CN201459271U - 用于晶圆电镀的夹具 - Google Patents

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孙江燕
王振荣
刘红兵
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Abstract

一种用于晶圆电镀的夹具，由容纳组件和密封组件以可拆卸方式相连接而成，容纳组件由夹具外骨架、导电弹片和晶圆密封垫圈构成，密封组件由锁紧扣、锁紧扣保护套、压盖、晶圆缓冲密封垫圈、导向销和导电柱组成，导电柱一端与锁紧扣下端相接触形成电连接，导电柱另一端与导电弹片形成电连接，压盖上端设有旋转扣，旋转扣通过螺纹与夹具外骨架相连接。本实用新型在用于晶圆电镀的夹具中设有便于拆装的容纳组件和密封组件，设有多个导电柱以便给晶圆的导电层传导电流，密封组件的拆装方便，只需要由旋转扣与夹具外骨架之间通过螺纹相连接即可，并且操作者不会碰到晶圆的电镀导电层，保证了电镀质量，提高电镀效率，而且可用于自动化生产线。

Description

用于晶圆电镀的夹具
技术领域：
本实用新型涉及电化学领域，尤其涉及电镀技术，特别涉及晶圆的电镀装置，具体的是一种用于晶圆电镀的夹具。
背景技术：
现有技术中，晶圆电镀之后、在拆卸晶圆夹具时，晶圆夹具需要被翻转几次，晶圆的导电层会***作者接触多次，因此会污染导电层，影响电镀质量，也导致电镀效率低下，只能用于小批量生产，不利于大批量生产。
发明内容：
本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆电镀的夹具，所述的这种用于晶圆电镀的夹具要解决现有技术中晶圆电镀夹具效率低、容易导致导电层污染的技术问题。
本实用新型的这种用于晶圆电镀的夹具由容纳组件和密封组件构成，其中，所述的容纳组件由夹具外骨架、晶圆密封垫圈和两个以上数目的导电弹片构成，所述的夹具外骨架由圆柱型容器构成，夹具外骨架的内圆周壁上沿圆周向设置有导向槽，夹具外骨架的底板中设置有圆形孔，所述的晶圆密封垫圈覆盖在所述的圆形孔的上侧，所述的导电弹片对称设置在夹具外骨架的内圆周壁上，所述的密封组件由锁紧扣、锁紧扣保护套、压盖、晶圆缓冲密封垫圈、导向销和导电柱构成，所述的压盖由圆盘台阶状的绝缘塑料盖构成，压盖设置在夹具外骨架中，压盖的上端面上固定设置有旋转扣，所述的旋转扣由金属对接套构成，旋转扣通过螺纹与夹具外骨架连接，所述的锁紧扣固定设置在压盖的中央，所述的锁紧扣保护套包围锁紧扣，所述的导电柱呈辐射式设置在压盖内，导电柱的一端分别与锁紧扣的下部圆柱固定连接并导电，导电柱的另一端穿出压盖下部的外圆周并且各自与一个所述的导电弹片电连接，所述的晶圆缓冲密封垫圈嵌设在压盖的下端面内，晶圆缓冲密封垫圈的下侧面突出压盖的下端面，晶圆缓冲密封垫圈与晶圆密封垫圈共轴，所述的导向销沿压盖的径向设置在压盖内，导向销的外端伸出压盖的外圆周面并与夹具外骨架内壁的导向槽配合。
进一步的，所述的压盖中设置环形凹槽，所述的环形凹槽上端设置有压盖封板。
进一步的，所述的锁紧扣的下端沿圆周方向设置有孔，导电柱的一端设置在所述的孔中。
进一步的，所述的锁紧扣的上部设置有内腔，所述的内腔内壁中沿轴向依次设置有两个以上数目的锥形槽。
进一步的，所述的晶圆密封垫圈与晶圆缓冲密封垫圈的内径相配合。
进一步的，所述的导向销外端的轴向截面轮廓呈圆弧形。
本实用新型的工作原理是：将容纳组件放到装卸台上，由装卸台上的销定位；用吸盘吸住晶圆，从上往下放入容纳组件中的夹具外骨架内，然后将密封组件从上往下放入容纳组件中，导向销沿容纳组件中的导向槽滑动，晶圆正反两面分别与晶圆密封垫圈、晶圆缓冲密封垫圈接触，旋转扣给压盖施加压力从而压紧晶圆.
本实用新型和已有技术相比，其效果是积极和明显的。本实用新型在用于晶圆电镀的夹具中设置便于拆装的容纳组件和密封组件，并设置有多个导电柱以便给晶圆的导电层传导电流，密封组件的拆装方便，只需要由旋转扣与夹具外骨架之间通过螺纹相连接即可，拆装方便，并且操作者不会碰到晶圆的电镀导电层，保证了电镀质量，提高电镀效率，而且可用于自动化生产线。
附图说明：
图1是本实用新型的用于晶圆电镀的夹具剖去四分之一的结构示意图。
图2是图1的剖视图。
具体实施方式：
实施例1：
如图1和图2所示，本实用新型的用于晶圆电镀的夹具，由容纳组件和密封组件构成，其中，所述的容纳组件由夹具外骨架1、导电弹片2和晶圆密封垫圈3构成，所述的夹具外骨架1是具有侧壁的盘形构件，所述的夹具外骨架1的底部开设有稍小于晶圆直径的圆形孔，所述的晶圆密封垫圈3设置于所述的夹具外骨架圆形孔的凸台上，若干个所述的导电弹片2对称地设置于所述的晶圆夹具外骨架的底板上侧，所述的导电弹片2位于所述的夹具外骨架1中央的一端，是呈向上翘起的弹性端，所述的密封组件由锁紧扣4、锁紧扣保护套5、压盖6、晶圆缓冲密封垫圈7、导向销8和导电柱9组成，所述的压盖6呈轴盘形，所述的压盖6是绝缘塑料压盖，所述的压盖6设置于所述的夹具外骨架1中，所述的压盖6的外径与所述的夹具外骨架1的内径相配合，以防止电镀液进入夹具内部，所述的压盖6中央设置有所述的锁紧扣4和锁紧扣保护套5，所述的锁紧扣护套5套设于所述的锁紧扣4外侧，对所述的锁紧扣4起到密封与保护的作用，在所述的压盖6内部呈辐射式设置有若干根所述的导电柱9，所述的导电柱9一端与所述的锁紧扣4下端相接触形成电连接，所述的导电柱9另一端穿出所述的压盖6外圆周面，并且与所述的导电弹片2形成电连接，在所述的压盖6下端面内嵌设置有所述的晶圆缓冲密封垫圈7，所述的晶圆缓冲密封垫圈7的下侧面超出所述的压盖6的下端面，以便于晶圆缓冲密封垫圈7对其下侧的晶圆(图中未画出)起到密封作用，所述的晶圆缓冲密封垫圈7与所述的晶圆密封垫圈3同心，所述的导向销8沿所述的压盖6径向设置于所述的压盖6内部，所述的导向销8外端伸出所述的压盖6外圆周面与所述的夹具外骨架1内侧的导向槽11相配合，所述的夹具外骨架1上端设置有内螺纹段，所述的压盖6上端设置有旋转扣10，所述的旋转扣10通过螺纹与所述的夹具外骨架1相连接。
进一步的，所述的压盖6中设置环形凹槽61，所述的环形凹槽61上端设置有压盖封板12。
进一步的，所述的锁紧扣4下端沿圆周方向设置有若干个孔41，所述的导电柱9的一端设置于所述的锁紧扣下端的孔41中。
进一步的，所述的导电柱9沿圆周方向均匀分布。
进一步的，所述的锁紧扣4内壁上端为多段上下侧面呈45度角倾斜的楔形环42构成，以方便对接.
进一步的，与每一个所述的导电柱9相对应设置有一个所述的导电弹片2。
进一步的，所述的晶圆密封垫圈3与所述的晶圆缓冲密封垫圈7的内径相配合。
进一步的，所述的旋转扣9是环形塑料件。
进一步的，所述的导向销8外端的轴向截面轮廓呈圆弧形。

Claims (6)

1.一种用于晶圆电镀的夹具，由容纳组件和密封组件构成，其特征在于：所述的容纳组件由夹具外骨架、晶圆密封垫圈和两个以上数目的导电弹片构成，所述的夹具外骨架由圆柱型容器构成，夹具外骨架的内圆周壁上沿圆周向设置有导向槽，夹具外骨架的底板中设置有圆形孔，所述的晶圆密封垫圈覆盖在所述的圆形孔的上侧，所述的导电弹片对称设置在夹具外骨架的内圆周壁上，所述的密封组件由锁紧扣、锁紧扣保护套、压盖、晶圆缓冲密封垫圈、导向销和导电柱构成，所述的压盖由圆盘台阶状的绝缘塑料盖构成，压盖设置在夹具外骨架中，压盖的上端面固定设置有旋转扣，所述的旋转扣由金属对接套构成，旋转扣通过螺纹与夹具外骨架连接，所述的锁紧扣固定设置在压盖的中央，所述的锁紧扣保护套包围锁紧扣，所述的导电柱呈辐射式设置在压盖内，导电柱的一端分别与锁紧扣的下部圆柱固定连接并导电，导电柱的另一端穿出压盖下部的外圆周并且各自与一个所述的导电弹片电连接，所述的晶圆缓冲密封垫圈嵌设在压盖的下端面内，晶圆缓冲密封垫圈的下侧面突出压盖的下端面，晶圆缓冲密封垫圈与晶圆密封垫圈共轴，所述的导向销沿压盖的径向设置在压盖内，导向销的外端伸出压盖的外圆周面并与夹具外骨架内壁的导向槽配合。
2.如权利要求1所述的用于晶圆电镀的夹具，其特征在于：所述的压盖中设置环形凹槽，所述的环形凹槽上端设置有压盖封板。
3.如权利要求1所述的用于晶圆电镀的夹具，其特征在于：所述的锁紧扣的下端沿圆周方向设置有孔，导电柱的一端设置在所述的孔中。
4.如权利要求1所述的用于晶圆电镀的夹具，其特征在于：所述的锁紧扣的上部设置有内腔，所述的内腔内壁中沿轴向依次设置有两个以上数目的锥形槽。
5.如权利要求1所述的用于晶圆电镀的夹具，其特征在于：所述的晶圆密封垫圈与晶圆缓冲密封垫圈的内径相配合。
6.如权利要求1所述的用于晶圆电镀的夹具，其特征在于：所述的导向销外端的轴向截面轮廓呈圆弧形。
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