CN1982880A - 差分比较检查方法及差分比较检查装置 - Google Patents

Abstract

分别从基准图像检测出在图案上形成凹状的角落即内角及凸状的角即外角。接着，确定检测出的内角附近的区域即内角区域的范围。同时，确定检测出的外角附近的区域即外角区域的范围。然后，基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此时，在基准图像的内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。并且，在基准图像的外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

Description

差分比较检查方法及差分比较检查装置

技术领域

本发明涉及一种使用了拍摄被检查物而得到的图像的差分比较检查方法及装置，特别是涉及一种形成在基板上的图案的比较检查方法及装置。

背景技术

在装有电子部件等的印刷电路板的表面上，图案形成了构成规定的电路所需要的导体配线。比较检查法是该配线图案的检查方法之一。该方法是对由CAD数据做成的合格品图像与拍摄作为检查对象的基板而得到的检查图像进行比较，将具有一定以上的差的部分作为缺陷而检测出来的一种方法。具体地说，比较检查法是基于将CAD数据变换为数字图像的图像、即基准图像，和拍摄检查对象(被检查物)而形成为数字图像的检查图像的像素数的差分来检测出缺陷。典型的是，若该差分值为规定值以上，则检查对象为不良品。图21是用于说明该比较检查法的图。在图21中，将CAD数据的基准图像(图21(A))变换为二值化的数字图像(图21(B))。同样，将对作为检查对象的检查图案进行拍摄而得到的图像(图21(C))也变换为二值化的数字图像(图21(D))。然后，比较双方的数字图像，算出每个像素的差分值(图21(E))。那么，若该差分值为规定值以上，则认为该检查对象中存在不良。

但是，在印刷电路板的表面形成的配线图案由于是通过蚀刻这样的化学处理工序做成的，因此特别是角和角落部分容易受蚀刻影响。例如，会发生在图形(图案区域)的凸状的角部分(外角)，凸部的前端变圆的“过度蚀刻”、和在图形的凹状的角落部分(内角)，凹部的内侧变圆的“蚀刻不充分”这样的现象(参照图22)。由于这样的过度蚀刻和蚀刻不充分而形成的图案区域，通过上述的比较检查方法，由于被判定为与基准图像存在差异，因此作为不良部分被检测出。另一方面，通过这样的蚀刻形成的角和角落部分的差异大多不会成为影响印刷电路板性能的大问题。因此，对于这样由于过度蚀刻和蚀刻不充分形成的图案区域，优选不作为不良被检测出。即，在印刷电路板的表面形成的配线图案的比较检查中，有必要提高图案的直线部分的比较检查的灵敏度，降低对于角和角落等的边缘部分的比较检查的灵敏度。

作为不将上述的过度蚀刻等作为不良检测出用的方法，有提高设定作为差分值而允许的值，来对印刷电路板进行全面检查的方法。另外，也有从基准图像检测出内角和外角，仅在其周围的一定范围内提高设定作为差分值而允许的值(即，降低比较检查的灵敏度)进行检查的方法。即，也有仅在内角部和外角部的周围，即使差分值相对较大也不判定为不良的方法。另外，还有准备在外角部预先形成圆角(倒角)、在内角部预先加厚的基准图像，与检查图像进行比较的方法(例如，JP特开平11-143052号公报)。进一步，作为其他方法，也有将内角部和外角部不作为比较检查的对象的方法(例如，JP特开昭61-86639号公报)。

但是，在上述JP特开平11-143052号公报中公开的方法中，成为检查对象的图案区域中所有的角和角落并不一定与预先做成圆形的角和角落的基准图像相同。这是由于成为检测对象的图案区域中的角和角落的形状有时会由于蚀刻的状态而发生变化。因此，虽然多少可以减少由于过度蚀刻和蚀刻不充分而导致的不良被检测出来的情况，但依然作为不良被检测出。另外，当仅提高角部和角落部的不良判定的条件的允许值(降低灵敏度)时，有必要准备角部及角落部和其以外部分的两种用于判定的允许值。因此，需要多个判定允许值的电路，从而会提高成本。另外，在利用上述的JP特开昭61-86639号公报公开的方法的情况下，虽然由于过度蚀刻和蚀刻不充分而导致的不良可以完全不被检测出来，但是由于没有对角部和角落部进行检查，即使在角部和角落部产生了成为影响印刷电路板性能的问题的不良时，也不能作为不良检测出。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种即使是具有角部、角落部的图案，也能够适当地进行比较检查的差分比较检查方法及差分比较检查装置。

为了实现上述目的，本发明采用以下这样的结构。

第一方案是将对形成了图案的被检查物进行拍摄而得到的对象图像和该图案的基准图像进行比较，检查该被检查物的差分比较检查方法，其特征在于，具有：角检测步骤、内角区域确定步骤、外角区域确定步骤、比较检查步骤。角检测步骤将图案中形成的作为凹状的角落的内角及作为凸状的角的外角分别从基准图像检测出来。内角区域确定步骤确定检测出的内角附近的区域、即内角区域的范围。外角区域确定步骤确定检测出的外角附近的区域、即外角区域的范围。比较检查步骤基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此外，比较检查步骤，在基准图像的内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。并且，在基准图像的外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

第二方案是，在第一方案中，对象图像及基准图像是分别将形成了图案的区域的像素值作为第一值、将这些以外的像素值作为与该第一值不同的第二值的被二值化了的图像。此外，内角区域确定步骤还包括有生成将内角区域内的像素值作为第一值、将该内角区域之外的像素值作为第二值的内角区域图像的内角区域图像生成步骤。另外，外角区域确定步骤还包括有生成将外角区域内的像素值作为第一值、将该外角区域之外的像素值作为第二值的外角区域图像的外角区域图像生成步骤。此外，比较检查步骤包含：位置对准步骤，其在同一坐标轴上，使基准图像、内角区域图像、外角区域图像和对象图像的位置对准；像素值取得步骤，其在坐标轴上，从各个图像取得作为相同位置的检查对象位置的像素的像素值；像素值判定步骤，其在当所取得的对象图像的像素值为第一值，所取得的基准图像的像素值为第二值，且所取得的内角区域图像的像素值为第一值时，将该检查对象位置的基准图像及对象图像的像素值作为相同的值而进行比较检查，当所取得的对象图像的像素值为第二值，所取得的基准图像的像素值为第一值，且所取得的外角区域图像的像素值为第一值时，将该检查对象位置的基准图像及对象图像的像素值作为相同的值而进行比较检查。

