚度的电路板选择嵌入。此外,该移载装置的顶升构件为一气压缸。
再,该烘干区设有远红外线照射灯管。该喷洗区包括一清水喷洗区及二流体喷洗区,且其分别设有该喷洗构件,该喷洗构件包括喷射流体及气体,该流体包括为清水、二流体静电消除剂,该气体包括为负离子风、氮气(N2)或蒸气,且该喷嘴组中的喷气喷嘴呈独立设在该喷嘴组的侧边。
再者,该制动元件为一气压缸及一气压缸的驱动的连杆,由该连杆来带动该横杆一转动角度。
借助上述技术手段,本实用新型得以种直线式轨道清洗机,借由移载装置的顶升构件使电路板进而快速定位至生产区,缩短升生产的时间也可避免化学物沉积于芯片的时间过长,且直线式轨道清洗机的喷洗构件,其中该喷嘴组可往复又可摇摆之方式,清洗该电路板上的芯片,进而提升清洗的品质。
本实用新型的有益效果是,其采用非离心方式的直线式移载来清洗电子元件,使其清水喷洗、二流体喷洗及干燥一贯自动化完成,具有省时省人力的功效增进,其清洗喷嘴可调整转向,能对芯片的前、后侧皆进行清洗,具有提升清洗品质的功效增进,其清洗过程中,更注入有负离子风使得微细粉尘更干净,清洗干燥效果更为增进的功效。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是现有离心式清洗机的剖面图。
图2是现有离心式清洗机的使用状态图。
图3是现有离心式清洗机清洗芯片的示意图。
图4是本实用新型直线式轨道清洗机的示意图。
图5是本实用新型直线式轨道清洗机的顶升使用状态图。
图6是本实用新型直线式轨道清洗机的下降使用状态图。
图7是本实用新型直线式轨道清洗机的移载示意图。
图8A是本实用新型直线式轨道清洗机的喷洗构件的示意图。
图8B是本实用新型直线式轨道清洗机的喷洗构件的使用状态图。
图9是本实用新型直线式轨道清洗机的喷洗构件清洗芯片的使用状态图。
图10是本实用新型直线式轨道清洗机的喷洗构件清洗芯片的使用状态图。
图中标号说明:
20电路板
21芯片
30轨道
31第一滑槽
32第二滑槽
33基体
40移载装置
41架体
42顶升构件
43移位构件
44杆件
50喷洗构件
51移载单元
52立杆
53横杆
54喷嘴组,
541喷气喷嘴
55制动元件
60远红外线照射灯管
70生产区
71待料区
72清水喷洗区
73二流体喷洗区
74烘干区
80升降式阻隔构件
具体实施方式
首先,请参阅图4~图6所示,本实用新型直线式轨道清洗机的较佳实施例包含有:
一组轨道30,呈相向设置,并保持一预定距离的宽度,且其直立相向的内侧面,至少设有一组相向的第一滑槽31,供预定宽度的电路板20的两侧端嵌入该滑槽31;一移载装置40,设置于该轨道30下方,其包括一架体41,一用以控制该架体41升降的该顶升构件42,以及一设于该架体41上的往复式线性移位构件43,该移位构件43具有一推动该电路板20在该轨道30上位移的杆件44;数个升降式阻隔构件80,设于该轨道30之间,用以将该轨道30区隔成一待料区71、一个以上的喷洗区及一烘干区74,本实施例中,该喷洗区包括一清水喷洗区72及二流体喷洗区73,且其分别设有喷洗构件50,其中该烘干区74设有远红外线照射灯管60,承上,本实例中,该轨道30设置四个区,该升降式阻隔构件80设于各区之间,其中该轨道30固定一基体33(图8A)上,更包括设有一组相向的第二滑槽32,且该第二滑槽32之间隙大于该第一滑槽31,供不同厚度的电路板20选择嵌入,当该电路板20移动至该轨道30,由于各区的生产条件不同,因此,各区的该升降式阻隔构件80会因加工动作结束而升,加工动作开始而降,以防止各区交叉污染而导致该电路板20上的芯片21的品质异常。此外,该移载装置40的该顶升构件42为一气压缸。
前述的实用新型使该直线式轨道清洗机,借由该移载装置40的该顶升构件42以垂直的运动做定位动作,又该移位构件43以水平的运动做定位动作,使该电路板20进而快速定位至生产区70,缩短升生产的时间也可避免化学物沉积于芯片21的时间过长。
图7~图10所示,本实用新型直线式轨道清洗机的喷洗构件50包含:至少一喷洗构件50,其具备一个以上的喷嘴组54,且该喷嘴组54至少有一喷嘴为喷气喷嘴541,该喷嘴组54设在一横杆53内侧,该横杆53的外侧枢设在一立杆52上,该立杆52连接在一线性移载单元51上,该线性移载单元51呈线性位移时,同步带动该喷嘴组54往复位移;以及一制动元件55,设在该立杆52上,用以带动该横杆53以枢接端为轴心作一角度的转动,使该喷嘴组54的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向该电路板20上的芯片21,进而使得芯片21的前后侧皆可被清洗到,本实施例中,该制动元件55为该气压缸及该气压缸的驱动的连杆56,由该连杆56来带动该横杆53一转动角度。
