CN202182939U

CN202182939U - 探针卡检测装置

Info

Publication number: CN202182939U
Application number: CN2011202875052U
Authority: CN
Inventors: 王金源
Original assignee: YUANTAI PRECISION TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: YUANTAI PRECISION TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2011-08-09
Filing date: 2011-08-09
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2021-08-09

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡检测装置，该探针卡检测装置以控制单元控制第一滑台、第二滑台及第三滑台在平台上的滑动，且控制影像撷取单元撷取影像，而令影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置，并以量测软件自动判断接脚位置是否正确，若接脚位置错误，可由显微镜观测单元观测错位的接脚并校正，藉此实现本实用新型更准确地检测探针卡以及更快速、方便地校正探针卡接脚的目的。

Description

探针卡检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡检测装置，尤指一种自动检测探针卡的接脚位置是否正确的装置。

背景技术

图6所示为***台90上，此平台90上具有模拟晶圆各个接脚垫的位置标示，藉由平台90上方的显微镜观测器91观测探针卡的接脚位置是否符合各个接脚垫的位置，此时显微镜观测器91所观测到的影像传输至电脑装置92，并由显示器93显示所观测到的影像，检测者若由显示器93观测出探针卡的接脚位置与接脚垫的标示有误，便将探针卡由平台90取出至校正装置调校接脚至正确位置。

然而，以此探针卡检测装置观测探针卡的接脚位置时，必须将整个探针卡的所有接脚区分为多个待测区块再一一检视，而探针卡在观测与调校时必须由不同装置进行，故须在不同装置间拆装探针卡，故除了调校动作繁杂之外，检测者必须在检测过程中记录区块检测的顺序，若检测人员在拆装过程中未谨慎记录，则可能造成某区块被重复检测或遗漏检测，前者造成检测时间的浪费及检测效率不佳，后者则造成探针卡的检测率不稳定。

因此，如何解决习用探针卡检测装置的问题，即为本实用新型的重点所在。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述的问题而提供一种探针卡检测装置，令探针卡的接脚检测更准确，且在校正时可达到快速及方便的功效。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种探针卡检测装置，其特征在于，它包括：

一机台，该机台上具有一平台，该平台上设有一第一滑台，该第一滑台上设有一第二滑台，该第一滑台与第二滑台在该平台上以二维坐标***的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台上设有一供受测的探针卡放置的固定座；

一影像撷取单元，该影像撷取单元结合在一第三滑台上，该第三滑台滑动地设在一伫立在该平台上的第一支架上，而令该影像撷取单元在该平台上纵向地滑动；

一控制单元，该控制单元用以控制该第一滑台、第二滑台及该第三滑台在平台上的滑动，且控制该影像撷取单元撷取影像，并该控制单元内建有一量测软件，影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置并以该量测软件判断接脚位置是否正确；

一观测装置，该观测装置在校正探针卡的错位接脚时观测，该观测装置包括一移动结构及一显微镜观测单元，该移动结构架设在一伫立于该平台上的第二支架上，且该显微镜观测单元随该移动结构在该平台上以二维坐标***的X轴与Y轴正交平移。

本实用新型的优点是：

1、利用控制单元控制第一滑台、第二滑台及第三滑台的位移，并控制影像撷取单元撷取探针卡的接脚影像，并由控制单元内建的正确位置资料判断受测探针卡的接脚位置是否正确，通过控制单元自动化程序判断探针卡的接脚位置，而避免人为检测的错误发生，检测正确性相对更为准确。

2、若探针卡的接脚位置错误时，检测者可通过控制单元控制该第一滑台平移，而直接将探针卡平移至显微镜观测单元下方，便可由显微镜观测单元观测位置错误的接脚，并将接脚校正回正确位置，而非习用的检测装置那样必须将探针卡拆下，再在校正设备上安装调校，故本实用新型的探针卡检测装置在对探针卡的接脚校正时，可达到快速、方便的功效。

附图说明

图1是本实用新型实施例的立体外观构造图。

图2是本实用新型实施例的探针卡以部分接脚为检测区块的示意图。

图3是图2中区块A的放大示意图。

图4是本实用新型实施例的探针卡随第一滑台平移至显微镜观测单元下方后定位的示意图。

图5是本实用新型实施例的探针卡的接脚调校示意图。

图6是习用探针卡检测装置的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图5，图中所示为本实用新型所选用的实施例结构，此仅供说明之用，在专利申请上并不受此种结构限制。

本实施例提供一种探针卡检测装置，如图1所示，此探针卡检测装置包括一机台1、一影像撷取单元2、一控制单元3及一观测装置4，其中：

如图1所示，该机台1上具有一平台10，此平台10上设有一第一滑台11，此第一滑台11上设有一第二滑台12，该第一滑台11与第二滑台12可在该平台10上以二维坐标***的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台12上设有一供受测的探针卡放置的固定座13。

如图1所示，该平台10上设有两个X轴导轨100，且平台10在一侧枢设有一导螺杆101，该第一滑台11底部设有两个滑座110，可滑动地设于该两个X轴导轨100上，且第一滑台11在侧向伸设一导引座111，此导引座111穿设于该导螺杆101上，且该导螺杆101的一端设有一伺服马达102，以此伺服马达102驱动该导螺杆101转动，而使导引座111随导螺杆101转动而在导螺杆101上滑移，且第一滑台11经该导引座111带动而在二维坐标***的X轴平移。

如图1所示，该第一滑台11上设有两个Y轴导轨112，且第一滑台11在一侧枢设有一导螺杆113，该第二滑台12底部设有两个滑座120，可滑动地设于该两个Y轴导轨112上，且第二滑台12在侧向伸设一导引座121，且该导螺杆113的一端设有一伺服马达114，以此伺服马达114驱动该导螺杆113转动，而使导引座121随导螺杆113转动而在导螺杆113上滑移，且经该导引座121带动，第二滑台12在二维坐标***的Y轴平移。

如图1所示，在该平台10上伫立一第一支架14，一第三滑台15设于该第一支架14上，此第三滑台15呈直立地设于该第一支架14上，且第三滑台15可在第一支架14上纵向地滑动，该影像撷取单元2结合在此第三滑台15上，故此影像撷取单元2可随第三滑台15在该平台上纵向位移。在本实施例中，该第一支架14顶端设有一伺服马达140，以此伺服马达140带动该第三滑台15纵向滑动。

该控制单元3用以控制该第一滑台11、第二滑台12及该第三滑台15在平台上的滑动，即利用控制单元3操控该伺服马达102、伺服马达114及该伺服马达140的动作，而控制第一滑台11、第二滑台12及该第三滑台15的滑动行程。控制单元3还控制该影像撷取单元2撷取影像，此控制单元3内建一量测软件，影像撷取单元2撷取探针卡所有接脚位置并以该量测软件判断接脚位置是否正确。如图1所示，本实施例的影像撷取单元2所撷取的影像以一显示器20显示。

如图1所示，该观测装置4包括一移动结构40及一显微镜观测单元41，该移动结构40架设在一第二支架16上，而此第二支架16伫立于该平台10上，且显微镜观测单元41随移动结构40可在该平台10上以二维坐标***的X轴与Y轴正交平移，藉此观测装置4在校正探针卡的错位接脚时观测。

如图1所示，本实施例的移动结构40包括一X轴滑轨400、一Y轴滑轨401、一第四滑台402及一第五滑台403，该X轴滑轨400设于该第二支架16顶端，该第四滑台402设于X轴滑轨400上，Y轴滑轨401设于第四滑台402上，而第五滑台403设于此Y轴滑轨401上，该显微镜观测单元41装设在第五滑台403的前端，在该第五滑台403上邻近该显微镜观测单元41的位置设有两个握柄404。

本实施例的探针卡检测装置在操作时，使用者先将探针卡5以固定座13固定，通过控制单元3控制该伺服马达102而使第一滑台11在X轴平移、控制该伺服马达114而使第二滑台12在Y轴平移及控制该伺服马达140而使第三滑台15纵向地滑移，从而令该探针卡5移动至该影像撷取单元2的下方。当探针卡5定位在检测的预备位置后，开始将探针卡5的所有接脚50区分出多个如图2所示的待测区块A，藉由控制单元3记录被定义出的多个待测区块A，并以内建正确位置资料开始对待测区块A自动检测探针卡5的接脚50位置，直至所有的区块检测完成后停止，此时可由该显示器20显示出该影像撷取单元2所撷取的影像。

当探针卡5的接脚50与该正确位置资料比对，而在区块A中发现如图2～3所示位置错误的接脚50’时，便可如图4所示，通过控制单元3直接控制该第一滑台11在X轴上平移至该显微镜观测单元41下方，此时检测者便可手握该两个握柄404，而藉由第四滑台402的X轴位移及第五滑台403的Y轴位移，带动该显微镜观测单元41观测该探针卡5的接脚50位置错误之处，使位置错误的接脚50’被显微放大，检测者便可如图5所示，利用工具6将该位置错误的接脚50’校正至正确位置。

故，由上述说明可见本实用新型的优点在于：

1、利用控制单元3控制第一滑台11、第二滑台12及第三滑台15的位移，并控制影像撷取单元2撷取探针卡5的接脚50影像，并由控制单元3内建的正确位置资料判断受测探针卡5的接脚50位置是否正确，通过控制单元3自动化程序判断探针卡的接脚位置，而避免人为检测的错误发生，检测正确性相对更为准确。

2、若探针卡5的接脚50位置错误时，检测者可通过控制单元3控制该第一滑台11平移，而直接将探针卡5平移至显微镜观测单元41下方，便可由显微镜观测单元41观测位置错误的接脚50’，并将接脚50’校正回正确位置，而非习用的检测装置那样必须将探针卡拆下，再在校正设备上安装调校，故本实用新型的探针卡检测装置在对探针卡5的接脚50’校正时，可达到快速、方便的功效。

以上所述是本实用新型的较佳实施例及其所运用的技术原理，对于本领域的技术人员来说，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均属于本实用新型保护范围之内。

Claims

1.一种探针卡检测装置，其特征在于，它包括：

2.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述平台上设有两个X轴导轨，且所述平台在一侧枢设有一导螺杆，所述第一滑台底部设有两个滑座，该两个滑座滑动地设于该两个X轴导轨上，且所述第一滑台在侧向伸设一导引座，该导引座被带动地穿设于该导螺杆上，且该导螺杆的一端设有一伺服马达，以该伺服马达驱动该导螺杆转动且经该导引座带动所述第一滑台在二维坐标***的X轴平移。

3.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第一滑台上设有两个Y轴导轨，且所述第一滑台在一侧枢设有一导螺杆，所述第二滑台底部设有两个滑座，该两个滑座滑动地设于该两个Y轴导轨上，且所述第二滑台在侧向伸设一导引座，该导引座被带动地穿设于该导螺杆上，且该导螺杆的一端设有一伺服马达，以该伺服马达驱动该导螺杆转动且经该导引座带动所述第二滑台在二维坐标***的Y轴平移。

4.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第一支架设有一伺服马达，该伺服马达带动所述第三滑台纵向滑动。

5.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述移动结构在所述第二支架顶端设有一X轴滑轨，在该X轴滑轨上设有一第四滑台，且该第四滑台上设有一Y轴滑轨，该Y轴滑轨上设有一第五滑台，所述显微镜观测单元装设在该第五滑台的前端而位于所述平台上。

6.如权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第五滑台上邻近所述显微镜观测单元的位置设有两个握柄。

7.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述影像撷取单元所撷取的影像以一显示器显示。