CN1887686A - 面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 - Google Patents
面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1887686A CN1887686A CN 200610014876 CN200610014876A CN1887686A CN 1887686 A CN1887686 A CN 1887686A CN 200610014876 CN200610014876 CN 200610014876 CN 200610014876 A CN200610014876 A CN 200610014876A CN 1887686 A CN1887686 A CN 1887686A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- platform
- locating platform
- voice coil
- coil motor
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
本发明属于MEMS加工制造领域。面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台,采用X向直线音圈电机驱动解耦平台,通过气浮解耦机构驱动X向定位平台沿X向运动。Y向定位平台通过Y向气浮导轨与基座连接,X向定位平台置于Y向定位平台上部,通过X向气浮导轨与Y向定位工作台固定。X向定位工作台和气浮解耦机构之间通过解耦联轴连接,气浮解耦机构固定于解耦平台上。采用音圈电机直接驱动,省去了中间传动环节。定位机构整体采用了气浮技术,降低了***阻尼,能够有效的提高定位平台的定位精度,并达到较高的速度和加速度。本发明除适用于IC芯片封装外,还可用于MEMS器件的微连接和微组装。
Description
技术领域
本发明属于MEMS加工制造领域,涉及两自由度的驱动***,即两自由度笛卡尔坐标型气浮精密定位平台。
背景技术
“引线键合”作为IC封装的重要技术,其封装形式占IC封装的90%以上。随着芯片的微型化,其I/O密度大幅度提高,引线间距越来越小;面对更高生产效率的需求,对封装速度也提出了苛刻要求。因此,高速、高精密已成为引线键合设备的重要发展趋势。基于滚珠丝杠等传统伺服传动链,由于存在中间传动环节,使定位***的运动惯量增加,导致***的稳定时间、速度和加速度很难达到上述高精度要求。因此,基于新的驱动方式、结构形式,如低摩擦机构、动力学解耦机构等高速精密定位***及其设计方法已成为IC封装装备的重要研究内容。曾有研究人员采用直线电机直接驱动,速度可达到160m/min以上,加速度可达2.5g以上,但目前存在的问题是,直线电机存在滞后、有限响应、有限加速度及速度不足等问题,不同程度限制了定位平台精度的提高。另外由于直线导轨的传动形式,使平台存在相对较大的摩擦力,限制了定位平台速度的提高。
鉴于此本发明提出了一种精密定位***,这种装置的结构特点是采用气浮支撑技术和新型的气浮解耦结构,将驱动部件置于底座上,降低了机构的运动惯量和摩擦力,改善了***的动态特性;同时采用音圈电机直接驱动,省去了中间传动环节,由于音圈电机在理论上具有无限分辨率,无滞后、高响应、高加速度、高速度、体积小、力特性好、控制方便等特点,直线光栅作为末端位置反馈,可以较好地保证***的高速高精度。
发明内容
本发明的目的是提供一种由直线音圈电机直接驱动,采用气浮技术支撑,两自由度笛卡尔坐标型用于IC芯片封装的气浮精密定位平台。
本发明通过以下技术方案予以实现。面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台(参考附图1~3),具有基座1、Y向垫板2、Y向直线音圈电机3、Y向联轴机构4、Y向定位平台5、X向定位平台6、X向联轴机构7、X向直线音圈电机8、X向垫板9、解耦平台10、气浮解耦平台导轨11、Y向气浮导轨12、X向气浮导轨13、解耦联轴14和气浮解耦机构15等。X向直线音圈电机8和Y向直线音圈电机3均固定安装在基座1上,减轻了运动部件的重量,降低了惯量。Y向直线音圈电机3驱动Y向定位平台5沿Y向运动,X向定位平台6位于Y向定位平台5的上方与其一起运动,此时气浮解耦机构11的作用是解耦,从而使X向直线音圈电机8固定于基座1上不参与运动。采用X向直线音圈电机8驱动解耦平台10,此时,气浮解耦结构机构的作用是传递驱动力,通过气浮解耦机构15驱动X向定位平台6沿X向运动。Y向定位平台5通过Y向气浮导轨12与基座1采用螺栓固定连接。X向定位平台6置于Y向定位平台5上部,通过X向气浮导轨13与Y向定位工作台5连接。Y向定位平台5与Y向直线音圈电机3之间通过Y向联轴机构4相连,将Y向直线音圈电机3输出的直线运动直接传递到Y向定位平台5;X向定位平台6和气浮解耦机构15之间通过解耦联轴14连接,解耦联轴14作用是传递运动。气浮解耦机构15固定于解耦平台10上,解耦平台10通过气浮解耦平台导轨11与基座1连接。解耦平台10通过X向联轴机构7与X向直线音圈电机8连接,X向联轴机构7作用为传递运动。为保证音圈电机输出轴的精确高度,采用Y向垫板2调节Y向直线音圈电机3输出轴的高度;采用X向垫板9调节X向直线音圈电机8输出轴的高度。
以下对气浮解耦结构15作特别的说明。当X向定位平台6在Y向运动时,气浮解耦机构15作为一个滑块在Y向运动,X向直线音圈电机8固定于基座1上无运动。当X向定位平台6在X向运动时,气浮解耦机构15在X向承载,将X向直线音圈电机8的动力传递到X向定位平台6,Y向直线音圈电机3固定于基座1上无运动。气浮解耦机构15是应用气浮导轨的原理进行设计,由滑块16和导杆17组成(参考图3),导杆17穿入滑块16,在滑块16圆周壁上开有双排均匀节流孔18。当滑块16在Y向运动时,其原理相当于导轨的滑动。当滑块16在X向承载时,对其承载能力进行校核,以保证结构的可靠性。
