CN201158700Y - 真空设备的加热装置 - Google Patents

Abstract

一种真空设备的加热装置，直立设置于该真空设备的一腔体内部，其包含一座基座、一个呈直立状地设置于该基座的一表面上的支撑齿条架以及一面盘曲形发热体。该盘曲形发热体面对该基座的该表面，且可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上本实用新型整体具有极佳加热效率与维护便利性。

Description

真空设备的加热装置

技术领域

本实用新型涉及一种加热装置，特别是指一种真空设备的加热装置。

背景技术

目前，最广泛用来制备薄膜的方法当属真空镀膜技术。以真空镀膜技术中属于物理气相沉积(PVD)范畴的热蒸镀法、溅镀法来说，其操作原理就是在一真空腔体中，透过电阻加热、电子束、离子束、激光、热辐射、电浆、电弧等加热方式，将镀膜材料气化成分子或原子，并沉积、附着于目标基座表面上以形成薄膜。

不论是使用哪一种加热设备，为使其能维持良好的加热效率，且避免因积附杂质而生污染，加热设备必须要定期进行清理、检修等维护作业，所以，本实用新型申请人将立设式加热设备中的发热体以插挂方式定位，在拆装时相当简便，能增进维护便利性。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种加热效率佳且维护便利的真空设备的加热装置。

本实用新型的真空设备的加热装置，其能直立设置于该真空设备的一腔体内部，并包含一座基座、一个呈直立状地设置于该基座的一表面上的支撑齿条架及一面盘曲形发热体。该盘曲形发热体面对该基座的该表面，且可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上。

本实用新型的效果在于，利用该盘曲形发热体具有可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上的设计，拆装时相当简易，具有良好的整体维护便利性。

附图说明

图1是一立体分解图，说明本实用新型真空设备的加热装置的一优选实施例，其一导热单元能勾挂于一基座的开口处，以遮覆住一位在该基座中的盘曲形发热体；

图2是该优选实施例的一局部立体分解图；

图3是该优选实施例的一组合剖视图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1～图3所示，本实用新型真空设备的加热装置2的该优选实施例，其直立设置于一真空设备(如电浆溅镀***)(图中未示)的一腔体内部，用来对一目标基板(如晶圆、玻璃等)进行加热，以促进薄膜沉积、附着效果；当然，该真空设备也可以是热蒸镀***，该真空设备的加热装置2便能用以使一蒸镀材料受热熔化、蒸发，同样也能用以加热一目标基板，以促进薄膜沉积效果。有关电浆溅镀或热蒸镀等真空镀膜技术的操作原理与其他设备，是该技术领域中具有通常知识的人所熟知的，也非关本实用新型的技术特征，不予详述。

而该真空设备的加热装置2包含一呈直立式扁形矩方壳盖状的基座21、两直立地间隔容置于该基座21中的支撑齿条架22、一容置于该基座21中且可脱离地直立插挂定位于该两支撑齿条架22上的盘曲形发热体23、两分别可抽离地纵向贯穿该基座21并穿置入该两支撑齿条架22的一侧部中的栓杆25，以及一能勾挂组合于该基座21的开口处以贴近地遮覆住该盘曲形发热体23的导热单元24。

该基座21具有一矩形立壁211以及一自该立壁211周缘横向延伸的周壁212。该两支撑齿条架22相平行地焊固于该基座21的立壁211内表面上，每个撑齿条架22具有一固定于该基座21的立壁211内表面的直立条221、多个纵向间隔排列于该直立条221远离该立壁211的一侧上且其开口朝向该立壁211的横U型卡齿222，以及多个与该多个卡齿222呈交错排列的卡槽223，因此，相邻的卡齿222内部与卡槽223是相连通的。

该盘曲形发热体23是纵横盘绕成方盘状，能利用相对该基座21的立壁211内表面靠近或远离的平移方式，移进入该基座21内并使其各横条准确、平稳地插挂于该两支撑齿条架22的卡槽223中，或是，脱离该两支撑齿条架22的卡槽223以移出该基座21外(须于该两栓杆25已先抽离该两支撑齿条架22的状态下)。本实施例中，该盘曲形发热体23是一条电热管，且其两电源端分别位在该基座21的顶、底侧处。有关电热管的通电生热机制原理，为该技术领域中具有通常知识者所熟知，且非本实用新型的技术特征所在，不另详述。