前述的实用新型使该喷嘴组54可往复又可摇摆的方式,清洗该电路板20上的芯片21,进而提升清洗的品质,其中该喷嘴组54的该喷洗构件50包括喷射流体及气体,该流体包括为清水、二流体静电消除剂,该气体包括为负离子风、氮气(N2)或蒸气且该喷嘴组54中的喷气喷嘴541呈独立设在该喷嘴组54的侧边,该流体与该气体同时从喷嘴上喷出,使该流体清洗芯片21时清洗化学物而冲击力则产生细微粉尘,可借由该气体而使细微粉尘隔离于芯片21。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
综上所述,本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上,完全符含产业发展所需,且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造,具有新颖性、创造性、实用性,符合有关新型专利要件的规定,故依法提起申请。
Claims (9)
1.一种直线式轨道清洗机,其特征在于,包括:
至少一喷洗构件,其具备一个以上的喷嘴组,且该喷嘴组至少有一喷嘴为喷气喷嘴,该喷嘴组设在一横杆内侧,该横杆的外侧枢设在一立杆上,该立杆连接在一线性移载单元上,该线性移载单元呈线性位移时,同步带动该喷嘴组往复位移;
一制动元件,设在该立杆上,用以带动该横杆以枢接端为轴心作一角度的转动,使该喷嘴组的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向一电路板上的芯片。
2.一种直线式轨道清洗机,其特征在于,包括:
一组轨道,呈相向设置,并保持一预定距离的宽度,且其直立相向的内侧面,至少设有一组相向的第一滑槽,供预定宽度的电路板的两侧端嵌入该滑槽;
一移载装置,设置于该轨道下方,其包括一架体,一用以控制该架体升降的顶升构件,以及一设于该架体上的往复式线性移位构件,该移位构件具有一推动该电路板在轨道上位移的杆件;
数个升降式阻隔构件,设于该轨道之间,用以将该轨道区隔成一待料区、一个以上的喷洗区及一烘干区;
至少一喷洗构件,其具备一个以上的喷嘴组,且该喷嘴组至少有一喷嘴为喷气喷嘴,该喷嘴组设在一横杆内侧,该横杆的外侧枢设在一立杆上,该立杆连接在一线性移载单元上,该线性移载单元呈线性位移时,同步带动该喷嘴组往复位移;
一制动元件,设在该立杆上,用以带动该横杆以枢接端为轴心作一角度的转动,使该喷嘴组的喷流或喷气方向,与线性位移呈同一方向,且呈一倾斜角度喷向一电路板上的芯片。
3.根据权利要求2所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述轨道固定一基体上,更设有一组相向的第二滑槽,且该第二滑槽的间隙大于该第一滑槽,供不同厚度的电路板选择嵌入。
4.根据权利要求2所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述移载装置的顶升构件为一气压缸。
5.根据权利要求2所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述烘干区设有远红外线照射灯管。
6.根据权利要求2所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述喷洗区包括一清水喷洗区及二流体喷嘴区,且其分别设有所述喷洗构件。
7.根据权利要求6所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述喷洗构件包括喷射流体及气体,该流体包括清水、二流体静电消除剂,该气体包括负离子风、氮气(N2)或蒸气。
8.根据权利要求6或7所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述喷嘴组中的喷气喷嘴呈独立设在该喷嘴组的侧边。
9.根据权利要求2所述的直线式轨道清洗机,其特征在于,所述制动元件为一气压缸及一气压缸的驱动的连杆,由该连杆来带动该横杆一转动角度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2011203748904U CN202290660U (zh) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 直线式轨道清洗机 |
Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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