CN201024219Y - 一种微等离子体氧化处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属涉及一种微等离子体氧化处理装置,由脉冲电源、负极、正极、电解质液、阳极电极、阴极电极、氧化处理槽组成,脉冲电源的正极和阳极电极相连,负极和阴极电极相连,阳极电极和阴极电极***置有电解液的微等离子体氧化处理槽中,微等离子体氧化处理槽中设有冷却管道,微等离子体氧化处理槽内的下端设有搅拌器。电解质溶液为酸性介质Ba(OH)2,同时添加含有WO4 2-,Mo7O24 2-、SnO3 2-酸根离子的盐。本实用新型的有益效果是,结构简单,操作方便,成本低,可直接在金属表面成膜。
Description
技术领域
本实用新型属于电子工程技术领域,涉及一种微等离子体氧化处理装置
背景技术
当前电子元器件正朝着轻型化、薄型化和超小型化方向发展,提高电介质材料的室温介电常数,减小介电损失和温度系数成为科技界研究的热点。BaTiO3是一种强介电材料,被誉为“电子工业的支柱”。但由于分子结构的原因,使得tc偏高120℃,即在120℃时才有最大介电常数值~104而室温下的介电常数仅有居里点的1/5~2000,从而大大影响了它的使用性能。目前工业上的解决办法是在电子元器件的制造过程中,采用固相掺杂方法,于BaTiO3粉体中掺入适量锶、钙、锆、锡和一些稀土元素的氧化物,以改善其性能。但由于固相掺杂的不均匀性,对元器件的各项参数改善并不理想。前的方法多为溶胶凝胶法、微波方法等工艺进行离子掺杂。国外虽有用sol-gel法对BaTiO3进行掺杂改性的研究,但却因为工艺设备复杂,原材料价格昂贵而无法在我国付诸生产,
发明内
本实用新型的目的是为了改善生产的TiO2性能、工艺复杂和成本高的缺点,提供一种工艺设备简单,适于大规模生产的实现金属离子掺杂的(Ba,X)TiO3膜层的设备。
本实用新型解决其技术所采用的技术方案是,一种微等离子体氧化处理装置,由脉冲电源1、负极2、正极3、电解质溶液4、阳极电极5、阴极电极8、氧化处理槽9组成,脉冲电源1的正极3和阳极电极5相连,负极2和阴极电极8相连,阳极电极5和阴极电极8***置有电解液4的微等离子体氧化处理槽9中,微等离子体氧化处理槽9中设有冷却管道6,微等离子体氧化处理槽9内的下端设有搅拌器7。电解质溶液4为酸性介质Ba(OH)2或同时添加含有WO1 2,Mo7O24 2、SnO3 2-酸根离子的盐。
本实用新型的有益效果是,结构简单,操作方便,成本低,可直接在金属表面成膜。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中:1、脉冲电源,2、负极,3正极,4、电解质溶液,5、阳极电极,6、冷却管道,7搅拌器,8、阴极电极,9、微等离子体氧化处理槽。
具体实施方式
如图1,装置包括脉冲电源1和微弧反应槽9两大部份,金属表面微等离子体氧化专用脉冲直流电源,电压500~600V均可调节,阳极电极5为Ti片,阴极电极8为不锈钢板。将浓度为0.1mol/L Ba(OH)2的溶液作为电解质溶液4,以搅拌速度120转/分搅拌5分钟,在阳极5和阴极8之间施加直流脉冲电压,则阴极Ti表面形成为等离子体放电,放电时间为10~20min,在阳极5表面形成厚度为10~15μm厚的BaTiO3膜层。
Claims (2)
1.一种微等离子体氧化处理装置,其特征在于,由脉冲电源(1)、负极(2)、正极(3)、电解质溶液(4)、阳极电极(5)、阴极电极(8)、氧化处理槽(9)组成,脉冲电源(1)的正极(3)和阳极电极(5)相连,负极(2)和阴极电极(8)相连,阳极电极(5)和阴极电极(8)***置有电解液(4)的微等离子体氧化处理槽(9)中,微等离子体氧化处理槽(9)中设有冷却管道(6),微等离子体氧化处理槽(9)内的下端设有搅拌器(7)。
2.如权利要求1所述的一种微等离子体氧化处理装置,其特征在于,所述的电解质溶液(4)为酸性介质Ba(OH)2或同时添加含有WO4 2-,Mo7O24 2-、SnO3 2-酸根离子的盐。
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CNU2006201688147U CN201024219Y (zh) | 2006-12-29 | 2006-12-29 | 一种微等离子体氧化处理装置 |
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CNU2006201688147U CN201024219Y (zh) | 2006-12-29 | 2006-12-29 | 一种微等离子体氧化处理装置 |
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CN (1) | CN201024219Y (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106587276A (zh) * | 2015-10-19 | 2017-04-26 | 北京师范大学 | 阴极微弧放电等离子体降解废水中有机物的方法及装置 |
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2006
- 2006-12-29 CN CNU2006201688147U patent/CN201024219Y/zh not_active Expired - Fee Related
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CN106587276A (zh) * | 2015-10-19 | 2017-04-26 | 北京师范大学 | 阴极微弧放电等离子体降解废水中有机物的方法及装置 |
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