CN202230032U - 视觉检查复检机 - Google Patents

Abstract

一种视觉检查复检机，包含一工作基台，用以承载一受检工件；一光学感测装置，设置于该工作基台上方；以及一切换镜组，设置于该工作基台及该光学感测装置之间，该光学感测装置经由该切换镜组感测该受检工件，该切换镜组提供一第一光学路径及一第二光学路径，该第一光学路径提供该光学感测装置感测垂直于该受检工件的一正面视角影像，该第二光学路径提供该光学感测装置感测倾斜于该受检工件的一斜向面视角影像。本实用新型的视觉检查复检机，通过反射镜组的配置提供光学路径的切换，使单一光学感测装置能拍摄正面与斜向面的影像，解决拍摄死角的问题。

Description

视觉检查复检机

技术领域

本实用新型涉及一种光学检验装置，尤其涉及一种具有可切换光学路径的复检机。

背景技术

于现今电子装置当中，通常具有诸多电子元件组装于印刷电路板上。在印刷电路板(Printed Circuit Board，PCB)的组装生产在线，因为印刷电路板上的电子元件已朝向微型化和密集化的趋势发展，故于印刷电路板上所分布的细密电子元件，已不能再依靠作业人员的人工目检去辨识缺陷。因此，印刷电路板的装配厂商通常会于其生产在线装设自动光学检测设备，藉以进行精确的检测。

自动光学检测设备(Automatic Optical Inspection，AOI)主要通过计算机程序的驱动，并通过摄像镜头(如CCD、相机、摄影机或其它光学感测装置)对一待检测物进行自动扫瞄，并收集经过扫描后的图像，再将图像与数据库中的标准参数进行比对及分析处理，并且在图像上找出待检测物的缺陷。自动光学检测可以检测的缺陷，包含检测电子元件接脚是否漏焊、短路、确实沾锡或锡量不均，以及电子元件是否偏移、变色变形甚至缺漏等情形。接着，再将计算机检测出来的缺陷结果，通过自动光学检测设备(AOI)自身显示器或传送至下游的复检机或修复站，以标示缺陷位置，以供后续的维修人员进行复判、整修，并且储存、分析和管理缺陷结果。

自动光学检测相较于传统检测方式，具有精密度高与不受元件微小化的限制。此外，自动光学检测的检测速度较快，既能够有效节省人力成本，还具有收集缺陷类型的数据以供维修人员后续分析管理的功能。因此，自动光学检测设备已普遍应用在各种产业的检测作业上，尤其是应用于集成电路(IntegratedCircuit，IC)、平面显示面板(Flat Display Panel，FDP)、印刷电路板(PrintedCircuit Board，PCB)、印刷电路板组装(Printed Circuit Board Assembly，PCBA)等相关领域中。

在一般印刷电路板的检测流程中，通常通过输送带的运转来传送印刷电路板，进行一连串的加工步骤处理。之后，再经过一道检测流程，将印刷电路板送到自动光学检测设备进行缺陷检测，以判定焊接的电子元件有无缺陷。若检查出来的结果是有缺陷时，则将具有缺陷的印刷电路板送入复检机以进行后续的复检流程。

于复检流程中，复检机能与自动光学检测设备联机以接受光学检测设备下传的缺陷的信息数据，根据自动光学检测设备的检测数据，复检机可移至缺陷位置，针对其缺陷部分进行各个角度及作大倍率的观察。藉此，能够观察到造成缺陷部分的真正现象。如此除了有助于维修人员进行正确判定及便于确定不良点进行整修外，还能详细且正确统计工艺中造成缺陷部分的因素，利于分析进而修改工艺以减少缺陷的发生率。

请参照图1，绘示现有复检机1的立体图。一般而言，复检机1包含光学元件10、工作基台20及传送机构30。复检机1利用传送机构30将所要检测的印刷电路板传送至工作基台20上，并传送至光学元件10下方，以利光学元件10进行感测。

请参照图2，绘示现有复检机1的光学元件10的立体图。光学元件10中具有第一摄像镜头111、第二摄像镜头112及旋转元件120。第一光学路径130沿垂直方向从印刷电路板行进至第一摄像镜头111，而使第一摄像镜头111能拍摄印刷电路板的正面影像。第二光学路径140沿倾斜方向从印刷电路板行进至第二摄像镜头112，而使第二摄像镜头112能拍摄印刷电路板的斜向面影像。倾斜方向与水平方向的夹角约为60度。第一摄像镜头111的拍摄视野较大，放大倍率较低，通常用以协助印刷电路板的定位。第二摄像镜头112的放大倍率较高，拍摄视野较小，通常用以撷取检测印刷电路板用的影像。旋转元件120能沿轴心A1旋转第二摄像镜头112，使第二摄像镜头112能相对于印刷电路板水平旋转，因此能从各个角度拍摄印刷电路板的斜向面影像。

然而，由于第一摄像镜头111及第二摄像镜头112其电源线及传输线的配置，而使旋转元件120的旋转范围受到限制，因而产生拍摄角度的死角，进而可能造成复检机1的检测结果不够准确。

请参照图3，绘示另一现有的复检机的光学元件20的立体图。光学元件20中包含第一摄像镜头211、第二摄像镜头212、旋转元件220及反射镜组250。第一摄像镜头211设置成偏离于旋转元件220的轴心A2。第二摄像镜头212设置于旋转元件220的轴心A2上。第一及第二摄像镜头211、212均朝下拍摄。反射镜组250包含第一反射镜251、第二反射镜252、第三反射镜253、第四反射镜254及连接件255。第一反射镜251位于第一摄像镜头211下方，第二反射镜252位于第一反射镜251的水平侧，大约于第二摄像镜头212下方。连接件255连接第一反射镜251及第二反射镜252，第三反射镜253及第四反射镜254则安装于旋转元件220的内部。第一光学路径230沿垂直方向从印刷电路板行进至第二反射镜252，再经由第一反射镜251，反射至第一摄像镜头211，而使第一摄像镜头211能拍摄印刷电路板的正面影像。第三反射镜253位于第二摄像镜头212下方，第四反射镜254则偏离第二摄像镜头212的拍摄方向。第二光学路径240沿倾斜方向从印刷电路板行进至第四反射镜254，再经由第三反射镜253，反射至第二摄像镜头212，而使第二摄像镜头212能拍摄印刷电路板的斜向面影像。倾斜方向与水平方向的夹角约为62度。第一摄像镜头211的拍摄视野较大，放大倍率较低，通常用以协助印刷电路板的定位。第二摄像镜头212的放大倍率较高，拍摄视野较小，通常用以撷取检测印刷电路板用的影像。旋转元件220能旋转第三反射镜253及第四反射镜254，使第三反射镜253及第四反射镜254能沿轴心A2相对于印刷电路板水平旋转，因此能从各个角度拍摄印刷电路板的斜向面影像。

如此一来，由于仅须旋转第三反射镜253及第四反射镜254，便能从各个角度拍摄印刷电路板的斜向面影像，而能增加拍摄角度的范围至约0～330度。然而，由于连接件255的遮挡，造成拍摄角度330～360度的死角，因而还是有可能造成复检机的检测结果不够准确。

实用新型内容

有鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种视觉检查复检机，通过反射镜组的配置提供光学路径的切换，使单一光学感测装置能拍摄正面与斜向面的影像，解决拍摄死角的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种视觉检查复检机，包括：

一工作基台，用以承载一受检工件；

一光学感测装置，设置于该工作基台上方；以及

一切换镜组，设置于该工作基台及该光学感测装置之间，该光学感测装置经由该切换镜组感测该受检工件，该切换镜组提供一第一光学路径及一第二光学路径，该第一光学路径提供该光学感测装置感测垂直于该受检工件的一正面视角影像，该第二光学路径提供该光学感测装置感测倾斜于该受检工件的一斜向面视角影像。

上述的视觉检查复检机，其中，该光学感测装置具有一感测方向朝向该工作基台，该视觉检查复检机还包括一旋转元件，设置于该切换镜组，用以使该切换镜组沿该感测方向为轴心旋转。