附图说明
附图1为两自由度气浮精密定位平台立体结构图。
附图2为气浮导轨支撑结构。
附图3为气浮解耦结构原理示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施例并结合附图对本发明的结构做进一步的说明。
如图1所示,Y向定位平台5与Y向气浮导轨12之间、X向定位平台6与X向气浮导轨13之间、解耦平台10与气浮解耦平台导轨11之间、Y向气浮导轨12与基座1之间、X向气浮导轨13与Y向定位平台5之间、气浮解耦机构15与解耦平台10之间以及气浮解耦机构导轨11与基座1之间均采用螺栓固定连接。本发明为保证***实现高速高精度运动,采用直线光栅尺(图中未示出)作为末端位置反馈元件进行伺服控制。Y向直线音圈电机3得到运动指令,输出直线运动,通过Y向联轴机构4驱动Y向定位平台5在Y方向上的运动,并带动其上的X向定位平台6在Y向运动。X向直线音圈电机8得到运动指令,输出直线运动,通过X向联轴机构7,驱动解耦平台10在X方向运动,解耦平台10上的气浮解耦机构15和解耦联轴14将运动传递到X向定位平台6,使其在X方向上运动,完成了X向定位平台的在X-Y平面的精确定位,也就完成了安装在X向定位工作台6上用于芯片封装的焊接头(图中未示出)在X-Y平面上的精确位置。
如图2所示,Y向气浮导轨12和X向气浮导轨13的支撑结构采用四滑块的对称布局,此结构不仅具有很好的稳定性能和良好的抗弯效果,而且四个滑块的并联关系增加了***的刚度。为了在轴承间隙中形成一层具有一定承载能力和刚度的润滑气膜,在每个气浮导轨的滑块上开有均匀分布的节流孔。本实施例采用传统的双排孔小孔节流形式,能够达到较好的刚度,而且比较其他的节流孔(指多孔质节流)开发的成本较低。
本发明的有益效果在于:采用直线音圈电机直接驱动,省去了中间的传动环节,而且音圈电机具有无限分辨率,更具有无滞后、高响应、高速度及高加速度、体积小、力特性好、控制方便等特点,有效地提高了该定位装置的性能。定位机构整体采用了气浮技术,降低了***阻尼,能够有效的提高定位平台的定位精度,并达到较高的速度和加速度。气浮解耦机构可将X向和Y向定位平台的驱动电机均放置在底座上,减轻了运动部件的重量,降低了惯量。而且X、Y定位工作台采用直线光栅尺作为末端位置反馈元件,保证***实现高速高精度运动。本发明除适用于IC芯片封装外还可用于MEMS器件的微连接和微组装。
Claims (3)
1.面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台,具有基座(1)、Y向垫板(2)、Y向直线音圈电机(3)、Y向联轴机构(4)、Y向定位平台(5)、X向定位平台(6)、X向联轴机构(7)、X向直线音圈电机(8)、X向垫板(9),X向直线音圈电机(8)和Y向直线音圈电机(3)均固定安装在基座(1)上,由Y向直线音圈电机(3)驱动Y向定位平台(5)沿Y向运动,其特征在于采用X向直线音圈电机(8)驱动解耦平台(10),通过气浮解耦机构(15)驱动X向定位平台(6)沿X向运动,Y向定位平台(5)通过Y向气浮导轨(12)与基座(1)连接,X向定位平台(6)置于Y向定位平台(5)上部,通过X向气浮导轨(13)与Y向定位工作台(5)连接,Y向定位工作台(5)与Y向直线音圈电机(3)之间通过Y向联轴机构(4)连接,X向定位工作台(6)和气浮解耦机构(15)之间通过解耦联轴(14)连接,气浮解耦机构(15)固定于解耦平台(10)上,解耦平台(10)通过气浮解耦平台导轨(11)与基座(1)连接,解耦平台(10)通过X向联轴机构(7)与X向直线音圈电机(8)相接。
2.按照权利要求1所述的面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台,其特征在于采用Y向垫板(2)调节所述Y向直线音圈电机(3)输出轴的高度,采用X向垫板(9)调节X向直线音圈电机(8)输出轴的高度。
3.按照权利要求1所述的面向IC封装的两自由度气浮精密定位平台,其特征在于所述气浮解耦机构(15)由滑块(16)和导杆(17)组成,导杆(17)穿入滑块(16),在滑块(16)圆周壁上开有节流孔(18)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200610014876 CN1887686A (zh) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200610014876 CN1887686A (zh) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1887686A true CN1887686A (zh) | 2007-01-03 |
Family
ID=37576965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 200610014876 Pending CN1887686A (zh) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1887686A (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100573340C (zh) * | 2008-08-07 | 2009-12-23 | 上海微电子装备有限公司 | 二自由度电机执行机构及相应的六自由度微动台 |
CN101556932B (zh) * | 2009-05-15 | 2010-10-27 | 东南大学 | 串并联两坐标精密运动定位平台 |
CN103047341A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-17 | 哈尔滨工业大学 | 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 |
CN103062317A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 |
CN103062282A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器 |
CN103604028A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-02-26 | 东莞华中科技大学制造工程研究院 | 串联式超高速精密定位一维平台 |
-
2006
- 2006-07-20 CN CN 200610014876 patent/CN1887686A/zh active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100573340C (zh) * | 2008-08-07 | 2009-12-23 | 上海微电子装备有限公司 | 二自由度电机执行机构及相应的六自由度微动台 |
CN101556932B (zh) * | 2009-05-15 | 2010-10-27 | 东南大学 | 串并联两坐标精密运动定位平台 |
CN103047341A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-17 | 哈尔滨工业大学 | 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 |
CN103062317A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 |
CN103062282A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-24 | 哈尔滨工业大学 | 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器 |
CN103062317B (zh) * | 2012-12-19 | 2014-11-12 | 哈尔滨工业大学 | 二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器 |
CN103604028A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-02-26 | 东莞华中科技大学制造工程研究院 | 串联式超高速精密定位一维平台 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201054862Y (zh) | 直线电机驱动的贴片机定位平台 | |
CN1887686A (zh) | 面向ic封装的两自由度气浮精密定位平台 | |
CN100487884C (zh) | 拱架定位*** | |
CN1306247C (zh) | 宏/微双重驱动的大行程高速纳米级精度的平面定位*** | |
CN103021473B (zh) | 一种直驱式运动解耦的高精度伺服平台 | |
CN101804568B (zh) | 直线电机驱动的气悬浮运动平台 | |
CN201134045Y (zh) | 双轴运动平台 | |
CN1701925A (zh) | 带双边直线电机同步驱动的h型气浮工作台 | |
CN103225728A (zh) | 一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台 | |
CN103400603B (zh) | 抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台 | |
CN107703719A (zh) | 一种气浮共面真空预压平台 | |
CN101118377A (zh) | 高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台 | |
CN101567223A (zh) | 高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台 | |
CN102723296A (zh) | 一种双层直线电机驱动的xy运动平台 | |
CN101409112A (zh) | 三轴运动平台 | |
CN106826781A (zh) | 坐标机器人 | |
CN1306248C (zh) | 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位*** | |
CN207888241U (zh) | 一种数控机床用大范围超精密定位工件台 | |
CN201693368U (zh) | 直线电机驱动的气悬浮运动平台 | |
CN1415456A (zh) | 超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 | |
CN1294638C (zh) | 气浮xy两坐标平面运动平台 | |
CN202028928U (zh) | 一种低载荷的高速xy工作台 | |
CN103137532A (zh) | 共平面三轴定位装置 | |
CN201073718Y (zh) | 激光切割机装置 | |
CN2863383Y (zh) | 台式机器人机构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |