CN1973210A - 用于检查电路板的设备以及检查电路板的方法 - Google Patents

Abstract

发明目的是提供一种用于检查电路板的设备，其可以以高可靠性进行电气检查，即使作为检查目标的电路板有小间距的电极，并且还可以在电路板的连续检查中，平稳地进行检查工作。中继管脚单元31包括中间支撑板36、第一绝缘板34和中间支撑板36之间提供的第一支撑管脚33以及第二绝缘板35和中间支撑板36之间提供的第二支撑管脚37，并且此外，在中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置所述第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置和所述第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置。而且，借助于在第一或第二绝缘板和中间支撑板之间提供的弯曲和支撑板84，在横向上按下导电管脚32，以至于它被在轴向上可移动地支撑。

Description

用于检查电路板的设备以及检查电路板的方法

技术领域

本发明涉及一种用于检查电路板的设备和方法以及一种检查电路板的方法，其借助于一对第一和第二检查夹具，从两侧***一个作为将被电气检查的检查目标的电路板(在下文中简称为“被检查电路板”)，从而导致其中在被检查电路板两侧上形成的电极被电气连接至一个测试器以检查被检查电路板的电气特性的状态。

背景技术

关于一种用于安装集成电路等的印刷电路板，在安装集成电路等之前，检查电气特性以确认该电路板的布线图有预定的性能。

在电气检查中，例如，一个检查头被合并进包括电路板的传送装置的检查测试器，并且交换检查头部分以检查不同的电路板。

例如，如在专利文献1(日本早期公开专利出版物第1994-94768号)中所公开的，提出了一种方法，其使用检查夹具，所述检查夹具具有其中将与在被检查电路板中的被检查电极导电接触的金属检查管脚***一个板中的结构。

而且，如在专利文献2(日本早期公开专利出版物第1993-159821号)中所公开的，已知一种方法，其使用检查夹具，其中组合了具有导电管脚的检查头、被称为离网适配器的用于间距转换的电路板以及各向异性导电板。

然而，在如专利文献1所述的使用检查夹具以引起金属检查管脚直接接触在被检查电路中的被检查电极的方法中，有可能被检查电路板的电极由于与由金属形成的导电管脚的接触而被损坏。

近年来，电路板中的电路的精细和密度显著地增加。在检查这种印刷电路板的情况下，必须以高压对检查夹具加压，以便使得大量导电管脚同时地与被检查电路板中的被检查电极接触。因此，所述被检查电极易于被损坏。

在检查精细和密度增大的印刷电路板的检查夹具中，在技术上难以将大量金属管脚以高密度***板中。而且，还增加了制造成本。此外，在部分金属管脚被损坏的情况下，很难修理或替换它们。

而另一方面，在如专利文献2所述的使用各向异性导电板的检查夹具中，被检查电路板中的被检查电极通过各向异性导电板与所述进行间距转换的板的电极相接触。因此，具有被检查电路板中的被检查电极难以损坏的优势。而且，使用了用于进行间距转换的板。因此，可以以与被检查电路板中的被检查电极的间距相比更大的间距来***将被***板中的检查管脚。为此，不必以精密的间距***检查管脚。因此，还有可以降低检查夹具的制造成本的优势。

然而，在所述检查夹具中，必须对每个作为检查目标的被检查电路板生产用于间距转换的板和用于***检查管脚的检查夹具。因此，需要与作为被检查电路板的印刷电路板的数量相同数量的检查夹具。

因此，在生产多个印刷电路板的情况下，问题在于需要保持多个检查夹具对应到其上。近年来，特别地，电子设备的制造周期已被缩短并且用于一种产品中的印刷电路板的生产周期减少已经被发展。因此，检查夹具无法使用很长时间。因而，存在每次改变印刷电路板的生产时生成检查夹具的问题。

关于针对这种问题的对策，例如，提出了一种检查设备，其使用使用在专利文献3至5(日本早期公开专利出版物第1995-248350号、日本早期公开专利出版物第1996-271569号以及日本早期公开专利出版物第1996-338858号)中公开的中继管脚单元的所谓通用型的检查夹具。

图28是表示使用所述通用型检查夹具的检查设备的截面图。

所述检查设备包含一个上检查夹具111a和一个下检查夹具111b，并且这些检查夹具包括电路板侧连接器121a和121b、中继管脚单元131a和131b以及测试器侧连接器141a和141b。

电路板侧连接器121a和121b包括用于间距转换的板123a和123b，以及在其两侧提供的各向异性导电板122a、122b、126a和126b。

中继管脚单元131a和131b包括在格点以等间距(例如，2.54毫米的间距)提供的大量导电管脚132a和132b(例如，5000个管脚)，以及一对用于支撑导电管脚132a和132b的可垂直地移动的绝缘板134a和134b。

测试器侧连接器141a和141b包括用于当通过压力将被检查电路板101***检查夹具111a和111b之间时，将测试器电气连接到导电管脚132a和132b的连接器板143a和143b，在连接板143a和143b的导电管脚132a和132b侧提供的各向异性导电板142a和142b，以及底板146a和146b。

当使用中继管脚单元的检查夹具检查作为不同被检查目标的印刷电路板时，电路板侧连接器121a和121b足以与对应于被检查电路板101的元件交换，并且中继管脚单元131a和131b以及测试器侧连接器141a和141b可被共同使用。

然而，在传统的通用型检查夹具中，使用了一种分布不均型的各向异性导电板122a和122b，其包括多个在厚度方向延伸的导电通路构成部分以及用于使这些导电通路构成部分相互绝缘的绝缘部分，并且其中导电粒子仅被包含在导电通路构成部分中并在平面方向上不均匀地分布，并且导电通路构成部分向所述板的任一表面侧伸出，作为构成电路板侧连接器121a和121b的各向异性导电板122a和122b。

在分布不均型的各向异性导电板122a和122b中，导电通路构成部分由于检查中的重复使用而被快速损坏。有如果导电通路构成部分被损坏，则阻抗值增加的问题。当被损坏的各向异性导电板122a和122b将被替换时，每次替换时，必须使各向异性导电板122a和122b对准用于间距转换的板123a和123b并且使电路板侧连接器121a和121b对准中继管脚单元131a和131b。替换工作很复杂且替换频率很高，并且降低了检查效率。

例如，当在被检查电路板101中的被检查电极以200μm或更小的精密间距排列时，在使用上述分布不均型的各向异性导电板122a和122b的情况下，很难使各向异性导电板122a和122b对准用于间距转换的板123a和123b。此外，在对多个被检查电路板101连续地进行检查的情况下，容易由与被检查电路板101的重复接触引起各向异性导电板122a和122b的位置偏移。

因此，各向异性导电板122a和122b的导电通路构成部分与被检查电路板101的电极的位置并不重合，以至于无法获得极好的电气连接。出于这一原因，测量到一个非常大的值，以至于一个原本被确定为合格品的印刷电路板容易被错误地确定为有瑕疵的产品。

而另一方面，例如在使用如专利文献6(日本早期公开专利出版物第1994-82531号)所述的具有各向异性导电板的连接器和用于间距转换的板相互集成的情况下，可以容易地进行对准，但当各向异性导电板部分被损坏时，用于间距转换的整个板将被替换。因此，需要大量用于间距转换的板以至于增加了检查成本。

而另一方面，作为被检查电路板101的印刷电路板是多层的且具有增加的密度。衬底本身的高度和弯曲中的变化实际上由被检查电极102和103，例如，在厚度方向的焊球电极例如BGA引起。因此，为了实现与作为在被检查电路板101上的检查点的被检查电极102和103的电气连接，必须以高压对上检查夹具111a和下检查夹具111b加压，从而水平地使被检查电路板101变形，并且此外，必须使上检查夹具111a和下检查夹具111b侧中的被检查电极102和103的高度跟随在被检查电极102和103的高度中的变化。

在传统的通用型检查夹具中，在被检查电极102和103的高度中的变化之后有导电管脚132a和132b的轴向上的运动。然而，在导电管脚132a和132b的轴向上的运动量也有一个限制。出于这一原因，对在被检查电极102和103的高度中的变化的跟随有时候并不良好。因此，产生有缺陷的传导以至于无法进行精确的检查。

而且，在通用型检查夹具中，在通过压力在上检查夹具111a和下检查夹具111b之间***被检查电路板101的情况下的按压压力被吸收到上下各向异性导电板122a、122b、126a、126b、142a以及142b中。

因此，在通用型检查夹具中，必须以恒定的间隔排列导电管脚132a和132b，以便支撑用于间距转换的板123a和123b并且分散按压压力。

而且，在传统的通用型检查夹具中，按压压力由导电管脚132a和132b接收。出于这一原因，必须以恒定的间隔排列大量导电管脚132a和132b。

因此，在例如对应于被检查电路板101的电极的微型制造，以0.75毫米的间距构成有至少10000个通孔的绝缘板134a和134b的情况下，强度随着绝缘板134a、134b、135a以及135b的板厚度而降低，并且它们由于弯曲而损坏。出于这一原因，必须增加绝缘板134a、134b、135a以及135b的厚度。

专利文献1：日本早期公开专利出版物第1994-94768号

专利文献2：日本早期公开专利出版物第1993-159821号

专利文献3：日本早期公开专利出版物第1995-248350号

专利文献4：日本早期公开专利出版物第1996-271569号

专利文献5：日本早期公开专利出版物第1996-338858号

专利文献6：日本早期公开专利出版物第1994-82531号

发明内容

考虑到这种情况，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，其可以以高可靠性进行电气检查，即使作为检查目标的被检查电路板具有以小间距排列的精密电极。

而且，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，其具有由各向异性导电板中的损坏导致的替换的较小频率，并且当将反复且连续地检查作为检查目标的被检查电路板时具有高的检查效率。

此外，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，其减少校正各向异性导电板的位置偏移的必要，并且当将反复且连续地检查作为检查目标的被检查电路板时具有极好的检查可用性。

此外，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，当在作为检查目标的被检查电路板的重复且连续检查中，各向异性导电板被损坏时，其可以容易地执行替换各向异性导电板的工作。

而且，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，其可以通过简单地改变用于检查的电路板而无需分别地制造整个检查设备(整个检查夹具)，使得每个被检查电路板对应于一次检查，即使改变作为检查目标的被检查电路板。

此外，本发明的一个目的是提供一种用于检查电路板的设备和一种检查电路板的方法，其极好地跟随在作为检查目标的被检查电路板中的被检查电极的高度中的变化，并且可以执行精确的检查而不产生有缺陷的传导。

解决所述问题的手段

本发明提供了一种用于检查电路板的设备，其在一对第一和第二检查夹具之间，借助于这两个检查夹具，通过压力***一个作为检查目标的被检查电路板的两侧，从而进行电气检查，

所述第一检查夹具和第二检查夹具均包括：

电路板侧连接器，其具有：

用于间距转换的板，其在所述板的一个表面侧和另一表面侧之间转换电极间距；

第一各向异性导电板，其在所述用于间距转换的板中的被检查电路板的一侧提供；以及

第二各向异性导电板，其在所述用于间距转换的板中的被检查电路板的相反一侧提供；

中继管脚单元，其具有：

多个以预定间距提供的导电管脚；以及

一对第一和第二绝缘板，其相互分离并用于在轴向上可移动地支撑所述导电管脚；以及

测试器侧连接器，其有：

连接器板，其用于将一个测试器电气连接到所述中继管脚单元；

第三各向异性导电板，其在所述连接器板的中继管脚单元侧提供；以及

底板，其在所述连接器板的中继管脚单元的相反一侧提供，其中所述中继管脚单元有：

中间支撑板，其在所述第一绝缘板和第二绝缘板之间提供；

第一支撑管脚，其在所述第一绝缘板和所述中间支撑板之间提供；以及

第二支撑管脚，其在所述第二绝缘板和所述中间支撑板之间提供，

在在所述中间支撑板的厚度方向上凸出的一个中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置所述第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置和所述第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置，

在第一绝缘板和中间支撑板之间或在第二绝缘板和中间支撑板之间安放一个配备有其中***导电管脚的通孔的弯曲和支撑板，以及

通过将在第一和第二绝缘板上形成的通孔以及在所述弯曲和支撑板上形成的通孔设置为支点，导电管脚以相互相反的方向被横贯地按下，并在所述弯曲和支撑板的通孔的位置中被弯曲，从而在轴向上可移动地支撑导电管脚。

通过这种结构，当通过压力在第一检查夹具和第二检查夹具之间***作为检查目标的被检查电路板的两侧时，有可能在加压的初始阶段，通过中继管脚单元的导电管脚以及第一各向异性导电板、第二各向异性导电板和第三各向异性导电板的橡胶弹性压缩，由厚度方向上的运动吸收压力，从而在某种程度上吸收在被检查电路板中的被检查电极的高度中的变化。

在中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地提供第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置和第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置。因此，当在第一检查夹具和第二检查夹具之间进一步对作为检查目标的被检查电路板加压时，有可能通过除了第一各向异性导电板、第二各向异性导电板以及第三各向异性导电板的橡胶弹性压缩之外的中继管脚单元中的第一绝缘板、第二绝缘板以及在第一绝缘板和第二绝缘板之间提供的中间支撑板的弹簧弹性，相对于在被检查电路板中的被检查电极的高度中的变化(例如，焊球电极的高度中的变化)而分散压力的密度，从而避免压力的局部密度。

因此，可以保持稳定的电气接触，并且此外，可以对在被检查电路板中的具有高度变化的每个被检查电极降低压力密度。因此，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。从而，有可能增强各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，并且可以提高检查工作的效率。

而另一方面，在本发明中，在第一绝缘板和中间支撑板之间或在第二绝缘板和中间支撑板之间，安放所述配备有其中***导电管脚的通孔的所述弯曲和支撑板。然后，通过将在第一和第二绝缘板上形成的通孔以及在弯曲和支撑板上形成的通孔设置为支点，以相互相反的方向横贯着按下多个导电管脚，并在弯曲和支撑板的通孔的位置中被弯曲。因此，可以在轴向上可移动地支撑导电管脚。

通过这种结构，可以在第一绝缘板和第二绝缘板之间的轴向上可移动地支撑导电管脚，以便不至于滑脱，并且此外，还可以将采用圆柱形状且有简单结构的管脚用作导电管脚。因此，有可能减少导电管脚和用于作为整体支撑它的元件的成本。

优选的是，第一各向异性导电板应当具有在厚度方向上排列并且在平面方向上均匀地分散的导电粒子。

通过使用有在厚度方向上排列且在平面方向上均匀地分散的导电粒子的各向异性导电板作为第一各向异性导电板，有可能减小当反复且连续地检查被检查电路板时，由各向异性导电板中的损耗而导致的替换频率。因此，可以提高检查效率。

而且例如在包括以200μm或更小的小间距排列、并且有100μm或更小的电极宽度的精密电极的被检查电路板中，有可能实现被检查电极和电路板侧连接器的检查电极的电气连接，同时保持在被检查电路板和每个被检查电极之间的绝缘状态。没有经由绝缘部分隔开的导电通路构成部分。因此，在被检查电路板的重复检查中，可以总是实现在被检查电路板中的被检查电极和电路板侧连接器的检查电极的电气连接，即使在各向异性导电板的横向上产生位置偏移。因此，有可能避免由各向异性导电板的位置偏移导致作为合格品的被检查电路板被错误地确定为有瑕疵的产品。

而且，所述第一各向异性导电板被形成为与用于检查的电路板相分离的主体。因此，在第一各向异性导电板被损坏的情况下，仅替换第一各向异性导电板是足够的。因此，可以容易地进行替换。有可能在第一各向异性导电板的替换时重复使用用于检查的电路板而无需替换。因此，有可能减少被检查电路板的检查成本。

优选的是，第一各向异性导电板在与被检查电路板接触的一侧的表面上应当有0.5至5μm的表面粗糙度，并且在与用于间距转换的板接触的一侧的表面上应当有0.3μm或更小的表面粗糙度，并且

用于间距转换的板在与第一各向异性导电板接触的一侧的表面上的绝缘部分中，应当有0.2μm或更小的表面粗糙度。

从而，第一各向异性导电板与被检查电路板的接触表面被设定为具有特定表面粗糙度的粗糙面。因此，当解除对被检查电路板的加压时，减少了被检查电路板与第一各向异性导电板的接触面积。因此，减小了绝缘弹性体对板基材料的粘附力，以至于有可能避免或抑制被检查电路板对第一各向异性导电板的粘附。

此外，第一各向异性导电板与用于间距转换的板的接触表面被设定为具有小表面粗糙度的平面，并且减少了在用于间距转换的板的表面的绝缘部分中的表面粗糙度。因此，增加了用于间距转换的板与第一各向异性导电板的接触面积。而且相应地，在解除对被检查电路板的加压之后，它们的粘附很高，并且通过绝缘弹性体对板基材料的粘附力，可以在用于间距转换的板上可靠地支撑第一各向异性导电板。因此，有可能阻止从用于间距转换的板中移去第一各向异性导电板，并且在将连续地进行大量被检查电路板的电气检查的情况下，可以平稳地进行检查工作。

而且优选的是，用于间距转换的板应当配备有一个连接电极，其包括成对的一个用于电流的终端电极和一个用于电压的终端电极，并且应当在用于间距转换的板上，以成对的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极被电气连接到在被检查电路板中的每个被检查电极这样的方式，来提供所述连接电极，并且

所述连接器板应当以一个用于电流的管脚侧电极和一个用于电压的管脚侧电极分别被电气连接到在用于间距转换的板上的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极这样的方式，来配备所述用于电流的管脚侧电极和用于电压的管脚侧电极。

通过这种结构，当通过压力将作为检查目标的被检查电路板的两侧***到第一检查夹具和第二检查夹具之间以进行电气检查时，在用于间距转换的板的连接电极中的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极均分别经由第一各向异性导电板，被电气连接到在被检查电路板中的被检查电极。

在用于间距转换的板中的用于电流的终端电极，经由第二各向异性导电板、中继管脚单元的导电管脚以及第三各向异性导电板，被电气连接到在连接器板中的用于电流的管脚侧电极，并且此外，在用于间距转换的板中的用于电压的终端电极被电气连接到在连接器板中的用于电压的终端电极。

因此，对在被检查电路板中的每个被检查电极，经由分别在用于间距转换的上下板中的用于电流的终端电极，构成电流提供通道。而另一方面，对在被检查电路板中的每个被检查电极，经由分别在用于间距转换的上下板中的用于电压的终端电极，构成电压测量通道。

相应地，例如，经由通过在用于间距转换的上下板中的用于电压的终端电极的电压测量通道，借助于电压表来测量在被检查电路板中的每个被检查电极的电压，同时通过在用于在被检查电路板中的被检查电极的间距转换的上下板中的用于电流的终端电极，通过使用恒定电流提供设备向电流提供通道提供一个恒定电流。因此，有可能进行关于被检查电路板的布线图是否具有预定性能的电气特性的确认测试。

相反，例如，经由通过在用于间距转换的上下电路板中的用于电流的终端电极的电流提供通道，借助于电流表来测量在被检查电路板中的每个被检查电极的电流，同时通过在用于在被检查电路板中的被检查电极的间距转换的上下板中的用于电压的终端电极，通过使用一个恒定电压提供设备向电压表测量通道施加一个恒定电压。因此，也有可能进行关于被检查电路板的布线图是否具有预定性能的电气特性的确认测试。

从而，有可能通过对被检查电路板中的每个被检查电极的独立的电压测量通道和电流提供通道，分别测量电压和电流。因此，有可能准确地进行关于被检查电路板的布线图是否有预定性能的电气特性的确认测试，并且此外，迅速执行所述确认测试。

在依照本发明的检查设备中，优选的是通过压力在一对第一和第二检查夹具之间，借助于这两个检查夹具***作为检查目标的被检查电路板的两侧时，

应当在第二绝缘板绕着第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置的方向上弯曲中间支撑板，并且

应当在第一绝缘板绕着第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置的方向上弯曲中间支撑板。

通过这种结构，以绕着第一接合支撑位置和第二接合支撑位置的相反方向，相互弯曲中间支撑板。因此，当在第一检查夹具和第二检查夹具之间进一步对作为检查目标的被检查电路板加压时，中间支撑板的弹簧弹力表现得更大。因此，有可能相对于被检查电路板中的被检查电极的高度变化来分散压力密度，从而避免压力的局部密度。从而，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。因而，可以提高各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，以至于可以提高检查工作的效率。

而且，在依照本发明的检查设备中，优选的是应当在中间支撑板凸出表面上，像点阵一样放置第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置，

应当在中间支撑板凸出表面上，像点阵一样放置第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置，

应当在由在中间支撑板凸出表面上的四个相邻第一接合支撑位置构成的单元点阵区中，放置一个第二接合支撑位置，并且

应当在由在中间支撑板凸出表面上的四个相邻第二接合支撑位置构成的单元点阵区中，放置一个第一接合支撑位置。

通过这种结构，像点阵一样排列第一接合支撑位置和第二接合支撑位置，并且此外，偏移地排列第一接合支撑位置和第二接合支撑位置的所有格点位置。

相应地，以绕着第一接合支撑位置和第二接合支撑位置的相反方向，相互弯曲中间支撑板。因此，当在第一检查夹具和第二检查夹具之间对作为检查目标的被检查电路板加压时，中间支撑板的弹簧弹力进一步表现出来。因此，有可能相对于被检查电路板中的被检查电极的高度变化来分散压力密度，从而更加避免压力的局部密度。从而，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。因而，可以提高各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，以至于可以提高检查工作的效率。

此外，在依照本发明的检查设备中，优选的是中继管脚单元应当包括：

多个在第一绝缘板和第二绝缘板之间以预定间隔相互分离地提供的中间支撑板；以及

在所述相邻中间支撑板之间提供的支撑板支撑管脚，

在至少一个中间支撑板中，在所述中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板的一个表面侧与所述中间支撑板接合的一个支撑板支撑管脚的接合支撑位置，和相对于中间支撑板的另一表面侧与所述中间支撑板接合的第一支撑管脚、第二支撑管脚或一个支撑板支撑管脚的接合支撑位置，以及

应当在第一绝缘板和中间支撑板之间、在第二绝缘板和中间支撑板之间或在中间支撑板之间提供所述弯曲和支撑板。

通过这种结构，由这些中间支撑板进一步表现了弹簧弹性。因此，有可能相对于在被检查电路板中的被检查电极的高度变化来分散压力密度，从而更加避免压力的局部密度。这样，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。因而，可以提高各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，以至于可以提高检查工作的效率。

此外优选的是，在所有中间支撑板中，在中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，应当相互不同地放置：相对于中间支撑板的一个表面侧与中间支撑板接合的一个支撑板支撑管脚的接合支撑位置，和相对于中间支撑板的另一表面侧与中间支撑板接合的第一支撑管脚、第二支撑管脚或一个支撑板支撑管脚的接合支撑位置。

因此，在相邻中间支撑板之间，偏移地排列支撑板支撑管脚相对于中间支撑板的接合支撑位置。因此，进一步表现了这些中间支撑板的弹簧弹性。因此，有可能相对于在被检查电路板中的被检查电极的高度变化来分散压力密度，从而更加避免压力的局部密度。这样，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。因而，可以提高各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，以至于可以提高检查工作的效率。

在依照本发明的检查设备中，优选的是应当由多个在厚度方向上延伸的导电通路构成部分以及用于使这些导电通路构成部分相互绝缘的绝缘部分，来构成第二各向异性导电板，应当仅在导电通路构成部分中包含导电粒子，以至于它应被不均匀地分散在平面方向上，并且所述导电通路构成部分应当从板的任一侧伸出。

而且，优选的是应当由多个在厚度方向上延伸的导电通路构成部分以及用于使这些导电通路构成部分相互绝缘的绝缘部分，来构成第三各向异性导电板，应当仅在导电通路构成部分中包含导电粒子，以至于它应被不均匀地分散在平面方向上，并且所述导电通路构成部分应当从板的任一侧伸出。

这样，对第二各向异性导电板和第三各向异性导电板使用分布不均型的各向异性导电板，其由导电通路构成部分和绝缘部分构成，并且其中导电粒子仅被包含在导电通路构成部分中并不均匀地分散平面方向上，并且导电通路构成部分从所述板的任一表面侧伸出。因此，通过按压检查夹具而产生的挤压力和冲击被吸收到这些板中。因此，有可能抑制在第一各向异性导电板中的损坏。

而且，本发明提供了一种使用上述用于检查电路板的设备来检查电路板的方法，

其中通过压力，在一对第一和第二检查夹具之间，借助于这两个检查夹具***作为检查目标的被检查电路板的两侧，从而进行电气检查。

通过这种结构，可以抑制各向异性导电板的局部损坏。因而，可以提高各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，以便可以提高检查工作的效率。

发明作用

依照本发明，即使作为检查目标的被检查电路板具有以小间距排列的精密电极，也有可能进行有高可靠性的电气检查。

附图说明

图1是用于解释一种依照本发明的检查设备的例子的截面图。

图2是表示在图1所示的检查设备的检查中使用的分层状况的截面图。

图3是表示在用于间距转换的板的电路板侧的表面的视图。

图4是表示在用于间距转换的板的管脚侧的表面的视图。

图5是表示第一各向异性导电板的部分截面图。

图6是表示第二各向异性导电板的部分截面图。

图7是表示其中第一各向异性导电板被层压在用于间距转换的板上的状况的截面图。

图8是表示第一各向异性导电板的部分截面图。

图9是表示其中图8中的第一各向异性导电板被层压在用于间距转换的板上的状况的截面图。

图10是用于解释一种制造第一各向异性导电板的处理的视图。

图11是表示在成型元件中的导电粒子的分布状况的视图。

图12是用于解释制造第一各向异性导电板的处理的视图。

图13是表示在磁场作用之后的导电粒子的分布状况的视图。

图14是表示中继管脚单元的截面图。

图15是表示在所述中继管脚单元中的一个导电管脚、一个中间支撑板以及一个绝缘板的一部分的截面图。

图16是表示一种将被执行直到在第一绝缘板和第二绝缘板之间提供导电管脚的处理的截面图。

图17是表示在所述中继管脚单元中的中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面的局部放大图。

图18是用于解释一种依照本发明的检查设备的例子的局部放大截面图。

图19是用于解释依照本发明的检查设备的例子的使用状况的局部放大截面图。

图20是用于解释依照本发明的检查设备中的中继管脚单元的使用状况的局部放大截面图。

图21是用于解释依照本发明的检查设备的例子的使用状况的局部放大截面图。

图22是用于解释依照本发明的检查设备的另一例子的与图18相同的截面图。

图23是表示图22中的中继管脚单元的放大截面图。

图24是表示依照本发明的另一例子，用于间距转换的板的电路板侧的表面的视图。

图25是表示在图24中的用于间距转换的板的管脚侧的表面的视图。

图26是表示其中第一各向异性导电板被层压在图24中的用于间距转换的板上的状况的截面图。

图27是用于解释在使用图24中的用于间距转换的板的例子中，一种依照本发明的检查设备的使用状况的局部放大截面图。

图28是表示一种用于检查电路板的传统设备的截面图。

符号解释

1被检查电路板

2被检查电极

3被检查电极

11a第一检查夹具

11b第二检查夹具

21a、21b电路板侧连接器

22a、22b第一各向异性导电板

23a、23b用于间距转换的板

24a、24b终端电极

25a、25b连接电极

26a、26b第二各向异性导电板

27a、27b用于电流的终端电极

28a、28b用于电压的终端电极

31a、31b中继管脚单元

32a、32b导电管脚

33a、33b第一支撑管脚

34a、34b第一绝缘板

35a、35b第二绝缘板

36a、36b中间支撑板

37a、37b第二支撑管脚

38A第一接合支撑位置

38B第二接合支撑位置

39a、39b支撑板支撑管脚

39A接合支撑位置

41a、41b测试器侧连接器

42a、42b第三各向异性导电板

43a、43b连接器板

44a、44b测试器侧电极

45a、45b管脚侧电极

46a、46b底板

47a、47b用于电流的管脚侧电极

48a、48b用于电压的管脚侧电极

49a、49b支撑管脚

51绝缘板

52导线

53内部导线

54绝缘层

55绝缘层

61板基材料

62导电粒子

63表面

64背面

71绝缘部分

72导电通路构成部分

73突出的部分

81a、81b终端

82中部

83a、83b通孔

84a、84b弯曲和支撑板

85通孔

86通孔

91加压滚轴

92支撑滚轴

93a、93b成型元件

94隔离物

95成型材料

96上表面

97下表面

98a、98b电磁铁

99a凹入部分

99b凸出部分

101被检查电路板

102被检查电极

111a上检查夹具

111b下检查夹具

121a、121b电路板侧连接器

122a、122b第一各向异性导电板

123a、123b用于间距转换的板

124a、124b终端电极

125a、125b连接电极

126a、126b第二各向异性导电板

131a、131b中继管脚单元

132a、132b导电管脚

134a、134b绝缘板

141a、141b测试器侧连接器

142a、142b第三各向异性导电板

143a、143b连接器板

144a、144b测试器侧电极

145a、145b管脚侧电极

146a、146b底板

A中间支撑板凸出表面

L1距离

L2距离

Q1对角线

Q2对角线

R1单元点阵区

R2单元点阵区

具体实施方式

下文将参照附图描述本发明的例子。在下文中，在其中整体引用一对在第一检查夹具和第二检查夹具(例如，电路板侧连接器21a和电路板侧连接器21b、第一各向异性导电板22a和第一各向异性导电板22b等等)中的相同元件的情况下，省略符号“a”和“b”(例如，第一各向异性导电板22a和第一各向异性导电板22b整体被称为“第一各向异性导电板22”)。

图1是表示一种依照本发明例子的检查设备的截面图，图2是表示在图1的所述检查设备的检查中的分层状况的截面图，图3是表示在用于间距转换的板中的被检查电路板侧的表面的视图，并且图4是表示在用于间距转换的板的中继管脚单元侧的表面的视图。

依照本例的检查设备通过测量作为检查目标的被检查电路板1(例如，用于装配集成电路等的印刷电路板)的被检查电极之间的电阻，用于进行电气检查。

在检查设备中，被检查电路板1具有在上表面侧提供的第一检查夹具11a和在下表面侧提供的第二检查夹具11b，其在纵向上相互相对，如图1和2所示。

第一检查夹具11a包括电路板侧连接器21a、中继管脚单元31a以及测试器侧连接器41a。电路板侧连接器21a由用于间距转换的板23以及在其两侧提供的第一各向异性导电板22a和第二各向异性导电板26a构成。测试器侧连接器41a由在中继管脚单元31a侧提供的第三各向异性导电板42a、连接器板43a以及底板46a构成。

第二检查夹具11b也是以与第一检查夹具11a相同的方式构成，并且包括电路板侧连接器21b、中继管脚单元31b以及测试器侧连接器41b。电路板侧连接器21b由用于间距转换的板23b以及在其两侧提供的第一各向异性导电板22b和第二各向异性导电板26b构成。测试器侧连接器41b由在中继管脚单元31b侧提供的第三各向异性导电板42b、连接器板43b以及底板46b构成。

在被检查电路板1的上表面上形成被检查电极2，并且还在其下表面上形成被检查电极3，并且将它们相互电气连接。

电路板侧连接器21a和21b包括用于间距转换的板23a和23b，以及在其两侧提供的第一各向异性导电板22a和22b和第二各向异性导电板26a和26b。图3是表示用于间距转换的板23在被检查电路板1侧的表面的视图，并且图4是表示在中继管脚单元31侧的表面的视图。

在用于间距转换的板23的表面之一，即被检查电路板1侧的表面上形成多个连接电极25以被电气连接到被检查电路板1的电极2和3，如图3所示。提供这些连接电极25以对应于在被检查电路板1中的被检查电极2和3的图形。

而另一方面，在用于间距转换的板23的另一表面，即被检查电路板1的相反侧的表面上形成多个终端电极24以被电气连接到中继管脚单元31的导电管脚32a和32b，如图4所示。以例如间距2.54毫米、1.8毫米、1.27毫米、1.06毫米、0.8毫米、0.75毫米、0.5毫米、0.45毫米、0.3毫米或0.2毫米的有规律间隔在格点中提供这些终端电极24，并且所述间距等于中继管脚单元的导电管脚32a和32b的排列间距。

通过导线52和在图7中的绝缘板51的厚度方向上贯穿的内部导线53，将图3中的各个连接电极25电气连接到图4中的对应终端电极24。

例如，在用于间距转换的板23的表面上提供的绝缘部分由绝缘层54构成，在该绝缘层54上，形成各个连接电极25以暴露到绝缘板51的表面，如图7所示，并且绝缘层54的厚度适宜为5至100μm并且最好为10至60μm。在厚度非常小的情况下，很难构成具有小表面粗糙度的绝缘层。而另一方面，在厚度非常大的情况下，很难进行连接电极25与第一各向异性导电板22的电气连接。

作为用于构成用于间距转换的板的绝缘板51的材料，有可能整体使用被用作印刷电路板的基材料的材料。更具体地说，所述材料可以包括聚酰亚胺树脂、玻璃纤维加强型聚酰亚胺树脂、玻璃纤维加强型环氧树脂、玻璃纤维加强型双马来酰亚胺三嗪树脂等等。

作为用于构成图7中的绝缘层54和55的材料，有可能使用可被成型为薄膜的聚合材料，特别地，可以包括例如环氧树脂、非循环树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、这些混合物、抗蚀材料等等。

例如，可以用下述方式来制造用于间距转换的板23。首先，在一个平绝缘板的两个表面上准备一个被层压的金属薄层的层压材料，并且对应于依照将形成的终端电极的图案，通过数字控制型钻孔设备、光刻法处理、激光加工处理等对层压材料形成多个在层压材料的厚度方向上贯穿的通孔。

接着，使在层压材料上形成的通孔的内部经受非电解电镀和电解电镀，以便在板的两侧形成连接到金属薄层的通孔。然后，使金属薄层经受光刻法处理，以便在绝缘板的表面上形成布线图和连接电极，并且此外，在对侧的表面上形成终端电极。

如图7所示，以暴露各个连接电极25这样的方式在绝缘板51的表面上形成绝缘层54，此外，以暴露各个终端电极24这样的方式在相对侧的表面上形成绝缘层55。因此，获得用于间距转换的板23。绝缘层55的厚度适宜为50至100μm并且最好为10至60μm。

在构成电路板侧连接器21并被层压在用于间距转换的电路板23上的第一各向异性导电板22中，如图5所示，大量导电粒子62在平面方向上分散在由绝缘弹性聚合物形成的板基材料61中，此外，被包含在厚度方向上排列的状态。

第一各向异性导电板22的厚度适宜为0.03至0.5毫米并且最好为0.05至0.2毫米。在第一各向异性导电板22的表面63粗糙的情况下，如图8所示，“第一各向异性导电板22的厚度”意味着从粗糙表面63的凹入部分到背面64(平面)的厚度(最小厚度)。

在第一各向异性导电板22的厚度小于0.03毫米的情况下，第一各向异性导电板22的机械强度很容易被减小以至于无法获得必需的耐用性。而另一方面，在第一各向异性导电板22的厚度大于0.5毫米的情况下，在厚度方向上的电阻很容易被增加。而且，被连接电极之间的间距很小的情况下，在通过加压形成的各个导电通路之间无法获得预定的绝缘性能，以至于在被检查电极之间引起电气短路并且很难电气检查被检查电路板。

构成第一各向异性导电板22的板基材料61的弹性聚合物质具有肖氏(durometer)硬度，其适宜为30至90，更适宜为35至80并且最好为40至70。

在本说明书中，“肖氏硬度”表示根据JIS K6253的肖氏硬度测试，由型号A硬度计进行的测量。在弹性聚合物质的肖氏硬度小于30的情况下，各向异性导电板被极大地压缩且变形，以至于在厚度方向上，在压力下产生大的永久变形。出于这一原因，各向异性导电板在早期被损坏以至于难以进行检查。因此，耐用性往往被降低。

而另一方面，在弹性聚合物质的肖氏硬度大于90的情况下，当在厚度方向按下各向异性导电板时，在厚度方向上的形变量变得不足。出于这一原因，无法获得极好的连接可靠性，以至于很容易产生连接失败。

磁性导电粒子通常被用作第一各向异性导电板22的导电粒子62。磁性导电粒子的数均粒子直径D₁适宜为3至50μm，更适宜为5至30μm，并且最好为8至20μm。

在本说明书中，“磁性导电粒子的数均粒子直径”意味由一种激光衍射和散射法进行的测量。

由于磁性导电粒子的数均粒子直径D₁等于或大于3μm，在获得的各向异性导电板中的包含磁性导电粒子的部分可被容易地加压和变形。而且，在磁性导电粒子在其制造过程中由一种磁场取向处理来定向的情况下，可被容易地定向。因此，获得的各向异性导电板具有高各向异性，导致在各向异性导电板的分离度(一种在横向上保持相互接近的电极之间电气绝缘、同时对各向异性导电板加压以实现在厚度方向上相互相对的电极之间导电的能力)中的改进。

而另一方面，磁性导电粒子的数均粒子直径D₁被设定为等于或小于50μm。因此，获得的各向异性导电板具有高的弹性并且可被容易地加压和变形。因此，可以提高对于小间距的精密电极的分离度(resolution)。

优选的是，在第一各向异性导电板22中的厚度W₁(μm)与磁性导电粒子的数均粒子直径D₁(μm)的比率W₁/D₁应当为1.1至10。

在比率W₁/D₁低于1.1的情况下，磁性导电粒子的直径等于或大于各向异性导电板的厚度。因此，降低了各向异性导电板的弹性。因此，当提供各向异性导电板以面朝在被检查电路板1例如印刷电路板中的被检查电极并且进行加压以实现接触导通状态时，被检查电路板1往往被损坏。

而另一方面，在比率W₁/D₁高于10的情况下，当提供各向异性导电板以面朝在被检查电路板1例如印刷电路板中的被检查电极并且进行加压以实现接触导通状态时，在被检查电路板1和用于间距转换的板23之间排列大量导电粒子以形成一个链。因此，有大量导电粒子的接触，很容易增加电阻值以至于很难用于电气检查。

在一种依照本发明的更好的方式中，如图8所示，第一各向异性导电板22在提供与被检查电路板1接触的一侧的表面63被设定为具有凹凸部分的粗糙面。而另一方面，在提供与用于间距转换的板23接触的一侧的背面64被设定为平面。以在第一各向异性导电板22的平面方向上分散的状态形成由导电粒子62构成的链，而不管在第一各向异性导电板22的表面63侧的粗糙面上的凸出部分和凹入部分的位置。

在提供与被检查电路板1接触的一侧的表面63(粗糙面)中的表面粗糙度适宜为0.5至5μm，并且最好为1至2μm。在本说明书中，“表面粗糙度”意味着根据JIS B0601的中心线粗糙度Ra。在表面粗糙度非常小的情况下，很难充分地控制在该表面中的粘附力。因此，各向异性导电板22在检查中由被检查电路板1拖动并偏移，或者在某些情况下，各向异性导电板22粘住被检查电路板1并从用于间距转换的板23中滑脱。而另一方面，在表面粗糙度非常大的情况下，很难进行与被检查电路板1的稳定的电气连接。

在提供与用于间距转换的板23接触的一侧的背面64中的表面粗糙度适宜等于或小于0.3μm，更适宜为0.005至0.2μm，并且最好为0.01至0.1μm。而且，在用于间距转换的板23的提供与各向异性导电板22接触的一侧的表面上的绝缘部分54(图3和9)中的表面粗糙度适宜等于或小于0.2μm，更适宜为0.001至0.1μm，并且最好为0.01至0.03μm。在这些表面上的表面粗糙度非常大的情况下，各向异性导电板22对用于间距转换的板23的粘附力不充分。出于这一原因，在电气检查中，很难阻止各向异性导电板22从用于间距转换的板23上移开。

尽管并不特别地限制任何构成在上述肖氏硬度范围之内的第一各向异性导电板22的基材料的弹性聚合物质，考虑到成型和处理属性和电气特性，最好使用硅橡胶。

此外，为获得构成第一各向异性导电板22的基材料的弹性聚合物质而适宜使用的硫化聚合材料的例子包括共轭二烯型橡胶例如聚丁二烯橡胶、天然橡胶、聚异戊二烯橡胶、苯乙烯-丁二烯共聚物橡胶或丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶及其加氢产物；块状共聚物橡胶例如苯乙烯-丁二烯-二烯块状三元共聚物橡胶或苯乙烯-异戊二烯块状共聚物及其加氢产物；以及氯丁二烯橡胶、聚氨酯橡胶、聚酯型橡胶、环氧氯丙烷橡胶、硅酮橡胶、乙烯-丙烯共聚物橡胶和乙烯-丙烯-二烯三元共聚物橡胶等等。

在各向异性导电板需要耐久性的情况下，最好使用除了共轭二烯型橡胶之外的材料。如上所述，优选的是从成型和处理属性以及电气特性的观点看，应当使用硅酮橡胶。对于硅酮橡胶，液体硅酮橡胶更适宜被交联或浓缩。在10^-1秒的剪切比例有10⁵泊的粘性的液体硅酮橡胶更适宜使用，并且可以是任意浓缩型、添加型以及包含乙烯基或羟基等的那些。具体例子包括二甲基硅酮生橡胶、甲乙烯硅酮生橡胶以及甲基苯基乙烯硅酮生橡胶等等。

在它们当中，通过对二甲基二氯甲硅烷或二甲基二硅氧烷在有二甲基乙烯基氯代硅烷或二甲基乙烯基硅氧烷的情况下进行水解和缩合反应，然后通过重复溶解和沉淀进行分馏，获得包含乙烯基(包含聚二甲基硅氧烷的乙烯基)的液体硅酮橡胶。

例如，通过对环硅氧烷例如八甲基环四硅氧烷在有催化剂的情况下并且使用二甲基二乙烯基硅氧烷作为聚合终端负载进行阴离子聚合，以正确地调节其它反应条件(例如环硅氧烷量和聚合终端负载量)，来获得在两个终端上包含乙烯基的液体硅酮橡胶。对于阴离子聚合的催化剂，有可能使用碱例如氢氧化四甲基铵和正丁基氢氧化磷、它们的硅醇盐溶液等。例如，反应温度为80至130℃。

通过对二甲基二氯甲硅烷或二甲基二硅氧烷在有二甲基氢氯代硅烷或二甲基氢硅氧烷的情况下进行水解和缩合反应，然后通过重复溶解和沉淀进行分馏，获得包含羟基(包含聚二甲基硅氧烷的羟基)的液体硅酮橡胶。而且，例如，还通过对环硅氧烷在有催化剂的情况下并且使用二甲基氢氯代硅烷、甲基二氢氯代硅烷、二甲基氢硅氧烷等作为聚合终端负载进行阴离子聚合，以正确地调节其它反应条件(例如环硅氧烷量和聚合终端负载量)，来获得相同的液体硅酮橡胶。对于阴离子聚合的催化剂，有可能使用碱例如氢氧化四甲基铵和正丁基氢氧化磷、它们的硅醇盐溶液等。例如，反应温度为80至130℃。

最好使用液体硅酮橡胶作为在150℃具有35％或更小的压缩形变的固化物质，因为提高了在各向异性导电板的厚度方向上的重复压缩中的耐用性。压缩形变最好等于或小于20％。

而且，最好使用液体硅酮橡胶作为在23℃具有7kN/m或更大的撕裂强度的固化物质，因为提高了在各向异性导电板的厚度方向上的重复压缩中的耐用性。撕裂强度最好等于或大于10kN/m。

有可能通过一种依照JIS K6249的方法，来测量液体硅酮橡胶固化物质的压缩形变和撕裂强度。

在硅酮橡胶被用作各向异性导电板22的基材料的情况下，优选的是分子量Mw(其表示根据标准聚苯乙烯确定的重均分子量)应当为10000至40000。而且，关于热阻，优选的是分子量分布指标(其表示根据标准聚苯乙烯确定的重均分子量Mw对根据标准聚苯乙烯确定的数均分子量Mn的比率Mw/Mn的值)应当等于或小于2。

可以使得用于获得作为各向异性导电板22的基材料的弹性聚合物质的聚合材料包含一种用于使其固化的固化催化剂。固化催化剂的例子包括有机过氧化物、含脂肪的偶氮化合物、氢化硅烷化催化剂等。

用作固化催化剂的有机过氧化物的例子包括过氧化苯甲酰、过氧化双二环苯甲酰、过氧化异丙苯、二特丁基过氧化物等。

用作固化催化剂的含脂肪的偶氮化合物包括例如偶氮二异丁腈等。

可用作氢化硅烷化反应催化剂的催化剂例子包括氯化铂及其盐、包含硅氧烷化合物的铂不饱和组、乙烯基硅氧烷和铂的化合物、铂和1、3-丁二烯四甲基二硅氧烷的化合物、三有机磷化氢或磷酸盐和铂的化合物、乙酰乙酸铂螯合物、环戊二烯类和铂的化合物等等。

尽管将使用的固化催化剂的量是考虑到固化催化剂将被加入的聚合材料的类型、固化催化剂的类型及其它固化处理条件而适当选择的，相对于聚合材料的100重量份数，它通常是3至15重量份数。

如有必要，可以使得用于获得作为各向异性导电板22的基材料的弹性聚合物质的聚合材料包含无机填料例如普通的石英粉、硅胶、硅气凝胶或矾土。通过包含无机填料，保持了用于获得各向异性导电板22的聚合材料(成型材料)的触变性质并且增加了其粘性。此外，可以提高导电粒子的分散稳定性，并且可以增加获得的各向异性导电板的强度。

并不特别地限制将使用的无机填料量。然而，如果大量使用无机材料，由于不良的磁场，不可能充分地定向导电粒子。

而且优选的是，板成型材料的粘性在25℃的温度下，应当从100000至1000000cp变动。

对于包含在第一各向异性导电板22的基材料中的导电粒子，通常使用表现出磁性的导电粒子，因为通过引起磁场起作用，它可被容易地定向以排列在板的厚度方向上。对于磁性导电粒子，饱和磁化适宜等于或大于0.1Wb/m²，更适宜等于或大于0.3Wb/m²，并且特别地最好等于或大于0.5Wb/m²，因为在用于形成各向异性导电板的板成型材料中，通过一种下文将描述的制造方法，磁性导电粒子在磁场的作用下可被容易地移动。

由于饱和磁化等于或大于0.1Wb/m²，在其制造过程中，在磁场的作用下，磁性导电粒子可被可靠地移动以产生所希望的取向状态。因此，当使用各向异性导电板时，有可能形成磁性导电粒子链。

磁性导电粒子的具体例子包括表现出磁性的金属粒子例如铁、镍或钴、它们的合金的粒子、包含这些金属的粒子、通过设置这些粒子作为核心粒子并且对核心粒子表面涂上高度导电金属而获得的合成粒子、非磁性金属粒子、无机物粒子例如玻璃珠、通过设置聚合物粒子作为核心粒子并且对核心粒子表面镀上高度导电金属而获得的合成粒子、通过对核心粒子同时涂上导电磁性材料和高度导电金属例如铁酸盐而获得的合成粒子或者金属互化物等等。

“高度导电金属”意味着在0℃，有5×10⁶Ω^-1m^-1或更大的电导率的金属。

特别地，对这种高度导电金属，有可能使用金、银、铑、铂、铬等。在它们当中，优选的是应当使用金，因为它在化学上稳定并且有高电导率。

在磁性导电粒子中，最好使用通过设置镍粒子作为核心粒子并且对其表面镀上高度导电金属例如金或银而获得的合成粒子。

尽管并不特别地限制用于对核心粒子表面涂上高度导电金属的方式，有可能使用例如一种非电解电镀法。

对于磁性导电粒子，数均粒子直径的差异系数适宜等于或小于50％，更适宜等于或小于40％，进一步适宜等于或小于30％，并且特别地最好等于或小于20％。

通过方程(σ/Dn)×100(σ表示粒子直径的标准偏差的值并且Dn表示粒子的数均粒子直径)，来计算“数均粒子直径的差异系数”。

由于磁性导电粒子的数均粒子直径有50％或更小的差异系数，降低了粒子直径的不相等度。因此，有可能减少在获得的各向异性导电板的导电中的部分变化。

这种磁性导电粒子可以通过按常规方法将金属材料改变为粒子或者准备市场上现有的金属粒子并对粒子进行分类处理来获得。

例如，可以借助于分类设备例如风力分类设备或声波筛选设备，来进行对粒子的分类处理。

而且，对应于想要的导电金属粒子的数均粒子直径、分类设备的类型等等，正确地设置分类处理的特定条件。

在使用通过对核心粒子表面涂上高度导电金属而获得的磁性导电粒子的情况下，在粒子表面上高度导电金属的涂敷率(导电金属的涂敷区域对核心粒子表面积的比率)适宜等于或大于40％，更适宜等于或大于45％，进一步更适宜47至95％，因为可以获得极好的传导性。

高度导电金属的涂敷量在重量上相对于核心粒子适宜为0.5至50％，更适宜为1至30％，更适宜为3至25％，并且特别地最好为4至20％。在涂敷的高度导电金属是金的情况下，涂敷量在重量上相对于核心粒子适宜为2至30％，更适宜为3至20％，并且进一步更适宜为3.5至17％。

尽管并不特别地限制磁性导电粒子的具体形状，它最好呈球、星或块的形状，其由通过絮凝初级粒子而获得的次级粒子构成，因为它可被容易地分散在用于形成作为第一各向异性导电板22的基材料的弹性聚合物质的聚合材料中。

还可能使用有经过偶合剂例如硅烷偶合剂处理的表面的磁性导电粒子。通过使用偶合剂处理磁性导电粒子的表面，增加了磁性导电粒子和弹性聚合基材料的粘附力。因而，有可能增加在获得的第一各向异性导电板22的重复使用中的耐用性。

可以使得第一各向异性导电板22在并不损坏弹性聚合物质的绝缘性能的这种范围之内包含抗静电剂。通过使得第一各向异性导电板22包含抗静电剂，有可能避免或抑制电荷在板表面上的存储。因此，有可能避免由在被检查电路板1的电气检查中的来自第一各向异性导电板22的电荷放电引起的缺点，并且此外，通过小得多的挤压力来获得极好的传导性。

例如，可以按照下述方式来制造第一各向异性导电板22。首先，准备一种液体成型材料，其通过在一种将固化成为弹性聚合物质的液体聚合材料中散布磁性导电粒子而获得。而且，如图10所示，准备一对由无磁性板构成的成型元件93a和93b。成型元件93b的成型表面具有开口，呈适合于想要的各向异性导电板22的平面形状的形状，并且提供一个厚度对应于所述开口厚度的框架形隔离物94。向隔离物94的开口中施加一个准备好的成型材料95，并且在成型材料95上提供另一成型元件93a以至于其成型表面接触所述成型材料95。

对于用作成型元件93a和93b的无磁性板，有可能使用由聚酰亚胺树脂、聚酯树脂、丙烯酸树脂等形成的树脂板。

在各向异性导电板22的任一表面经受如图8和9所示的表面粗糙化的情况下，成型元件93a的成型表面经受对应于所想要的各向异性导电板22的表面63中的表面粗糙度的表面粗糙化，如图11所示。例如，通过一种方法例如喷砂法或刻蚀法，在成型表面上形成凹入部分99a和凸出部分99b。所使用的另一成型元件93b有平坦的成型表面。

成型元件93a和93b的板厚度适宜为50至500μm并且更适宜为75至300μm。在厚度小于50μm的情况下，无法获得成型元件必需的强度。在厚度大于500μm的情况下，很难得到具有所希望的强度以在排列导电粒子时对成型材料起作用的磁场。

接着，如图10所示，借助于加压滚轴91和支撑滚轴92，通过压力支撑***其间的成型材料95中的成型元件93a和93b，从而设置成型材料有预定厚度。在该状态下，导电粒子62被均匀地散布在成型材料95中，如图11所示。

接着，如图12所示，例如，在成型元件93a和93b的背面提供一对电磁铁98a和98b，从而引起一个平行磁场以作用在成型材料95的厚度方向上。因此，散布在成型材料中的导电粒子62被定向以在厚度方向上排列，同时保持在平面方向上的分散状态，并且一个链由在平面方向的分散状态的多个在厚度方向上延伸的导电粒子62构成，如图13所示。

通过在该状态下固化成型材料，制造了第一各向异性导电板22，其中导电粒子以它们被定向而在厚度方向上排列并且在平面方向上分散的状态，被包含在弹性聚合物基材料中。

可以在保持平行磁场起作用的状态下或者在停止平行磁场的作用之后，进行用于固化成型材料的处理。优选的是对成型材料起作用的平行磁场的强度应当平均为0.02至1.5特斯拉。

作为引起对成型材料起作用的平行磁场的装置，可以使用永久磁铁来代替电磁铁。优选的是，永久磁铁应当由铝镍钴合金(铁-铝-镍-钴型合金)、铁酸盐等形成，因为可以获得平行磁场在范围之内的强度。

尽管用于固化成型材料的处理将根据所使用的材料，它通常由热处理来进行。考虑聚合材料等的类型、移动导电粒子所需的时间等等，正确地设置加热所需的具体加热温度和具体时间。

依照上述方法，无需对经受固化处理的各向异性导电板本身进行表面粗糙化，而是可以按照简单的过程来制造各向异性导电板，此外，有可能避免由执行后处理引起的对各向异性导电板的坏影响。

而且，具有经受表面粗糙化的成型表面的无磁性板被用作成型元件。因此，有可能使得具有均匀强度的磁场作用在相对于成型材料的平面方向上。更具体地说，在经受表面粗糙化的成型表面的凸出部分位置，并不形成具有与凹入部分位置的磁场相比更高强度的磁场。因此，并非有选择地在凸出部分位置上形成导电粒子链，而以分散状态在各向异性导电板的平面方向上形成。因此，还在各向异性导电板的粗糙面上的凸出部分位置上形成导电粒子链。因此，在仅对各向异性导电板的粗糙面上的凸出部分加压的状态下，可以在厚度方向上获得传导性。相应地，有可能获得一个通过小挤压力表现出高导电性的各向异性导电板。而且，通过使用无磁性板例如与成型元件一样的树脂板，与在使用昂贵的成型元件例如金属模型的情况下相比，有可能极大地减少制造成本。

通过导电通路构成部分72和用于隔开各个导电通路构成部分72的绝缘部分71，来构成一个在用于间距转换的板23的中继管脚单元31侧提供的第二各向异性导电板26，如图6所示，所述导电通路构成部分72通过在一个绝缘弹性聚合物材料的厚度方向上排列大量导电粒子62构成。这样，导电粒子62仅在导电通路构成部分72中被不均匀地分散在平面方向上。

导电通路构成部分72的厚度W₂适宜为0.1至2毫米并且更适宜为0.2至1.5毫米。在厚度W₂小于0.1毫米的情况下，在厚度方向上对加压的吸收能力很低，并且在检查中降低了检查夹具的压力吸收，以至于降低了减轻对电路板侧连接器21的冲击的效果。出于这一原因，难以抑制在第一各向异性导电板22中的损坏。因而，增加了在被检查电路板1的重复检查中第一各向异性导电板22的替换数量，以至于降低了检查效率。而另一方面，在厚度W₂大于2毫米的情况下，很容易增加在厚度方向的电阻以至于很难进行电气检查。

优选的是绝缘部分71的厚度应当基本上等于或小于导电通路构成部分72的厚度。如图6所示，绝缘部分71的厚度被设定为小于导电通路构成部分72的厚度，并且导电通路构成部分72形成从绝缘部分71上伸出的突出部分73。因此，承受着在厚度方向上的加压，很容易使导电通路构成部分72变形，并且增加了对加压力的吸收能力。因此，在检查中吸收了检查夹具的加压力，以至于可以减轻对电路板侧连接器21的冲击。

在使用磁性导电粒子作为构成第二各向异性导电板26的导电粒子62的情况下，数均粒子直径适宜为5至200μm，更适宜为5至150μm，并且进一步地最好为10至100μm。由一种激光衍射和散射法来测量“磁性导电粒子的数均粒子直径”。当磁性导电粒子的数均粒子直径等于或大于5μm时，可以容易地对各向异性导电板的导电通路构成部分加压并使其变形。而且，在制造过程中，由磁场取向处理来定向磁性导电粒子的情况下，可以很容易定向磁性导电粒子。当磁性导电粒子的数均粒子直径等于或小于200μm时，可以提高各向异性导电板的导电通路构成部分72的弹性，以至于可以容易地进行加压和形变。

优选的是，导电通路构成部分72的厚度W₂(μm)对磁性导电粒子的数均粒子直径D₂(m)的比率W₂/D₂应当为1.1至10。

在比率W₂/D₂小于1.1的情况下，磁性导电粒子的直径等于或大于导电通路构成部分72的厚度。因此，降低了导电通路构成部分72的弹性，以至于降低了在厚度方向上对加压力的吸收能力。出于这一原因，降低了在检查中消除对电路板侧连接器21的冲击的效果。因此，难以抑制在第一各向异性导电板22中的损坏。因而，增加了第一各向异性导电板22的替换数量，以至于在对被检查电路板1的重复检查中，很容易降低检查效率。

而另一方面，在比率W₂/D₂大于10的情况下，排列大量导电粒子以构成在导电通路构成部分72中的链，以至于出现了导电粒子的大量接触。因此，很容易增加电阻值。

关于作为导电通路构成部分72的基材料的弹性聚合物质，由型号A硬度计测量的肖氏硬度适宜为15至60，更适宜为20至50，并且进一步地最好为25至45。

在弹性聚合物质的肖氏硬度小于15的情况下，增加了板在厚度方向上的压力下的压缩和形变，以至于产生大的永久变形。因此，在早期使板的形状变形，以至于在检查中的电气连接很难进行。在弹性聚合物质的肖氏硬度大于60的情况下，降低了在厚度方向上的压力下的形变。因此，降低了在厚度方向上对按压压力的吸收能力。出于这一原因，难以抑制在第一各向异性导电板22中的损坏。因而，增加了第一各向异性导电板22的替换数量，以至于很容易降低在对被检查电路板1的重复检查中的检查效率。

尽管并不特别地限制表现出上述肖氏硬度的作为导电通路构成部分72的基材料的弹性聚合物质，就处理属性和电气特性而论，最好使用硅酮橡胶。

第二各向异性导电板26的绝缘部分71由一种基本上并不包含导电粒子的绝缘材料构成。对于所述绝缘材料，有可能使用例如绝缘聚合材料、无机材料、有经受绝缘处理的表面的金属材料等等。如果使用与用于导电通路构成部分中的弹性聚合物相同的材料，可以容易地进行生产。在弹性聚合物质被用作绝缘材料的材料的情况下，优选的是应当利用有在上述范围之内的肖氏硬度的弹性聚合物质。

关于磁性导电粒子，有可能使用用于上述第一各向异性导电板22中的磁性导电粒子。

例如，可以通过依照图10至13所示方法，来制造第二各向异性导电板26。首先，准备一个用于成型各向异性导电板的金属模型，所述各向异性导电板具有这种结构，其中每个完整形状几乎为板状并且由相互对应的一个上模型和一个下模型构成，以及可以加热并固化一个材料层填充在上模型和下模型之间的成型空间中，同时产生对材料层起作用的磁场。

在用于成型各向异性导电板的金属模型中，上模型和下模型均具有这种结构，以便有马赛克状的层，其中交替地提供由铁或镍形成的用于在金属模型的磁场中产生强度分布的铁磁性部分、和由非磁性金属例如铜或树脂形成的无磁性部分，以在由铁磁性物质例如铁或镍形成的衬底上彼此相邻，以便引起磁场对材料层起作用以在合适的位置上构成导电部分，并且依照对应于将形成的导电通路构成部分图案的图案来排列铁磁性部分。

上模型的成型表面是平的，并且下模型的成型表面有对应于将形成的各向异性导电板的导电通路构成部分的轻微的凹凸部分。

包含在将通过固化变成弹性聚合物质的聚合物质材料中表现出磁性的导电粒子的成型材料被注入用于成型各向异性导电板的金属模型的成型空间中，从而构成一个成型材料层。

接着，利用在每个上下模型中的铁磁性部分和无磁性部分，并且产生在其平面方向上有强度分布的磁场以对构成的成型材料层起作用。通过磁力的作用，导电粒子被收集在上模型中的铁磁性部分和位于其下的下模型中的铁磁性部分之间，并且被定向以排列在厚度方向上。在该状态中，使成型材料层经受固化处理。从而，制造了一个各向异性导电板，其具有多个柱状导电通路构成部分通过绝缘部分相互绝缘的这种结构。

而另一方面，测试器侧连接器41a和41b包括第三各向异性导电板42a和42b、连接器板43a和43b以及底板46a和46b，如图1所示。使用与上述第二各向异性导电板26相同的第三各向异性导电板42a和42b，并且由通过在绝缘弹性聚合物材料中的厚度方向上排列大量导电粒子形成的导电通路构成部分和用于相互隔开各个导电通路构成部分的绝缘部分构成，如图6所示。

连接器板43a和43b由绝缘板构成，并且具有在其表面上在中继管脚单元31侧形成的管脚侧电极45a和45b，如图1和2所示。

以例如2.54毫米、1.8毫米、1.27毫米、1.06毫米、0.8毫米、0.75毫米、0.5毫米、0.45毫米、0.3毫米或0.2毫米的某个间距在格点安放上这些管脚侧电极45，并且排列间距等于中继管脚单元31的导电管脚32的排列间距。

通过在绝缘板表面上形成的布线图和在其中形成的内部导线，将各个管脚侧电极45电气连接到测试器侧电极44a和44b。

中继管脚单元31具有大量在垂直方向上平行的以预定间距提供的导电管脚32a和32b，如图1、2、14(为了便于解释，图14表示中继管脚单元31a)和18所示。对于导电管脚32，使用圆柱形的金属管脚。

而且，中继管脚单元31在导电管脚32a和32b的每一个的两端侧提供，并且包括两个绝缘板，其具有用于***和支撑导电管脚32a和32b并被安放在被检查电路板1侧的第一绝缘板34a和34b和被安放在被检查电路板1侧的相对侧的第二绝缘板35a和35b。

而且，在中继管脚单元31中，在第一绝缘板34a和34b与第二绝缘板35a和35b之间提供中间支撑板36a和36b。

在第一绝缘板34a和34b与中间支撑板36a和36b之间提供第一支撑管脚33a和33b。从而，第一绝缘板34a和34b与中间支撑板36a和36b被相互固定。

相似地，在第二绝缘板35a和35b与中间支撑板36a和36b之间提供第二支撑管脚37a和37b。从而，第二绝缘板35a和35b与中间支撑板36a和36b被相互固定。

而且，在第一绝缘板34a和34b与第二绝缘板35a和35b之间提供弯曲和支撑板84a和84b。图15是表示中继管脚单元的导电管脚、中间支撑板以及绝缘板的一部分的截面图。如图所示，在弯曲和支撑板84上形成用于在其中***导电管脚32的通孔85。此外，弯曲和支撑板84配备有用于***元件以在轴向上穿过弯曲和支撑板84的通孔(未画出)，例如第一支撑管脚33、第二支撑管脚37等。

通过将在第一绝缘板34上形成的通孔83a和在第二绝缘板35上形成的通孔83b以及在弯曲和支撑板84上形成的通孔85设置为支点，以相互相反的方向横贯着按下导电管脚32，并且在弯曲和支撑板84的通孔85的位置中被弯曲。从而，在轴向上可移动地支撑导电管脚32。

中间支撑板36配备有一个具有增加的直径以便不与导电管脚32接触的通孔86，并且导电管脚32被***通孔86中。

以图16(a)至16(c)所示的过程在第一绝缘板34和第二绝缘板35上支撑导电管脚32。如图16(a)所示，其中提供弯曲和支撑板84在某个位置上，使在第一绝缘板34上形成的通孔83a和在第二绝缘板35上形成的通孔83b以及弯曲和支撑板84的通孔85在轴向上对准。

接着，如图16(b)所示，从第一绝缘板34的通孔83a经由弯曲和支撑板84的通孔85向第二绝缘板35的通孔83b***导电管脚32。

接着，如图16(c)所示，在垂直于导电管脚32的轴向的横向(水平方向)上移动弯曲和支撑板84，并且通过适当的方式例如螺钉固定，来固定弯曲和支撑板84的位置。例如，在水平方向上滑动并移动安装在适当基座上的弯曲和支撑板84，然后，将其固定到所述基座上。

从而，通过将第一绝缘板34的通孔83a和在第二绝缘板35上形成的通孔83b以及弯曲和支撑板84的通孔85设置为支点，以相互相反的方向横贯着按下导电管脚32，以便在所述弯曲和支撑板84的通孔85的位置被弯曲。从而，在轴向上可移动地支撑导电管脚32。

通过这种结构，可以在第一绝缘板34和第二绝缘板35之间支撑导电管脚32以便使其在轴向上可移动而不滑脱，并且此外，可以使用具有简单结构的柱形管脚作为导电管脚32。因此，有可能减少导电管脚32和用于支撑导电管脚32的元件的整体成本。

其中将安放弯曲和支撑板84的位置可以位于第一绝缘板34和中间支撑板36之间，如图1和2所示，此外，可以位于第二绝缘板35和中间支撑板36之间，如图14至16和图18至21所示。

而且，在各个中继管脚单元32a和32b中可以提供至少两个弯曲和支撑板84。在中继管脚单元31中提供了大量导电管脚32。出于这一原因，无法由一个弯曲和支撑板84支撑所有导电管脚32，一部分导电管脚32在某些情况下可能滑脱。在此情况下，当提供至少两个弯曲和支撑板84时，可以提高导电管脚32的支撑能力，以便可以可靠地支撑所有导电管脚。

在提供至少两个弯曲和支撑板84的情况下，可以在第一绝缘板34和中间支撑板36之间或者在第二绝缘板35和中间支撑板36之间安放多个弯曲和支撑板84。作为替代地，可以同时在第一绝缘板34和中间支撑板36之间以及第二绝缘板35和中间支撑板36之间的位置上安放弯曲和支撑板84。

导电管脚32长于第一绝缘板34的外表面和第二绝缘板35的外表面之间的间距，并且从第一绝缘板34和第二绝缘板35的至少之一向外部突出。

在中继管脚单元31中，以例如2.54毫米、1.8毫米、1.27毫米、1.06毫米、0.8毫米、0.75毫米、0.5毫米、0.45毫米、0.3毫米或0.2毫米的某个间距，在格点上提供大量导电管脚32。

通过设置在中继管脚单元31中的导电管脚32的排列间距等于在用于间距转换的板23上提供的终端电极24的排列间距，将用于间距转换的板23通过导电管脚32电气连接到测试器侧。

用于固定第一绝缘板34和中间支撑板36的第一支撑管脚33的材料和用于固定第二绝缘板35和中间支撑板36的第二支撑管脚37的材料未被特别地限制，但为金属例如黄铜或不锈钢。

尽管在第一绝缘板34和中间支撑板36之间的距离L1(参见图14)和在第二绝缘板35和中间支撑板36之间的距离L2未被特别地限制，它们适宜等于或大于2毫米，并且考虑到由下文将描述的第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35中的每一个的弹性导致的在被检查电路板1中的被检查电极2和3的高度变化的吸收，更适宜等于或大于2.5毫米。

如图17所示，在中间支撑板36的厚度方向上凸出所述检查设备的中间支撑板凸出表面A(从图1中的上半部分向下半部分)上，相互不同地放置第一支撑管脚33相对于中间支撑板36的第一接合支撑位置38A和第二支撑管脚37相对于中间支撑板36的第二接合支撑位置38B。

在本例中，并未特别地限制不同的位置。然而，优选的是，应当在中间支撑板凸出表面A上以点阵形成第一接合支撑位置38A和第二接合支撑位置38B，如图17所示。

更具体地说，如图17所示，在由四个在中间支撑板凸出表面A上相互接近的第一接合支撑位置38A构成的单元点阵区R1中提供一个第二接合支撑位置38B。而且，在由四个在中间支撑板凸出表面A上相互接近的第二接合支撑位置38B构成的单元点阵区R2中提供一个第一接合支撑位置38A。在图17中，第一接合支撑位置38A表示为一个黑圆圈并且第二接合支撑位置38B表示为一个白圆圈。

在本例中，将一个第二接合支撑位置38B安放在第一接合支撑位置38A的单元点阵区R1中的对角线Q1的中心，并且此外，将一个第一接合支撑位置38A安放在第二接合和支撑位置38B的单元点阵区R2中的对角线Q2的中心。然而，并未特别地限制这些相对位置，但最好在如上所述沿着中间支撑板的厚度方向凸出所述检查设备的中间支撑板凸出表面A上，相互不同地安放。更具体地说，在并未像点阵一样安放所述位置的情况下，并不限制这种相对位置关系。在如上所述沿着中间支撑板的厚度方向凸出所述检查设备的中间支撑板凸出表面A上，相互不同地安放所述位置是足够的。

而且，在本例中，在相互接近的第一接合支撑位置38A之间的距离和在相互接近的第二接合支撑位置38B之间的距离未被特别地限制，但适宜为10至100毫米，更适宜为12至70毫米并且特别地最好为15至50毫米。

使用有弹性的第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35。

第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35所需的弹性如下所示。

在间隔10厘米的支撑状态下、水平地提供第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35中的每一个的两端的情况下，优选的是由以50千克力的压力向下加压产生的弯曲应当等于或小于这些绝缘板的宽度的0.02％，并且应当防止由200千克力的压力向下加压所引起的损坏和永久形变。

更具体地说，对于第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35的材料，使用有例如1×10¹⁰Ω·cm或更大电阻率的绝缘材料，以及有高机械强度的树脂材料例如聚酰亚胺树脂、聚酯树脂、聚酰胺树脂、酚醛树脂、聚缩醛树脂、聚对苯二甲酸丁二酯树脂、聚对苯二甲酸乙二酯树脂、间同立构的聚苯乙烯树脂、聚苯硫树脂、聚醚甲乙酮树脂、氟树脂、聚醚硝酰树脂、聚醚砜树脂、聚烯丙基树脂或聚酰胺酰亚胺树脂，玻璃纤维型合成树脂材料例如玻璃纤维加强型环氧树脂、玻璃纤维加强型聚酯树脂、玻璃纤维加强型聚酰亚胺树脂、玻璃纤维加强型酚醛树脂或玻璃纤维加强型氟树脂，碳素纤维型合成树脂例如碳素纤维加强型环氧树脂、碳素纤维加强型聚酯树脂、碳素纤维加强型聚酰亚胺树脂、碳素纤维加强型酚醛树脂或碳素纤维加强型氟树脂，通过使用硅石、矾土、氮化硼等来填充环氧树脂、酚醛树脂等获得的合成树脂材料，通过在环氧树脂、酚醛树脂等中包含网孔而获得的合成树脂材料，及其它。而且，还可能使用通过层压多个由这些材料形成的板元件构成的复合板元件。

尽管第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35中的每一个的厚度是对应于构成第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35中的每一个的材料的类型而适当选择的，它理想地为例如1至10毫米。

特别地，第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35由玻璃纤维加强型环氧树脂形成，并且厚度为2至5毫米。

可以使用由与第一绝缘板34、中间支撑板36和第二绝缘板35中的每一个的绝缘材料相同的绝缘材料制造的弯曲和支撑板84。

在依照本例的有如图2所示的这种结构的检查设备中，通过借助于测试器的加压机制，以正常压力按下在最外侧提供的底板46a和46b，通过第一各向异性导电板22a和22b、用于间距转换的板23a和23b、第二各向异性导电板26a和26b、导电管脚32a和32b、第三各向异性导电板42a和42b以及连接器板43a和43b，将在被检查电路板1中的电极2和3电气连接到测试器(未画出)，并且进行在被检查电路板1的电极之间的电气检查例如测量电阻。

在测量中，来自在上下侧的第一检查夹具11a和第二检查夹具11b的用于按压被检查板的压力为例如100到250千克力。

参见图18至21(为方便起见，仅表示第二检查夹具11b)，将描述在通过压力在第一检查夹具11a和第二检查夹具11b之间***被检查电路板1的两侧的情况下，压力吸收功能和压力分散功能。

当通过压力在第一检查夹具11a和第二检查夹具11b之间***作为检查目标的被检查电路板1的两侧以进行电气检查时，压力可被中继管脚单元31b的导电管脚32b的运动和第一各向异性导电板22b、第二各向异性导电板26b和第三各向异性导电板42b的橡胶弹性压缩吸收，以便在被检查电路板1中的被检查电极的高度变化可在早期在某种程度上被吸收，其中每个元件被层压以在图18(图19)所示的状态下开始加压。

在沿着中间支撑板36b的厚度方向凸出的中间支撑板凸出表面A上，相互不同地放置第一支撑管脚33b相对于中间支撑板36b的第一接合支撑位置38A和第二支撑管脚37b相对于中间支撑板36b的第二接合支撑位置38B。因此，当压力在如图20的箭头所示的垂直方向上作用以便如图21所示在第一检查夹具11a和第二检查夹具11b之间进一步对作为检查目标的被检查电路板1加压时，通过除了第一各向异性导电板22b、第二各向异性导电板26b和第三各向异性导电板42b的橡胶弹性压缩之外的在中继管脚单元31b中的第一绝缘板34b、第二绝缘板35b和在第一绝缘板34b和第二绝缘板35b之间提供的中间支撑板36b的弹簧弹性，有可能分散压力密度，从而避免压力相对于在被检查电路板1中的被检查电极3的高度变化(例如，焊球电极的高度变化)引起的局部集中。

更具体地说，如图20和21所示，在第二绝缘板35b绕着第一支撑管脚33b相对于中间支撑板36b的第一接合支撑位置38A的方向上弯曲所述中间支撑板36b(参见图21中的单点链线围绕的部分E)，以及在第一绝缘板34b绕着第二支撑管脚37b相对于中间支撑板36b的第二接合支撑位置38B的方向上弯曲所述中间支撑板36b(参见图21中的单点链线围绕的部分D)。在本说明书中，“弯曲”和“弯曲方向”表示弯曲中间支撑板36以在凸出方向上和突出方向上突出。

这样，以相互相对的方向，绕着第一接合支撑位置38A和第二接合支撑位置38B弯曲中间支撑板36b。因此，当在第一检查夹具11a和第二检查夹具11b之间进一步对作为检查目标的被检查电路板1加压时，表现出更大的中间支撑板36b的弹簧弹力。

而且，如图21的单点链线围绕的部分B所示，第二各向异性导电板26b的导电通路构成部分的突出部分被压缩。从而，导电管脚32b的高度被吸收。然而，无法被突出部分的压缩所吸收的压力被加给第一绝缘板34b。

从而，如图21的单点链线围绕的部分C所示，还在某种程度上以相互相反的方向，在第一支撑管脚33b和第二支撑管脚37b的接合位置上，分别弯曲第一绝缘板34b和第二绝缘板35b。因此，当在第一检查夹具11a和第二检查夹具11b之间进一步对作为检查目标的被检查电路板1加压时，第一绝缘板34b和第二绝缘板35b中每一个表现出更大的弹簧弹力。

因此，可以保持稳定的电气接触，并且可以对在被检查电路板1中有高度变化的每个被检查电极进一步降低压力密度。因此，有可能抑制各向异性导电板的局部损坏。这样，有可能增强各向异性导电板的重复使用的耐用性。因此，可以减少各向异性导电板的替换数量，并且可以提高检查工作的效率。

图22是依照本发明的检查设备的另一例子的与图18相同的截面图(为方便起见，其仅表示一个第二检查夹具)，并且图23是表示中继管脚单元的放大的截面图。与上述例子中的元件的对应部分有相同的附图标记并且将省略其详细描述。

在依照本例的检查设备中，在第一绝缘板34b和第二绝缘板35b之间，以预定间隔相互分离地提供多个(在本例中为三个)中间支撑板36b，并且此外，在这些相互接近的中间支撑板36b之间安放支撑板支撑管脚39b。

在本例中，在至少一个中间支撑板36b中，在中间支撑板36b的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，必须相互不同地放置：一个相对于中间支撑板36b的一个表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置，以及相对于中间支撑板36b的另一表面侧与中间支撑板36b接合的第一支撑管脚33b、第二支撑管脚37b或支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置。

最好，在所有中间支撑板36b中，在中间支撑板36b的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板36b的一个表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置，以及相对于中间支撑板36b的另一表面侧与中间支撑板36b接合的第一支撑管脚33b、第二支撑管脚37b或支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置。

在本例中，在三个中间支撑板36b的上方那一个，在中间支撑板36b的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板36b的一个表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置39A，以及相对于中间支撑板36b的另一表面侧与中间支撑板36b接合的第一支撑管脚33b的接合支撑位置38A。

而且，在三个中间支撑板36b的中间那一个，在中间支撑板36b的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板36b的一个表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置39A，以及相对于中间支撑板36b的另一表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置39A。

而且，在三个中间支撑板36b的下方那一个，在中间支撑板36b的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板36b的一个表面侧与中间支撑板36b接合的支撑板支撑管脚39b的接合支撑位置39A，以及相对于中间支撑板36b的另一表面侧与中间支撑板36b接合的支撑管脚37b的接合支撑位置38B。

通过这种结构，由这些中间支撑板36b进一步表现了弹簧弹性，以至于对在被检查电路板1中的被检查电极3的高度变化，可以分散压力密度，并且可以进一步避免压力的局部集中。从而，可以抑制第一各向异性导电板22b的局部损坏。因而，可以提高第一各向异性导电板22b的重复使用的耐用性。因此，可以减少第一各向异性导电板22b的替换数量，以至于可以提高检查工作的效率。

中间支撑板36的数量最好为两个或更多，并且未被特别地限制。

而且，尽管在本例中，在第二绝缘板35和中间支撑板36之间提供一个用于支撑导电管脚32的弯曲和支撑板84，它可被在第一绝缘板34和中间支撑板36之间或者在两个中间支撑板36之间提供。

图24是表示依照本发明的检查设备的另一例子，在用于间距转换的板中的被检查电路板侧的表面的视图，并且图25是表示在用于间距转换的板中的中继管脚单元侧的表面的视图。而且，图26是表示其中第一各向异性导电板被层压在图24中的用于间距转换的板上的状况的截面图，并且图27是用于解释在使用图24中的用于间距转换的板的例子中，依照本发明的检查设备的使用状况的局部放大截面图。与实施例中的元件的对应部分有相同的附图标记，并且将省略其详细描述。

尽管依照本例的检查设备的结构基本上与上述例子中的结构相同，它更适合于测量被检查电极的电流和电压。更具体地说，如图24、26和27所示，用于间距转换的板23a和23b配备有连接电极25a和25b，其包括用于电流的终端电极27a和27b以及用于电压的终端电极28a和28b，并且连接器板43a和43b配备有用于电流的管脚侧电极47a和47b以及用于电压的管脚侧电极48a和48b。

以成对的用于电流的终端电极27a和用于电压的终端电极28a分别被电气连接到在被检查电路板1中的被检查电极2的这种方式，来提供用于间距转换的板23a的连接电极25a。以成对的用于电流的终端电极27b和用于电压的终端电极28b分别被电气连接到在被检查电路板1中的被检查电极3的这种方式，来提供用于间距转换的板23b的连接电极25b。

在连接器板43a中提供用于电流的管脚侧电极47a，以被电气连接到用于间距转换的板23a中的用于电流的终端电极27a，并且提供用于电压的管脚侧电极48a，以被电气连接到在用于间距转换的板23a中的用于电压的终端电极28a。在连接器板43b中提供用于电流的管脚侧电极47b，以被电气连接到在用于间距转换的板23b中的用于电流的终端电极27b，以及提供用于电压的管脚侧电极48b，以被电气连接到在用于间距转换的板23b中的用于电压的终端电极28b。

如图24所示，在用于间距转换的板23的表面之一，即在被检查电路板1侧的表面上，形成被电气连接到在被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)的多个连接电极25。对应于被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)的图案，安放这些连接电极25。

而且，由成对的用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28构成所述连接电极25，并且相对于被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)以预定间隔相互分离地提供，如图24、26和27所示。

用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28可以呈各种形状，例如矩形、圆形和三角形等。而且，希望由成对的用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28占用的区域应被安放在与由在被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)占用的区域几乎相同的区域中，以便减小测量误差。

而且，在用于间距转换的板23中，优选的是用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28之间的距离应当等于或大于10μm。在距离小于10μm的情况下，增加了通过第一各向异性导电板22a和22b在用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28之间的电流。从而，在某些情况下，很难以高精度测量电阻，并且不可能执行精确的电气特性检查。

而另一方面，用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28之间的距离的上限，由被检查电路板1中的被检查电极2和3的尺寸和间距以及用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28的尺寸来确定，并且未被特别地限制，并且通常等于或小于500μm。在距离非常大的情况下，很难相对于具有小尺寸的被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)，同时正确地安放用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28。

同时，在用于间距转换的板23的另一表面，即被检查电路板1的相反侧的表面上形成多个终端电极24以被电气连接到中继管脚单元31的导电管脚32，如图25所示。以2.54毫米、1.8毫米、1.27毫米、1.06毫米、0.8毫米、0.75毫米、0.5毫米、0.45毫米、0.3毫米或0.2毫米的等间距在格点中提供这些终端电极24，其中所述间距等于中继管脚单元31的导电管脚32的排列间距。

如图26所示，在图24中的各个连接电极25，即用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28，通过独立的导线52和在绝缘板51的厚度方向上贯穿的内部导线53，分别被电气连接到图25中的对应终端电极24。

而另一方面，在测试器侧连接器41的连接器板43的中继管脚单元31侧的表面上形成管脚侧电极45，如图24、25和27所示。这些管脚侧电极45由用于电流的管脚侧电极47和用于电压的管脚侧电极48构成，以便分别被电气连接到用于间距转换的板23的连接电极25，即用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28，如图27所示，并且被安放在与中继管脚单元31的导电管脚32的对应位置上。

在本例中，以例如2.54毫米、1.8毫米、1.27毫米、1.06毫米、0.8毫米、0.75毫米、0.5毫米、0.45毫米、0.3毫米或0.2毫米的等间距在格点上提供这些管脚侧电极45，并且排列间距等于中继管脚单元31的导电管脚32的排列间距。

通过在绝缘板表面上形成的布线图和在其中形成的内部导线，将各个管脚侧电极45电气连接到测试器侧电极44。

尽管管脚侧电极45呈现为在本例中的管脚的形状，管脚侧电极45的形状并不局限于该管脚，而可以进行各种改变，例如可以应用扁平的电极。

如图2和27所示，在依照本例的如此构成的检查设备中，通过借助于测试器的加压机制，以正常压力按下在最外侧提供的底板46a和46b，通过第一各向异性导电板22a和22b、用于间距转换的板23a和23b、第二各向异性导电板26a和26b、导电管脚32a和32b、第三各向异性导电板42a和42b以及连接器板43a和43b，将在被检查电路板1中的电极2和电极3电气连接到测试器(未画出)，并且进行在被检查电路板1的电极之间的电气检查，例如测量电阻。

在本例中，如图27所示，用于间距转换的板23上的被检查电路板1侧的成对的用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28，通过第一各向异性导电板22，被电气连接到在被检查电路板1中的被检查电极2(被检查电极3)。

从用于间距转换的板23上的被检查电路板1侧的成对的用于电流的终端电极27和用于电压的终端电极28，通过在用于间距转换的板23上的被检查电路板1的相对侧的终端电极24、第二各向异性导电板26、中继管脚单元31的导电管脚32以及第三各向异性导电板42，所述用于间距转换的板23上的用于电流的终端电极27被电气连接到在连接器板43上的用于电流的管脚侧电极47，并且所述用于间距转换的板23上的用于电压的终端电极28被电气连接到在连接器板43上的用于电压的终端电极48。

从而，如图27所示，对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，通过在用于间距转换的板23a和23b上的用于电流的终端电极27a和27b构成一个电流测量通路I。而另一方面，对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，通过在用于间距转换的板23a和23b上的用于电压的终端电极28a和28b构成一个电压测量通路V。

相应地，对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，来自在被检查电路板1中的被检查电极2和3的电流借助于通过在用于间距转换的板23a和23b中的用于电流的终端电极27a和27b的电流测量通路I来测量，同时通过在用于间距转换的板23a和23b中的用于电压的终端电极28a和28b，电压被施加给电压测量通路V。从而，有可能进行关于被检查电路板1的布线图是否有预定性能的电气特性的确认测试。

相反，对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，施加给被检查电路板1中的被检查电极2和3的电压借助于通过在用于间距转换的板23a和23b中的用于电压的终端电极28a和28b的电压测量通路V来测量，同时通过在用于间距转换的板23a和23b中的用于电流的终端电极27a和27b，电流被提供给电流测量通路I。从而，有可能进行关于被检查电路板1的布线图是否有预定性能的电气特性的确认测试。

这样，对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，有可能通过分别提供的电压测量通路V和电流测量通路I，分别测量电压和电流。从而，有可能进行关于被检查电路板的布线图是否有预定性能的精确的电气特性的确认测试。此外，有可能快速执行确认测试。

而且，对于在被检查电路板1中的被检查电路，有可能测量电压同时提供电流。因此，在与用于决定传统检查设备中的传导阻抗值的质量的设置电压相比较低的设置电压下，有可能稳定地测量在被检查电路板1中的被检查电路的传导阻抗值。

更具体地说，如高精度检查所要求的，必须以低设置电压来决定电路质量。然而，根据依照本实施例的检查设备，有潜在电气瑕疵的被检查电路板可被确定为有瑕疵的产品，并且可被以高概率排除。从而，有可能以高可靠性执行电路板的确认测试。

对于在被检查电路板1中的被检查电极2和3，通过用于间距转换的板23a和23b中的用于电流的终端电极27a和27b，将电流提供给电流测量通路I，同时通过使用一个例如恒定电压设备，通过在用于间距转换的板23a和23b中的用于电压的终端电极28a和28b，将恒定电压施加给电压测量通路V，并且来自在被检查电路板1中的被检查电极2和3的电流借助于电流表来测量。从而，还可能进行关于被检查电路板1的布线图是否有预定性能的电气特性的确认测试。

尽管上文描述了本发明的例子，本发明并不局限于这些例子，而可以进行各种改变、变化和修改而不背离其范围。

例如，被检查电路板1可以是半导体集成电路设备例如封装IC、MCM或CSP或在晶片上形成的电路设备以及印刷电路板。而且，印刷电路板可以是单面印刷电路板而不是双面印刷电路板。

第一检查夹具11a和第二检查夹具11b并不需要总是彼此相同，而可以在使用的材料、元件结构等方面相互不同。此外，第一检查夹具11a和第二检查夹具11b并不需要总是垂直地提供。

而且，可以通过层压电路板(例如连接器板和各向异性导电板)来构成测试器侧连接器。

此外，如图1、2、18、19、21和22所示，可以在测试器侧连接器41中的连接器板43和底板46之间提供支撑管脚49。通过这些支撑管脚49，还可能以与由第一支撑管脚33和第二支撑管脚37(在图22中，第一支撑管脚33、第二支撑管脚37以及支撑板支撑管脚39)提供的功能相同的方式，提供分散表面压力的功能。为了提供分散表面压力的功能，优选的是支撑管脚49的位置和第二支撑管脚37的位置应被以使它们在平面方向上相互不同(即，支撑管脚49a的位置和第二支撑管脚37a的位置，以及支撑管脚49b的位置和第二支撑管脚37b的位置在平面方向上相互偏移)的方式来放置。

下文将描述依照本发明的例子和比较例子。

[例1]

制造了一种电路板检查设备，以检查图1所示的下述用于评估的电路板，所述检查设备被配置为轨道传输型电路板自动检查机(由Nidec Read Corporation制造，商品名：STARREC V5)的***分。

(1)用于评估的电路板1

准备具有下述规格的用于评估的电路板1。

尺寸：100毫米(长)×100毫米(宽)×0.8毫米(厚)

在上表面侧上的被检查电极的数量：7312

在上表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在上表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

在下表面侧上的被检查电极的数量：3784

在下表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在下表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

(2)第一各向异性导电板22

制造下述第一各向异性导电板，其中导电粒子排列在厚度方向上并且均匀地分散在平面方向上。

尺寸：110毫米×110毫米，厚度0.1毫米

导电粒子：材料：经受镀金处理的镍粒子，平均粒子直径：20μm，成分：18体积％

弹性聚合物质：材料：硅酮橡胶，硬度：40

(3)用于间距转换的板23

总共形成7312个直径为0.2毫米并且在层压材料(由MatsushitaElectric Works，Ltd.制造，商品名：R-1766)的厚度方向上贯穿的圆形通孔，其是通过借助于在层压材料上的数控型钻孔设备，提供由厚度为18μm的铜分别在一个由玻璃纤维加强型环氧树脂形成的绝缘板的所有两侧上形成的金属薄膜而获得的。

接着，通过使用EDTA型镀铜溶液，配备有通孔的层压材料经受非电解电镀处理，从而在每一个通孔的内壁上形成镀铜层，并且此外，通过使用硫酸铜电镀液，经受电解铜电镀处理，从而在每一个通孔中形成厚度约为10μm的与层压材料表面上的所述金属薄层相互电气连接的圆柱形通孔。

然后，在层压材料表面的金属薄层上层压一个厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)以形成一个抗蚀层，并且此外，在层压材料另一表面侧的金属薄层上安放一个保护封条。在抗蚀层上安放光掩膜，并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，然后，进行显影处理，从而形成一个用于蚀刻的抗蚀图案。使在具有抗蚀图案形成在其表面上的金属薄层经受蚀刻处理，从而在绝缘板的表面上，形成7312个直径为200μm的连接电极和宽度为100μm的布线图部分以将每一个连接电极电气连接到通孔，并且此后移去抗蚀图案。

在具有连接电极和布线图部分形成在其上的绝缘板表面上层压一个厚度为25μm的干膜阻焊剂(由Hitachi Chemical Co.，Ltd.制造，商品名：SR-2300G)，从而形成一个绝缘层，并且在绝缘层上提供一个光掩膜并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该绝缘层经受曝光处理，然后，进行显影处理。这样，形成了7312个直径为200μm的开口，从其上暴露各个连接电极。通过使用硫酸铜电镀液，利用在层压材料的另一表面侧的金属薄层作为公共电极，使各个连接电极经受电解铜电镀处理。这样，形成了7312个从绝缘层的表面突出的连接电极。

接着，移去在层压材料的另一表面侧的金属薄层上提供的保护封条，并且在同一表面的金属薄膜上层压所述厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)，从而形成一个抗蚀层。然后，在抗蚀层上安放光掩膜并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，并且此后进行显影处理，从而在层压材料中的金属薄层上形成用于蚀刻的抗蚀图案。接着，进行蚀刻处理以形成7312个终端电极和布线图部分以将每一个所述终端电极电气连接到在绝缘板背面的通孔，并且移去所述抗蚀图案。

然后，层压一个厚度为38μm的干膜阻焊剂(由Nichigo-MortonCo.，Ltd.制造，商品名：Confomask 2015)，以在具有终端电极和布线图部分形成在其上的绝缘板背面形成一个绝缘层，并且在绝缘层上安放光掩膜，并且此后通过使用平行光线暴露机(由ORCSEISAKUSHO制造)，使该绝缘层经受曝光处理，接着，进行显影处理。这样，形成了7312个直径为0.4毫米的开口，从其上电极被暴露。

如上所述，制造了用于第一检查夹具11a的用于间距转换的板23a。在用于间距转换的板23a中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极的绝缘层表面暴露部分的直径大约为300μm，从连接电极的绝缘层表面突出高度大约为25μm，连接电极的最小排列间距为0.4毫米，终端电极的直径为0.4毫米，终端电极的排列间距为0.75毫米，并且在具有连接电极形成在其上的表面侧的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

而且，以与上述相同的方法，制造用于第二检查夹具11b的用于间距转换的板23b，其在表面上有3784个连接电极并且在背面上有3784个终端电极。在用于间距转换的板23b中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极的绝缘层表面暴露部分的直径大约为300μm，从连接电极的绝缘层表面突出高度大约为25μm，连接电极的最小排列间距为0.4毫米，终端电极的直径为0.4毫米，终端电极的排列间距为0.75毫米，并且在表面(具有连接电极形成在其上的表面)侧上的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

(4)电路板侧连接器21

将第一各向异性导电板22安放在用于间距转换的板23的表面侧上，并且将第二各向异性导电板26(其由包括大量在厚度方向上延伸的导电通路构成部分和用于使它们相互绝缘的绝缘部分并且使所述导电通路构成部分从任一表面突出的分布不均型各向异性导电板形成)安放在背面侧上，从而构成电路板侧连接器21。

安放在用于间距转换的板23和中继管脚单元31之间的第二各向异性导电板26呈图6所示的形状。更具体地说，使用下述结构。

[第二各向异性导电板26]

尺寸：110毫米×150毫米

导电通路构成部分的厚度：0.6毫米

导电通路构成部分的外径：0.35毫米

导电通路构成部分的突出高度：0.05毫米

导电粒子：材料：经受镀金处理的镍粒子，平均粒子直径：35μm，在导电通路构成部分中的导电粒子的成分：30体积％

弹性聚合物质：材料：硅酮橡胶，硬度：30

(W₂/D₂＝17)

(5)中继管脚单元31

关于第一绝缘板34、中间支撑板36、第二绝缘板35以及弯曲和支撑板84的材料，使用电阻率为1×10¹⁰Ω·cm或更大的绝缘材料和由玻璃纤维加强型环氧树脂形成并且厚度为1.9毫米的材料。

如图14所示，借助于第一支撑管脚33(直径为2毫米并且长度为36.3毫米)以及第二支撑管脚37(直径为2毫米并且长度为3毫米)，以在第一绝缘板34和中间支撑板36之间的距离L1为36.3毫米并且在第二绝缘板35和中间支撑板36之间的距离L2为3毫米这样的方式，固定并支撑第一绝缘板34、中间支撑板36以及第二绝缘板35，并且此外，在中间支撑板36和第一绝缘板34之间提供弯曲和支撑板84。

在弯曲和支撑板84的预定位置上，提供使得导电管脚32贯穿在其中并且直径为0.5毫米的通孔85，并且使得第一支撑管脚33贯穿在其中并且直径为4毫米的所述通孔被提供在其上的预定位置上。

使第一支撑管脚33穿过弯曲和支撑板84的通孔85，以至于可以在中间支撑板36和第一绝缘板34之间在垂直方向上移动弯曲和支撑板84，并且此外，还可以在中继管脚单元31中在水平方向上移动。

然后，在第一绝缘板34和第二绝缘板35之间***有下述结构的导电管脚32，如图16(b)所示。此后，在水平方向上移动弯曲和支撑板84以弯曲导电管脚32，并且在该位置上固定所述弯曲和支撑板84，以在轴向上可移动地支撑导电管脚32。

在第一绝缘板34和第二绝缘板35上形成的通孔83a和83b的直径为0.5毫米，并且中间支撑板36的通孔86的直径为0.55毫米。

[导电管脚]

材料：磷青铜

直径：0.45毫米

全长：45.2毫米

以点阵排列第一支撑管脚33相对于中间支撑板36的第一接合支撑位置38A和第二支撑管脚37相对于中间支撑板36的第二接合支撑位置38B，如图17所示。在相互接近的第一接合支撑位置38A之间的距离和在相互接近的第二接合支撑位置38B之间的距离被设置为17.5毫米。

(6)测试器侧连接器41

由第三各向异性导电板42、连接器板43以及底板46构成测试器侧连接器41，如图1所示。所使用的第三各向异性导电板42与上述第二各向异性导电板26相同。

[性能测试]

(1)最小按压压力的测量

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的***分，并且为检查设备准备的用于评估的电路板1被设置为在100至250千克力的范围内，步进式地改变轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的按压压力，并且测量向用于评估的电路板1中用于检查的电极施加1毫安电流时的被检查电极的传导阻抗值，对每个按压压力条件估计10次。

有100Ω或更大的测量的传导阻抗值的检查点(以下简称“NG检查点”)被确定为传导故障，并计算NG检查点在总检查点中的比率(以下简称“NG检查点率”)并且有0.01％或更小NG检查点率的最小按压压力被设置为最小按压压力。

在传导阻抗值的测量中，完成传导阻抗值的测量，然后，释放与该测量相关的按压压力以使检查设备回到未加压状态，并且通过使具有预定大小的按压压力再次起作用，进行传导阻抗值的下一个测量。

更具体地说，用于评估的电路板1的上表面上的被检查电极的数量为7312，并且在下表面上的被检查电极的数量为3784，并且对每个按压压力条件进行10次测量。因此，NG检查点率表示NG检查点占110960个检查点的比率，其由方程(7312+3784)×10＝110960来计算。

在本例中，“最小按压压力很低”意味着可以以低按压压力来进行被检查电路板的电气检查。在检查设备中，如果检查中的加压压力可被设置为低，有可能避免被检查电路板、各向异性导电板以及用于检查的电路板由检查中的加压压力所引起的损坏，并且此外，有可能使用一种有低耐用强度的元件作为构成检查设备的元件。从而，检查设备的结构可被简化为紧密的。因而，有可能实现在检查设备的耐用性中的改进以及在检查设备的制造成本中的减少，这是更可取的。

(2)各向异性导电板的耐用性测量

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机″STARREC V5″的***分，并且为检查设备准备的用于评估的电路板1被设置为重复用于在轨道传输型电路板自动检查机“STARRECV5”的按压压力为130千克力的条件下，以预定次数进行加压的工作，然后测量在向一个用于检查的电极施加1毫安电流中的传导阻抗值，对用于评估的电路板1中的被检查电极的130千克力的按压压力条件下测量10次，以预定次数进行加压，并且以相同的方式测量10次所述传导阻抗值。

有100Ω或更大的测量的传导阻抗值的检查点(NG检查点)被确定为传导故障，并且计算NG检查点在总检查点中的比率(NG检查点率)。

接着，在如上所述的相同条件下，除了在检查设备中的各向异性导电板被替换为新的并且按压压力条件被改为150千克力之外，以预定次数进行加压，并且接着，用如上所述的相同方法，除了按压压力条件被设置为150千克力之外，计算NG检查点率。

在与各向异性导电板的耐用性相关的传导阻抗值的测量中，完成传导阻抗值的测量，然后，释放与该测量相关的按压压力以使检查设备回到未加压状态，并且通过引起有预定大小的按压压力再次起作用，进行传导阻抗值的下一个测量。

更具体地说，在用于评估的电路板1的上表面上的被检查电极的数量为7312，并且在下表面上的被检查电极的数量为3784，并且对每个按压数量条件进行10次测量。因此，NG检查点率表示NG检查点占110960个检查点的比率，其由方程(7312+3784)×10＝110960来计算。

在本例中，在检查设备中，实际上要求NG检查点率等于或低于0.01％。在NG检查点率高于0.01％的情况下，获得作为合格品的被检查电路板被确定为有瑕疵的产品的错误的检查结果。出于这一原因，有可能不能以高可靠性对电路板进行电气检查。

[比较例子1]

替代于中继管脚单元31，使用图28所示的中继管脚单元131a和131b。更具体地说，提供了以某个间距(2.54毫米的间距)在格点上排列的大量导电管脚132a和132b(8000个管脚)，以及一对用于在垂直方向上可移动地支撑导电管脚132a和132b的绝缘板134a和134b。其它被设置为有与例1相同的结构并且如此制造检查设备。

参照所制造的用于比较的检查设备，各向异性导电板的最小按压压力和耐用性通过与例1中的相同方法来测量。最小按压压力的测量结果如表1所示，并且各向异性导电板的耐用性的测量结果如表2所示。

[表1]

	NG检查点率(％)						最小按压压力(千克力)
								按压压力(千克力)	100	110	130	150	180	210
例1	1.9	0.01	0	0	0	0									130
							比较例子1	3.3	2.1	0.5	0	0	0	150

[表2]

		NG检查点率(％)
							按压数量(次数)		1	1000	5000	10000	30000
例1	按压压力130千克力	0	0	0	0	0.3
							按压压力150千克力	0	0	0	0.02	0.4
	比较例子1	按压压力150千克力	0	0	0.12	0.35							2.0
按压压力180千克力							0	0.05	0.21	0.28	2.5

从表1和2显而易见，根据依照本发明的检查设备，最小按压压力还是很小，并且还显著地提高了各向异性导电板的耐用性。

[例子2]

在下文中，表面粗糙度具有通过根据JIS B0601，在截止值为0.8毫米并且测量的长度为0.25毫米的条件下，使用由Zygo公司制造的三维表面结构分析显微镜“New View 200”测量中心平均粗糙度Ra而获得的值。

(用于评估的电路板)

准备具有下述规格的用于评估的电路板。

尺寸：100毫米(长)×100毫米(宽)×0.8毫米(厚)

在上表面侧上的被检查电极的数量：7312

在上表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在上表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

在下表面侧上的被检查电极的数量：3784

在下表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在下表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

制造了一种检查设备，以检查上述的用于评估的电路板，所述检查设备被配置为轨道传输型电路板自动检查机的***分(由NidecRead Corporation制造，商品名：STARREC V5)。

(1)第一各向异性导电板22

以相等的比率混合两份添加型液体硅酮橡胶的A和B溶液。将平均粒子直径为20μm的100重量份数的导电粒子加给100重量份数的混合物并将它们混合，然后，以减压进行抽气处理以准备成型材料。

关于所使用的添加型液体硅酮橡胶，A和B溶液分别有500P的粘性，固化成品(通过依照JIS K 6249的测量方法)在150℃的压缩形变为6％，并且(通过依照JIS K 6249的测量方法)在23℃的撕裂强度为25kN/m。

使用通过将镍粒子设置为核心粒子并在核心粒子上进行非电解镀金而获得的导电粒子(平均涂敷量：按重量相对于核心粒子重量的5％的量)。

将配备有120毫米×200毫米的矩形开口并且厚度为0.08毫米的框架形隔离物安放在成型元件之一的成型表面上，然后，将准备的成型材料施加到隔离物的开口中，并且以另一成型元件的成型表面与成型材料接触这样的方式在成型材料上安放另一成型元件。

关于成型元件之一，厚度为0.1毫米的聚酯树脂板(由TORAYCO.，LTD.制造，商品名“Mattlemirror S10”)的(表面粗糙度为1μm的)无光表面被设置为成型表面。关于另一成型元件，厚度为0.1毫米的聚酯树脂板(由TORAY CO.，LTD.制造，商品名“MattlemirrorS10”)的(表面粗糙度为0.04μm)的光滑表面被设置为成型表面。

接着，通过使用包括加压滚轴和支撑滚轴的加压滚轴设备，在这些成型元件之间***成型材料，并且成型材料的厚度被设置为0.08毫米。

在每个成型元件的背面上安放电磁铁，并且使成型材料在120℃的条件下经受30分钟的固化处理，同时在成型材料的厚度方向上向其施加0.3T的平行磁场。这样，制造了厚度为0.1毫米的矩形各向异性导电板。

在如此获得的各向异性导电板中，在其表面之一上的表面粗糙度为1.4μm，在另一表面上的表面粗糙度为0.12μm，并且导电粒子在体积分数中的比率为12％。各向异性导电弹性板被假定为“各向异性导电板(a)”。

(2)用于间距转换的板23

总共形成7312个直径为0.2毫米并且在层压材料(由MatsushitaElectric Works，Ltd.制造，商品名：R-1766)的厚度方向上贯穿的圆形通孔，其是通过借助于在层压材料上的数控型钻孔设备，提供由厚度为18μm的铜分别在一个由玻璃纤维加强型环氧树脂形成的绝缘板的所有两侧上形成的金属薄膜而获得的。

接着，通过使用EDTA型镀铜溶液，使配备有通孔的层压材料经受非电解电镀处理，从而在每一个通孔的内壁上形成一个镀铜层，并且此外，通过使用硫酸铜电镀液，经受电解铜电镀处理，从而在每一个通孔中形成厚度约为10μm的与层压材料表面上的金属薄层相互电气连接的圆柱形通孔。

然后，在层压材料表面的金属薄层上层压一个厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)以形成一个抗蚀层，并且此外，在层压材料另一表面侧的金属薄层上安放一个保护封条。在抗蚀层上安放光掩膜，并且通过使用一个平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，然后，进行显影处理，从而形成用于蚀刻的抗蚀图案。使具有抗蚀图案形成在其上的表面上的金属薄层经受蚀刻处理，从而在绝缘板的表面上，形成7312个直径为200μm的连接电极和宽度为100μm的布线图部分以将每一个连接电极电气连接到通孔并且此后移去所述抗蚀图案。

在具有连接电极和布线图部分形成在其上的绝缘板表面上层压一个厚度为25μm的干膜阻焊剂(由Hitachi Chemical Co.，Ltd.制造，商品名：SR-2300G)，从而形成一个绝缘层，并且在绝缘层上提供一个光掩膜并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该绝缘层经受曝光处理，然后，进行显影处理。这样，形成了7312个直径为200μm的开口，从其上暴露各个连接电极。通过使用硫酸铜电镀液，利用在层压材料的另一表面侧的金属薄层作为公共电极，使各个连接电极经受电解铜电镀处理。这样，形成了7312个从绝缘层的表面突出的连接电极。

接着，移去在层压材料的另一表面侧的金属薄层上提供的保护封条，并且在同一表面的金属薄膜上层压所述厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)，从而形成一个抗蚀层。然后，在抗蚀层上安放光掩膜并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，并且此后进行显影处理，从而在层压材料中的金属薄层上形成用于蚀刻的抗蚀图案。接着，进行蚀刻处理以形成7312个终端电极和布线图部分以将每一个终端电极电气连接到在绝缘板背面的通孔，并且移去抗蚀图案。

然后，层压一个厚度为38μm的干膜阻焊剂(由Nichigo-MortonCo.，Ltd.制造，商品名：Confomask 2015)，以在具有终端电极和布线图部分形成在其上的绝缘板背面形成一个绝缘层，并且在绝缘层上安放光掩膜，并且此后通过使用平行光线暴露机(由ORCSEISAKUSHO制造)，使该绝缘层经受曝光处理，接着，进行显影处理。这样，形成了7312个直径为0.4毫米的开口，从其上电极被暴露。

如上所述，制造了用于第一检查夹具11a的用于间距转换的板23a。在用于间距转换的板23a中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极的绝缘层表面暴露部分的直径大约为300μm，从连接电极的绝缘层表面突出高度大约为25μm，连接电极的最小排列间距为0.4毫米，终端电极的直径为0.4毫米，终端电极的排列间距为0.75毫米，并且在具有连接电极形成在其上的表面侧的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

而且，以与上述相同的方法，制造用于第二检查夹具11b的用于间距转换的板23b，其在表面上有3784个连接电极并且在背面上有3784个终端电极。在用于间距转换的板23b中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极的绝缘层表面暴露部分的直径大约为300μm，从连接电极的绝缘层表面突出高度大约为25μm，连接电极的最小排列间距为0.4毫米，终端电极的直径为0.4毫米，终端电极的排列间距为0.75毫米，并且在表面(具有连接电极形成在其上的表面)侧上的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

(3)电路板侧连接器21

将第一各向异性导电板22安放在用于间距转换的板23的表面侧上，并且将第二各向异性导电板26(其由包括大量在厚度方向上延伸的导电通路构成部分和用于使它们相互绝缘的绝缘部分并且使所述导电通路构成部分从任一表面突出的分布不均型各向异性导电板形成)安放在背面侧上，从而构成电路板侧连接器21。

安放在用于间距转换的板23和中继管脚单元31之间的第二各向异性导电板26呈图6所示的形状。更具体地说，使用下述结构。

[第二各向异性导电板26]

尺寸：110毫米×150毫米

导电通路构成部分的厚度：0.6毫米

导电通路构成部分的外径：0.35毫米

导电通路构成部分的突出高度：0.05毫米

导电粒子：材料：经受镀金处理的镍粒子，平均粒子直径：35μm，在导电通路构成部分中的导电粒子的成分：30体积％

弹性聚合物质：材料：硅酮橡胶，硬度：30

(W₂/D₂＝17)

(4)中继管脚单元31

关于第一绝缘板34、中间支撑板36、第二绝缘板35以及弯曲和支撑板84的材料，使用电阻率为1×10¹⁰Ω·cm或更大的绝缘材料和由玻璃纤维加强型环氧树脂形成并且厚度为1.9毫米的材料。

如图14所示，借助于第一支撑管脚33(直径为2毫米并且长度为36.3毫米)以及第二支撑管脚37(直径为2毫米并且长度为3毫米)，以在第一绝缘板34和中间支撑板36之间的距离L1为36.3毫米并且在第二绝缘板35和中间支撑板36之间的距离L2为3毫米这样的方式，固定并支撑第一绝缘板34、中间支撑板36以及第二绝缘板35，此外，在中间支撑板36和第一绝缘板34之间提供弯曲和支撑板84。

在所述弯曲和支撑板84的预定位置上，提供使得导电管脚32贯穿在其中并且直径为0.5毫米的通孔85，并且使得第一支撑管脚33贯穿在其中并且直径为4毫米的通孔被提供在其上的预定位置上。

使第一支撑管脚33穿过弯曲和支撑板84的通孔85，以至于可以在中间支撑板36和第一绝缘板34之间在垂直方向上移动所述弯曲和支撑板84，此外，还可以在中继管脚单元31中在水平方向上移动。

然后，在第一绝缘板34和第二绝缘板35之间***有下述结构的导电管脚32，如图16(b)所示。此后，在水平方向上移动弯曲和支撑板84以弯曲导电管脚32，并且在该位置上固定弯曲和支撑板84，以在轴向上可移动地支撑导电管脚32。

在第一绝缘板34和第二绝缘板35上形成的通孔83a和83b的直径为0.5毫米，并且中间支撑板36的通孔86的直径为0.55毫米。

[导电管脚]

材料：磷青铜

直径：0.45毫米

全长：45.2毫米

以点阵排列第一支撑管脚33相对于中间支撑板36的第一接合支撑位置38A和第二支撑管脚37相对于中间支撑板36的第二接合支撑位置38B，如图17所示。在相互接近的第一接合支撑位置38A之间的距离和在相互接近的第二接合支撑位置38B之间的距离被设置为17.5毫米。

(5)测试器侧连接器41

由第三各向异性导电板42、连接器板43以及底板46构成测试器侧连接器41，如图1所示。所使用的第三各向异性导电板42与上述第二各向异性导电板26相同。

[性能测试]

将检查设备连接到一个轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”(由Nidec Read Corporation制造)，并且通过下述方法，进行连接稳定度测试(最小按压压力的测量)和各向异性导电板剥离测试。

1、最小按压压力的测量

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的***分，并且用于评估的电路板1被设置为检查设备，从而在100至210千克力的范围内，步进式地改变轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的按压压力，并且在向用于检查的电极施加1毫安电流时测量用于评估的电路板1中的被检查电极的传导阻抗值，对每个按压压力条件测量10次。

有100Ω或更大的测量的传导阻抗值的检查点(以下简称“NG检查点”)被确定为传导故障，并计算NG检查点在总检查点中的比率(以下简称“NG检查点率”)并且有0.01％或更小NG检查点率的最小按压压力被设置为最小按压压力。

在传导阻抗值的测量中，完成传导阻抗值的测量，然后，释放与该测量相关的按压压力以使检查设备回到未加压状态，并且通过使有预定大小的按压压力再次起作用，进行传导阻抗值的下一个测量。

更具体地说，在用于评估的电路板1的上表面上的被检查电极的数量为7312，并且在下表面上的被检查电极的数量为3784，并且对每个按压压力条件进行10次测量。因此，NG检查点率表示NG检查点占110960个检查点的比率，其由方程(7312+3784)×10＝110960来计算。测量的结果如表3所示。

2、剥离性能测试

将用于评估的电路板传输并设置到检查设备中，并以130千克力的按压负载对用于评估的电路板加压。在该状态下，测量当对被电气连接到两个连接器的连接电极的用于评估的电路板施加1毫安电流时的电阻值。接着，解除对用于评估的电路板的加压。重复10次该操作，并且从检查设备的检查区域中传送出用于评估的电路板。

对100个用于评估的电路板进行上述步骤。当从检查设备的检查区域中传送出用于评估的电路板时，测量从用于间距转换的板中剥离各向异性导电板(a)并将其附着到用于评估的电路板的次数(传送误差数量)。测量的结果如表3所示。

[例3]

在例2中制造的检查设备中，检查设备通过使用下述各向异性导电弹性板(b)而不是各向异性导电弹性板(a)构成，并且以与例2中相同的方式进行连接稳定度测试和剥离性能测试。测量的结果如表3所示。

将配备有120毫米×200毫米的矩形开口并且厚度为0.08毫米的框架形隔离物安放在成型元件之一的成型表面上，然后，将准备的成型材料施加到隔离物的开口中，并且以另一成型元件的成型表面按照与例2相同的方法与成型材料接触这样的方式在成型材料上安放另一成型元件。

关于两个成型元件，厚度为0.1毫米的聚酯树脂板(由TORAYCO.，LTD.制造，商品名“Mattlemirror S10”)的无光表面(表面粗糙度为0.04μm的)被设置为成型表面。

接着，通过使用包括加压滚轴和支撑滚轴的加压滚轴设备，在所述成型元件之间通过压力***成型材料，以形成厚度为0.08毫米的成型材料层。在每个成型元件的背面上安放电磁铁，并且使成型材料层在120℃的条件下经受30分钟的固化处理，同时引起在成型材料层的厚度方向上对其起作用的0.3T的平行磁场。这样，制造了厚度为0.1毫米的矩形各向异性导电板。

在如此获得的各向异性导电板(b)中，在其表面之一上的表面粗糙度为0.13μm，在另一表面上的表面粗糙度为0.12μm，并且导电粒子在体积分数中的比率为12％。

[表3]

	NG检查点率(％)						最小按压压力(千克力)	传输误差数量(次数)
									压力负载(千克力)	100	110	130	150	180	210
例2	1.9	0.01	0	0	0	0										130	0
							例3	2.5	0.02	0	0	0	0	130	92

[例4]

(用于评估的电路板)

准备有下述规格的用于评估的电路板1。

尺寸：100毫米(长)×100毫米(宽)×0.8毫米(厚)

在上表面侧上的被检查电极的数量：3600

在上表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在上表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

在下表面侧上的被检查电极的数量：2600

在下表面侧上的被检查电极的直径：0.3毫米

在下表面侧上的被检查电极的最小排列间距：0.4毫米

制造了一种电路板检查设备，以检查上述的用于评估的电路板，所述检查设备被配置为轨道传输型电路板自动检查机的***分(由Nidec Read Corporation制造，商品名：STARREC V5)。

(1)第一各向异性导电板22

制造了下述第一各向异性导电板，其中导电粒子排列在厚度方向上并且均匀地分散在平面方向。

尺寸：110毫米×110毫米，厚度0.1毫米

导电粒子：材料：经受镀金处理的镍粒子，平均粒子直径：20μm，成分：18体积％

弹性聚合物质：材料：硅酮橡胶，硬度：40

(2)用于间距转换的板23

总共形成7200个直径为0.1毫米并且在层压材料(由MatsushitaElectric Works，Ltd.制造，商品名：R-1766)的厚度方向上贯穿的圆形通孔，其是通过借助于在层压材料上的数控型钻孔设备，提供由厚度为18μm的铜分别在一个由玻璃纤维加强型环氧树脂形成并且厚度为0.5毫米的绝缘板的所有两侧上形成的金属薄膜而获得的。

在本例中，两个通孔构成一组，并使其形成在对应于用于评估的电路板的上表面侧的被检查电极的位置上，并且以提供0.1毫米的间隙的方式来形成一组通孔(更具体地说，这意味着进行设置以在0.1毫米的通孔A和0.1毫米的通孔B之间形成0.1毫米的间隙)。

接着，通过使用EDTA型镀铜溶液，使配备有通孔的层压材料经受非电解电镀处理，从而在每一个通孔的内壁上形成一个镀铜层，并且此外，通过使用硫酸铜电镀液，经受电解铜电镀处理，从而在每一个通孔中形成一个厚度约为10μm的与层压材料表面上的金属薄层相互电气连接的圆柱形通孔。

然后，在层压材料表面的金属薄层上层压一个厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)以形成一个抗蚀层，并且此外，在层压材料另一表面侧的金属薄层上安放一个保护封条。在抗蚀层上安放一个光掩膜，并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，然后，进行显影处理，从而形成一个用于蚀刻的抗蚀图案。使在具有抗蚀图案形成在其上的表面上的金属薄层经受蚀刻处理，从而在绝缘板的表面上，形成7200个宽度为60μm并且长度为150μm的连接电极和宽度为100μm的布线图部分以将每一个连接电极电气连接到通孔并且此后移去所述抗蚀图案。

接着，在其上提供层压材料中的连接电极和布线图部分的一侧的表面上层压一个厚度为50μm的干膜抗蚀剂(由TOKYO OHKAKOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)，从而形成一个抗蚀层，并且在抗蚀层上提供一个光掩膜，并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，然后，进行显影处理。这样，形成7200个在横向上尺寸为60μm并且在纵向上尺寸为150μm的矩形开口，各个连接电极从其上被暴露。

然后，通过使用硫酸铜电镀液，利用在层压材料的另一表面侧的金属薄层作为公共电极，使各个连接电极经受电解铜电镀处理。这样，形成了7200个连接电极。接着，移去抗蚀图案。

此后，移去在层压材料的另一表面侧的金属薄层上提供的保护封条，并且在同一表面的金属薄膜上层压厚度为25μm的干膜抗蚀剂(由TOKYOOHKA KOGYO CO.，LTD.制造，商品名：FP-225)，从而形成一个抗蚀层。然后，在抗蚀层上安放光掩膜并且通过使用平行光线暴露机(由ORC SEISAKUSHO制造)，使该抗蚀层经受曝光处理，并且此后进行显影处理，从而在层压材料中的金属薄层上形成一个用于蚀刻的抗蚀图案。

接着，将一个保护封条应用到其上形成层压材料的连接电极的一侧的表面，然后，进行蚀刻处理。从而，在绝缘板背面上形成7200个终端电极和用于将每一个终端电极电气连接到通孔的布线图部分，并且移去抗蚀图案。

此后，层压一个厚度为38μm的干膜阻焊剂(由Nichigo-MortonCo.，Ltd.制造，商品名：Confomask 2015)，以在具有终端电极和布线图部分形成在其上的绝缘板背面上形成一个绝缘层，并且在绝缘层上安放光掩膜并且此后通过使用平行光线暴露机(由ORCSEISAKUSHO制造)，使该绝缘层经受曝光处理，接着，进行显影处理。这样，形成了7200个直径为0.4毫米的开口，从其上电极被暴露。

如上所述，制造了用于间距转换的板23a。在用于间距转换的板23a中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极25的绝缘层表面暴露部分的横向尺寸约为60μm，并且纵向尺寸约为150μm，从连接电极25的绝缘层表面突出高度大约为60μm，在成对的连接电极25之间的距离为100μm，终端电极24的直径为0.4毫米，终端电极24的排列间距为0.75毫米，并且在具有连接电极24形成在其上的表面侧的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

而且，以与上述相同的方法，制造用于第二检查夹具11b的用于间距转换的板23b，其在表面上具有5200个连接电极25并且在背面上具有5200个终端电极24。

用于间距转换的板23b中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极25的绝缘层表面暴露部分的横向尺寸约为60μm，并且纵向尺寸约为150μm，从连接电极25的绝缘层表面突出高度约为60μm，在成对的连接电极之间的距离为100μm，终端电极24的直径为0.4毫米，终端电极24的排列间距为0.75毫米，并且在表面(具有连接电极形成在其上的表面)侧上的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

(3)电路板侧连接器21

将第一各向异性导电板22安放在用于间距转换的板23的表面侧上，并且将第二各向异性导电板26(其由包括大量在厚度方向上延伸的导电通路构成部分和用于使它们相互绝缘的绝缘部分并且使所述导电通路构成部分从任一表面突出的分布不均型各向异性导电板形成)安放在背面侧上，从而构成电路板侧连接器21。

安放在用于间距转换的板23和中继管脚单元31之间的第二各向异性导电板26呈图6所示的形状。更具体地说，使用下述结构。

[第二各向异性导电板26]

尺寸：110毫米×150毫米

导电通路构成部分的厚度：0.6毫米

导电通路构成部分的外径：0.35毫米

导电通路构成部分的突出高度：0.05毫米

导电粒子：材料：经受镀金处理的镍粒子，平均粒子直径：35μm，在导电通路构成部分中的导电粒子的成分：30体积％

弹性聚合物质：材料：硅酮橡胶，硬度：30

(W₂/D₂＝17)

(4)中继管脚单元31

关于第一绝缘板34、中间支撑板36、第二绝缘板35以及弯曲和支撑板84的材料，使用一种电阻率为1×10¹⁰·cm或更大的绝缘材料和一种由玻璃纤维加强型环氧树脂形成并且厚度为1.9毫米的材料。

如图14所示，借助于第一支撑管脚33(直径为2毫米并且长度为36.3毫米)以及第二支撑管脚37(直径为2毫米并且长度为3毫米)，以在第一绝缘板34和中间支撑板36之间的距离L1为36.3毫米并且在第二绝缘板35和中间支撑板36之间的距离L2为3毫米这样的方式，固定并支撑第一绝缘板34、中间支撑板36以及第二绝缘板35，并且此外，在中间支撑板36和第一绝缘板34之间提供所述弯曲和支撑板84。

在弯曲和支撑板84的预定位置上，提供使得导电管脚32贯穿在其中并且直径为0.5毫米的通孔85，并且使得第一支撑管脚33贯穿在其中并且直径为4毫米的所述通孔被提供在其上的预定位置上。

使第一支撑管脚33穿过弯曲和支撑板84的通孔85，以至于可以在中间支撑板36和第一绝缘板34之间在垂直方向上移动所述弯曲和支撑板84，此外，还可以在中继管脚单元31中在水平方向上移动。

然后，在第一绝缘板34和第二绝缘板35之间***有下述结构的导电管脚32，如图16(b)所示。此后，在水平方向上移动所述弯曲和支撑板84以弯曲导电管脚32，并且在该位置上固定弯曲和支撑板84，以在轴向上可移动地支撑导电管脚32。

在第一绝缘板34和第二绝缘板35上形成的通孔83a和83b的直径为0.5毫米，并且中间支撑板36的通孔86的直径为0.55毫米。

[导电管脚]

材料：磷青铜

直径：0.45毫米

全长：45.2毫米

以点阵排列第一支撑管脚33相对于中间支撑板36的第一接合支撑位置38A和第二支撑管脚37相对于中间支撑板36的第二接合支撑位置38B。在相互接近的第一接合支撑位置38A之间的距离和在相互接近的第二接合支撑位置38B之间的距离被设置为17.5毫米。

(5)测试器侧连接器41

由第三各向异性导电板42、连接器板43以及底板46构成测试器侧连接器41。所使用的第三各向异性导电板42与上述第二各向异性导电板26相同。

[性能测试]

1、最小按压压力的测量

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的***分，并且为检查设备准备的用于评估的电路板1被设置为在100至210千克力的范围内，步进式地改变轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的按压压力，并且通过用于测量电压的电极，在从提供电流的电极向用于检查的电极施加1毫安电流时的测量在用于评估的电路板1中的被检查电极的传导阻抗值，对每个按压压力条件测量10次。

有10Ω或更大的测量的传导阻抗值的检查点(以下简称“NG检查点”)被确定为传导故障，并计算NG检查点在总检查点中的比率(以下简称“NG检查点率”)并且有0.01％或更小NG检查点率的最小按压压力被设置为最小按压压力。

在传导阻抗值的测量中，完成传导阻抗值的测量，然后，释放与该测量相关的按压压力以使检查设备回到未加压状态，并且通过使有预定大小的按压压力再次起作用，进行传导阻抗值的下一个测量。

更具体地说，在用于评估的电路板1的上表面上的被检查电极的数量为3600，并且在下表面上的被检查电极的数量为2600，并且对每个按压压力条件进行10次测量。因此，NG检查点率表示NG检查点占62000个检查点的比率，其由方程(3600+2600)×10＝62000来计算。测量的结果如表4所示。

2、各向异性导电板的耐用性测量

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机″STARREC V5″的***分，并且为检查设备准备的用于评估的电路板1被设置为重复用于在轨道传输型电路板自动检查机“STARRECV5”的按压压力为130千克力的条件下，以预定次数进行加压的工作，并且在用于评估的电路板1中的被检查电极的130千克力的按压压力条件下，测量10次从提供电流的电极向用于检查的电极施加1毫安电流中的传导阻抗值，并且以预定次数进行加压，并且以相同的方式通过用于测量电压的电极来测量10次传导阻抗值。

有10Ω或更大的测量的传导阻抗值的检查点(NG检查点)被确定为传导故障，并且计算NG检查点在总检查点中的比率(NG检查点率)。

接着，在如上所述的相同条件下，除了在检查设备中的各向异性导电板被替换为新的并且按压压力条件被改为150千克力之外，以预定次数进行加压，并且接着，用如上所述的相同方法计算NG检查点率，除了按压压力条件被设置为150千克力之外。

在与各向异性导电板的耐用性相关的传导阻抗值的测量中，完成传导阻抗值的测量，然后，释放与该测量相关的按压压力以使检查设备回到未加压状态，并且通过使有预定大小的按压压力再次起作用，进行传导阻抗值的下一个测量。

更具体地说，在用于评估的电路板1的上表面上的被检查电极的数量为3600，并且在下表面上的被检查电极的数量为2600，并且对每个按压数量条件进行10次测量。因此，NG检查点率表示NG检查点占62000个检查点的比率，其由方程(3600+2600)×10＝62000来计算。

在本例中，在检查设备中，实际上要求NG检查点率等于或低于0.01％。在NG检查点率高于0.01％的情况下，获得作为合格品的被检查电路板被确定为有瑕疵的产品的错误检查结果。出于这一原因，有可能不能以高可靠性对电路板进行电气检查。测量的结果如表5所示。

3、被检查电路板的传导故障的评估

制造的检查设备被设置为轨道传输型电路板自动检查机″STARREC V5″的***分，并且为检查设备准备的用于评估的电路板1被设置。轨道传输型电路板自动检查机“STARREC V5”的按压压力条件被设置为180千克力，并且在对用于评估的电路板1中的被检查电极的180千克力的按压压力条件下，通过电压测量电极，测量10次从提供电流的电极向用于检查的电极提供1毫安电流中的传导阻抗值，并且传导阻抗值等于或大于设置的传导阻抗值(100Ω)的检查点(NG检查点)被确定为NG检查点，并计算NG检查点在总检查点中的比率(NG检查点率)。

然后，对用于评估的相同电路板1决定NG检查点的所设置的传导阻抗值被修改为与100Ω相比较小的阻抗值，并且估计用于评估的电路板1。

此外，“STARREC V5”的按压压力条件被改为210千克力，并且执行相同的评估。对按压压力为180千克力和210千克力的各个情况的测量的结果如表7所示。

[比较例子2]

替代于依照例4的中继管脚单元31，使用图28所示的中继管脚单元31a和31b。更具体地说，提供了以某个间距(2.54毫米的间距)在格点上排列的大量导电管脚32a和32b(8000个管脚)，以及用于在垂直方向上可移动地支撑导电管脚32a和32b的绝缘板34a和34b以及35a和35b。其它被设置为具有与例4相同的结构并且如此制造检查设备。

关于如此制造的检查设备，各向异性导电板的最小按压压力和耐用性通过与例4中的相同方法来测量。最小按压压力的测量结果如表4所示，并且各向异性导电板的耐用性的测量结果如表5所示。

[例5]

在依照例4的检查设备中，用于间距转换的板被改为下述板。

总共形成3600个直径为0.2毫米并且在层压材料(由MatsushitaElectric Works，Ltd.制造，商品名：R-1766)的厚度方向上贯穿的圆形通孔，其是通过借助于在层压材料上的数控型钻孔设备，提供由厚度为18μm的铜分别在一个由玻璃纤维加强型环氧树脂形成并且厚度为0.5毫米的绝缘板的所有两侧上形成的金属薄膜而获得的。

在制造依照例4的用于间距转换的板的方法中，以与例4相同的方法制造用于上侧的间距转换板，除了用于连接电极的抗蚀的开口图案被改为呈直径为200μm的圆形之外。

如此获得的用于上侧的间距转换板在表面上有3600个连接电极25，并且纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极25的绝缘层表面暴露部分的尺寸大约为250μm，从连接电极25的绝缘层表面突出高度大约为60μm，连接电极25以连接电极之一被连接到在被检查电路板中的被检查电极之一这样的方式排列，终端电极24的直径为0.4毫米，终端电极24的排列间距为0.75毫米，并且在具有连接电极24形成在其上的表面侧的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

而且，以与上述相同的方法，制造用于下侧的间距转换板，其在表面上有2600个连接电极25并且在背面上有2600个终端电极24。

在用于下侧的间距转换板中，纵向和横向的尺寸为120毫米×160毫米，厚度为0.5毫米，从连接电极25的绝缘层表面暴露部分的直径大约为250μm，从连接电极25的绝缘层表面突出高度大约为60μm，连接电极25以连接电极之一被连接到在被检查电路板中的被检查电极之一这样的方式排列，终端电极24的直径为0.4毫米，终端电极24的排列间距为0.75毫米，并且在表面(具有连接电极形成在其上的表面)侧上的绝缘层的表面粗糙度为0.02μm。

关于制造的依照例5的检查设备，各向异性导电板的耐用性由上述方法测量。在此，以180千克力或210千克力的按压压力进行测量。关于依照例4的设备，在相同条件下测量各向异性导电板的耐用性。测量的结果如表6所示。

表4和5表示4个终端检查的情况。因此，设置电压被设置为10Ω。而另一方面，表6包括2个终端检查的情况(例5)。因此，设置电压被设置为100Ω以进行一次测试。

而且，关于制造的依照例5的检查设备，按照上述方法估计被检查电路板的传导故障。更具体地说，“STARREC V5”的按压压力条件被设置为180千克力或210千克力，并且用于决定被检查电路板的传导故障的NG检查点的传导阻抗值被改为小于100Ω的阻抗值，并且如此估计用于评估的电路板1。结果如表7所示。

[表4]

	NG检查点率(％)						最小按压压力(千克力)
								按压压力(千克力)	100	110	130	150	180	210
例4	1.8	0.03	0	0	0	0									130
							比较例子2	3.3	2.1	0.5	0	0	0	150

[表5]

		NG检查点率(％)
							按压数量(次数)		1	1000	5000	10000	30000
例4	按压压力130千克力	0	0	0	0	0.2
							按压压力150千克力	0	0	0	0.03	0.5
	比较例子2	按压压力150千克力	0	0	0.12	0.35							2.0
按压压力180千克力							0	0.05	0.21	0.28	2.5

[表6]

		NG检查点率(％)
							按压数量(次数)		1	1000	5000	10000	30000
例4(4个终端)	按压压力180千克力	0	0	0.07	0.23	1.7
							按压压力210千克力	0	0.01	0.12	0.25	2.2
	例5(2个终端)	按压压力180千克力	0	0	0.15	0.25							1.4
按压压力210千克力							0	0.01	0.2	0.34	2.3

[表7]

		NG检查点率(％)
									设置的阻抗值(Ω)		100	50	10	1	0.5	0.1	0.01
例4(4个终端)	按压压力180千克力	0	0	0	0.02	0.02	4.1	7.6
									按压压力210千克力	0	0	0	0.02	0.02	3.5	8.9
	例5(2个终端)	按压压力180千克力	0	0.4	4.1	MI	MI	MI									MI
按压压力210千克力									0	0.7	3.8	MI	MI	MI	MI

MI：不可能测量

Claims (11)

1、一种用于检查电路板的设备，其在一对第一和第二检查夹具之间借助于这两个检查夹具通过压力***作为检查目标的被检查电路板的两侧，

所述第一检查夹具和第二检查夹具均包括：

电路板侧连接器，其具有：

用于间距转换的板，其在所述板的一个表面侧和另一表面侧之间转换电极间距；

第一各向异性导电板，提供在所述用于间距转换的板中的被检查电路板的一侧；以及

第二各向异性导电板，提供在所述用于间距转换的板中的被检查电路板的相反一侧；

中继管脚单元，其具有：

多个以预定间距提供的导电管脚；以及

一对第一和第二绝缘板，其相互分离并用于在轴向上可移动地支撑所述导电管脚；以及

测试器侧连接器，其具有：

连接器板，其用于将测试器电气连接到所述中继管脚单元；

第三各向异性导电板，提供在所述连接器板的中继管脚单元侧；以及

底板，提供在所述连接器板的中继管脚单元的背面，

其中所述中继管脚单元具有：

中间支撑板，提供在所述第一绝缘板和第二绝缘板之间；

第一支撑管脚，提供在所述第一绝缘板和所述中间支撑板之间；以及

第二支撑管脚，提供在所述第二绝缘板和所述中间支撑板之间，

在沿所述中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置所述第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置和所述第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置，

在第一绝缘板和中间支撑板之间或在第二绝缘板和中间支撑板之间安放弯曲和支撑板，其中配备有***所述导电管脚的通孔，以及

通过把在第一和第二绝缘板上形成的通孔以及在所述弯曲和支撑板上形成的通孔设置为支点，以相互相反的方向横着按下导电管脚，并在所述弯曲和支撑板的通孔的位置中被弯曲，从而在所述轴向上可移动地支撑所述导电管脚。

2、依照权利要求1的用于检查电路板的设备，其中所述第一各向异性导电板具有在厚度方向上排列并且在平面方向上均匀地分散的导电粒子。

3、依照权利要求2的用于检查电路板的设备，其中所述第一各向异性导电板在与被检查电路板接触一侧的表面上有0.5至5μm的表面粗糙度，并且在与所述用于间距转换的板接触一侧的表面上有0.3μm或更小的表面粗糙度，以及

所述用于间距转换的板在与所述第一各向异性导电板接触一侧的表面上的绝缘部分中有0.2μm或更小的表面粗糙度。

4、依照权利要求1至3中任意之一的用于检查电路板的设备，其中所述用于间距转换的板配备有连接电极，其包括成对的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极，以及，以所述成对的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极被电气连接到在被检查电路板中的每一个被检查电极这样的方式，在用于间距转换的板上来提供所述连接电极，以及

所述连接器板以用于电流的管脚侧电极和用于电压的管脚侧电极分别被电气连接到在用于间距转换的板上的用于电流的终端电极和用于电压的终端电极这样的方式，来配备所述用于电流的管脚侧电极和用于电压的管脚侧电极。

5、依照权利要求1至4中任意之一的用于检查电路板的设备，其中当通过压力在一对第一和第二检查夹具之间，借助于这两个检查夹具，***作为检查目标的被检查电路板的两侧时，

在第二绝缘板绕着所述第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置的方向上弯曲所述中间支撑板，以及

在第一绝缘板绕着所述第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置的方向上弯曲所述中间支撑板。

6、依照权利要求1至5中任意之一的用于检查电路板的设备，其中在中间支撑板凸出表面上，像点阵一样放置第一支撑管脚相对于中间支撑板的第一接合支撑位置，

在中间支撑板凸出表面上，像点阵一样放置第二支撑管脚相对于中间支撑板的第二接合支撑位置，

在由在中间支撑板凸出表面上的四个相邻第一接合支撑位置构成的单元点阵区中，放置一个第二接合支撑位置，以及

在由在中间支撑板凸出表面上的四个相邻第二接合支撑位置构成的单元点阵区中，放置一个第一接合支撑位置。

7、依照权利要求1至4中任意之一的用于检查电路板的设备，其中所述中继管脚单元包括：

在第一绝缘板和第二绝缘板之间的以预定间隔相互分离地提供的多个中间支撑板；以及

在所述相邻中间支撑板之间提供的支撑板支撑管脚，

在至少一个中间支撑板中，在所述中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板的一个表面侧与中间支撑板接合的支撑板支撑管脚的接合支撑位置，和相对于中间支撑板的另一表面侧与中间支撑板接合的第一支撑管脚、第二支撑管脚或支撑板支撑管脚的接合支撑位置，以及

在第一绝缘板和中间支撑板之间、在第二绝缘板和中间支撑板之间、或在中间支撑板之间提供所述弯曲和支撑板。

8、依照权利要求7的用于检查电路板的设备，其中在所有中间支撑板中，在中间支撑板的厚度方向上凸出的中间支撑板凸出表面上，相互不同地放置：相对于中间支撑板的一个表面侧与中间支撑板接合的支撑板支撑管脚的接合支撑位置，和相对于中间支撑板的另一表面侧与中间支撑板接合的第一支撑管脚、第二支撑管脚或支撑板支撑管脚的接合支撑位置。

9、依照权利要求1至8中任意之一的用于检查电路板的设备，其中由在厚度方向上延伸的多个导电通路构成部分以及用于使这些导电通路构成部分相互绝缘的绝缘部分，来构成所述第二各向异性导电板，仅在所述导电通路构成部分中包含导电粒子，以至于它被不均匀地分散在平面方向上，以及所述导电通路构成部分从所述板的任一侧伸出。

10、依照权利要求1至9中任意之一的用于检查电路板的设备，其中由在厚度方向上延伸的多个导电通路构成部分以及用于使这些导电通路构成部分相互绝缘的绝缘部分，来构成所述第三各向异性导电板，仅在所述导电通路构成部分中包含导电粒子，以至于它被不均匀地分散在平面方向上，以及所述导电通路构成部分从所述板的任一侧伸出。

11、一种使用依照权利要求1至10中任意之一的用于检查电路板的设备来检查电路板的方法，

其中通过压力在一对第一和第二检查夹具之间，借助于这两个检查夹具***作为检查目标的被检查电路板的两侧，从而进行电气检查。

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