CN200988135Y - 一种石英管拆装辅助治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于托盘由基座、中间层和支撑层组成，中间层相对于基座可横向滑动，支撑层相对于中间层可纵向滑动。中间层安装有一个横向调节手轮控制中间层的横向移动，支撑层安装有一个纵向调节手轮控制支撑层的纵向移动。托盘底部安装有三个水平调节手轮调节托盘的水平。本实用新型的石英管拆装辅助治具可在水平和纵横三个方向移动调节石英管的相对位置，能更好的保护石英管且能提高预防维护过程中石英管的拆装速度。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及辅助治具领域，尤其涉及一种石英管拆装辅助治具。
【背景技术】
炉管机台在设备预防维护的过程中需要将石英管拆下更换，目前使用的辅助治具如图1所示，该辅助治具包括托盘1、支撑盘6和连接支架2三大部分。支撑盘6的内半径与托盘1的内半径相同，外半径小于托盘1的外半径。支撑盘6与连接支架2通过焊接连接，与托盘1之间通过三个等距分布的水平调节螺丝3来连接，该水平调节螺丝3用来调节该辅助治具和石英管的水平。请参阅图2，图2为现有石英管拆装辅助治具中的水平调节螺丝结构示意图。如图2所示，该水平调节螺丝3包括一个顶紧螺栓4和分别位于其两侧的两个调节螺栓5。首先通过拧紧或松动两个调节螺栓5调节托盘1与支撑盘6间的距离使托盘1保持水平，然后通过顶紧螺栓4将托盘1与支撑盘6间的间距固定。使用时该辅助治具被安装在机台升降机上到达石英管内管或外管的拆装位置，利用升降机的升降完成对石英内管或者外管的拆卸或者安装。使用此种石英管拆装辅助治具在石英管拆装的过程中只能通过水平调节螺丝调节其托盘及其上石英管的水平，但是由于该辅助治具和升降机钢度、内外管的重量及重心等因素的影响，在石英管下降或者上升的过程中，石英管很容易产生倾斜，此时如不能对石英管内外管的相对位置进行及时调节则很可能造成部件之间的摩擦，这将对石英管的寿命产生影响同时也会影响到对设备进行预防维护的速度。
【实用新型内容】
本实用新型的目的在于提供一种操作简单，可以在水平和纵横三个方向进行移动调节，能更好的保护石英管且能提高石英管拆装速度的石英管拆装辅助治具。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于，托盘和连接支架间通过水平调节手轮连接并通过水平调节手轮调节保持托盘的水平。
上述连接支架上具有两根加强筋，上述水平调节手轮有三个，呈三角形等距分布并固定于加强筋和托盘底部。水平调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿连接支架上的加强筋利用档圈固定于托盘底部，螺丝贯穿于加强筋的螺杆部分和加强筋的穿孔部分均具有螺纹。
上述托盘由基座、中间层和支撑层组成，中间层相对于基座可横向滑动，支撑层相对于中间层可纵向滑动。中间层安装有一个横向调节手轮控制中间层的横向移动，上述支撑层安装有一个纵向调节手轮控制支撑层的纵向移动。
上述基座上表面横向中心线处具有燕尾槽状的横向滑道，中间层上表面纵向中心线处具有燕尾槽状的纵向滑道，中间层的下表面对应于基座横向滑道处和承载层的下表面对应于中间层纵向滑道处设梯形导轨状突起分别契合于横向滑道和纵向滑道内。横向滑道和纵向滑道的一侧安装有调节滑道与梯形导体间间隙的非金属锲条。横向调节手轮安装于中间层梯形导轨一侧的中心，所述横向调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿一直角型调节定位板的一面，利用档圈固定于梯形导轨中的工艺槽壁上，调节定位板的另一面利用螺丝固定于基座的底部，螺丝贯穿于调节定位板的螺杆部分和调节定位板的穿孔部分具有螺纹。纵向调节手轮安装于支撑层梯形导轨一侧的中心，所述纵向调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿一直角型调节定位板的一面，利用档圈固定于梯形导轨中的工艺槽壁上，调节定位板的另一面利用螺丝固定于中间层的一侧，螺丝贯穿于调节定位板的螺杆部分和调节定位板的穿孔部分具有螺纹。
本实用新型的石英管拆装辅助治具在使用时可同时对石英管进行水平和纵横三个方向的位置调节，即使在石英管的升降过程中也可进行上述调节，这样可以很好的控制在石英管的拆装过程中石英管相对于机台及石英管内管相对于外管的位置，补偿由于重心偏移、升降机及石英管拆装辅助治具弹性变形所带来的影响，避免对石英管的划伤，提高设备预防维护的速度，且使石英管拆装辅助治具的操作更加简便。
【附图说明】
图1为现有的石英管拆装辅助治具的结构示意图；
图2为现有的石英管拆装辅助治具中的水平调节螺丝结构示意图；
图3为本实用新型的石英管拆装辅助治具结构示意图；
图4为本实用新型的水平调节手轮的结构示意图；
图5为本实用新型的托盘的纵向剖面图；
图6为本实用新型的托盘的横向剖面图。
【具体实施方式】
下面结合附图与实施例进一步说明本实用新型。
请参阅图3，图3为本实用新型的石英管拆装辅助治具结构示意图。如图3所示，本实用新型的石英管拆装辅助治具由托盘7、连接支架8两大部分组成。托盘7的基座18底部安装有三个呈三角形等距排列的水平调节手轮10，水平调节手轮10同时亦固定于连接支架8上的两根加强筋9上。请同时参阅图3和图4，图4为本实用新型的水平调节手轮结构示意图。如图4所示，水平调节手轮中的螺丝15贯穿连接支架8上的加强筋9利用档圈17固定于托盘7，螺丝15贯穿于加强筋9的螺杆部分和加强筋9的穿孔部分均具有螺纹，而位于托盘7内部的螺杆部分和托盘7的穿孔部分没有螺纹以便于水平调节手轮的旋转。螺丝15位于加强筋9和托盘7之间的螺杆部分套有弹簧16，以加强螺丝的紧固效果。请同时参阅图3、图5和图6，图5为本实用新型的托盘的纵向剖面图，图6为本实用新型的托盘的横向剖面图。托盘7由基座18、中间层19和承载层20组成。基座18上表面横向中心线处和中间层19上表面纵向中心线处具有互相垂直的燕尾槽状的横向滑道14和纵向滑道13，中间层19的下表面对应于基座18上表面横向滑道14处和承载层20的下表面对应于中间层19上表面纵向滑道13处设梯形导轨状突起21和22分别契合于横向滑道14和纵向滑道13内。梯形导轨21和22的一侧分别固定有一个用光滑材料制成的锲条23用以调节梯形导轨与滑道间的间隙。梯形导轨21一侧的中心处安装有横向调节手轮12。如图5所示，梯形导轨21安装有横向调节手轮12的一侧钻有一工艺槽27，螺丝24贯穿调节定位板25，利用档圈固定于该工艺槽的槽壁上，调节定位板25利用螺丝固定于基座18的底部。螺丝24贯穿于调节定位板25的螺杆部分和调节定位板25的穿孔部分具有螺纹，而位于工艺孔壁内部的螺杆部分和工艺孔壁的穿孔部分则没有螺纹。螺丝24位于调节定位板25和工艺孔壁之间的螺杆部分套有弹簧。梯形导轨22的一侧中心处亦安装有一个纵向调节手轮11。如图6所示，纵向调节手轮11的结构非常类似于横向调节手轮12，梯形导轨22安装横向调节手轮11的一侧钻有一工艺槽28，螺丝29贯穿调节定位板30，利用档圈固定于该工艺槽的槽壁上，调节定位板30利用螺丝固定于中间层19的外侧。螺丝29贯穿于调节定位板30的螺杆部分和调节定位板30的穿孔部分具有螺纹，而位于工艺槽壁内部的螺杆部分和工艺槽壁的穿孔部分则没有螺纹。螺丝29位于调节定位板25和工艺槽壁之间的螺杆部分套有弹簧。
本实用新型的石英管拆装辅助治具在使用时被安装在机台升降机上，之后，将一个圆心式水平仪放在该辅助治具的托盘7上，手动旋转调节托盘基座底部的三个水平调节手轮10，使该辅助治具的托盘保持水平。拆卸石英管时，先拆卸内管再拆卸外管。拆卸石英内管时，在该辅助治具的托盘上上放置一圆形转盘，当石英管拆装辅助治具随升降机上升到石英内管的拆卸位置时，转动圆形转盘带动石英内管旋转脱离石英管底座，当内管与底座脱离后将升降机下降，石英管也随升降机下降直至内管完全脱离外管，最后将内管搬走即可。拆卸石英管外管时，该石英管拆装辅助治具随升降机上升到外管的拆卸位置，将固定底座的螺栓松开，将底座连同外管下降直到外管完全离开机台加热器，拆掉外管固定螺栓，将外管搬走即可。安装石英管时，先安装外管再安装内管，安装步骤依上述拆卸石英管外管或内管的步骤反序进行即可。在拆卸或者安装石英管的过程中，若发现石英管偏离加热器的中心线或石英管内管与外管的相对位置发生偏移，可调节该辅助治具托盘7上的纵向调节手轮11或横向调节手轮12，使得托盘7的中间层19或承载层20相对于基座18的位置通过横向滑道14或纵向滑道13产生移动，补偿石英管在上升或者下降过程中出现的位置偏差，或调节托盘底部的三个水平调节手轮10，补偿石英管内外管的水平偏差，从而避免了对石英管的划伤。
以上介绍的仅仅是基于本实用新型的较佳实施例，并不能以此来限定本实用新型的范围。任何对本实用新型的装置作本技术领域内熟知的部件的替换、组合、分立，以及对本实用新型实施步骤作本技术领域内熟知的等同改变或替换均不超出本实用新型的揭露以及保护范围。
Claims (10)
1.一种石英管拆装辅助治具，包括托盘和连接支架，其特征在于，托盘和连接支架间通过水平调节手轮连接并通过水平调节手轮调节保持托盘的水平。
2.如权利要求1所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述连接支架上具有两根加强筋，所述水平调节手轮有三个，呈三角形等距分布并固定于加强筋和托盘底部。
3.如权利要求2所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述水平调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿连接支架上的加强筋利用档圈固定于托盘底部，螺丝贯穿于加强筋的螺杆部分和加强筋的穿孔部分均具有螺纹。
4.如权利要求1所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述托盘由基座、中间层和支撑层组成，中间层相对于基座可横向滑动，支撑层相对于中间层可纵向滑动。
5.如权利要求4所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述中间层安装有一个横向调节手轮控制中间层的横向移动，所述支撑层安装有一个纵向调节手轮控制支撑层的纵向移动。
6.如权利要求4所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述基座上表面横向中心线处具有燕尾槽状的横向滑道，所述中间层上表面纵向中心线处具有燕尾槽状的纵向滑道，所述中间层的下表面对应于所述基座横向滑道处和所述承载层的下表面对应于所述中间层纵向滑道处设梯形导轨状突起分别契合于横向滑道和纵向滑道内。
7.如权利要求6所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述横向滑道和纵向滑道的一侧安装有调节滑道与梯形导体间间隙的非金属锲条。
8.如权利要求6所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述中间层梯形导轨一侧的中心安装有横向调节手轮，所述支撑层梯形导轨一侧的中心安装有纵向调节手轮。
9.如权利要求8所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述横向调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿一直角型调节定位板的一面，利用档圈固定于梯形导轨中的工艺槽壁上，调节定位板的另一面利用螺丝固定于所述基座的底部，螺丝贯穿于调节定位板的螺杆部分和调节定位板的穿孔部分具有螺纹。
10.如权利要求8所述的一种石英管拆装辅助治具，其特征在于：所述纵向调节手轮由螺丝和套于螺丝螺杆上的弹簧组成，螺丝贯穿一直角型调节定位板的一面，利用档圈固定于梯形导轨中的工艺槽壁上，调节定位板的另一面利用螺丝固定于所述中间层的一侧，螺丝贯穿于调节定位板的螺杆部分和调节定位板的穿孔部分具有螺纹。
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| CN112080801A (zh) * | 2019-06-14 | 2020-12-15 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 下炉膛组件、生长炉及其安装方法 |
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2006
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20130115 |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 100176 DAXING, BEIJING |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
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|
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20071212 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |