CN201979396U - 一种石英晶片的研磨夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种加工石英晶片的研磨夹具,具有一外形为长方体状的定位夹,该定位夹中间具有一长方体通腔,该通腔的宽度与石英晶片的斜边尺寸相对应,通腔的高度小于石英晶片的高度,锁紧螺杆穿过定位夹端面上的螺孔后将调节夹板固定在定位夹内腔中。通过将石英晶片排列整齐后叠在一起,放置在定位夹的通腔中,并通过锁紧螺杆移动调节夹板固定,替代了原有的粘接胶粘合石英晶片工艺,大大提高了生产效率和产品良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英晶片的加工设备,尤其涉及石英晶片尺寸研磨加工过程中使用的夹具。
背景技术
在石英晶片加工过程中,将晶棒切割成晶片后,在晶片一面会产生35左右的斜边,在切割后的研磨加工过程中,该斜边会改变晶片的角度,导致研磨工序中不合格品的增加,所以在进行研磨加工前,必须将此斜边去除。
目前研磨加工的工序是:将石英晶片先粘合再对石英晶片的斜边进行尺寸研磨。为了将石英晶片粘合在一起,常用松香与石蜡按一定比例混合的粘接胶粘接,但是使用粘接胶出现以下不足之处:
1、尺寸研磨工序结束后,必须将粘接胶熔化开才能对晶片进行厚度研磨,而熔化粘接胶需要经过三道清洗过程,每一道清洗过程都会产生一定比例的破片,导致晶片良率低。
2、由于晶片粘合化料后,表面会残留松香和石蜡有机物质,这些物质会影响晶片角度和频率等参数的测量。
3、在晶片粘合过程中,使用的松香会产生大量烟尘以及刺激性气味,对操作人员的健康有影响。
实用新型内容
为了解决现有技术中使用粘接胶粘接石英晶片研磨所存在的缺陷,本实用新型提出了一种直接将石英晶片固定后进行尺寸研磨的夹具。
本实用新型采用的技术方案是:一种石英晶片的研磨夹具,其特征在于,所述研磨夹具的外形为长方体,在所述长方体的中部设有一长方体形的通腔,在所述通腔的底部设有若干根支撑杆,在所述长方体长度方向的一侧面的中部设有螺孔,在所述螺孔内装有螺杆,所述螺杆位于长方体通腔内的一端与定位夹板的背面活动连接,所述定位夹板的正面用于夹紧石英晶片,所述螺杆位于长方体外的一端与首轮连接;所述通腔的宽度与石英晶片斜边的投影尺寸相对应,所述通腔的高度小于石英晶片短直边的高度。
其中优选的技术方案是,所述的研磨夹具为无接缝结构。
其中优选的技术方案还有,在所述定位夹板的下端至少设有一个导向孔,所述若干根支撑杆中的至少一根穿过所述导向孔。
本实用新型通过将石英晶片排列整齐后叠在一起,放置在研磨夹具的通腔中,并通过螺杆移动调节定位夹板将排列好的石英晶片夹紧固定,使石英晶片的斜边一侧位于研磨夹具的通腔之上,然后将其放入研磨机中将斜边研磨掉。该研磨夹具替代了原有的粘接胶粘合石英晶片工艺,大大提高了生产效率和产品良率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型研磨夹具未装石英晶片时的俯视示意图;
图2是图1的A-A剖视示意图,且在图1的基础上且装入了石英晶片。
图中:1、研磨夹具;2、通腔;3、支撑杆;4、螺孔;5、螺杆;6、定位夹板;7、石英晶片;8、首轮;9、导向孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图所示,本实用新型是一种石英晶片的研磨夹具,该研磨夹具1的外形为长方体,在所述长方体的中部设有一长方体形的通腔2,在所述通腔2的底部设有3根支撑杆3,在所述长方体长度方向的一侧面的中部设有螺孔4,在所述螺孔4内装有螺杆5,所述螺杆5位于长方体通腔2内的一端与定位夹板6的背面活动连接,所述定位夹板6的正面用于夹紧石英晶片7,所述螺杆5位于长方体外的一端与首轮8连接;所述通腔2的宽度与石英晶片斜边的投影尺寸相对应,所述通腔2的高度小于石英晶片短直边的高度。由于石英晶片7有一条边是斜边,因此与该斜边相邻的两条边,有一条为长边,另一条为短边。
为了保证定位夹板6与石英晶片7之间接触良好,在所述定位夹板6的下端一个导向孔9,将所述支撑杆3中的一根穿过该导向孔9。使定位夹板6在调节螺杆5的驱动下,沿支撑杆3前后移动。
为了保证石英晶片7在研磨过程中研磨夹具1不会发生变形,研磨夹具1采用无接缝一次成型的结构,用线切割加工研磨夹具1,可通过刨去一整块不锈钢块的中间部分得到。
调节螺杆5时,定位夹板6会相应地朝向石英晶片7移动,直到将石英晶片7夹紧固牢。将装有石英晶片7的研磨夹具放入研磨机即可对石英晶片进行加工,去除石英晶片切割后产生的斜边。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种石英晶片的研磨夹具,其特征在于,所述研磨夹具的外形为长方体,在所述长方体的中部设有一长方体形的通腔,在所述通腔的底部设有若干根支撑杆,在所述长方体长度方向的一侧面的中部设有螺孔,在所述螺孔内装有螺杆,所述螺杆位于长方体通腔内的一端与定位夹板的背面活动连接,所述定位夹板的正面用于夹紧石英晶片,所述螺杆位于长方体外的一端与首轮连接;所述通腔的宽度与石英晶片斜边的投影尺寸相对应,所述通腔的高度小于石英晶片短直边的高度。
2.根据权利要求1所述的石英晶片的研磨夹具,其特征在于,所述的研磨夹具为无接缝结构。
3.根据权利要求1所述的石英晶片的研磨夹具,其特征在于,在所述定位夹板的下端至少设有一个导向孔,所述若干根支撑杆中的至少一根穿过所述导向孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011200118946U CN201979396U (zh) | 2011-01-17 | 2011-01-17 | 一种石英晶片的研磨夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
CN2011200118946U CN201979396U (zh) | 2011-01-17 | 2011-01-17 | 一种石英晶片的研磨夹具 |
Publications (1)
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---|---|
CN201979396U true CN201979396U (zh) | 2011-09-21 |
Family
ID=44606864
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
CN2011200118946U Expired - Fee Related CN201979396U (zh) | 2011-01-17 | 2011-01-17 | 一种石英晶片的研磨夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201979396U (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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