上述的视觉检查复检机，其中，还包括一检查***，根据该正面视角影像及该斜向面视角影像，比对该受检工件与该受检工件的良品状态之间的差异情形。

上述的视觉检查复检机，其中，该光学感测装置具有一感测方向朝向该工作基台，该切换镜组包括：

一切换菱镜，切换于一第一位置及一第二位置；以及

一斜向反射镜，活动设置于该工作基台上方，设置成偏离该感测方向；

其中，当该切换菱镜切换于该第一位置时，该切换镜组提供该第一光学路径；

其中，当该切换菱镜切换于该第二位置时，该切换菱镜位于该感测方向上，该切换镜组提供该第二光学路径，该第二光学路径从该受检工件，倾斜于该感测方向，行经该斜向反射镜反射至该切换菱镜，再反射至该光学感测装置。

上述的视觉检查复检机，其中，该切换菱镜具有一第一反射面，于该切换菱镜位于该第一位置时，该第一反射面偏离于该感测方向上，于该切换菱镜位于该第二位置时，该第一反射面位于该感测方向上，以将来自该斜向反射镜的光线反射至该光学感测装置。

上述的视觉检查复检机，其中，当切换菱镜位于该第二位置时，该斜向反射镜的镜面法线方向朝向该切换菱镜及该工作基台之间。

上述的视觉检查复检机，其中，当切换菱镜位于该第二位置时，该第一反射面的法线方向朝向该斜向反射镜及该光学感测装置之间。

上述的视觉检查复检机，其中，该切换菱镜还具有一第二反射面及一第三反射面，该切换镜组还包括一正面反射镜，该正面反射镜设置于该工作基台上方，且设置成偏离该感测方向，当切换菱镜位于该第一位置时，该第二反射面位于该感测方向上，该第二反射面的法线方向朝向该光学感测单元及该正面反射镜之间，该第三反射面的法线方向朝向该正面反射镜及该工作基台之间。

上述的视觉检查复检机，其中，该正面反射镜具有一第一光程反射面及一第二光程反射面，该第一光程反射面的法线方向朝向该第二反射面及该第二光程反射面之间，该第二光程反射面的法线方向朝向该第一光程反射面及该第三反射面之间。

上述的视觉检查复检机，其中，该第二反射面及该第三反射面彼此垂直，该第一光程反射面及该第二光程反射面彼此垂直。

上述的视觉检查复检机，其中，该第二反射面及该第一光程反射面彼此平行，该第三反射面及该第二光程反射面彼此平行。

上述的视觉检查复检机，其中，从该工作基台的中央至该第三反射面的距离，加上该第三反射面至该第二光程反射面的距离，加上该第二光程反射面至该第一光程反射面的距离，加上该第一光程反射面至该第二反射面的距离，再加上该第二反射面至该光学感测装置的距离，总共为该第一光学路径的一第一光程距离，从该工作基台的中央至该斜向反射镜的距离，加上该斜向反射镜至该第一反射面的距离，再加上该第一反射面至该光学感测装置的距离，总共为该第二光学路径的一第二光程距离，该第一光程距离等于该第二光程距离。

根据本实用新型的视觉检查复检机，通过切换镜组提供垂直于与倾斜于受检工件的光学路径，使单一光学感测装置得以感测正面视角影像及斜向面视角影像，而能降低制造视觉检查复检机的造价成本。本实用新型的视觉检查复检机还能通过旋转元件旋转切换镜组，而能在无死角的情况下，检测受检工件于各个方向上的斜向面视角影像，达到提升检测受检工件缺陷状态的准确度。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1绘示现有复检机的立体图；

