CN201300373Y - 抛光垫 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种抛光垫，特别是涉及一种抛光垫的抛光面槽底的宽度为0mm的抛光垫。此抛光垫具有一抛光面，并具有至少一沟槽设于抛光面上，其中沟槽具有一槽口与一槽底，其特征在于抛光面的槽底的宽度为0mm，因此进行于抛光作业时，悬浮于抛光液中的研磨颗粒不易沉积于槽底，避免待磨物受沉积物的刮伤而受损。

Description

抛光垫

技术领域

本实用新型涉及一种抛光垫，特别是涉及一种抛光面的槽底的宽度为0mm的抛光垫。

背景技术

电子芯片是通过沉积(Deposition)不同层化材料而形成，例如硅晶片即是层化材料的基材(Substrate)之一，当每一个新的材料层被沉积上时，常需要使用研磨或抛光的步骤，以去除多余的沉积层材料，以使芯片平坦化，或是达成其它的目的，而此种抛光的过程常被称为化学机械抛光平坦化(Chemical Mechanical Polishing，CMP)。由于芯片由各种不同的薄膜(Thin Film)材料层所堆积形成，因此必须经过多次的CMP抛光步骤，才能将材料层由芯片的表面均匀去除，而达到平坦化的目的。

而通常在进行抛光作业时，会于芯片与抛光垫之间导入化学抛光液(slurry)，由沉积的薄膜材料层与化学抛光液所产生的化学作用，或是与化学抛光液中的颗粒发生机械作用，以移除部份芯片表面多余的薄膜层，但是由于抛光液会存在于抛光垫与芯片之间，容易使抛光垫与芯片之间完全贴合，而导致抛光垫与芯片之间的摩擦力消失，因此为了使抛光作业达到较佳的抛光效果，目前最为普遍的作法是在抛光垫的表面上刻设沟槽，除了可增加抛光垫与芯片之间的摩擦力，第二可确保抛光液均匀分布于抛光垫的表面上，第三可使悬浮于抛光液中的研磨颗粒与抛光碎屑经由沟槽而流出。

然而，一般在抛光垫10的表面上刻设沟槽后，沟槽的槽底会出现约90度的直角刻痕，如图1所示，因此进行抛光作业时，抛光液中的研磨颗粒或因抛光而产生的碎屑，容易累积在刻痕的角落(死角)中无法流出，残留的研磨颗粒或沉淀物，会形成较大的颗粒，导致抛光物的表面刮伤与损坏。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的主要目的在于提供一种抛光垫，其抛光面的槽底宽度为0mm，可避免悬浮于抛光液中的研磨颗粒或因抛光而产生的碎屑，会于槽底形成较大的颗粒，导致待磨物受刮伤而受损。

本实用新型的另一主要目的在于提供一种抛光垫，其抛光面的槽底的设计有助于抛光液的流动。

本实用新型的又一主要目的在于提供一种抛光垫，其抛光垫的沟槽可确保抛光液能均匀分布于抛光面上。

依据上述的目的，本实用新型提供一种抛光面的槽底的宽度为0mm的抛光垫。此抛光垫具有一抛光面，并具有至少一沟槽设于抛光面上，其中沟槽具有一槽口与一槽底，其特征在于抛光面的槽底的宽度为0mm，因此进行抛光作业时，悬浮于抛光液中的研磨颗粒不易沉积于槽底，以避免待磨物因刮伤而受损。

因此，本实用新型所提供的抛光垫，其槽底的宽度为0mm的设计，除了可避免研磨颗粒或抛光碎屑沉积于槽底，导致待磨物刮伤而受损外，其槽底的设计有助于抛光液的流动，因此不会累积过多的抛光液于沟槽当中，可提供较佳的抛光效果。

附图说明

图1为一抛光垫的剖面图(现有技术)。

图2为一抛光垫的正视图。

图3A为一抛光垫的沟槽的剖面图。

图3B为一抛光垫的沟槽的剖面图。

图3C为一抛光垫的沟槽的剖面图。

图3D为一抛光垫的沟槽的剖面图。

【主要元件符号说明】

10    抛光垫

20    抛光垫

21    抛光面

22    沟槽

221   槽口

222   槽底

223   断面

A1    抛光面与断面的夹角

具体实施方式

由于本实用新型为揭露一种抛光垫，特别是涉及一种抛光面的槽底的宽度为0mm的抛光垫。由于，本实用新型所利用到的一些抛光垫的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的附图，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

图2为本实用新型抛光垫的一较佳实施例示意图，抛光垫20具有一抛光面21，并具有至少一沟槽22设该抛光面21上，其中沟槽22具有一槽口221与一槽底222，如图2的a-a’的剖面线的图3A所示，其特征在于抛光面21的槽底222的宽度为0mm。

图3A为本实用新型抛光垫的沟槽的一较佳实施例示意图，此抛光垫20的槽口221至槽底222之间具有至少一断面223，且槽口221与槽底222具有不同的宽度，其中断面223与断面223之间具有至少一转折以形成一夹角，因此部份断面223可为一垂直于槽底222的平面，部分断面223则可为一不垂直于槽底222的斜面。

图3B为本实用新型抛光垫的沟槽的另一较佳实施例示意图，此抛光垫20的槽口221至槽底222之间具有至少一断面223，且槽口221与槽底222具有不同的宽度，其中断面223大致呈一V型，故此断面223为一不垂直于槽底222的斜面。

图3C为本实用新型抛光垫的沟槽的又一较佳实施例示意图，此抛光垫20的槽口221至槽底222之间具有至少一断面223，且槽口221与槽底222具有不同的宽度，抛光面21与断面223间具有至少一转折以形成一夹角A1，其中夹角A1的角度为大约90度～大约120度。

图3D为本实用新型抛光垫的沟槽的再一较佳实施例示意图，此抛光垫20的槽口221至槽底222之间具有至少一断面223，且槽口221与槽底222具有不同的宽度，其中断面223大致呈一U型，因此圆弧型槽底将有助于抛光液的流动。

本实用新型另提供一抛光垫的沟槽的再一较佳实施例，此抛光垫的槽口至槽底之间具有至少一断面，且槽口221与槽底222具有不同的宽度，其中断面为一不规则的曲面。

上述的抛光垫可另具有一接合面，用以接合于另一抛光垫的抛光面上，以形成二层式的抛光垫。

本实用新型所提供的抛光垫，其槽底的宽度为0mm的设计，除了可避免研磨颗粒或抛光碎屑沉积于槽底，导致待磨物受沉积物的刮伤而受损的外，其槽底的设计有助于抛光液的流动，因此不会累积过多的抛光液于沟槽当中，可提供较佳的抛光效果。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的权利要求；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请权利要求的范围中。

Claims (10)

1、一种抛光垫，该抛光垫具有一抛光面，具有至少一沟槽设于该抛光面上，其中该沟槽具有一槽口与一槽底，其特征在于，该抛光面的槽底的宽度为0mm。

2、如权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，该抛光垫的该槽口至该槽底之间具有至少一断面。

3、如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，该断面的构形由下列组合中选出：一V型及一U型。

4、如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，该断面与该断面间具有至少一转折以形成一夹角。

5、如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，该抛光面与该断面间具有至少一转折以形成一夹角。

6、如权利要求5所述的抛光垫，其特征在于，该夹角的角度为90度～120度。

7、如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，该断面为一垂直于该槽底的平面。

8、如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，该断面为一不垂直于该槽底的斜面。

9、如权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，该抛光垫的该槽口与该槽底具有不同的宽度。

10、如权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，该抛光垫另具有一接合面，用以接合于另一抛光垫的抛光面上。

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