CN201848184U - 三氯氢硅合成废液汽化装置 - Google Patents
三氯氢硅合成废液汽化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201848184U CN201848184U CN2011200514628U CN201120051462U CN201848184U CN 201848184 U CN201848184 U CN 201848184U CN 2011200514628 U CN2011200514628 U CN 2011200514628U CN 201120051462 U CN201120051462 U CN 201120051462U CN 201848184 U CN201848184 U CN 201848184U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- waste liquid
- trichlorosilane
- housing
- vapourizing unit
- synthetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种三氯氢硅合成废液汽化装置，其包括壳体(2)和包覆在壳体(2)外的外夹套(1)，所述壳体(2)上设有废液进口(3)，壳体顶部设有废液汽化出口(7)，外夹套(1)所包覆的壳体部分处于废液进口(3)的下方，外夹套(1)为中空夹套，外夹套(1)上部设有蒸汽进口(9)，其底部设有冷凝液出口(10)。该装置可提高三氯氢硅合成尾气处理***的处理能力，有效避免了传统的三氯氢硅合成排液易出现管道堵塞，难以清理等缺点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种三氯氢硅合成废液汽化装置，特别适用于加压三氯氢硅合成尾气废液的汽化处理，以防止尾气中的金属氯化物沉积于管道内产生堵塞。
背景技术
目前、国内三氯氢硅的合成主要采用湿法除尘法进行制取，通过将三氯氢硅合成产生的氯硅烷冷凝后的液体对氯硅烷中的金属氯化物及杂质进行淋洗，对淋洗后塔底的废液进行排放后进入残液***，废液经氢氧化钠溶液进行淋洗处理。但由于洗涤塔底部废液中含有大量的金属氯化物，比如，氯化铝、氯化铁、氯化钙等金属杂质，此类杂质冷凝后容易变成固体，沉积于管道内(据文献记载，金属氯化物的冷凝温度为80-90℃)。因而，通过管道输送残液时，金属氯化物很快凝固沉积在管道中，使管道产生堵塞，并且拆卸管道时此类物质容易出现着火闪爆，这些严重制约了三氯氢硅合成工艺连续稳定的运行。
现有针对三氯氢硅废液汽化的装置还没有报道，本装置增加了就地与远传压力表(5，6)，同时增加了安全阀接口(4)增加了设备的安全性。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种可提高三氯氢硅合成尾气处理***的处理能力，减少管道堵塞的三氯氢硅合成废液汽化装置。
解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该三氯氢硅合成废液汽化装置，包括壳体和包覆在壳体外的外夹套，所述壳体上设有废液进口，壳体顶部设有废液汽化出口，外夹套所包覆的壳体部分处于废液进口的下方，外夹套为中空夹套，外夹套上部设有蒸汽进口，其底部设有冷凝液出口。
优选的是，所述壳体底部还设有排渣检修口。
优选的是，所述壳体顶部还设有安全阀接口，通过所述安全阀接口，使本装置可与外部安全阀连接，以防止汽化后压力较高而造成设备的损坏。
进一步优选的是，所述壳体顶部还设有就地压力表接口和远传压力表接口，通过在就地压力表接口和远传压力表接口上分别装设相应的压力表，以便于在装置的近端和远端都可以随时观察装置内部压力的变化情况。
优选的是，所述壳体的外形为圆筒状。
优选的是，所述壳体的内径为500mm，其高度为1500mm。
优选的是，所述废液进口设于壳体的中部或上部。
其中，所述废液汽化出口可与氢氧化钠淋洗装置连接，使用氢氧化钠溶液对从废液汽化出口中排出的汽化后的残渣进行处理。所述废液进口可与三氯氢硅合成尾气处理***连接，用于接收合成尾气处理***中排出的废液残渣。
进一步优选的是，与所述废液进口、废液汽化出口、蒸汽进口、冷凝液出口连接的管道上分别设有法兰。并且，所述各个连接的管道采用蒸汽伴热进行加热。
从三氯氢硅合成尾气处理***排出的废液进入本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置后，经外夹套的高温蒸汽汽化后，从本装置顶部的废液汽化出口排出后，再经后续的碱液淋洗装置进行淋洗，通过碱液淋洗实现对此废液的无污染处理。
废液流经本装置后发生汽化，因而不会在管道内产生沉积，从而减少了管道堵塞，减少了处理管道时产生闪爆的危险，有效避免了传统的三氯氢硅合成排液易出现管道堵塞，难以清理等缺点。同时，提高了三氯氢硅合成尾气处理***的处理能力，大大延长了处理装置运行时间。并且，该装置的造价成本低。
本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置可以实现对高压氢硅合成炉尾气处理塔的连续稳定运行，同时可实现对尾气废液进行无污染处理。
附图说明
图1为本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置的结构示意图。
图中：1-外夹套；2-壳体；3-废液进口；4-安全阀接口；5-就地压力表接口；6-远传压力表接口；7-废液汽化出口；8-备用口；9-蒸汽进口；10-冷凝液出口；11-排渣检修口。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置作进一步详细描述。
如图1所示，本实用新型三氯氢硅合成废液汽化装置包括壳体2和包覆在壳体2外的外夹套1。本实施例中，壳体为圆筒状，其内径为φ500mm，长度为1500mm。
