CN200984581Y - 一种反应腔内壁清扫装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种反应腔内壁清扫装置。现有的反应腔在清扫内壁时只有拆开反应腔才能进行内壁清扫，致使清扫过程复杂、用时过长、浪费人力且污染环境。本实用新型的反应腔内壁清扫装置，包括一设置在该反应腔内的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。采用本实用新型的反应腔内壁清扫装置能简化清扫过程且节约人力及清扫时间，并使清扫过程清洁无污染。

Description

一种反应腔内壁清扫装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种用以清扫反应腔内壁的清扫装置。

背景技术

在半导体制造领域，扩散、化学或物理气相沉积、刻蚀等诸多工序均需使用像硅烷(SiH₄)等特殊气体，且在工序的尾气中仍残留这些特殊气体，该些特殊气体通常为有毒有害气体，若不加处理直接排放到空气中，会污染环境并威胁人们的健康。故该些尾气均需进行处理后才能进行排放，以尾气中含有硅烷为例，需将该尾气引入一长约5米，直径至少为10cm的反应腔内，且加入一定比例的新鲜空气，于是尾气中含有的硅烷就会与空气中的氧气发生反应，生成无污染的粉状二氧化硅(SiO₂)和水(H₂O)，当尾气经过5米的反应腔从出气口排出时，尾气中的硅烷已经基本反应殆尽，于是即可将该尾气排放到空气中了。

但是，上述反应过程中生成的粉状二氧化硅会附着在反应腔的内壁上，当使用一段时间后，就需要将该反应腔拆开以将附着在内壁上的二氧化硅清除。此种反应腔内壁清扫方式存在着诸多缺点：首先，整个过程需持续较长时间，极大地影响了尾气的处理；再者，整个过程中需要人工拆卸及人工清扫，大大增加了作业人员的劳动强度；另外，整个拆装及清扫过程会使粉尘四处飞舞，污染了环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种反应腔内壁清扫装置，通过所述反应腔内壁清扫装置可节约人力及清扫时间，且使清扫过程清洁无污染。

本实用新型的目的是这样实现的：一种反应腔内壁清扫装置，其包括一设置在该反应腔内用以清扫反应腔内壁的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该驱动单元包括分别设置在腔体两端外部的两电动机以及一控制该两电动机运作的控制单元。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该清扫单元包括一直径与反应腔直径相匹配的清扫部、分别设置在清扫部两面上的两连接部以及一端分别连接在两连接部上的两连接件，其中，该两连接件的另一端分别缠绕连接在两电动机的输出轴上。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该连接部呈圆锥状，该连接件恰连接在锥顶。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该连接件为链条。

在上述的反应腔内壁清扫装置中，该清扫部为一钢环。

与现有的无反应腔内壁清扫装置而需拆开反应腔进行人力清扫相比，本实用新型采用驱动单元驱动清扫单元直接清扫反应腔内壁，并由收集单元收集清扫单元所清扫出的粉尘，如此可极大地节约人力及清扫时间，且使清扫过程变得清洁无污染。

附图说明

本实用新型的反应腔内壁清扫装置由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型的反应腔内壁清扫装置剖视图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的反应腔内壁清扫装置作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型的反应腔内壁清扫装置，用于对反应腔2的内壁进行清扫，其包括清扫单元10、驱动单元11和收集单元12。

清扫单元10，其设置在该反应腔2内，其包括清扫部100、分别设置在清扫部100两面上的连接部101a、101b和一端分别与连接部101a、101b相连的连接件102a、102b。

在本实施例中，清扫部100为一不锈钢环，其直径与反应腔2的直径相匹配，且清扫部100与反应腔内壁相接触的面上设置有钢刷；连接部101a、101b由多个辐条焊接而成且其呈圆锥状，连接件102a、102b恰连接在连接部101a、101b的锥顶部位；连接件102a、102b均为链条，其一端分别连接在两连接部102a、102b上，另一端均与驱动单元11连接。

驱动单元11包括两电动机110a、110b和控制单元111。其中，电动机110a、110b分别设置在反应腔两端的外侧，连接件102a、102b的另一端分别缠绕连接在电动机110a、110b的输出轴上；控制单元111用以控制电动机110a、110b的运作。

在本实施例中，两电动机110a、110b平行设置在反应腔两端的外侧，且其输出轴均垂直于反应腔2的中心轴线；当连接件102a、连接部101a、清扫部100、连接部101a、连接件102b依次连接时，且连接件102a、102b分别缠绕连接在电动机110a、110b的输出轴上后，连接件102a、102b均处在紧绷状态；控制单元111控制电动机110a、110b的转停、转动方向以及转动的时间，从而使电动机110a、110b松开或缠绕连接件102a、102b，进而使清扫部100在反应腔2中往复移动以清扫反应腔内壁。

收集单元12，设置在反应腔2的底端且与反应腔2连通。在本实施例中，反应腔2靠近两端的底部设置有空心的螺柱(未图示)，收集单元12具有与该螺柱相匹配的管道(未图示)，故收集单元12可方便从反应腔上装卸；另外在此以反应腔内壁清扫装置具两收集单元12a和12b为例进行说明。

以下将配合图1，详述本实用新型的应腔内壁清扫装置1清扫反应腔2的内壁的清扫过程：

首先通过控制单元111控制电动机110a、110b转动，从而使电动机110a、110b松开或缠绕连接件102a、102b，进而使清扫部100在反应腔2中往复移动，并通过清扫部100上的钢刷将附着在反应腔内壁上的粉尘清扫下来，该粉尘落至反应腔的底端，且在清扫部100的作用下移动，该粉尘最终会落入到收集单元12a或12b中；当通过本实用新型的反应腔内壁清扫装置清扫预设时间后即一次清扫完成后，通过控制单元111控制电动机110a、110b驱动清扫部100移动到不影响反应腔进行尾气处理的位置例如反应腔2的最左端；最后将收集单元12从反应腔2上拆卸下来，并将其收集到粉尘清理后，再安装至反应腔上。

综上所述，通过本实用新型的反应腔内壁清扫装置1可简化反应腔内壁2的清扫过程，极大地节约人力及清扫时间，且使清扫过程变得清洁无污染。

Claims (7)

1、一种反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该装置包括一设置在该反应腔内用以清扫反应腔内壁的清扫单元、一驱动该清扫单元清扫反应腔内壁的驱动单元以及一设置在该反应腔底端且与反应腔连通的收集单元。

2、如权利要求1所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该驱动单元包括分别设置在反应腔两端外侧的两电动机以及一控制该两电动机运作的控制单元。

3、如权利要求2所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫单元包括一直径与反应腔直径相匹配的清扫部、分别设置在清扫部两面上的两连接部以及其一端分别连接在两连接部上的两连接件，其中，该两连接件的另一端分别缠绕连接在两电动机的输出轴上。

4、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该连接部呈圆锥状，该连接件恰连接在锥顶。

5、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该连接件为链条。

6、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫部为一钢环。

7、如权利要求3所述的反应腔内壁清扫装置，其特征在于，该清扫部与反应腔内壁相接触的面上设置有钢刷。

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