CN202020932U - 一种超高纯硝酸的精留装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种超高纯硝酸的精留装置，由塔釜、吸附室、冷凝器组成，塔釜下部呈并联的双筒状，在双筒状塔釜内分别设有螺旋加热管，将加热管的端部设置在塔釜外部，在双筒状的塔釜下端设有超高纯硝酸的进口，塔釜的上部为单筒状的吸附室，在吸附室的上下均设有一块带孔的隔板，在隔板中间设有吸附材料，塔釜在设有吸附材料的两端分别设有清洗液的入口与出口，在吸附室的上端通过管路与冷凝器的上端连接，在冷凝器内设有螺旋管，螺旋管的两端为冷却水的进口与出口，在冷凝器的下端设有成品超高纯硝酸的输出管。采用该精馏装置提纯超高纯硝酸的具有生产工艺简单、投入资金少、提纯后超高纯硝酸的纯度高、维护方便等特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及化工设备领域，更具体说是一种精馏超高纯硝酸的装置。
背景技术
大多数纯无机酸都是无色透明的液体。吸水性能强，具有氧化性，能与许多金属和非金属起化学反应。还能与多种有机物作用，发生磺化、磷化、脱水等反应。无机酸在实验室，工业上应用很广泛。我国的电子工业在飞速发展，因此，芯片制造行业也在突飞猛进，而用于芯片的清洗和腐蚀，需要超高纯的硝酸，一个浓度大于68wt％的硝酸源，它的纯度对芯片的成品率，起着关键性的作用，随着科技不断地发展，芯片的氧化膜越来越薄，对硝酸的要求也越来越高，虽然目前已有超高纯硝酸的制备工艺出现，如亚沸蒸馏法、精馏法，但设备投资大，生产工艺复杂，非一般化工厂所能接受。有关无机酸的提纯设备及生产工艺的专利也较多，但均存在不尽人意之处，设备投入资金高、操作工艺复杂、维护困难。
实用新型内容
本实用新型的目的在于弥补上述之不足，提供一种生产工艺简单、设备投入资金低、维护方便的硝酸精馏装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，由塔釜、吸附室、冷凝器组成，所述塔釜下部呈并联的双筒状，在所述的双筒状塔釜内分别设有螺旋加热管，将所述加热管的端部设置在塔釜外部，在所述双筒状的塔釜下端设有超高纯硝酸的进口，所述塔釜的上部为单筒状的吸附室，在所述吸附室的上下均设有一块带孔的隔板，在所述隔板中间设有吸附材料，所述塔釜在设有吸附材料的两端分别设有清洗液的入口与出口，在所述吸附室的上端通过管路与所述冷凝器的上端连接，在所述冷凝器内设有螺旋管，所述螺旋管的两端为冷却水的进口与出口，在所述冷凝器的下端设有成品超高纯硝酸的输出管。
为了提高吸附材料的使用效率，从而提高无机酸得体纯度和提纯效率，优选的技术方案是，所述清洗液入口经管路、阀门及液泵与清洗液的储罐连接，所述清洗液出口经管路、阀门与清洗液的回收池连接。
为了有效地控制精馏的流量，以及为了防止过多吸附材料的清洗液流入塔釜，优选的技术方案是，在所述双筒状塔釜的下部与单筒状吸附室之间设有阀门。
为了有效地利用企业内部线有的热蒸汽源，同时为了简化极热装置的结构，提高加热效率，优选的技术方案是，所述加热管与热蒸汽源连接。
为了简化加热装置的结构，优选的技术方案还可以是，在所述加热管内装有电热丝，所述电热丝与电源连接，所述的加热管为瓷管。
本实用新型的优点和有益效果在于：采用该精馏装置提纯超高纯硝酸的具有生产工艺简单、投入资金少、提纯后超高纯硝酸的的纯度高、维护方便等特点。
附图说明
图1是本实用新型超高纯硝酸的精留装置的结构示意图。
图中：1、塔釜；2、吸附室；3、冷凝器；4、螺旋加热管；5、加热管的端部；6、进口；7、8、隔板超高纯硝酸的进口；9、吸附材料；10、入口；11、出口；12、管路；13、螺旋管；14、入口；15、出口；16、超高纯硝酸的输出管；17、阀门。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图所示1，本实用新型是一种超高纯硝酸的精留装置，由塔釜1、吸附室2、冷凝器3组成，所述塔釜1下部呈并联的双筒状，在所述的双筒状塔釜1内分别设有螺旋加热管4，将所述加热管的端部5设置在塔釜1的外部，在所述双筒状的塔釜1下端设有超高纯硝酸的进口6，所述塔釜1的上部为单筒状的吸附室2，在所述吸附室1的上下均设有一块带孔的隔板7、8，在所述隔板7、8中间设有吸附材料9，所述塔釜1在设有吸附材料9的两端分别设有清洗液的入口10与出口11，在所述吸附室2的上端通过管路12与所述冷凝器3的上端连接，在所述冷凝器3内设有螺旋管13，所述螺旋管13的两端为冷却水的进口14与出口15，在所述冷凝器3的下端设有成品超高纯硝酸的输出管16。
在上述实施例的基础上，为了提高吸附材料的使用效率，从而提高无机酸得体纯度和提纯效率，所述清洗液入口10经管路、阀门及液泵与清洗液的储罐连接，所述清洗液出口11经管路、阀门与清洗液的回收池连接。
在上述实施例的基础上，为了有效地控制精馏的流量，以及为了防止过多吸附材料的清洗液流入塔釜，在所述双筒状塔釜1的下部与单筒状吸附室2之间设有阀门17。
在上述实施例的基础上，为了有效地利用企业内部线有的热蒸汽源，同时为了简化极热装置的结构，提高加热效率，所述加热管4与热蒸汽源连接，或将所述电热丝与电源连接，所述的加热管为瓷管。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，由塔釜、吸附室、冷凝器组成，所述塔釜下部呈并联的双筒状，在所述的双筒状塔釜内分别设有螺旋加热管，将所述加热管的端部设置在塔釜外部，在所述双筒状的塔釜下端设有超高纯硝酸的进口，所述塔釜的上部为单筒状的吸附室，在所述吸附室的上下均设有一块带孔的隔板，在所述隔板中间设有吸附材料，所述塔釜在设有吸附材料的两端分别设有清洗液的入口与出口，在所述吸附室的上端通过管路与所述冷凝器的上端连接，在所述冷凝器内设有螺旋管，所述螺旋管的两端为冷却水的进口与出口，在所述冷凝器的下端设有成品超高纯硝酸的输出管。
2.按权利要求1所述的超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，所述清洗液入口经管路、阀门及液泵与清洗液的储罐连接，所述清洗液出口经管路、阀门与清洗液的回收池连接。
3.按权利要求1所述的超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，在所述双筒状塔釜的下部与单筒状吸附室之间设有阀门。
4.按权利要求1所述的超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，所述加热管与热蒸汽源连接。
5.按权利要求1所述的超高纯硝酸的精留装置，其特征在于，在所述加热管内装有电热丝，所述电热丝与电源连接，所述的加热管为瓷管。
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| CN104108690A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-10-22 | 苏州市晶协高新电子材料有限公司 | 由98%工业级硝酸制得电子级68%硝酸的设备及工艺 |
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