第三方案是在第一方案中，角检测步骤从基准图像检测出分别表示内角或外角的一个像素，内角区域确定步骤将以成为检测出的内角的像素为中心的规定大小的区域确定为内角区域，外角区域确定步骤将以成为检测出的外角的像素为中心的规定大小的区域确定为外角区域。

第四方案是在上述第三方案中，内角区域确定步骤通过对检测出的内角的像素反复执行预先规定的次数以上的膨胀处理，从而确定内角区域，外角区域确定步骤通过对检测出的外角的像素反复执行预先规定的次数以上的膨胀处理，从而确定外角区域。

第五方案是在第四方案中，还具有宽度检测步骤，其检测出与检测出的内角或外角接近的图案的直线部的宽度。此外，内角区域图像生成步骤根据检测出的宽度，对反复进行膨胀处理的次数进行变更，外角区域图像生成步骤根据检测出的宽度，对反复进行膨胀处理的次数进行变更。

第六方案是在上述第三方案中，角检测步骤还包含有逻辑运算步骤，该逻辑运算步骤利用基准图像中的关注像素的像素值、使用分别表示以该关注像素为基准而提取出的多个像素的位置的多个图案而从基准图像提取出的像素值、以及规定的逻辑式，检测出该关注像素是表示内角或外角的一个像素。此外，逻辑运算步骤，在显示代入了使用图案中的任意一个图案所提取出的像素值及关注像素的像素值的规定的逻辑式的运算结果为内角或外角时，检测出该关注像素为表示内角或外角的一个像素。

第七方案是在上述第三方案中，角检测步骤还包含有逻辑运算步骤，该逻辑运算步骤利用基准图像中的关注像素的像素值、使用分别表示以该关注像素为基准提取出的多个像素的位置的多个图案而从基准图像提取出的像素值，检测出该关注像素是表示内角或外角的一个像素，逻辑运算步骤，在关注像素的像素值出现在用基准图像表示的图案的区域内，且该关注像素的像素值与使用图案中的任意一个而提取出的像素值完全不同时，该关注像素作为表示外角的一个像素被检测出来；在关注像素的像素值出现在用基准图像表示的图案的区域外，且该关注像素的像素值与使用图案中的任意一个而提取出的像素值完全不同时，该关注像素作为表示内角的一个像素被检测出来。

第八方案是一种差分比较检查装置，其是将对形成了图案的被检查物进行拍摄而得到的对象图像与该图案的基准图像进行比较而检查该被检查物的差分比较检查装置，其特征在于，具备：角检测部、内角区域确定部、外角区域确定部、比较***。角检测部将在图案中形成的作为凹状的角落的内角及作为凸状的角的外角分别从基准图像检测出来。内角区域确定部确定检测出的内角附近的区域、即内角区域的范围。外角区域确定部确定检测出的外角附近的区域、即外角区域的范围。比较***基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此外，比较***在基准图像的内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。此外，比较***，在基准图像的外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

根据上述第一方案，即使基准图像和对象图像存在不一致的地方，也可以根据该地方是内角或外角，变更比较检查的灵敏度(检查精度)。即，针对对象图像的内角部分，即使与基准图像相比存在过剩的部分，也不针对该部分取差分，其结果是，可以防止将该部分作为不良进行报告的虚报，另一方面，即使是相同的内角部分，针对本来应该作为不良进行报告的部分，取差分，作为不良进行报告。另外，针对对象图像的外角部分，即使相对于基准图像存在不足的部分，也不针对该部分取差分，其结果是，可以防止将该部分作为不良进行报告的虚报。另一方面，即使是相同的外角部分，针对本来应该作为不良进行报告的部分，取差分，作为不良进行报告。由此，可以根据复杂多变的印刷图案的角部的形状，进行适当的不良检测。另外，也没有必要像以往那样，针对内角部及外角部周边，在差分值相对较大的情况下，为了使其被检测出来而设定为高值进行检查。即，可以降低作为不良而被报告的差分值的阈值。因此，较低地设定差分值的阈值，作为整体进行高灵敏度的比较检查，同时针对如过度蚀刻或蚀刻不充分这样的不希望作为不良被检测出来的部分，可以防止作为不良被检测出。其结果是，可以进行高精度的比较检查。

根据上述第二方案，由于使用二值化了的图像，例如，可以通过0和1的组合进行单纯的逻辑判定处理，能够提高处理速度。

根据上述第三方案，将以检测出的内角或外角的像素为中心的区域作为内角区域或外角区域。由此，也能够对通过蚀刻因子等形成的内角或外角的各种各样的形状进行各种相对应的比较检查。

根据上述第四方案，通过将以检测出的内角或外角的像素进行附近膨胀来作为内角区域或外角区域。由此，可以生成大致圆形的区域，因此，可以生成可对应多种角或角落的内角区域及外角区域。

根据上述第五方案，根据接近检测出的外角或内角的图案的直线部的宽度，变换该内角及外角的像素的膨胀段数。由此，可以生成与直线部的宽度相对应的内角区域及外角区域，从而能进行更适宜的高精度的比较检查。

根据上述第六至第七方案，使用规定的图案及逻辑式对表示内角或外角的像素进行检测。因此，可以通过对基准图像的各像素进行统一且单纯的判定处理而检测出内角或外角，能够实现处理的高速化及减轻处理的负荷。

另外，根据本发明的比较检查装置，可以得到与上述第一方案相同的效果。

本发明的这些及其它的目的、特征、方案、效果，参照附图，从以下的详细说明应该更加清晰。

附图说明

图1A、图1B是示意性地表示本发明的实施方式涉及的光学式检查装置的整体结构的图。

图2是表示本发明的实施方式涉及的光学式检查装置的功能框图。

图3A～图3C是表示基准图像28的一个例子的图。

图4是表示对象图像27的一个例子的图。

图5是表示本实施方式的比较检查的原理的图。

图6是表示准备处理的详细内容的流程图。

图7是用于说明内角、外角的图。

图8是说明在图6的步骤S1表示的内角区域图像生成处理的详细内容的流程图。

图9是表示用于角检测的、注目图像和其周边规定的像素的组合图案的图。

图10是说明在图6的步骤S2表示的外角区域图像生成处理的详细内容的流程图。

图11是表示基于图像块而细分化的一个例子的图

图12是表示比较检查处理的详细内容的流程图。

图13是说明在图12的步骤S34表示的块检查处理的详细内容的流程图。

图14A、图14B是用于说明“摇动”的图。

图15A～图15C是用于说明“摇动”的图。

图16是说明在图13的步骤S34表示的窗口检查处理的详细内容的流程图。

图17是用于说明本实施方式的比较检查的图。

图18是表示中灵敏度的角检测图案的一个例子的图。

图19是表示高灵敏度的角检测图案的一个例子的图。

图20是用于说明斜线的高度差的图。

图21是用于说明以往的比较检查法的图。

图22是表示过度蚀刻及蚀刻不充分的一个例子的图。

具体实施方式

下面，针对本发明的一实施方式涉及的差分比较检查装置，参照附图进行说明。图1A、图1B是示意地表示该差分比较检查装置的一个例子的光学式外观检查装置1(以下，称为“检查装置1”)的整体结构的图。即，图1A为检查装置1的俯视图，图1B为检查装置1的主视图。在图1A、图1B中，检查装置1具备工作台部11、工作台支承部12、工作台驱动机构13、底座部14、摄像机15、支承部件16、摄像机支承部17、及摄像机驱动机构18。

