CN201742323U - 一种新型直线超声微马达 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种新型直线超声微马达,属于一种基于行波方式工作的微型直线超声马达。超声换能器一通过联接环一与波导连接,超声换能器二通过联接环二与波导连接,波导中部连接螺旋型定子,该螺旋型定子绕接在螺杆形螺旋转子的外部。优点是结构新颖,螺旋定、转子结构本身可自动实现线性输出,不再需要中间转换机构;定子与转子之间的预紧无需另加预载弹簧;加之其特有的分体式结构,有利于微马达的进一步微型化。达到高效率、低成本、高可靠性、更有利于微型化的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于一种基于行波方式工作的微型直线超声马达。
背景技术
微马达广泛应用于各种微机电***MEMS中。在各种微马达中,电磁型微马达由于其复杂的结构限制了其进一步微型化。利用集成电路制造工艺制造的静电微型马达无法产生足够的输出功率。而超声微马达由于其小尺寸、大扭矩、高能量密度特性有利于装置的微型化而充满前景。超声微马达是利用压电陶瓷材料PZT或高分子PVDF薄膜材料的逆压电效应,通过转换压电振子的超声振动形成驱动能力,实现超声波振动能转换成机械能并依靠摩擦力来驱动的一种全新结构的微型马达。
随着微型机器人及MEMS技术的发展,对超声微马达提出了更高的技术要求。目前,超声微马达继续朝着微小化的方向发展,而进一步简化微马达的构造是其中的一个重要研究手段。结构简化不仅有利于超声微马达的进一步微小化,更可提高马达的可靠性,有利于马达的批量制造,进而降低其成本。而结构复杂、制造工艺要求高、控制复杂、可靠性及寿命低一直是制约超声微马达发展及应用的关键问题。
在对超声微马达进一步微型化的研究当中,存在着问题工艺上的限制:即受到压电材料的加工及制作工艺问题的限制;另一方面,设计新型结构也一直是微马达微型化的一个努力方向。
发明内容
本实用新型提供一种新型直线超声微马达,以解决微马达存在的结构复杂、制造工艺要求高、控制复杂、可靠性及寿命低的问题。本实用新型采取的技术方案是:超声换能器一通过联接环一与波导连接,超声换能器二通过联接环二与波导连接,波导中部连接螺旋型定子,该螺旋型定子绕接在螺杆形螺旋转子的外部。
本实用新型一种实施方式是:螺旋型定子与波导为同一材料。
本实用新型一种实施方式是:螺旋型定子与波导截面形状为圆形或矩形。
微马达的执行部分仅由由螺旋型转子及螺旋管型定子组成,压电超声换能器通过波导将机械振动谐波传递给连接在另一端的螺旋型定子,激励并使其产生椭圆运动,进而驱动螺旋转子在自身旋转的同时,实现轴向直线进给。
本实用新型的优点是结构新颖,螺旋定、转子结构本身可自动实现线性输出,不再需要中间转换机构;定子与转子之间的预紧无需另加预载弹簧;加之其特有的分体式结构,有利于微马达的进一步微型化。通过这种新结构微马达的设计,较之目前的超声微马达设计,可大大简化微马达的构造,达到高效率、低成本、高可靠性、更有利于微型化的目的。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
超声换能器一1通过联接环一2与波导3连接,超声换能器二7通过联接环二6与波导3连接,波导中部连接螺旋型定子5,该螺旋型定子绕接在螺杆形螺旋转子4的外部。
本实用新型一种实施方式是:螺旋型定子与波导为同一材料。
本实用新型一种实施方式是:螺旋型定子与波导截面形状为圆形或矩形。
Claims (3)
1.一种新型直线超声微马达,其特征在于:超声换能器一通过联接环一与波导连接,超声换能器二通过联接环二与波导连接,波导中部连接螺旋型定子,该螺旋型定子绕接在螺杆形螺旋转子的外部。
2.根据权利要求1所述的一种新型直线超声微马达,其特征在于:螺旋型定子与波导为同一材料。
3.根据权利要求1或2所述的一种新型直线超声微马达,其特征在于:螺旋型定子与波导截面形状为圆形或矩形。
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