CN201284233Y - 氩气净化装置 - Google Patents

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CN201284233Y CNU2008201618340U CN200820161834U CN201284233Y CN 201284233 Y CN201284233 Y CN 201284233Y CN U2008201618340 U CNU2008201618340 U CN U2008201618340U CN 200820161834 U CN200820161834 U CN 200820161834U CN 201284233 Y CN201284233 Y CN 201284233Y
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金向华
***
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周伟忠
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Abstract

本实用新型涉及一种氩气净化装置,该装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,原料氩气首先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热,然后进入电加热炉内的反应器中被加热度,反应器的反应管中填充有吸附剂吸附杂质,反应管出来的高温气体经过热交换器进入冷却管,然后经过过滤器过滤掉微米级粉尘后进入低压缓冲罐回收。当原料采用纯氩时,通过本装置净化,在净化的初期生产出高纯氩,中后期会生产出超纯氩,整个装置结构简单,经济性强。

Description

氩气净化装置
技术领域
本实用新型涉及一种气体净化的装置,特别涉及一种氩气的净化装置。
背景技术
氩气的规格需求按国家标准分普氩(99.9%)、纯氩(99.99%)、高纯氩(99.999%)、超纯氩(99.9999%),因为在供气站罐装杜瓦瓶时一般会有杂质混入,造成纯度降低,所以供气站在供应不同纯度产品时,通常以高一等级的气体供应。厂家一般设置三个液体储罐供应三个规格的气体,超纯氩供应高纯氩,高纯氩供应纯氩,纯氩供应普氩。液体储罐里的氩气再向杜瓦瓶罐装过程中,液体储罐和杜瓦瓶中都会产生大量气化了的气体,一般我们会排空释放掉,由于高纯氩和超春氩市场价格很高,这样会造成浪费,而且以高一等级的气体供应低一等级的气体也会造成成本的上升。
发明内容
本实用新型为了克服上述缺点,提供了可以对氩气供气站在罐装过程中所回收的气化氩气进行净化的装置。
本实用新型的技术方案是:一种氩气净化装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,其中原料氩气由热交换器进口I进入,热交换器出口I连接反应器进口,反应器外设有电加热炉,反应器出口连接热交换器进口II,热交换器出口II通过管路依次连接真空泵和过滤器,过滤器后连接压缩机至罐装设备。
所述反应器由组合式反应管构成,组合式反应管中填充有吸附剂。
本实用新型提供了一种能对氩气净化提纯的装置,原料氩气首先与经过反应器加热出来的高温气体在热交换器中换热,然后进入电加热炉内的反应器中被加热度800℃左右,反应器的反应管中填充有吸附剂,氩气通过此填料层,其中的O2、CO2、CO、N2、H2、CH4等杂质被有效吸附,反应管出来的高温气体与低温气体热交换后进一步被水冷却常温,进入由烧结镍管组成的过滤器,过滤到微米级粉尘后进入低压缓冲罐回收。当原料采用纯氩时,通过本装置净化,在净化的初期生产出高纯氩,中后期会生产出超纯氩,整个装置结构简单,***流程及操作过程简单,经济性强。
附图说明
图1为本实用新型结构图;
其中:1、电加热炉,2、反应器,3、热交换器,4、冷却管,5、真空泵,6、镍管过滤器,7、截止阀,8、连接法兰,9、流量计,10、冷却水进口,11、冷却水出口
具体实施方式
如图1所示的氩气净化装置中,氩气进口通过管道经两个截止阀7接入热交换器3入口I,其中第一个截止阀并联有一个流量计,第二个截止阀与热交换器入口I之间的管道上设有PI压力仪表,热交换器出口I通过管道和连接法兰8接入反应器2进口,反应器内部为组合式管式反应管,反应管内填充有锆铝16吸附剂,反应器外设有电加热炉1,电加热炉上设有TIC温度显示控制仪表和TIA温度控制仪表,反应器出口连接热交换器进口II,热交换器出口II连接有冷却管4,冷却管上设有冷却水进口10与冷却水出口11,冷却管通过管路依次连接真空泵5和镍管过滤器6,过滤器后连接压缩机至罐装设备,过滤器和压缩机之间还设有DA仪表、AI仪表以及放空阀门。

Claims (2)

1、一种氩气净化装置,其特征在于该装置包括电加热炉,反应器,热交换器,真空泵,过滤器,原料氩气经管道由热交换器进口I进入,热交换器出口I连接反应器进口,反应器外设有电加热炉,反应器出口连接热交换器进口II,热交换器出口II通过管路依次连接真空泵和过滤器,过滤器后连接压缩机。
2、如权利要求1所述的氩气净化装置,其特征在于所述的反应器由组合式反应管构成,组合式反应管中填充有吸附剂。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102530896A (zh) * 2011-12-23 2012-07-04 江西稀有稀土金属钨业集团有限公司 一种提高氩气纯度的方法和装置
CN104944393A (zh) * 2015-06-16 2015-09-30 上海正帆科技有限公司 一种提浓纯化高纯氦气的装置和方法
CN113120873A (zh) * 2019-12-31 2021-07-16 大连中鼎化学有限公司 一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法

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