图2绘示现有复检机的光学元件的立体图；

图3绘示另一现有的复检机的光学元件的立体图；

图4绘示依照本实用新型的实施例的视觉检查复检机的立体图；

图5绘示依照本实用新型的实施例的视觉检查复检机的切换镜组的立体图；

图6绘示依照本实用新型的实施例中，视觉检查复检机的切换镜组提供第一光学路径的示意立体图；

图7绘示依照本实用新型的实施例中，视觉检查复检机的切换镜组提供第二光学路径的示意立体图。

其中，附图标记

1           复检机

10、20      光学元件

111、211    第一摄像镜头

112、212    第二摄像镜头

120、220    旋转元件

130、230    第一光学路径

140、240    第二光学路径

250         反射镜组

251         第一反射镜

252         第二反射镜

253         第三反射镜

254         第四反射镜

255         连接件

20          工作基台

30          传送机构

A1、A2      轴心

3           视觉检查复检机

310         工作基台

320         光学感测装置

33          光学***

330         切换镜组

331   切换菱镜

331a  第一反射面

331b  第二反射面

331c  第三反射面

332   斜向反射镜

333   正面反射镜

333a  第一光程反射面

333b  第二光程反射面

340   旋转元件

350   拼图相机

360   滑块

370   光盘

380   光源

40    受检工件

A3    感测方向

P1    第一光学路径

P2    第二光学路径

N11、N12、N13、N2、N31、N32 法线方向

X     方向

θ    偏斜角度

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本实用新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域技术人员了解本实用新型的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求范围及图式，任何本领域技术人员可轻易地理解本实用新型相关的目的及优点。以下的实施例系进一步详细说明本实用新型的观点，但非以任何观点限制本实用新型的范畴。

请参照图4，绘示依照本实用新型的实施例的视觉检查复检机3的立体图。于工件检查流程中，受检工件经自动光学检测设备检查过后，会将有缺陷的受检工件送入视觉检查复检机3，以再次确认经自动光学检测判定为不合格的受检工件。受检工件例如为集成电路、平面显示面板及印刷电路板等经组装的电子元件。视觉检查复检机3包含工作基台310、光学感测装置320及光学***33。工作基台310用以承载受检工件。光学感测装置320设置于工作基台310上方。光学感测装置320具有朝向工作基台310的感测方向A3朝向工作基台310，感测方向A3垂直于工作基台310的表面。

光学***33包含切换镜组330及光源。切换镜组330设置于工作基台310及光学感测装置320之间。光学感测装置320经由切换镜组330感测承载于工作基台310的受检工件。切换镜组330提供第一光学路径及第二光学路径。第一光学路径提供光学感测装置320感测垂直于受检工件的正面视角影像。第二光学路径提供光学感测装置320感测倾斜于受检工件的斜向面视角影像。光学感测装置320还能外接检查***，检查***能根据受检工件的正面视角影像及斜向面视角影像，比对受检工件与受检工件的良品状态之间的差异情形，以检查受检工件的状态。

此外，视觉检查复检机3还能包含旋转元件340。旋转元件340的轴心与感测方向重合。旋转元件340设置于切换镜组330，以使切换镜组330沿感测方向A3为轴心旋转。通过切换镜组330能相对于受检工件水平旋转，而使光学感测装置320能从各个角度拍摄受检工件的正面及斜向面视角影像而不具死角。视觉检查复检机3还能包含拼图相机350，以大范围地扫描受检工件，而拼出整个受检工件的影像，进而协助受检工件的定位。

请参照图5，绘示依照本实用新型的实施例的视觉检查复检机3的切换镜组330的立体图。切换镜组330包含切换菱镜331、斜向反射镜332及正面反射镜333。斜向反射镜332、正面反射镜333及光源380设置于光盘370之内。切换菱镜331则是经由滑块360而设置于光盘370之内。切换菱镜331能通过滑块360导引而相对于光盘370沿X方向移动，而使切换菱镜331能沿X方向切换于第一位置及第二位置。斜向反射镜设置成偏离感测方向A3。正面反射镜333设置于工作基台上方，且也设置成偏离感测方向A3。于本实施例中，斜向反射镜332与正面反射镜333以相反位置偏离感测方向A3设置。而且，当切换菱镜331沿X方向切换于第一位置时，切换镜组330提供第一光学路径。当切换菱镜331切换于第二位置时，切换镜组330提供第二光学路径。另外，光盘370能与图4的旋转元件340连接，而能通过图4的旋转元件340沿感测方向A3旋转，而使得整个切换镜组330连带能沿感测方向A3为轴心旋转。

请参照第图6，绘示依照本实用新型的实施例中，视觉检查复检机3的切换镜组330提供第一光学路径P1的示意立体图。于图6中，切换菱镜331沿X方向切换至第一位置。切换菱镜331具有第一反射面331a、第二反射面331b及第三反射面331c。第二反射面331b及第三反射面331c彼此实质上垂直。于切换菱镜331位于第一位置时，第一反射面331a偏离于感测方向A3上，第二反射面331b位于感测方向A3上。第二反射面331b的法线方向N12朝向光学感测单元320及正面反射镜333之间，第三反射面331c的法线方向N13朝向正面反射镜333及工作基台310之间。

其中，正面反射镜333具有彼此相邻的第一光程反射面333a及第二光程反射面333b，第一光程反射面333a及第二光程反射面333b彼此实质上垂直。第一光程反射面333a的法线方向N31朝向第二反射面331b及第二光程反射面333b之间。第二光程反射面333b的法线方向N32朝向第一光程反射面333a及第三反射面331c之间。

其中，第二反射面331b及第一光程反射面333a彼此实质上平行，第三反射面331c及第二光程反射面333b彼此实质上平行。第二反射面331b及第一光程反射面333a与感测方向A3的夹角实质上为45度。第三反射面331c及第二光程反射面333b与感测方向A3的夹角实质上为45度。

当切换菱镜331位于图6所示的第一位置时，切换镜组330所提供的第一光学路径P1，是从工作基台310所承载的受检工件40沿感测方向A3，行经第三反射面331c、第二光程反射面333b、第一光程反射面333a及第二反射面331b，再反射至光学感测装置320。从工作基台310中央至第三反射面331c的距离，加上第三反射面331c至第二光程反射面333b的距离，加上第二光程反射面333b至第一光程反射面333a的距离，加上第一光程反射面333a至第二反射面331b的距离，再加上第二反射面331b至光学感测装置320的距离，总共为第一光学路径P1的第一光程距离。由于从受检工件40所发出的光线是沿着垂直于工作基台310的感测方向A3发出，而由光学感测装置320所感测，因此光学感测装置320能于此时拍摄到受检工件40的正面视角影像。如此的正面视角影像能协助检查***进行受检工件40的定位，也能供检查***进行受检工件40检测。

请参照第图7，绘示依照本实用新型的实施例中，视觉检查复检机3的切换镜组330提供第二光学路径P2的示意立体图。于图7中，切换菱镜331沿X方向切换至第二位置。于此时，切换菱镜331位于感测方向A3上。详言之，当切换菱镜331切换于第二位置时，切换菱镜331的第一反射面331a位于感测方向A3上，以将来自斜向反射镜332的光线反射至光学感测装置320。斜向反射镜332的镜面法线方向N2朝向切换菱镜331及工作基台310之间，藉此能将承载于工作基台310的受检工件40的光线反射至切换菱镜331的第一反射面331a。第一反射面331a的法线方向N11朝向斜向反射镜332及光学感测装置320之间，藉此能将斜向反射镜332的光线反射至光学感测装置320。

因此，当切换菱镜331位于图7所示的第二位置时，切换镜组330所提供的第二光学路径P2，是从工作基台310所承载的受检工件40倾斜于感测方向A3，行经斜向反射镜332反射至切换菱镜331的第一反射面331a，再反射至光学感测装置320。从工作基台310中央至斜向反射镜332的距离，加上斜向反射镜332至第一反射面331a的距离，再加上第一反射面331a至光学感测装置320的距离，总共为第二光学路径P2的第二光程距离。其中，第一光程距离与第二光程距离相等。由于从受检工件40所发出的光线是沿着倾斜于感测方向A3发出，而由光学感测装置320所感测，因此光学感测装置320能于此时拍摄到受检工件40的斜向面视角影像。如此的斜向面视角影像能供检查***进行受检工件40的检测。此外，由于不论如何旋转切换镜组330所包含的切换菱镜331、斜向反射镜332及正面反射镜333，均不会有元件遮蔽第一光学路径P1及第二光学路径P2，因此能在不具死角的情况下，使光学感测装置320从各个角度拍摄受检工件40的正面及斜向面视角影像。

其中，由于第一光学路径P1的第一光程距离及第二光学路径P2的第二光程距离相同，而在切换第一光学路径P1及第二光学路径P2时，能不改变光学感测装置320的焦距。此外，沿第二光学路径P2的中线，从受检工件40发出至斜向反射镜222的方向相对于水平方向的偏斜角度θ约为60度至70度。于本实施例中，偏斜角度θ设定为62度

综上所述，本实用新型的视觉检查复检机由于通过切换镜组切换第一光学路径及第二光学路径，即使仅使用单一光学感测装置，也能感测受检工件各个角度的正面视角影像及斜向面视角影像，因而能提升检测受检工件的准确度，还能节省视觉检查复检机的制作成本。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (12)