工作台部11在最上面构成水平的工作台面。被检查物、即印刷电路布线板S被载置于工作台部11的工作台表面上。工作台部11的下部由工作台支承部12支承。工作台支承部12被固定设置在工作台驱动机构13的上表面。另外，底座部14与上述工作台表面平行，且沿图示的Y轴方向(主扫描方向)延长设置并被固定。在底座部14的上表面以在Y轴方向延伸的方式设置的引导装置上，沿着该引导装置可滑动地设置有工作台驱动机构13。即，工作台驱动机构13、同固定在其上面的工作台支承部12及工作台部11可在Y轴方向移动。

支承部件16被架设在工作台部11的上部空间。在支承部件16上，设置有沿与上述工作台面平行且沿图示的垂直于上述Y轴方向的X轴方向(副扫描方向)延伸的摄像机驱动机构18。摄像机支承部17与摄像机驱动机构18相连接，沿着X轴方向可往返移动地被配置。摄像机15以使其摄像方向为铅垂向下(图示的Z轴朝下的方向)被摄像机支承部17所支承。摄像机15是由例如CCD照相机构成，将入射的光转换为表示其色彩和强度的电气信号，生成拍摄到的印刷电路布线板S的图像。

检查装置1通过摄像机15拍摄印刷电路布线板S，取得印刷电路布线板S的上表面的图像。此时，为了取得印刷电路布线板S的整个表面的图像，检查装置1使工作台部11在Y轴方向移动的同时，使摄像机15在X轴方向移动。具体地说，在固定了摄像机15在X轴方向上的位置的状态下，通过工作台部11在Y轴方向移动而进行主扫描。在这里，每次完成从基板S的一端到另一端的主扫描时，摄像机15沿着副扫描方向(X轴方向)仅移动规定的距离。由此，可通过摄像机15得到印刷电路布线板S的检查区域整体的包含印刷图案的印刷电路布线板S的整个表面的图像。

图2是表示检查装置1的功能构成的框图。在图2中，检查装置1除了上述的结构要素之外，还具备控制部21、对象图像生成部22、角区域图像生成部23、存储部26、及比较***31。

控制部21是由例如CPU板构成。控制部21与以下所述的各结构部相连接。另外，控制部21对向存储部26的数据的输入输出或摄像机15的动作控制、各种图像处理等的本实施方式涉及的检查处理整体进行控制。

对象图像生成部22将摄像机15取入的图像二值化。在这里，在构成摄像机15取入的图像的各像素中，将比规定的阈值的浓度高的(浓的)像素作为1，剩余的像素作为0形成二值化的图像。当然，也可以将比规定的阈值的浓度高的像素作为0，剩余的像素作为1。另外，对象图像生成部22将该二值化了的图像即对象图像27存储在存储部26中。

角区域图像生成部23具备角检测部24及膨胀部25。角检测部24读取存储在存储部26的基准图像28，从该基准图像28分别检测出内角及外角的位置。膨胀部25通过对与角检测部24检测出的内角及外角相当的位置的上述基准图像上的1像素仅以规定的段数8附近膨胀(扩大)来确定内角区域及外角区域，生成分别表示该内角区域及外角区域的内角区域图像29及外角区域图像30，存储在存储部26。

存储部26是例如半导体存储器或硬盘等存储介质，存储上述对象图像27、和基于CAD数据预先作成的基准图像28、和由膨胀部25生成的内角区域图像29及外角区域图像30(下面详述)。另外，虽然没有图示，但下述的在比较检查处理中用的各种图等也被存储在存储部26。

比较***31使用存储在上述存储部26的内角区域图像29及外角区域图像30，对对象图像27和基准图像28进行比较检查。

另外，图2所示的控制部21、对象图像生成部22、角区域图像生成部23、及比较***31典型地可以作为集成电路即LSI来实现。这些部分既可以单独地形成1个芯片，也可以形成包含一部分或全部的1个芯片。另外，集成电路化的方法不限于LSI，也可以以专用电路或通用处理器来实现。

接着，针对本实施方式的比较检查处理的概要进行说明。在本实施方式中，基本上是将从CAD数据生成的二值化图像即基准图像28和、拍摄检查对象，通过同样地二值化生成的对象图像27加以比较来进行比较检查处理。另外，在这里，为了进行具体地说明，将成为印刷图案区域内的部分作为1(有点)，将成为区域外的部分作为0(无点)。

图3A是表示基准图像28的一个例子的图，图4是表示对象图像27的一个例子的图。若单纯地比较这两个图像，在图4的对象图像27中，在蚀刻不充分部分41(与基准图像28显示的图案区域相比，过剩形成的区域)及过度蚀刻部分42(与基准图像28显示的图案区域相比，不足形成的区域)与基准图像28不一致。

因此，在进行比较检查之前，生成用于识别内角和外角的图像数据，即内角区域图像29及外角区域图像30。具体地说，从基准图像28，以下述的方法，分别检测出表示用后述的方法形成的图案的凹状的角落即内角(图3A中的菱形标记)及凸状的角即外角(图3A中的星形标记)的1像素。然后，使该检测出的1像素仅在规定的段数8附近膨胀。即，通过将被检测出的1像素扩大为以该1像素为中心的多个像素，进而生成作为内角区域或外角区域的该被检测出的1像素的附近区域。然后，如图3B所示，生成将扩大检测出的内角的1像素的内角区域作为1，其他的区域作为0的像素数据29(这成为内角区域图像29)。同样，如图3C所示，也生成将扩大检测出的外角的1像素的外角区域作为1，其他的区域作为0的像素数据30(这成为外角区域图像30)。另外，在图3A～图3C中，用黑色区域表示1(有点)，用白色区域表示0(无点)。然后，在对基准图像28和对象图像27进行比较检查时，例如，在比较某个像素时，基准图像28和对象图像27具有差异时，参照上述内角区域图像29及外角区域图像30，判定该具有差异的像素是否包含在内角区域或外角区域。其结果是，当包含在内角区域中时，若该像素是蚀刻不充分部分(过剩形成的区域)，则对该像素不取差分，但若该像素是过度蚀刻部分(不足形成的区域)，则取差分。另一方面，当包含在外角区域中时，若该像素是过度蚀刻部分，则不取差分，但若是蚀刻不充分部分，则对该像素取差分。并且，当最终的差分值超过规定的允许值时，判定具有不良。