壳体2上设有废液进口3，本实施例中，废液进口3设于壳体的中部。壳体顶部设有废液汽化出口7，壳体底部设有排渣检修口11，壳体2上还设有备用口8。
外夹套1所包覆的壳体部分始终都在废液进口3的下方。外夹套1为中空夹套，其内部可通入蒸汽。外夹套1上部设有蒸汽进口9，其底部设有冷凝液出口10。
壳体顶部还设有安全阀接口4，通过安全阀接口4可使本装置与外部安全阀连接，以防止汽化后压力较高而造成设备的损坏。
壳体顶部还设有就地压力表接口5和远传压力表接口6，通过在就地压力表接口5和远传压力表接口6上分别装设相应的压力表，以便于在装置的近端和远端都可以随时观察壳体2内部压力的变化情况。
其中，所述废液进口3与三氯氢硅合成尾气处理***连接，废液汽化出口7与氢氧化钠淋洗装置连接。
与本装置中各个开口连接的管道上分别设有法兰，并且，所述各个连接的管道采用蒸汽伴热进行加热。
本实用新型装置工作时，从三氯氢硅合成尾气处理***来的废液经废液进口3进入壳体2内，同时高温蒸汽通过蒸汽进口9进入外夹套1中，通过外夹套的内壁与壳体2的外壁进行换热，使废液汽化，汽化后的废液从废液汽化出口7中排出，并通过使用氢氧化钠溶液对汽化后的残渣进行淋洗处理。外夹套1中经换热后的蒸汽冷凝液通过冷凝液出口10进行回收。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，包括壳体(2)和包覆在壳体(2)外的外夹套(1)，所述壳体(2)上设有废液进口(3)，壳体顶部设有废液汽化出口(7)，外夹套(1)所包覆的壳体部分处于废液进口(3)的下方，外夹套(1)为中空夹套，外夹套(1)上部设有蒸汽进口(9)，其底部设有冷凝液出口(10)。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述壳体(2)底部设有排渣检修口(11)。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述壳体(2)顶部设有安全阀接口(4)。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述壳体(2)顶部设有就地压力表接口(5)和远传压力表接口(6)。
5.根据权利要求1-4之一所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述壳体(2)的外形为圆筒状。
6.根据权利要求1-4之一所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述壳体(2)的内径为500mm，其高度为1500mm。
7.根据权利要求1-4之一所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述废液进口(3)设于壳体(2)的中部或上部。
8.根据权利要求1-4之一所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述废液汽化出口(7)与氢氧化钠淋洗装置连接，所述废液进口(3)与三氯氢硅合成尾气处理***连接。
9.根据权利要求1-4之一所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，与所述废液进口(3)、废液汽化出口(7)、蒸汽进口(9)、冷凝液出口(10)连接的管道上分别设有法兰。
10.根据权利要求9所述的三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，所述各个连接的管道采用蒸汽伴热对其进行加热。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200514628U CN201848184U (zh) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 三氯氢硅合成废液汽化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011200514628U CN201848184U (zh) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 三氯氢硅合成废液汽化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201848184U true CN201848184U (zh) | 2011-06-01 |
Family
ID=44090599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011200514628U Expired - Fee Related CN201848184U (zh) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 三氯氢硅合成废液汽化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201848184U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102633264A (zh) * | 2012-05-08 | 2012-08-15 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷的方法及其专用装置 |
| CN102910633A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-02-06 | 新特能源股份有限公司 | 一种间隙式回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及设备 |