1.一种视觉检查复检机，其特征在于，包括：

一工作基台，用以承载一受检工件；

一光学感测装置，设置于该工作基台上方；以及

一切换镜组，设置于该工作基台及该光学感测装置之间，该光学感测装置经由该切换镜组感测该受检工件，该切换镜组提供一第一光学路径及一第二光学路径，该第一光学路径提供该光学感测装置感测垂直于该受检工件的一正面视角影像，该第二光学路径提供该光学感测装置感测倾斜于该受检工件的一斜向面视角影像。

2.根据权利要求1所述的视觉检查复检机，其特征在于，该光学感测装置具有一感测方向朝向该工作基台，该视觉检查复检机还包括一旋转元件，设置于该切换镜组，用以使该切换镜组沿该感测方向为轴心旋转。

3.根据权利要求1所述的视觉检查复检机，其特征在于，还包括一检查***，根据该正面视角影像及该斜向面视角影像，比对该受检工件与该受检工件的良品状态之间的差异情形。

4.根据权利要求1所述的视觉检查复检机，其特征在于，该光学感测装置具有一感测方向朝向该工作基台，该切换镜组包括：

一切换菱镜，切换于一第一位置及一第二位置；以及

一斜向反射镜，活动设置于该工作基台上方，设置成偏离该感测方向；

其中，当该切换菱镜切换于该第一位置时，该切换镜组提供该第一光学路径；

其中，当该切换菱镜切换于该第二位置时，该切换菱镜位于该感测方向上，该切换镜组提供该第二光学路径，该第二光学路径从该受检工件，倾斜于该感测方向，行经该斜向反射镜反射至该切换菱镜，再反射至该光学感测装置。

5.根据权利要求4所述的视觉检查复检机，其特征在于，该切换菱镜具有一第一反射面，于该切换菱镜位于该第一位置时，该第一反射面偏离于该感测方向上，于该切换菱镜位于该第二位置时，该第一反射面位于该感测方向上，以将来自该斜向反射镜的光线反射至该光学感测装置。

6.根据权利要求5所述的视觉检查复检机，其特征在于，当切换菱镜位于该第二位置时，该斜向反射镜的镜面法线方向朝向该切换菱镜及该工作基台之间。

7.根据权利要求5所述的视觉检查复检机，其特征在于，当切换菱镜位于该第二位置时，该第一反射面的法线方向朝向该斜向反射镜及该光学感测装置之间。

8.根据权利要求5所述的视觉检查复检机，其特征在于，该切换菱镜还具有一第二反射面及一第三反射面，该切换镜组还包括一正面反射镜，该正面反射镜设置于该工作基台上方，且设置成偏离该感测方向，当切换菱镜位于该第一位置时，该第二反射面位于该感测方向上，该第二反射面的法线方向朝向该光学感测单元及该正面反射镜之间，该第三反射面的法线方向朝向该正面反射镜及该工作基台之间。

9.根据权利要求8所述的视觉检查复检机，其特征在于，该正面反射镜具有一第一光程反射面及一第二光程反射面，该第一光程反射面的法线方向朝向该第二反射面及该第二光程反射面之间，该第二光程反射面的法线方向朝向该第一光程反射面及该第三反射面之间。

10.根据权利要求8所述的视觉检查复检机，其特征在于，该第二反射面及该第三反射面彼此垂直，该第一光程反射面及该第二光程反射面彼此垂直。

11.根据权利要求10所述的视觉检查复检机，其特征在于，该第二反射面及该第一光程反射面彼此平行，该第三反射面及该第二光程反射面彼此平行。

12.根据权利要求8所述的视觉检查复检机，其特征在于，从该工作基台的中央至该第三反射面的距离，加上该第三反射面至该第二光程反射面的距离，加上该第二光程反射面至该第一光程反射面的距离，加上该第一光程反射面至该第二反射面的距离，再加上该第二反射面至该光学感测装置的距离，总共为该第一光学路径的一第一光程距离，从该工作基台的中央至该斜向反射镜的距离，加上该斜向反射镜至该第一反射面的距离，再加上该第一反射面至该光学感测装置的距离，总共为该第二光学路径的一第二光程距离，该第一光程距离等于该第二光程距离。

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