图5是表示本实施方式的比较检查的原理的图。在图5中，检查对象像素值51表示针对检查对象像素的基准图像28及对象图像27的像素值。该像素值0表示无像素，1表示有像素。差分的有无52表示与该像素涉及的基准图像28和对象图像27差分有无。0表示无差分，1表示有差分。

在图5中，例如，针对规定的像素的像素值，当基准图像28和对象图像27均为0时，则判定相对于外角区域、内角区域、及通常区域全部不存在差分(0)。当基准图像28和对象图像27均为1时，同样，判定相对于全部区域不存在差分(0)。

另一方面，当检查对象的像素涉及的基准图像28的像素值为0，对象图像27的像素值为1时，当该像素在外角区域及通常区域时，判定存在差分(1)。但是，当该像素在内角区域时，判定不存在差分(0)。即，针对图4表示的蚀刻不充分部分41，不判定存在差分。另一方面，即使该像素被包含在内角区域中，当基准图像28的像素值为1，对象图像27的像素值为0时，即，针对内角区域的过度蚀刻部分，判定存在差分。

另外，当检查对象的像素涉及的基准图像28的像素值为1，对象图像27的像素值为0时，当该像素在内角区域及通常区域中时，判定存在差分(1)。但是，当该像素在外角区域时，判定不存在差分(0)。即，针对图4表示的过度蚀刻部分42，不判定存在差分。另一方面，即使该像素被包含在外角区域，当基准图像28的像素值为0，对象图像27的像素值为1时，即，针对外角区域的蚀刻不充分部分，判定存在差分。这样，在本实施方式中，针对基准图像和对象图像存在差异的部分，根据具有该差异的部分为内角区域、还是外角区域、或是通常区域来变化差分检测的判定基准。

下面，使用图6～图20，对检查装置1进行的比较检查处理的详细动作进行说明。首先，在比较检查处理之前，进行用于准备在上述的比较检查中使用的各种图像的准各处理。图6是表示该准备处理的详细内容的流程图。

在图6中，首先进行为了生成内角区域图像29的内角区域图像生成处理(步骤S1)。接着，进行为了生成外角区域图像30的外角区域图像生成处理(步骤S2)。另外，这些处理的执行顺序可以相反，也可以同时进行。在这里，所谓的本实施方式的内角，例如为如图7所示，形成在印刷图案的凹状的角落的部分，将位于印刷图案的区域外的角落的1像素称为内角点(图7中的菱形标记的像素)。另外，外角为如图7所示，形成在印刷图案的凸状的角的部分，将位于印刷图案的区域内的角的1像素称为外角点(图7中的星形标记的像素)。

图8是表示在上述步骤S1表示的内角区域图像生成处理的详细内容的子程序。在图8中，首先，控制部21将预先生成并存储在存储部26中的基准图像28读取到角检测部24(步骤S11)。

接着，角检测部24从读取的基准图像28检测出上述内角点(步骤S12)。对该步骤S12的处理进行更具体地说明，首先，角检测部24从基准图像28的各像素，确定是否是内角点的判定对象的1像素(以下，称为关注像素)。然后，基于该关注像素及其周边的规定的像素的像素值(1或0)，通过进行如下说明的逻辑运算，判定关注像素是否是内角点。图9是表示用于检测该内角点的，上述关注像素和其周边的规定的像素的组合图案91的图。在图9中，由关注像素O、和其周边的规定的像素A、B、及C来表示用于检测内角点使用的像素，这些组合，作为合计8个的图案91被准备。然后，使用各图案91表示的关注像素O、和其周边的规定的像素A、B、及C的像素值，进行如下的逻辑运算。

On＝！O&A&B&C

另外，在上述数学式中的！表示“非”，&表示“逻辑与”。另外，1表示有像素，0表示无像素。然后，针对图9所示的所有的图案91均进行上述的运算，当任意一个中的On＝1时，上述关注像素P为内角点。而且，将基准图像28的所有像素按序设定为关注像素的同时，通过继续进行这样的逻辑运算，检测出基准图像28中的内角点。

若能够检测出内角点，接着，膨胀部25将该内角点在规定的段数8附近膨胀(扩大)(步骤S13)。这是分别对检测出的所有内角点进行的。另外，在这里，将8附近膨胀的段数作为1段，继续进行以下的说明。

接着，膨胀部25确定作为内角区域的上述8附近膨胀的内角点，作为上述图3B表示的内角区域图像29保存在存储部26(步骤S14)。另外，由于内角区域图像29是用于表示基准图像28的内角的位置的图像，因此，优选该图像的尺寸与基准图像28的尺寸一致(这对于下述的外角区域图像30也是同样的)。到此，内角区域图像生成处理结束。在由此生成的内角区域图像29(图3B)中，像素值为1的区域表示内角区域，为0的区域表示非内角区域的区域。换句话说，内角区域图像29是用二值表示是否是内角区域的图像。另外，为了进行附近膨胀，内角区域为接近于圆形的区域。由此，通过蚀刻因子以各种各样的形状形成的角为任何形状均可对应。

上述内角区域图像生成处理的下一步骤或是同时进行外角区域图像生成处理。图10是表示在上述步骤S2表示的外角区域图像生成处理的详细内容的流程图。在图10中，首先，控制部21将预先生成并存储在存储部26中的基准图像28读取到角检测部24(步骤S21)。接着，角检测部24从读取到的基准图像28检测上述外角点(步骤S22)。对该步骤S22的处理进行更具体地说明，首先，角检测部24从基准图像28的各像素，确定上述关注像素。然后，使用上述图9所示的各图案91表示的关注像素O和、其周边的规定的像素A、B、及C的像素值，进行如下的逻辑运算。

Og＝O&！A&！B&！C

另外，针对图9所示的所有的图案91均进行上述的运算，当任意一个的Og＝1时，则判定关注像素O为外角点。而且，将基准图像28的所有的像素按序设定为关注像素的同时，继续进行这样的逻辑运算，检测出基准图像28中的外角点。

若能够检测出外角点，接着，则膨胀部25将该外角点在规定的段数8附近膨胀(扩大)(步骤S23)。这是对于检测出的所有外角点分别进行的。另外，在这里，与上述步骤S12相同，将8附近膨胀的段数作为1段。

接着，膨胀部25确定上述8附近膨胀的外角点作为外角区域，作为上述图3C表示的外角区域图像30保存在存储部26(步骤S24)。到此，外角区域图像生成处理结束。在由此生成的外角区域图像30(图3C)中，像素值为1的区域表示外角区域，为0的区域表示非外角区域的区域。换句话说，外角区域图像30是用二值表示是否是外角区域的图像。

在如上所述的准备处理中，生成内角区域图像29及外角区域图像30之后，用摄像机15对包含成为检查对象的印刷图案的图像进行拍摄。然后，7在对象图像生成部22，生成了对该拍摄的图像进行了二值化形成的对象图像27之后，进行比较该对象图像27和基准图像28的比较检查处理。在说明本处理的详细内容之前，按照图11，针对处理概要进行说明。

在本处理中，在比较对象图像27和基准图像28时，如图11A所示，按照规定大小的块分割两图像，以这些块为单位对两图像进行比较检查。在该块单位的处理中，如图11B及图11C所示，例如，对被称为5×5像素的“检查窗口”的窗口从块的左上方按序进行扫描。然后，比较该检查窗口内的像素，取其差分。然后，若该差分值超过预先设定的允许值，则判定此时在该块中存在不良。

接着，针对检查装置1进行的比较检查处理的详细内容进行说明。图12是表示检查装置1进行的比较检查处理的详细内容的流程图。在图12中，首先，控制部21将上述对象图像27、基准图像28、内角区域图像29、及外角区域图像30读取到比较***31(步骤S31)。然后，对读取到的各图像按规定大小的块进行细分(步骤S32；参照图11)。对该步骤S32的处理进行更具体地说明，首先，比较***31针对各图像分别确定成为基准点的坐标。例如，比较***31将各图像的左上端的坐标(0，0)作为基准点。然后，通过使对象图像27、基准图像28、内角区域图像29、及外角区域图像30的基准点对准，进行位置对准(即，使各图象的左上端对齐)。之后，从该基准点向右下方，按照图11A表示的规定大小的块将上述图像细分化(为了更加正确，将成为各块的边界的坐标值存储到存储部26)。在这里，如图11A所示，将各图像分割为6×6的块。另外，虽然没有图示，但针对内角区域图像29及外角区域图像30也同样用6×6的块进行细分化。另外，一个块的大小为，例如320×256像素。

接着，控制部21使成为用于识别各块的变量的变量n为1(步骤S33)。在本实施方式中，由于将各图像细分为6×6的块，所以变量n成为1～36范围内的值。即，变量n表示细分化了的块的编号。以图11A为例，左上角的块为编号1的块(n＝1)，向右n＝2、3...逐渐增加，右下角的块为n＝36的块。

下面，针对编号n的块，进行对象图像27和基准图像28的比较检查的块检查处理(步骤S34)。图13是表示上述步骤S34表示的块检查处理的详细内容的流程图。

在图13中，首先，在坐标(0，0)上设定用于进行“摇动处理”的摇动基准位置Δ(步骤S41)。

在这里，针对上述“摇动处理”进行说明。一般，印刷电路板由于是由薄板部件构成，容易发生“翘曲”。因此，形成在成为检查对象的印刷电路板上的印刷图案也产生少许“扭曲”。当产生这样的“扭曲”时，即使如上所述地让基准图像和对象图像的位置在同一基准点进行了对准，但由于“扭曲”，仍有地方会发生少许错位。考虑这种情况，在用上述块单位的图像对对象图像27和基准图像28进行比较检查时，编码n的块的基准图像尺寸设定为比相同的编码n的块的对象图像少许大些，提取与对象图像27相比稍宽范围的基准图像28的块进行比较检查。

参照图14A、图14B进行具体地说明，从上述对象图像27提取例如将320×256像素的图像(图14A)作为一个块。针对该块，从基准图像28提取上下左右分别大了例如5像素的(即，上下方向及左右方向分别合计10像素大小)330×266像素的图像(图14B)作为一个块。然后，将该切块了的对象图像27与切块后的基准图像28相重叠，对该10像素的差，1像素1像素地边错开边进行比较检查(将这样一点一点地移动图像称为“摇动”)。

图15A～图15C是示意地表示上述“摇动处理”的图。如上所述，当在对象图像27中存在“扭曲”时，若仅在上述步骤S32进行位置对准，则基准图像28和对象图像27不能完全达到一致，而会发生少许错位。因此，通过在稍大的基准图像28中边错开对象图像27边进行比较检查，可以忽略两者的少许的错位。然后，这样边错开对象图像27边进行比较检查，若两者的差分值即使只有1次接受在允许值内，则判定“无不良”，若一次也没有接受在允许值内，则判定“有不良”。

另外，上述基准位置Δ是用于确定相对于该基准图像28的对象图像27的位置的基准位置Δ。在图15A～图15C中，首先，比较***31以基准位置Δ＝(0，0)进行比较检查(图15A)。此时，由于两图像完全不一致，两者的差分值超过允许值，其结果判定为“有不良”。接着，使对象图像27向X方向移动+1，在基准位置Δ＝(1，0)的位置进行比较检查(图15B)。此时，两图像仍然不一致，因此，判定为“有不良”。这样将对象图像27在基准图像28的尺寸范围内边错开边比较。其结果是，在基准位置Δ＝(1，1)时，如图15C所示，两图像的位置大致一致，两者的差分值达到在允许值以下。因此，针对于该块，判定为“无不良”(另外，若一次判定为“无不良”，则对该块的检查到此结束)。

返回图13，接着步骤S41，比较***31从上述对象图像27、基准图像28、内角区域图像29、及外角区域图像30中分别提取编号n的块的图像(步骤S42)。对该步骤42的处理更具体地进行说明，首先，比较***31从上述对象图像27提取编号n的块的图像。下面，将该图像称为数据D。该数据D的图像尺寸与上述的块的大小相同，例如为320×256像素。接着，比较***31从基准图像28、内角区域图像29、及外角区域图像30中分别提取编号n的块的图像。下面，将从基准图像28提取的图像称为数据M，将从内角区域图像29提取的图像称为数据A，将从外角区域图像30提取的图像称为数据B。这些数据M、A、B的图像尺寸，为了进行上述的“摇动”，使上述块的上下左右的四个方向分别大5像素，例如，以330×266像素的尺寸进行提取。

然后，比较***31将对象图像27与基准图像28的差分量SA作为0。并且，将使用图11C进行说明的检查窗口内的表示成为检查对象的像素(以下称为“检查点”)的位置的变量P1作为(0，0)。另外，将考虑了通过上述“摇动处理”产生的数据D(对象图像27)的错位量的变量P2作为(0，0)  (步骤S43)。接着，比较***31为了检查用上述检查窗口检查上述数据D等的图像，进而进行窗口检查处理(步骤S44)。

图16是表示上述步骤S44表示的窗口检查处理的详细内容的流程图。在本处理中，针对“检查窗口”内的各像素(5×5＝25像素)按序进行比较检查。首先，比较***31取得成为检查对象的像素(步骤S61)。具体地说，将检查窗口设置在数据D(最初使其位于左上端的基准位置)，取得与以变量P1表示的检查窗口内的坐标对应的数据D的坐标的像素值。并将检查窗口设置在数据M、数据A、及数据B(最初使其位于左上端的基准位置)，分别取得与在以变量P1表示的检查窗口内的坐标加有基准位置Δ的坐标对应的、该数据M、数据A、及数据B上的坐标的像素值(0或1)。下面，将从数据M取得的像素值称为像素值[m]、将从数据A取得的像素值称为像素值[a]、将从数据B取得的像素值称为像素值[b]，将从数据D取得的像素值称为像素值[d]。

接着，比较***31对在步骤S61取得的像素值进行以下的逻辑运算(步骤S62)。

S＝(！m&d&！a)#(m&！d&！b)    …  (1)

在上述式(1)中，！表示非、&表示逻辑与、#表示逻辑和。另外，运算优先顺序是从高级开始，为“！→&→#→＝”。另外，S＝1表示有差分，S＝0表示无差分。

针对上述逻辑运算，参照图17进行补充说明。图17是用于说明图3A的外角(星形标记)部分的比较检查的例子的图。在图17中，基准位置Δ＝(0，0)，检查点为变量P1＝(2，2)的位置(即，在第3行第3列的位置的像素)。而且，对应于该检查点的数据M(基准图像28)的像素为1(有像素)，但数据D(对象图像27)的像素为0(无像素)。这样的情况下，若仅进行数据M和数据D的比较，则判定两者不一致(有差分)。但是，根据本实施方式，由于在数据B(外角区域图像30)的像素为1(有像素)，所以判定为无差分。即，同时使用内角区域图像29和外角区域图像30，根据表示这些的区域，改变判定基准。

图17的情况，在变量P1＝(2，2)及变量P2＝(2，2)的位置，像素值[m］＝1，像素值[a］＝0，像素值[b]＝1，像素值[d］＝0。若以这些值使用上述的数学式(1)进行运算，则S＝0，即判定为无差分。另外，在图17中，针对上述检查点的右下端的像素(即，变量P1＝(3，3)及变量P2＝(3，3)的位置，第4行第4列的位置的像素)，像素值[m］＝1，像素值[a］＝0，像素值[b］＝1，像素值[d]＝1，S＝0。另外，针对上述检查点的左上端的像素(即，变量P1＝(1，1)及变量P2＝(1，1)的位置，第2行第2列的位置的像素)，像素值[m]＝0，像素值[a]＝0，像素值[b]＝1，像素值[d]＝0，上述逻辑运算的结果为S＝0。

另一方面，假设，在图17的数据D(对象图像)中，变量P1＝(1，1)的位置的像素值[d]＝1。即，假设外角蚀刻不充分是应作为不良被检测出的状态的情况。这种情况，在变量P1＝(1，1)及变量P2＝(1，1)的位置上，像素值[m]＝0，像素值[a]＝0，像素值[b]＝1，像素值[d]＝1。其结果是，通过上述逻辑运算，S＝1，即，判定为有差分。另外，假设，在图17的数据D(对象图像)中，变量P1＝(4，4)的位置的像素值[d]＝0。即，假设外角的过度蚀刻超过允许范围是应作为不良被检测出的状态的情况。这种情况，变量P1＝(4，4)及变量P2＝(4，4)的位置上，像素值[m]＝1，像素值[a]＝0，像素值[b]＝0，像素值[d]＝0。其结果是，通过上述逻辑运算，S＝1，即，判定为有差分。即，超过允许值的过度蚀刻和蚀刻不充分等本来应作为不良被检测出的情况被检测出来。

这样，针对基准图像28和对象图像27的存在差异的地方，如图5所示的表那样，通过使用基准图像28和对象图像27的像素值0及1的组合、和上述内角区域图像29及外角区域图像30，根据内角部的蚀刻不充分和外角部的过度蚀刻的状态，可以不取差分。其结果是，可以减少不想作为不良被检测出的部分的虚报。另外，对于判定差分有无的允许值，也没有必要像以往那样，针对内角部及外角部周边，在差分值相对地较大的情况下，为了判定出缺陷而设定为高值进行检查。因此，在提高了比较检查的灵敏度的状态下，对于允许范围内的蚀刻不充分和过度蚀刻不作为不良被检测出，能够进行高精度的比较检查。

返回图16，接着步骤S62的处理，比较检查出部31判定上述数学式(1)的运算结果S是否为1(步骤S63)。其结果是，当S＝1，即有差分时(在步骤S63为“是”)，则在SA加1(步骤S64)，处理进入到下一步骤S65。另一方面，若S＝0(在步骤S63为“否”)，则在该种状态下进入步骤S65。

下面，比较***31移动检查窗口内的检查点(步骤S65)。即，在变量P1上加规定值。例如，当仅使检查点向右移动1像素时，在变量P1上加(+1，0)。另外，针对变量P2也加(+1，0)。

下面，比较***31针对检查窗口内的所有的像素，判定是否通过上述逻辑运算进行了比较检查(步骤S66)。具体地说，从检查窗口为5×5像素，判定检查点是否移动了25次以上。其结果是，当对检查窗口内的所有像素的检查没有完成时(在步骤S66为“否”)，比较***31返回上述步骤S61，反复进行处理。另一方面，当对所有像素的检查完成时(在步骤S66为“是”)，比较***31结束该窗口检查处理。

返回图13，下面，比较***31判定差分量SA是否超过了预先制定的规定的允许值(步骤S45)。即，判定在上述检查窗口内检测出的差分是否超过该允许值。其结果是，当没有超过允许值时(在步骤S45为“否”)，比较***31使检查窗口仅移动1像素(步骤S46)。针对移动方向，若最初位于上述块内的左上端，则从该位置向右1像素1像素地进行移动。然后，当检查窗口达到该块的右端，则使其向下移动1像素，然后，向左方向进行移动。然后，当检查窗口到达左端，向下移动1像素，再使其向右方向移动。反复进行该移动，直到检查窗口到达右下端。

接着，比较***31判定检查窗口是否在块内的整个区域进行了移动，即，是否对该块内的整个区域进行了检查(步骤S47)。其结果是，当没有检查完块内所有的区域时，比较***31返回上述步骤S43而反复进行处理。另一方面，当检查了块内的所有区域时，比较***31判定在该编号n的块中没有不良，将第n块的检查结果作为“无不良”存储到存储部26(步骤S48)，该块检查处理结束。

另一方面，当上述步骤S45的判定结果为差分量SA超过允许值时(在步骤S45为“是”)，则如上所述，为了使数据D(编码n的块的对象图像)的位置在基准图像上通过“摇动”进行再次比较检查的“摇动处理”，比较***31在基准位置Δ上加规定值(步骤S39)。该规定值是使数据D在数据M上进行大致巡回的值。例如，与上述的检查窗口相同，可以加上使其从左上向右下移动的值，另外，也可以最初使Δ位于数据M的中心，然后加上使数据D以(+1，0)、接着(0，+1)，接着(-1，0)，接着(0，-1)这样地进行旋转状移动。

下面，比较***31判定在Δ加了规定值的结果，数据D的位置(例如，四个角落的任意一端)是否到达数据M的尺寸(330×266像素)的范围外(步骤S50)。其结果是，当到达范围外时(在步骤S50为是)，则摇动的结果是，没有无不良的位置(两图像一致的位置)。因此，比较***31判定该块有不良，作为第n块的检查结果存储到存储部26(步骤S51)。以上，块的检查处理结束。

返回图12，若块检查处理结束，为了进行下面的块检查，比较***31在n上加1(步骤S35)。接着，比较***31判定是否检查了所有的块(步骤S36)。其结果是，当还残存有没检查的块时(在步骤S36为“否”)，则控制部21返回上述步骤S34而反复进行处理。另一方面，当检查了所有的块时(在步骤S36为“是”)，则比较***31结束该比较检查处理。以上，本实施方式涉及的比较检查处理结束。

这样，在本实施方式中，在进行基准图像28和对象图像27的比较检查时，针对存在差异的部分，根据该部分是外角还是内角改变差分判定的判定基准。即，针对外角的过度蚀刻不取差分，但对其蚀刻不充分取差分。另外，针对内角的过度蚀刻取差分，但对其蚀刻不充分不取差分。因此，在角部或角落部，针对对象图像27和基准图像28存在差分的地方，可以仅除去不想作为不良判定的差分。由此，能够进行高精度的比较检查。另外，没有必要像以往那样，对于基准图像28的内角部进行垫料或对外角部进行倒角等的加工。因此，也没有必要设计用于加工基准图像28的电路，可以实现缩小电路规模，降低成本。另外，针对用于差分判定的允许值，没有必要像以往那样准备两种内角部和外角部用的允许值、和这些部分以外用的允许值。因此，只有一个用于允许值判定的电路即可，可以实现缩小电路规模，降低成本。另外，由于没有以往那样的针对内角和外角的虚报(将过度蚀刻等判定为不良)，可以较低地设定允许值(即，提高检查精度)，因此，能够进行可靠性更高的比较检查。因此，可以检测出由于精度降低而未发现的图案不良。另外，在本实施方式中，对内角或外角进行附近膨胀做成接近圆形的区域。由此，例如，与预先准备四个角区域图案，作为内角·外角区域一律套用的方法相比，可以对应通过蚀刻因子以各种各样的形状形成的任何形状的角和角落。

另外，在上述实施方式中，在准备处理的角检测处理(图8的步骤S12、图10的步骤S22)中，如图9所示，使用8个图案91对内角或外角进行检测。但不限于此，也可以是使用更多的图案。例如，上述的使用8个图案91的检测为“低灵敏度检测”。与此相对，将如图18所示的使用16个图案92的检测作为“中灵敏度检测”。并且，将如图19所示的使用24个图案93的检测作为“高灵敏度检测”。任意一个如上述所示，使用图案92或图案93中的关注像素O、和其周边规定像素A、B、C(在图案93中，也使用周边规定的像素D)的像素值，进行上述的步骤S12及步骤S22的逻辑运算。

可以认为，这些“中灵敏度检测”及“高灵敏度检测”可用于以下那样的情况。例如，如图20A所示，斜着形成的直线的图案在从CAD数据生成基准图像28时，由于图案的伸张，有时一部分产生如图20B所示的高度差。即，即使现实中为直线，通过对基准图像28的图像处理，有时形成高度差。这样的高度差部分，当提高了精度时，成为与对象图像27之间的差异，但不是不良。但是，这样的高度差在“低灵敏度检测”中，由于不能作为角和角落被检测出，有时会被判定为不良。因此，这样的由于图像处理而产生的微小的高度差(例如，在“低灵敏度检测”不能充分检查的地方和“低灵敏度检测”中会虚报的地方)适当地使用“中灵敏度检测”和“高灵敏度检测”作为内角区域或外角区域来设定。由此，对在上述那样的斜线等产生的微小的高度差也可以作为“内角”或“外角”检测出。其结果是，针对微小的高度差也能够改变不良的判定基准，不作为不良被判定。因此，不必提高允许值，能够进行高精度的比较检查。

进一步，也可以根据接近上述角检测部24检测出的内角或外角的上述印刷图案的直线部的宽度，使上述步骤S13和步骤S13的8附近膨胀的段数进行改变。例如，也可以预先从CAD数据取得有关上述直线部的宽度的信息，当该宽度细时，减少膨胀的段数，宽时，增加膨胀的段数从而进行确定。另外，对于上述附近膨胀，不仅8附近膨胀，也可以使用4附近膨胀，毫无疑问也可以将这两种组合来使用。

另外，在上述步骤S32中，在将对象图像27等分割为块时，也可以以使一个块的范围与其它的块的范围相重叠的方式进行分割。例如，如上所述，当一个块的尺寸为320×256时，针对最初的块的位置，使左端上面的坐标(0，0)与基准图像28等的坐标(0，0)相一致，但使第二个块的位置与基准图像28等的(300，0)相一致。这样，通过使块的一部分相重复，在各块单位进行比较检查，针对块的端部的图案也能够进行正确地检查。其结果是，通过与上述“摇动”同时使用，能够进行更加正确的比较检查。

另外，对于被检查物，在上述实施方式中，印刷电路板作为被检查物。但不限于此，半导体晶片和液晶基板等，另外，用于做成半导体晶片和液晶基板等的掩模和印刷版等也可以作为被检查物。

另外，在上述实施方式中，使用对象图像27和基准图像28等的二值化了的图像进行比较检查。不限于这样的二值化图像，也可以使用由二值以上的值构成的图像进行比较检查。

以上，对本发明进行了详细说明，但上述说明的各方面不过是本发明的示例，并不是对其范围进行限定。毫无疑问可以进行不脱离本发明的范围的各种改良和变形。

Claims (8)

1.一种差分比较检查方法，其是将对形成了图案的被检查物进行拍摄而得到的对象图像和该图案的基准图像进行比较，检查该被检查物的差分比较检查方法，其特征在于，具有：

角检测步骤，其将上述图案中形成的作为凹状的角落的内角及作为凸状的角的外角分别从上述基准图像检测出来；

内角区域确定步骤，其确定上述检测出的内角附近的区域、即内角区域的范围；

外角区域确定步骤，其确定上述检测出的外角附近的区域、即外角区域的范围；

比较检查步骤，其基于上述基准图像和上述对象图像的差分进行比较检查，

上述比较检查步骤，其在上述基准图像的上述内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查；在上述基准图像的上述外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

2.如权利要求1所述的差分比较检查方法，其特征在于，

上述对象图像及上述基准图像是分别将形成了上述图案的区域的像素值作为第一值、将这些以外的像素值作为与该第一值不同的第二值的被二值化了的图像，

上述内角区域确定步骤还包括有生成将上述内角区域内的像素值作为上述第一值、将该内角区域之外的像素值作为上述第二值的内角区域图像的内角区域图像生成步骤，

另外，上述外角区域确定步骤还包括有生成将上述外角区域内的像素值作为上述第一值、将该外角区域之外的像素值作为上述第二值的外角区域图像的外角区域图像生成步骤，

上述比较检查步骤包含：

位置对准步骤，其在同一坐标轴上，使上述基准图像、上述内角区域图像、上述外角区域图像和上述对象图像的位置对准；

像素值取得步骤，其在上述坐标轴上，从上述各个图像取得作为相同位置的检查对象位置的像素的像素值；

像素值判定步骤，其在当上述所取得的对象图像的像素值为上述第一值，上述所取得的基准图像的像素值为上述第二值，且上述所取得的内角区域图像的像素值为上述第一值时，将该检查对象位置的上述基准图像及对象图像的像素值作为相同的值而进行比较检查，当上述所取得的对象图像的像素值为上述第二值，上述所取得的基准图像的像素值为上述第一值，且上述所取得的外角区域图像的像素值为上述第一值时，将该检查对象位置的上述基准图像及对象图像的像素值作为相同的值而进行比较检查。

3.如权利要求1所述的差分比较检查方法，其特征在于，

上述角检测步骤从上述基准图像检测出分别表示上述内角或外角的一个像素，

上述内角区域确定步骤将以成为上述检测出的内角的像素为中心的规定大小的区域确定为内角区域，

上述外角区域确定步骤将以成为上述检测出的外角的像素为中心的规定大小的区域确定为外角区域。

4.如权利要求3所述的差分比较检查方法，其特征在于，

上述内角区域确定步骤通过对上述检测出的内角的像素反复执行预先规定的次数以上的膨胀处理，从而确定上述内角区域，

上述外角区域确定步骤通过对上述检测出的外角的像素反复执行预先规定的次数以上的膨胀处理，从而确定上述外角区域。

5.如权利要求4所述的差分比较检查方法，其特征在于，

还具有宽度检测步骤，其检测出与上述检测出的内角或外角接近的上述图案的直线部的宽度，

上述内角区域图像生成步骤根据上述检测出的宽度，对反复进行上述膨胀处理的次数进行变更，

上述外角区域图像生成步骤根据上述检测出的宽度，对反复进行上述膨胀处理的次数进行变更。

6.如权利要求3所述的差分比较检查方法，其特征在于，

上述角检测步骤还包含有逻辑运算步骤，该逻辑运算步骤利用上述基准图像中的关注像素的像素值、使用分别表示以该关注像素为基准而提取出的多个像素的位置的多个图案而从上述基准图像提取出的像素值、以及规定的逻辑式，检测出该关注像素是表示上述内角或外角的一个像素，

上述逻辑运算步骤，在显示代入了使用上述图案中的任意一个图案所提取出的像素值及上述关注像素的像素值的上述规定的逻辑式的运算结果为内角或外角时，检测出该关注像素为表示内角或外角的一个像素。

7.如权利要求3所述的差分比较检查方法，其特征在于，

上述角检测步骤还包含有逻辑运算步骤，该逻辑运算步骤利用上述基准图像中的关注像素的像素值、使用分别表示以该关注像素为基准提取出的多个像素的位置的多个图案而从上述基准图像提取出的像素值，检测出该关注像素是表示上述内角或外角的一个像素，

上述逻辑运算步骤，在上述关注像素的像素值出现在用上述基准图像表示的图案的区域内，且该关注像素的像素值与使用上述图案中的任意一个而提取出的像素值完全不同时，该关注像素作为表示上述外角的一个像素被检测出来；在上述关注像素的像素值出现在用上述基准图像表示的图案的区域外，且该关注像素的像素值与使用上述图案中的任意一个而提取出的像素值完全不同时，该关注像素作为表示上述内角的一个像素被检测出来。

8.一种差分比较检查装置，其是将对形成了图案的被检查物进行拍摄而得到的对象图像与该图案的基准图像进行比较而检查该被检查物的差分比较检查装置，其特征在于，具备：

角检测部，其将在上述图案中形成的作为凹状的角落的内角及作为凸状的角的外角分别从上述基准图像检测出来；

内角区域确定部，其确定上述检测出的内角附近的区域、即内角区域的范围；

外角区域确定部，其确定上述检测出的外角附近的区域、即外角区域的范围；

比较***，其基于上述基准图像和上述对象图像的差分进行比较检查，

上述比较***在上述基准图像的上述内角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查；在上述基准图像的上述外角区域中，将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的上述对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

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