CN201899898U - 合成三氯氢硅的尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产中的尾气处理装置，由用管道串接的隔膜压缩机、机后水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成。隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口。工作时，三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气经隔膜压缩机加压压缩处理后，依次通过水冷冷凝器、深冷冷凝器、循环吸收塔三级吸收***回收氯硅烷。循环吸收塔吸收后尾气经过两级降膜吸收塔回收尾气中的氯化氢，制成30％的盐酸。经降膜吸收塔吸收后的尾气基本是氢气，其中只有少量的氮气，可直接放空。本实用新型能回收99.5％的氯硅烷和氯化氢。采用本实用新型，既回收了尾气中的大部分氯硅烷和氯化氢进行再利用，又有利于环保。

Description

合成三氯氢硅的尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气处理装置。

背景技术

三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气中含有5.4％的氯硅烷、30％的氯化氢气体、0.2％的氮气和64.2％的氢气，其他气体占0.2％。这部分尾气直接排空将会对环境造成污染，因此有必要设计一种尾气处理装置。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述现状，旨在提供一种能吸收尾气中的大部分氯硅烷和氯化氢，进行再利用，又有利于环保的合成三氯氢硅的尾气处理装置。

本实用新型目的的实现方式为，合成三氯氢硅的尾气处理装置，由用管道串接的隔膜压缩机、机前水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成，隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，

机后深冷冷凝器的塔体上、下部有上端封头、下端封头，上端封头上有气体进口、气体出口，塔体中设冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水进口，下端封头下有液体出口，上端封头和塔体中间设有隔板，冷凝器中的降温管按正三角形分布排列，

循环吸收塔的吸收塔下连循环吸收罐，循环吸收罐一侧有循环吸收液出口、循环吸收液进口，一侧连屏蔽泵，屏蔽泵通过管道与冷凝器相连，冷凝器与吸收塔的冷凝器进吸收塔管口相连，连接管道端接有喷头，吸收塔下部有进气口，内有环矩鞍填料层，环矩鞍填料层之间有再分布器，吸收塔顶部的气体上升管、上侧部的液体回流管与除雾器相连，除雾器内有硅油浸渍玻璃棉，顶部有气体出口，再分布器的分布板上有多个再分布孔。

本实用新型工作时，三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气经隔膜压缩机加压压缩处理后，依次通过水冷冷凝器、深冷冷凝器、循环吸收塔三级吸收***回收氯硅烷。循环吸收塔吸收后的尾气经过两级降膜吸收塔回收尾气中的氯化氢，制成30％的盐酸。经降膜吸收塔吸收后的尾气基本是氢气，其中只有少量的氮气，可直接放空。

本实用新型能回收99.5％的氯硅烷和氯化氢。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图，

图2为机后深冷冷凝器结构示意图，

图3为机后深冷冷凝器中的冷凝器结构剖示图。

图4为循环吸收塔结构示意图，

图5为循环吸收塔塔体结构示意图。

具体实施方式

参照图1，本实用新型由用管道串接的隔膜压缩机1、机前水冷冷凝器3、机后深冷冷凝器4、循环吸收塔5和降膜吸收塔6组成，隔膜压缩机有尾气进料口2，降膜吸收塔有出料口7和放空口8。

其中隔膜压缩机1、机后水冷冷凝器3和降膜吸收塔6采用现在生产线中所用装置。

机后深冷冷凝器4和循环吸收塔5采用本申请人研制的装置。

参照图2，机后深冷冷凝器4的塔体上下部有上端封头14、下端封头10，上端封头14上有气体进口18、气体出口15，塔体中设冷凝器12，冷凝器上下部有冷凝水出口13、冷凝水进口16，下端封头10下有液体出口9，上端封头14和塔体中间设有隔板17。

参照图3，冷凝器中的降温管12按正三角形分布排列。

参照图4、5，循环吸收塔5中的吸收塔22下连循环吸收罐20，循环吸收罐20一侧有循环吸收液出口9、循环吸收液进口26，一侧连屏蔽泵19，屏蔽泵19通过管道与循环吸收冷凝器21相连，循环吸收冷凝器21通过管道在循环吸收冷凝器进吸收塔管口33处与吸收塔22连接，连接管道顶端接有喷头24，吸收塔22下部有吸收塔进气口27，内有环矩鞍填料层23，环矩鞍填料层23之间有再分布器32，吸收塔22顶部的气体上升管管口35、上侧部的液体回流管管口34分别通过气体上升管25、液体回流管28与除雾器29相连，除雾器内有硅油浸渍玻璃棉30，顶部有循环吸收塔气体出口31。再分布器的分布板上有多个再分布孔。

本实用新型工作时，三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气经隔膜压缩机加压压缩处理后，依次通过机后水冷冷凝器冷凝，机后深冷冷凝器深冷凝，循环吸收塔吸收，并回收氯硅烷。循环吸收塔吸收后的尾气经过两级降膜吸收塔回收尾气中的氯化氢，制成30％的盐酸。经降膜吸收塔吸收后的尾气基本是氢气，其中只有少量的氮气，可直接放空。

根据实际生产操作，本实用新型能回收99.5％的氯硅烷和氯化氢。

隔膜压缩机的压力：0.5～0.8Mpa，

机后水冷冷凝器冷凝，机后深冷冷凝器深冷凝，冷凝温度：-30℃～-25℃，

循环吸收塔温度：-25℃～-20℃，压力：0.5～0.55Mpa

降膜吸收塔温度：-15℃～0℃，压力：0.1～0.25Mpa

采用本实用新型，一方面回收了尾气中的大部分氯硅烷和氯化氢，进行再利用；另一方面处理后的尾气达到环保要求，可直接放空，降低了企业的环保压力，有利于环保。

Claims (1)

1.合成三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于由用管道串接的隔膜压缩机、机前水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成，隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，

机后深冷冷凝器的塔体上、下部有上端封头、下端封头，上端封头上有气体进口、气体出口，塔体中设冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水进口，下端封头下有液体出口，上端封头和塔体中间设有隔板，冷凝器中的降温管按正三角形分布排列，

循环吸收塔的吸收塔下连循环吸收罐，循环吸收罐一侧有循环吸收液出口、循环吸收液进口，一侧连屏蔽泵，屏蔽泵通过管道与冷凝器相连，冷凝器与吸收塔的冷凝器进吸收塔管口相连，连接管道端接有喷头，吸收塔下部有进气口，内有环矩鞍填料层，环矩鞍填料层之间有再分布器，吸收塔顶部的气体上升管、上侧部的液体回流管与除雾器相连，除雾器内有硅油浸渍玻璃棉，顶部有气体出口，再分布器的分布板上有多个再分布孔。

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