该两栓杆25用以确保该盘曲形发热体23能更加稳固无忧地插挂于该两支撑齿条架22上。每一栓杆25具有一能插穿该基座21的周壁212的上边部并继续朝下串***该多卡齿222与该多卡槽223中的直杆身251，以及一同体设置于该直杆身251顶端且勾抵于该周壁212的上边部外表面上的勾持部252。因此，当该盘曲形发热体23插挂于该两支撑齿条架22上时，将该两栓杆25自该基座21外部以分别朝下插穿入该两支撑齿条架22中，能防止该盘曲形发热体23不当脱离该两支撑齿条架22；当欲将该盘曲形发热体23移出时，则握持该两栓杆25的勾持部252处并予向上抽拉，使该两栓杆25的直杆身251完全抽离该两支撑齿条架22，便得以顺利将该盘曲形发热体23拆离该两支撑齿条架22。

该导热单元24具有一能全面地贴近并遮覆该盘曲形发热体23的矩方形导热板241、四排呈方形地焊接固定于该导热板241面对该盘曲形发热体23的一表面上的挂勾242，以及四排呈方形地固设于该基座21的立壁211内表面上且分别对应该四挂勾242的嵌挂块243。每一嵌挂块243的顶面凹设一插槽244，所相对应的该挂勾242的一端部可脱离地插置入该插槽244中，用以，该导热板241便能平稳地吊挂定位并遮覆住该盘曲形发热体23，或是能轻松拆离以使该盘曲形发热体23外露。本实施例中，该导热板241为能发挥极佳热导效果的浪板结构。

因此，进行加热作业时，通电使该盘曲形发热体23工作生热，在该基座21的周边屏蔽作用下，能有效抑制该盘曲形发热体23所生热能的逸散、损失，让热能有效地经由热辐射、热对流等途径而传递至该导热板241，再经由该导热板241将热能迅速传导至目标基板或蒸镀材料予以加热，整体能达到极佳的加热效率。

另一方面，进行维护作业时，先将该导热板241(连同挂勾242)与该两栓杆25拆卸下，再将该盘曲形发热体23拆离支撑齿条架22并移出该基座21外，便能进行各部件的清洁、效能检测或汰换更新等维护动作，之后，则依序将该盘曲形发热体23、该两栓杆25与该导热板241等重新组回就可以了，整体能达到拆装简易、维护便利等效果。

归纳上述，本实用新型的真空设备的加热装置2，整体能达到加热效率佳且维护便利等效果，所以确实能达到本实用新型的目的。

Claims (7)

1.一种真空设备的加热装置，其直立设置于该真空设备的一腔体内部，并包含一座基座以及一面设置于该基座上的盘曲形发热体，其特征在于：

还包含一个呈直立状地设置于该基座的一表面上的支撑齿条架，该盘曲形发热体面对该基座的该表面，且可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上。

2.根据权利要求1所述真空设备的加热装置，其特征在于：该基座具有一块立壁、及一块横向延伸设置于该立壁周缘的周壁，该支撑齿条架容置于该基座中且直立固定于该立壁内表面上，该盘曲形发热体容置于该基座中。

3.根据权利要求2所述真空设备的加热装置，其特征在于：还包含一个可抽离地纵向插穿设置于该支撑齿条架中的栓杆，该支撑齿条架具有一根固设于该基座的立壁内表面的直立条、多个纵向间隔排列设置于该直立条远离该立壁的一侧上且其开口朝向该立壁的横U型卡齿、以及多个与该多个卡齿呈交错排列的卡槽，该盘曲形发热体插挂定位于所述多个卡槽中，该栓杆可抽离地纵向串插设置于卡齿与卡槽中。

4.根据权利要求3所述真空设备的加热装置，其特征在于：该栓杆具有一个能插穿该基座的周壁以朝下穿置入卡齿与卡槽中的直杆身，以及一个设置于该直杆身顶端且勾抵于该周壁的外表面上的勾持部。

5.根据权利要求1至4任一项所述真空设备的加热装置，其特征在于：还包含一个导热单元，该导热单元具有一块能全面遮覆该盘曲形发热体的导热板、一个设置于该导热板面对该盘曲形发热体的一表面上的挂勾、以及一个设置于该基座的该表面上且其顶面凹设一插槽的嵌挂块，该挂勾的一端部可脱离地插置入该嵌挂块的插槽中。

6.根据权利要求5所述真空设备的加热装置，其特征在于：该导热单元的导热板为一浪板。

7.根据权利要求6所述真空设备的加热装置，其特征在于：该盘曲形发热体为电热管。

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