| CN111908475A (zh) * | 2019-05-08 | 2020-11-10 | 河南尚宇新能源股份有限公司 | 一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收***及方法 |
-
2011
- 2011-03-01 CN CN2011200514628U patent/CN201848184U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102633264A (zh) * | 2012-05-08 | 2012-08-15 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷的方法及其专用装置 |
| CN102910633A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-02-06 | 新特能源股份有限公司 | 一种间隙式回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及设备 |
| CN102910633B (zh) * | 2012-10-25 | 2015-01-14 | 新特能源股份有限公司 | 一种间隙式回收多晶硅生产中氯硅烷废液的方法及设备 |
| CN111908475A (zh) * | 2019-05-08 | 2020-11-10 | 河南尚宇新能源股份有限公司 | 一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收***及方法 |
| CN111908475B (zh) * | 2019-05-08 | 2023-02-07 | 河南尚宇新能源股份有限公司 | 一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收***及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201848184U (zh) | 三氯氢硅合成废液汽化装置 | |
| CN204051381U (zh) | 一种尾气回收装置清洗*** | |
| CN202902252U (zh) | 一种利用锅炉尾气余热加热锅炉的进水装置 | |
| CN203174397U (zh) | 内置式蒸汽发生器及包括其的挂烫机 | |
| CN201106024Y (zh) | 炼钢高温炉渣闷渣炉 | |
| CN207483640U (zh) | 干法乙炔发生器洗涤管路*** | |
| CN206146292U (zh) | 一种可喷淋冲洗的非金属换热器 | |
| CN103334164A (zh) | 近临界水解清洗喷丝板的方法及其清洗装置 | |
| CN206444953U (zh) | 一种氨纶组件的浸泡槽结构 | |
| CN204550061U (zh) | 一种三氯化磷生产工艺中的洗釜装置 | |
| CN206868142U (zh) | 水玻璃高效溶解罐 | |
| CN107890750A (zh) | 干法乙炔发生器洗涤管路*** | |
| CN209906652U (zh) | 一种带有除尘装置的生石灰消化*** | |
| CN109092100A (zh) | 一种固体水玻璃溶解的余热回收*** | |
| CN212669802U (zh) | 洗涤装置 | |
| CN203393276U (zh) | 近临界水解清洗喷丝板的清洗装置 | |
| CN209237592U (zh) | 石灰消化机烟尘处理装置 | |
| CN202485019U (zh) | 多功能锅炉烟气处理装置 | |
| CN107055903A (zh) | 一种用于热镀锌生产的废酸处理设备 | |
| CN209873406U (zh) | 一种纳米双管变频组合智能熨斗 | |
| CN202247463U (zh) | 多功能节能蒸汽发生装置 | |
| CN106191885B (zh) | 钒生产设备表面结垢的处理方法 | |
| CN214319714U (zh) | 一种化工尾气处理装置 | |
| CN203807604U (zh) | 纺丝组件水解清洗装置 | |
| CN204265855U (zh) | 清洗冷轧管油污产生的四氯化碳废液再生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: XINTE ENERGY CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY CO., LTD. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 830011, room 716, Mustang building, No. 158, Kunming Road, the Xinjiang Uygur Autonomous Region, Urumqi Patentee after: Xinte Energy Co.,Ltd. Address before: 830011, Mustang business club No. 158, Kunming Road, 717, the Xinjiang Uygur Autonomous Region, Urumqi Patentee before: TBEA Xinjiang Silicon Industry Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110601 Termination date: 20200301 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |