CN201305658Y - 余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,包括炉壳、冷却水进、出口,炉壳为环状内空式夹层装置,冷却水进口设置在炉壳下部并通过水分配器与环状内空式夹层相通,水分配器包括环形管和分管,环形管通过分管与内空式夹层底部的冷却水进口相连;冷却水出口设置在炉壳顶部并与环状内空式夹层相通。本实用新型结构简单,采用自流式冷却介质,动力消耗小,传热效率高,可循环使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中还原炉的冷却装置,主要涉及一种余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置。
背景技术
多晶硅还原炉是生产多晶硅的专用设备,现有技术中,多晶硅还原炉的炉体结构是一个带有冷却夹套的钟罩式还原炉,其主要冷却方式是利用夹套内的冷却介质(通常为水或导热油)吸收并带走炉内高温辐射在内炉壁上的热量,用于加热需要加热的设备,水或导热油释放出热能后,又返回还原炉夹套去冷却内炉壁,如此循环,使得还原炉的余热得到利用。为适应这种方式,通常需要在还原炉夹套内设置螺旋式导流板或导流管,由于需要加热的设备的温度大多数都在150℃以上,因此水或导热油需要在150℃以上的温度下工作。目前这种方法有四点不足:①由于利用温差式的加热和冷却,传热效率很低,需要很大的循环量,并且高温水循环需要较高的压力(否则会产生蒸汽),因此其使用的循环动力机械所输送的介质温度高、流量大,压力高,需要的动力耗能较大。②由于传热效率很低,利用其余热的换热器的换热面积也较大。③为了防止水或导热油在还原炉夹套流动时走捷径,用水或导热油时夹套内需要有导流板,导流板的加工精度很高。④由于还原炉在单位时间内所产余热是不均衡的,而需要加热的设备所需的热能一般是均衡的,在用水或导热油时两者之间平衡起来就比较困难。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述技术缺陷,提供一种余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置。本实用新型结构简单,采用自流式冷却介质,动力消耗小,传热效率高,可循环使用。
为实现上述发明目的,本实用新型采用的技术方案是:
余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,包括炉壳、冷却水进、出口,其特征在于:所述炉壳为环状内空式夹层装置,冷却水进口设置在炉壳下部并通过水分配器与环状内空式夹层相通,所述水分配器包括环形管和分管,环形管通过分管与内空式夹层底部的冷却水进口相连;冷却水出口设置在炉壳顶部并与环状内空式夹层相通。
所述余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置还包括有汽水分离器,冷却水进、出口分别通过管线与汽水分离器连通。
所述汽水分离器为压力容器,包括密封壳体和汽水分离装置,还原炉冷却水出口与汽水分离装置连通,还原炉进水口与密封壳体连通。
所述汽水分离器还连接有用热装置。
本实用新型的优点在于:
1、本实用新型是将夹层做成余热锅炉型,中间无螺旋形导流板,当水由设置在炉壳夹层下部的水分配器的进水口进入夹层,被炉壳内炉壁加热后,其中部分水汽化成蒸汽,比重变小而向上运动,在运动中不断地有部分水汽化成蒸汽,最后水和蒸汽的混合体由炉顶出水口流出,上升至水汽分离器,分离出的的蒸汽送往需要热能的用热设备,而释放了蒸汽的水又流回至夹层的进水口,如此反复循环。提高了工作的可靠性与安全性,采用相变式加热和冷却,传热效率高,经过测试,传热系数比温差的显热式加热和冷却要高15-30倍,利用其余热的换热器的换热面积相对较小。
2、由于炉壳夹层和汽水分离器形成封闭式循环,并且水循环完全是自流的,不需要利用动力使其流动循环,因此只需要把用热设备冷凝下来的水补充回循环***中即可,其动力耗能很小。
3、还原炉所产余热与所需的热能之间不均衡的问题,可以简单地用补充蒸汽或输出本***产出的蒸汽来平衡。
4、本实用新型在原有技术上减少了导流板和导流管,使整个冷却装置结构更加简单,制造成本大大降低。
附图说明:
图1为本实用新型结构示意图。
图2为图1的A-A向水分配器剖视结构示意图。
图中标记:1为用热装置,2为汽水分离器,3为汽水分离装置,4为管线,5为内空式夹层,6为环管,7为分管。
具体实施方式
余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,包括炉壳、冷却水进、出口,所述炉壳为环状内空式夹层5装置,冷却水进口设置在炉壳下部并通过水分配器与环状内空式夹层5相通,所述水分配器包括环形管6和分管7,分管7可以根据使用需要设置为多根,环形管6通过分管7与内空式夹层5底部的冷却水进口相连;冷却水出口设置在炉壳顶部并与环状内空式夹层5相通,所述余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置还包括有汽水分离器2,冷却水进、出口分别通过管线4与汽水分离器2连通。所述汽水分离器2为压力容器,包括密封壳体和汽水分离装置3,还原炉冷却水出口与汽水分离装置3连通,还原炉进水口通过管线4与密封壳体连通,当含有蒸汽的冷却水从还原炉冷却水出口流入汽水分离器2后,在汽水分离器2中分离为蒸汽和水,蒸汽可通过管线送到需要用热的设备,水则流回到还原炉冷却水进口,所述水汽分离器2还连接有用热装置。
本实用新型是将夹层做成余热锅炉型,当水由设置在炉壳夹层下部的水分配器的进水口进入夹层,被炉壳内炉壁加热后,其中部分水汽化成蒸汽,比重变小而向上运动,在运动中不断地有部分水汽化成蒸汽,最后水和蒸汽的混合体由炉顶出水口流出,上升至水汽分离器,分离出的的蒸汽送往需要热能的用热设备,而释放了蒸汽的水又流回至夹层的进水口形成自然循环,如此反复循环。采用相变的潜热式加热和冷却,传热效率高,经过测试,传热系数比温差的显热式加热和冷却要高15-30倍,利用其余热的换热器的换热面积相对较小。
由于炉壳夹层和水汽分离器形成封闭式循环,并且水循环完全是自流的,不需要动力使其流动循环,因此只需要把用热设备冷凝下来的水补充回循环***中即可,其动力耗能很小。还原炉所产余热与所需的热能之间不均衡的问题,可以简单地用补充和输出蒸汽来平衡。本实用新型在原有技术上减少了导流板和导流管,使整个冷却装置结构更加简单,制造成本大大降低。
本实用新型不限于上述实施方式。
Claims (4)
1、余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,包括炉壳、冷却水进、出口,其特征在于:所述炉壳为环状内空式夹层(5)装置,冷却水进口设置在炉壳下部并通过水分配器与环状内空式夹层(5)相通,所述水分配器5包括环形管(6)和分管(7),环形管(6)通过分管(7)与内空式夹层(5)底部的冷却水进口相连;冷却水出口设置在炉壳顶部并与环状内空式夹层(5)相通。
2、根据权利要求1所述的余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,其特征在于:所述余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置还包括有汽水分离器(2),冷却水进、出口分别通过管线(4)与汽水分离器(2)连通。
3、根据权利要求2所述的余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,其特征在于:所述汽水分离器(2)为压力容器,包括密封壳体和汽水分离装置(3),还原炉冷却水出口与汽水分离装置(3)连通,还原炉进水口与密封壳体连通。
4、根据权利要求3所述的余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置,其特征在于:所述汽水分离器(2)还连接有用热装置(1)。
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CNU2008202229250U CN201305658Y (zh) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | 余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102022919A (zh) * | 2010-12-14 | 2011-04-20 | 湖南航天工业总公司 | 工业级微波高温辊道连续烧结窑炉余热循环*** |
CN102020276B (zh) * | 2009-09-17 | 2012-07-25 | 重庆大全新能源有限公司 | 多晶硅生产过程中余热利用的方法 |
CN111043870A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-21 | 罗智心 | 多晶硅还原炉热量回收利用***及方法 |
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- 2008-11-26 CN CNU2008202229250U patent/CN201305658Y/zh not_active Expired - Lifetime
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