CN201732981U

CN201732981U - 防护套和离子发生器

Info

Publication number: CN201732981U
Application number: CN2010202464510U
Authority: CN
Inventors: 龚文卫
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-06-30
Filing date: 2010-06-30
Publication date: 2011-02-02
Anticipated expiration: 2020-06-30

Abstract

本实用新型公开了一种防护套和离子发生器，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔。所述离子发生器包括高压发生装置以及多个电极针，所述多个电极针与所述高压发生装置连接，所述离子发生器还包括防护套，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔，每个所述通孔内容置一个电极针。所述防护套可防止所述多个电极针之间相互电磁干扰，并防止空气中的颗粒附着在所述电极针上。

Description

防护套和离子发生器

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种防护套和离子发生器。

背景技术

在半导体晶片和液晶玻璃等各种工件的处理工艺中，必须使用离子发生器去除工件上所带的静电荷。一般的，所述离子发生器包括高压发生装置以及多个电极针(放电电极)。所述高压发生装置将输入电压(例如24V电压)升至较高电压，并使所述电极针以一定频率交替为正电压和负电压，使得空气分子被电离，从而在所述电极针的尖端交替产生正负离子。当带电的工件表面为正电位时，利用负离子将所述工件表面的正电荷中和；如果工件表面为负电位时，利用正离子将工件表面的负电荷中和。

具体请参考图1，其为现有的离子发生器的示意图。如图1所示，现有的离子发生器100包括高压发生装置110、多个电极针120、以及电极安装部140。所述电极针120的数量例如是四个，四个电极针120均匀分布在所述电极安装部140上，所述高压发生装置110与所述多个电极针120电性连接。

然而，在实际生产中发现，现有的离子发生器100具有以下几个问题：

首先，所述多个电极针120之间由于静电放电极易产生电磁干扰，并且该电磁干扰的电磁波的前后峰较尖，信号较强，其频率达到几兆赫兹甚至几百赫兹，极有可能引起电极针120损坏，并导致离子发生器100损坏，更为严重的是，这种电磁干扰还有可能损坏工件。

其次，由于所述电极针120是全部暴露于空气中，悬浮在空气中的颗粒极有可能附着在电极针120的表面，当所述电极针120被污染时，其难以发生电离，使得产生的离子的数量减小，最终可能不再产生离子。因此，操作人员必须频繁的进行电极针120的清洁和更换等维护工作，在对该电极针120进行清理维护期间，必须停止离子发生器100和关联设备的运行，这不仅耗费人力和时间，还使得关联设备的产能下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种防护套，以防止多个电极针之间相互电磁干扰，并防止空气中的颗粒附着在电极针表面。

本实用新型的另一目的在于，提供一种离子发生器，以解决现有的离子发生器的多个电极针之间易发生电磁干扰的问题，并降低电极针被污染的机率。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防护套，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔。

可选的，在所述防护套中，所述通孔为圆锥形通孔，所述圆锥形通孔包括大端和小端，所述大端的孔径比所述小端的孔径大。

本实用新型还提供一种离子发生器，所述离子发生器包括：高压发生装置、多个电极针、以及防护套，所述多个电极针与所述高压发生装置连接，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔，每个所述通孔内容置一个电极针。

可选的，在所述离子发生器中，还包括电极安装部，所述多个电极针通过所述电极安装部与所述高压发生装置连接。

可选的，在所述离子发生器中，所述通孔为圆锥形通孔，所述圆锥形通孔包括大端和小端，所述大端的孔径比所述小端的孔径大，所述圆锥形通孔的小端靠近所述电极安装部。

可选的，在所述离子发生器中，所述绝缘主体的形状为正方体，所述绝缘主体的厚度大于或等于所述电极针的长度。

可选的，在所述离子发生器中，所述绝缘主体上设置有螺孔，所述电极安装部对应所述螺孔的位置设置有连接孔。

可选的，在所述离子发生器中，所述防护套粘接在所述电极安装部上。

可选的，在所述离子发生器中，所述绝缘主体的材质为聚氯乙烯。

可选的，在所述离子发生器中，所述绝缘主体的材质为陶瓷。

与现有技术相比，本实用新型提供的防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的通孔，每个所述通孔内容置一个所述电极针，所述防护套可防止多个电极针之间相互电磁干扰，有利于延长电极针的使用寿命，并可确保离子发生器和工件不会由于电磁干扰被损坏；并且，所述防护套可防止空气中的颗粒附着在电极针上，降低了电极针被污染的机率。

附图说明

图1为现有的离子发生器的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的防护套的示意图；

图3为本实用新型实施例提供的离子发生器的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型的核心思想在于，提供一种防护套和离子发生器，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的通孔，每个所述通孔内容置一个电极针。所述防护套可防止多个电极针之间相互电磁干扰，延长了的电极针的使用寿命，并可确保离子发生器和工件不会由于电磁干扰被损坏；并且，所述防护套可防止空气中的颗粒附着在电极针表面。

请参考图2，其为本实用新型实施例提供的防护套的示意图。如图2所示，本实用新型实施例提供的防护套230包括绝缘主体231以及设置于所述绝缘主体231上的多个通孔232。所述防护套230可防止多个电极针之间相互电磁干扰，有利于延长所述电极针的使用寿命；此外，所述防护套230可防止空气中的颗粒附着在电极针上，有利于减少清洁和更换电极针的频率。

优选的，所述防护套230的通孔232为圆锥形通孔，所述圆锥形通孔包括大端和小端，所述大端的孔径比所述小端的孔径大，将所述通孔232设置为圆锥形通孔，有利于离子向工件扩散。当然，所述通孔232的形状并不局限于此，例如，所述通孔232也可为圆柱形通孔。

请参考图3，其为本实用新型实施例提供的离子发生器的示意图。如图3所示，并结合图2，本实用新型实施例提供的离子发生器200包括：高压发生装置210、多个电极针220以及防护套230，所述多个电极针220与所述高压发生装置210电性连接，所述防护套230包括绝缘主体231以及设置于所述绝缘主体231上的多个通孔232，每个所述通孔232内容置一个所述电极针220。由于所述离子发生器200设置有防护套230，可防止多个电极针220之间相互电磁干扰，有利于延长电极针220的使用寿命，并可确保离子发生器200和工件不会被损坏；并且，所述防护套230可防止空气中的颗粒附着在电极针220上，降低了所述电极针220被污染的机率。

优选的，所述离子发生器200还包括电极安装部240，所述电极针220通过所述电极安装部240与所述高压发生装置210连接。如图3所示，所述电极针220的一端固定在所述电极安装部240上，所述高压发生装置210与所述电极安装部240连接，进而与所述电极针220电性连接。

优选的，所述通孔232的小端(孔径较小的一端)靠近所述电极安装部240，以有利于离子向工件扩散。

优选的，所述防护套230的绝缘主体231的形状为正方体，所述绝缘主体231的形状恰好与电极安装部240的形状匹配，可方便快捷的将所述防护套230固定在电极安装部240上。当然，本实用新型并不局于此，所述绝缘主体231也可为其它形状，例如长方体。

优选的，所述绝缘主体231的厚度等于电极针220的长度，即所述通孔232的高度与电极针220的长度相同，以使所述电极针220恰好容置在所述通孔232内，防止多个电极针220之间相互电磁干扰，并有利于电离的离子扩散到工件表面。然而应当认识到，所述绝缘主体231的厚度也可略大于电极针220的长度，以确保多个电极针220之间不会产生电磁干扰。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述绝缘主体231上也可设置有螺孔231a，所述电极安装部240对应螺孔231a的位置设置有连接孔(未图示)，可使塑料螺钉穿过所述螺孔231a与所述连接孔连接，以使防护套230与电极安装部240可拆卸的连接。利用所述塑料螺钉固定防护套230，便于操作人员拆卸或更换所述防护套230，有利于提高工作效率。

在本实用新型的其它具体实施例中，也可利用粘结剂将所述防护套230粘接在所述电极安装部240上，以将所述防护套230固定住。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述绝缘主体231的材质为聚氯乙烯(PVC)，所述聚氯乙烯具有良好的防静电效果。当然，所述绝缘主体231也可由其它绝缘材料(例如陶瓷)制成。

如图3所示，在本实用新型的一个具体实施例中，电极针220和通孔232的数量均为四个，四个通孔232呈四边形均匀的分布在所述绝缘主体231上。当然，所述电极针220和通孔232的数量也可以是二个、三个或四个以上。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种防护套，其特征在于，包括：绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔。

2.如权利要求1所述的防护套，其特征在于，所述通孔为圆锥形通孔，所述圆锥形通孔包括大端和小端，所述大端的孔径比所述小端的孔径大。

3.一种离子发生器，包括高压发生装置以及多个电极针，所述多个电极针与所述高压发生装置连接，其特征在于，所述离子发生器还包括防护套，所述防护套包括绝缘主体以及设置于所述绝缘主体上的多个通孔，每个所述通孔内容置一个电极针。

4.如权利要求3所述的离子发生器，其特征在于，还包括电极安装部，所述多个电极针通过所述电极安装部与所述高压发生装置连接。

5.如权利要求4所述的离子发生器，其特征在于，所述通孔为圆锥形通孔，所述圆锥形通孔包括大端和小端，所述大端的孔径比所述小端的孔径大，所述圆锥形通孔的小端靠近所述电极安装部。

6.如权利要求4所述的离子发生器，其特征在于，所述绝缘主体的形状为正方体，所述绝缘主体的厚度大于或等于所述电极针的长度。

7.如权利要求4所述的离子发生器，其特征在于，所述绝缘主体上设置有螺孔，所述电极安装部对应所述螺孔的位置设置有连接孔。

8.如权利要求4所述的离子发生器，其特征在于，所述防护套粘接在所述电极安装部上。

9.如权利要求3至8中任意一项所述的离子发生器，其特征在于，所述绝缘主体的材质为聚氯乙烯。

10.如权利要求3至8中任意一项所述的离子发生器，其特征在于，所述绝缘主体的材质为陶瓷。