CN1870844A - 可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块 - Google Patents

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CN1870844A
CN1870844A CN 200510074360 CN200510074360A CN1870844A CN 1870844 A CN1870844 A CN 1870844A CN 200510074360 CN200510074360 CN 200510074360 CN 200510074360 A CN200510074360 A CN 200510074360A CN 1870844 A CN1870844 A CN 1870844A
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蓝文正
冯建源
曾源仓
陈丁洲
石升旭
林志平
江建志
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Abstract

本发明涉及一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,该制作方法包括:(a)置备坚硬平坦载板;(b)成型塑料基板于该载板上且共同形成一预定厚度;(c)沉积至少一保护层于该塑料基板上;(d)制作有机电激发光元件阵列于该保护层上;(e)提供一软性封盖,且整面式贴附一可双面黏着的非固化胶膜于该塑料基板与该软性封盖之间;以及(f)剥离该载板。由此,该预定厚度相当于公知制程的玻璃基板厚度,让上述步骤能于不变更公知制程参数的机台完成。

Description

可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块
技术领域
本发明有关于一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,尤其是可应用一般有机电激发光面板制程的一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块。
背景技术
近年来平面显示器(Flat Panel Display,简称FPD)产业技术已趋成熟,如液晶显示器(LCD)、有机电激发光显示器(OLED)、等离子体显示器(PDP)、场发射显示器(FED)等,在市场蓬勃发展的带动之下,不少研究单位与业界纷纷投入下一世代显示器的开发。软性显示器具有轻薄、耐冲击及可挠曲的特性,因此开启显示器新的热门应用,其中又因为以塑料制作的基板具便宜、易加工、质地轻且可任意扭曲等优点,其制作的重量为玻璃基板的一半,因此,可挠性有机电激发光显示器(Flexible OLED,以下称FOLED)研发已慢慢形成一股热潮。然而,有机电激发光材料对水氧非常敏感,而一般的塑料基板于室温下对水的穿透度约为每平方米每天0.1~100公克(100~10-1g/m2/day(@25℃)),无法完全阻隔水汽及氧气的穿透,会加速内部显示元件的老化,导致制成的元件其连续操作时间达不到一万小时的商业标准。为了达到阻隔水氧的目地,必须在塑料基板和无机导电层之间涂覆致密的特殊材料以阻隔防止水氧的渗透及扩散,且因为有机及无机材质之间界面的问题,因此阻隔层材料的选取必须在涂覆过程中能无缺陷地均匀成膜(Defect-Free)、不会产生针孔(Pin Holes)、高透光性及避免对可见光的吸收,以多层膜的制程方式来达成FOLED基板机能需求。此外,由于塑料基板具有易弯曲的特性,并不适合使用于现有(传统有机电激发光显示器)的量产机台上来做生产,且塑料材料的膨胀系数大,于黄光或蒸镀制程时将因制程高温或其它原因而影响到塑料基板的平坦性,如内应力分布不均而产生翘曲或皱折等,在图形的定义上将降低塑料基板与光掩膜对位曝光的精准度。
请参阅中国台湾专利公告第594210号所揭示的一种可挠式面板的制作方法,其步骤包括于玻璃基板上制作相关元件,再转贴于塑料基板上,并配合研磨、切割、蚀刻、转贴等步骤而使面板达到轻薄与可挠的特性;然而,此制程实务上需历经多次转印步骤,步骤繁琐不但费时耗工,其间于研磨、切割、蚀刻、转贴等步骤强调精准度而更加重制程负担。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,可利用塑料基板预先成型于一坚硬平坦的载板上,使其总厚度与传统有机电激发光显示器的玻璃基板相当,毋需于制程中更动硬件参数的设定,如传动轴(conveyor)、或机器手臂(robot)的位置等,避免因制程参数变动影响人员重新训练、面板规格重新制定、及同一生产线内欲制作不同规格的面板时的参数调整,因此,此技术特征有利于提高制程效率与降低生产成本。
本发明的另一目的在于提供一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,可利用塑料基板预先成型于一坚硬基板上,再于该塑料基板上制作相关元件,不但克服于软性塑料基板上制作相关元件的稳定性与平坦性问题,且可省略多次转印步骤,进一步提高制程效率。
本发明的再一目的在于提供一种可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,可利用一可双面黏着的非固化胶膜贴附该塑料基板用以与软性封盖对位贴合,避免因使用固化胶材于固化时发生体积收缩,产生应力而影响塑料基板产生皱折。
为了达到上述目的,本发明提供一种可挠式有机电激发光面板的制作方法,包括:
置备坚硬平坦载板;
成型塑料基板于该坚硬平坦载板上,其中,该塑料基板至少与该载板共同形成一预定厚度;
沉积至少一保护层于该塑料基板上;
制作有机电激发光元件阵列于该塑料基板的该保护层上;
提供一软性封盖,且整面式贴附可双面黏着的非固化胶膜于该塑料基板与该软性封盖之间;以及
剥离该载板;
由此,该预定厚度相当于公知制程的玻璃基板厚度,让上述步骤能于不变更公知制程参数的机台完成。
根据上述构思,该坚硬平坦载板具有耐高温、抗酸碱的性质。
根据上述构思,该坚硬平坦载板是由硅(Si)或二氧化硅(SiO2)材料制作而成。
根据上述构思,进一步于成型该塑料基板步骤之前,包括:布设阻气层于该载板上;其中,该阻气层有利于该塑料基板的平坦化、以及防止水氧进入该塑料基板。
根据上述构思,该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
根据上述构思,成型该塑料基板步骤,包括:利用滚动条式或喷洒式涂布或射出技术,贴附或沉积具有耐温、透明及不透气性质的该塑料基板于该载板上。
根据上述构思,该塑料基板是以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polcarbonate,PC)、聚醚(Polythersuphone,PES)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)等材料制作而成。
根据上述构思,沉积该保护层步骤,包括:利用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、或旋涂式玻璃成膜技术(SOG)沉积具有高致密性与高透光度性质的该保护层。
根据上述构思,沉积该保护层步骤,包括:沉积氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅等材料形成该保护层。
根据上述构思,进一步于沉积该保护层步骤之前,包括:布设阻气层于该塑料基板上;其中,该阻气层防止水氧进入该有机电激发光元件阵列。
根据上述构思,该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
根据上述构思,制作该有机电激发光元件阵列,包括:沉积至少一第一透明电极于该塑料基板的该保护层上;光刻蚀刻该第一透明电极,使呈第一透明电极阵列;布设具有多层构造的有机电激发光构造于该第一透明电极阵列;以及设置至少一第二透明电极阵列于该有机电激发光构造上。
根据上述构思,该有机电激发光元件阵列为主动式矩阵或被动式矩阵。
根据上述构思,进一步于提供该软性封盖步骤之前,包括:成形一钝化膜于该有机电激发光元件阵列上。
根据上述构思,提供该软性封盖步骤,包括:设置一吸气剂于该软性封盖下。
根据上述构思,提供该软性封盖步骤之前,包括:清洗与烘烤该软性封盖。
根据上述构思,该可双面黏着的非固化胶膜为具低吸湿性、高可塑性的非导电材料。
根据上述构思,整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜,包括:贴附该可双面黏着的非固化胶膜于该软性封盖或该塑料基板上;以及对位贴附该软性封盖与该塑料基板。
根据上述构思,整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜步骤,包括:提供全密闭式或非密闭式设计的该可双面黏着的非固化胶膜,黏合该塑料基板与该软性封盖。
根据上述构思,整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜步骤,包括:提供具有至少一细微开口散布其上的非密闭式设计的该可双面黏着的非固化胶膜。
根据上述构思,进一步于剥离该载板步骤之前或之后,包括:裁切该载板、及设置于该载板上的塑料基板。
根据上述构思,于裁切步骤之后,包括:贴附驱动模块于该塑料基板上。
根据上述构思,于贴附该驱动模块步骤之后,包括:化学气相沉积抗水氧膜覆盖该塑料基板及其该驱动模块。
本发明提供一种可挠式有机电激发光显示模块,包括:
塑料基板;
至少一保护层,沉积于该塑料基板上;
有机电激发光元件阵列,设置于该保护层上;
软性封盖,安置于该塑料基板的上方;以及
可双面黏着的非固化胶膜,整面式贴合该塑料基板与该软性封盖。
根据上述构思,该塑料基板具有耐温、透明及不透气等性质。
根据上述构思,该塑料基板是以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polcarbonate,PC)、聚醚(Polythersuphone,PES)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)等材料制作而成。
根据上述构思,该保护层是由氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅等材料沉积而成。
根据上述构思,进一步包括有阻气层设于该塑料基板与该保护层之间,防止水氧进入该有机电激发光元件阵列。
根据上述构思,该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
根据上述构思,该有机电激发光元件阵列包括:至少第一透明电极阵列,设置于该塑料基板的该保护层上;具有多层构造的有机电激发光构造,布设于该第一透明电极阵列上;以及至少第二透明电极阵列,设置于该有机电激发光构造上。
根据上述构思,该有机电激发光元件阵列为主动式矩阵或被动式矩阵。
根据上述构思,进一步包括有钝化膜成形于该有机电激发光元件阵列上。
根据上述构思,进一步包括有吸气剂设置于该软性封盖下。
根据上述构思,该可双面黏着的非固化胶膜为全密闭式或非密闭式设计。
根据上述构思,该可双面黏着的非固化胶膜具有至少一细微开口散布其上。
根据上述构思,进一步包括有驱动模块设置于该塑料基板上。
根据上述构思,进一步包括有抗水氧膜化学气相沉积覆盖该塑料基板及其软性封盖。
本发明提供一种可挠式有机电激发光显示模块,包括:
塑料基板;
至少一保护层,沉积于该塑料基板上;
有机电激发光元件阵列,设置于该保护层上;
软性封盖,安置于该塑料基板的上方;
可双面黏着的非固化胶膜,整面式贴合该塑料基板与该软性封盖;
驱动模块,设置于该塑料基板上;以及
抗水氧膜,化学气相沉积覆盖该塑料基板及其软性封盖。
本发明所提供的该可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,有利于提高制程效率与降低生产成本。并且,能够克服于软性塑料基板上制作相关元件的稳定性与平坦性问题。此外,还能避免因使用固化胶材于固化时发生体积收缩,产生应力而影响塑料基板产生皱折。
为了能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明,然而所记载内容仅提供参考与说明用,并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1A至图1N所示,为本发明可挠式有机电激发光面板的制作方法的示意图;以及
图2所示,为本发明可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块的流程示意图。
其中,附图标记说明如下:
1-载板;2-阻气层;3-塑料基板;4-阻气层;5-保护层;
61-第一透明电极;62-第一透明电极阵列;63-绝缘层;
64-有机电激发光构造;65-第二透明电极阵列;7-软性封盖;
8-可双面黏着的非固化胶膜;9-钝化膜;M-驱动模块;
F-抗水氧膜;G-吸气剂;H-预定厚度。
具体实施方式
本发明提供的可挠式有机电激发光面板的制作方法利用平坦、坚硬及耐温的载板作为塑料基板的支撑,使塑料基板能够平坦设置于该载板上,以避免塑料基板本身亦弯曲的特性导致相关元件无法顺利成型于该塑料基板上,再提供一可双面黏着的非固化胶膜整面式贴附该塑料基板与一软性封盖对位贴合,并于剥离该载板、贴附驱动模块后完成可挠式有机电激发光显示模块;此外,更可进一步于该可挠式有机电激发光显示模块上进行化学气相沉积一抗水氧层可完全覆盖该塑料基板及该软性封盖,作为外部的保护层(Passivation Film),以阻绝水氧从该软性封盖、该塑料基板,或甚至从其间的间隙(Gap)入侵。
请同时参阅图1A至图1N、以及图2所示,为本发明提供的可挠式有机电激发光面板的制作方法的流程示意图。该制作方法包括:(a)置备坚硬平坦载板1,如图1A;该坚硬平坦载板1具有耐高温、抗酸碱的性质,可不因温度或酸碱变化而变形,其可由硅(Si)或二氧化硅(SiO2)材料制作而成,如硅基板或玻璃基板;并利用化学药剂清洗该载板1,以去除多余杂质。
(b)可选择性布设阻气层2于该载板1上,如图1B,利于后续成型塑料基板3的平坦化、以及防止水氧进入该塑料基板3之用:该阻气层2可为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
(c)成型该塑料基板3于该坚硬平坦载板1(之该阻气层2)上,利用该坚硬平坦载板1作为该塑料基板3的支撑,使该塑料基板3在成膜时,能得到均匀的成膜质量(包含有机与无机成膜)、与能够精确地控制黄光光刻与蚀刻制程的条件与规格,该塑料基板3至少与该载板1(及该阻气层2)共同形成一预定厚度h,该预定厚度h相当于公知制程的该玻璃基板的厚度,让后续制程能于不变更公知制程参数的机台完成。其中,该塑料基板3可利用滚动条式或喷洒式涂布或射出技术,进以贴附或沉积具有耐温、透明及不透气性质的该塑料基板3于该载板1上;该塑料基板3可以聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polcarbonate,PC)、聚醚(Polythersuphone,PES)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)等高分子材料制作而成,当涂布或射出该塑料基板3时,须控制该塑料基板3的膜厚以与该载板1(及该阻气层2)形成该预定厚度h、以及其它如平坦度与孔隙等规格。
(d)选择性布设阻气层4于该塑料基板3上,如图1D,该阻气层4防止水氧进入,其可为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
(e)沉积至少一保护层5于该塑料基板3(之该阻气层4)上,如图1E所示,其可利用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、或旋涂式玻璃成膜技术(SOG)沉积具有高致密性与高透光度性质的该保护层5;该保护层5可以氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅等材料形成,且无缺陷地均匀成膜(Defect-Free)、不会产生针孔(Pin Holes)、具有高透光性与避免对可见光的吸收,且具有绝佳的平坦度以利后续沉积透明电极的制作。
(f)制作有机电激发光元件阵列6于该塑料基板3的该保护层5上,其至少包括下列步骤:(i)沉积至少一第一透明电极61于该塑料基板3的该保护层5上,如图1F;(ii)光刻蚀刻该第一透明电极61,使呈第一透明电极阵列62,以及布设绝缘层63于该第一透明电极矩阵62中作为隔绝,如图1G;(iii)布设具有多层构造的有机电激发光构造64于该第一透明电极阵列62上;以及(iv)设置至少一第二透明电极阵列65于该有机电激发光构造64上,步骤(iii)、(iv)请参阅图1H;其中,该第一与第二透明电极矩阵62、65是由如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)或氧化铟钨(IWO)等薄而透明的金属材料制成;其中,该有机电激发光元件阵列6为主动式矩阵(Active Matrix)或被动式矩阵(Passive Matrix)。因此,利用此平坦、坚硬及耐温载板1作为该塑料基板3的支撑;使成长上述薄膜及有机元件,不因外在因素的变形而阻碍其制作。
(g)提供一软性封盖7,且整面式贴附可双面黏着的非固化胶膜8于该塑料基板3与该软性封盖7之间,其步骤可为贴附该非固化胶膜8于该软性封盖7或该塑料基板3上、以及对位贴附该软性封盖7与该塑料基板3,如图1K至图1K”;其中,该软性封盖7可为塑料材质所制成。其中,提供该软性封盖7步骤之前,进一步清洗与烘烤该软性封盖7。如图1K,以该软性封盖7由该非固化胶膜8直接贴合该塑料基板3;如图1K’,于提供该软性封盖步骤之前,先成形一钝化膜(Passivation Film)9于该有机电激发光元件阵列6上,再以该软性封盖7通过该非固化胶膜8贴合该塑料基板3及其钝化膜9。如图1K”,于提供该软性封盖步骤之前,先设置一吸气剂(getter)G于该软性封盖7之下,再以该软性封盖7通过该非固化胶膜8贴合该塑料基板3及其钝化膜9。其中,该非固化胶膜8为具低吸湿性、高可塑性的非导电材料所制成;且该非固化胶膜8可包括数种实施态样,如可为全密闭式或非密闭式设计,当该非固化胶膜8为非密闭式设计时,可进一步包括至少一细微开口散布其上。该非固化胶膜8对位贴合该塑料基板3与该软性封盖7可包括以下数种方式;(i)贴附该非固化胶膜8于该软性封盖7上,如图1I、(ii)贴附该非固化胶膜8于该塑料基板3及其有机电激发光元件阵列6上,如图1I’、或(iii)贴附该非固化胶膜8于该塑料基板3及成形于该有机电激发光元件阵列6上的该钝化膜9之上,如图1I”;再进行对位密实贴合。因此,使用该非固化胶膜8的封装结构,除了不会伤害相关元件外,避免以热固化胶材或紫外光固化胶材于固化(curing)时,产生体积收缩(shrinkage)会将上下的该塑料基板3与该软性封盖7互相拉扯而造成面板的不平整或皱折;更因其具低吸湿性,可阻挡水气侵入;此外,利用此平坦、坚硬及耐温载板1作为该塑料基板3的支撑;使封装制程能够平坦的进行,不因外在因素的变形而阻碍其制作。
(h)剥离该载板1,如图1L;其中于剥离该载板1步骤之前或之后,包括裁切该载板1及其塑料基板3。
(i)于裁切或剥离该载板1步骤之后,包括贴附驱动模块M于该塑料基板3上,如图1M,其中该驱动模块M可为卷带软板封装(Tape CarrierPackage,TCP)、卷带式薄膜封装(Chip On Film,COF)、或玻璃覆晶封装(Chip On Glass,COG)等封装技术,于此实施例为卷带软板封装;因此,完成可挠式有机电激发光显示模块。
(i)或进一步化学气相沉积有抗水氧膜F覆盖该塑料基板3、该软性封盖7及其驱动模块M,如图1N;其中该抗水氧膜F,如氧化硅、氧化氮与聚氯对苯二甲等材料制作而成;该抗水氧膜F作为外部的保护层(PassivationFilm),以阻绝水氧从该软性封盖7、该塑料基板3,或甚至从该软性封盖7与该塑料基板3之间、该驱动模块M与该塑料基板3之间的间隙(Gap)入侵;因此,完成可挠式有机电激发光显示模块。
本发明所提供的该可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,由于其总厚度与传统有机电激发光显示器的玻璃基板相当,毋需于制程中更动硬件参数的设定,如传动轴(conveyor)、或机器手臂(robot)的位置等,避免因制程参数变动影响人员重新训练、面板规格重新制定、及同一生产线内欲制作不同规格的面板时的参数调整,因此,此技术特征有利于提高制程效率与降低生产成本。
本发明所提供的该可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,由于利用塑料基板预先成型于一坚硬基板上,再于该塑料基板上制作相关元件,可克服于软性塑料基板上制作相关元件的稳定性与平坦性问题。
本发明所提供的该可挠式有机电激发光面板的制作方法及其显示模块,使用可双面黏着的非固化胶膜贴附该塑料基板以与软性封盖对位贴合,避免因使用固化胶材于固化时发生体积收缩,产生应力而影响塑料基板产生皱折。
以上所述仅为本发明的较佳可行实施例,非因此即限制本发明的专利保护范围,故举凡应用本发明说明书或图式内容所为的等效结构变化,均同理皆包含于本发明的范围内。

Claims (38)

1、一种可挠式有机电激发光面板的制作方法,其中包含:
置备坚硬平坦载板;
成型塑料基板于该坚硬平坦载板上,其中,该塑料基板至少与该载板共同形成一预定厚度;
沉积至少一保护层于该塑料基板上;
制作有机电激发光元件阵列于该塑料基板的该保护层上;
提供一软性封盖,且整面式贴附可双面黏着的非固化胶膜于该塑料基板与该软性封盖之间;以及
剥离该载板;
该预定厚度相当于公知制程的玻璃基板厚度,让上述步骤能于不变更公知制程参数的机台完成。
2、如权利要求1所述的制作方法,其特征是该坚硬平坦载板具有耐高温、抗酸碱的性质。
3、如权利要求2所述的制作方法,其特征是该坚硬平坦载板是由硅(Si)或二氧化硅(SiO2)材料制作而成。
4、如权利要求1所述的制作方法,其特征是进一步于成型该塑料基板步骤之前,包括:
布设阻气层于该载板上;
其中,该阻气层有利于该塑料基板的平坦化、以及防止水氧进入该塑料基板。
5、如权利要求4所述的制作方法,其特征是该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
6、如权利要求1所述的制作方法,其特征是成型该塑料基板步骤,包括:
利用滚动条式或喷洒式涂布或射出技术,贴附或沉积具有耐温、透明及不透气性质的该塑料基板于该载板上。
7、如权利要求6所述的制作方法,其特征是该塑料基板是以聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polcarbonate,PC)、聚醚(Polythersuphone,PES)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)等材料制作而成。
8、如权利要求1所述的制作方法,其特征是沉积该保护层步骤,包括:
利用物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、或旋涂式玻璃成膜技术(SOG)沉积具有高致密性与高透光度性质的该保护层。
9、如权利要求1所述的制作方法,其特征是沉积该保护层步骤,包括:
沉积氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅等材料形成该保护层。
10、如权利要求1所述的制作方法,其特征是进一步于沉积该保护层步骤之前,包括:
布设阻气层于该塑料基板上;
其中,该阻气层防止水氧进入该有机电激发光元件阵列。
11、如权利要求10所述的制作方法,其特征是该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
12、如权利要求1所述的制作方法,其特征是制作该有机电激发光元件阵列,包括:
沉积至少一第一透明电极于该塑料基板的该保护层上;
光刻蚀刻该第一透明电极,使呈第一透明电极阵列;
布设具有多层构造的有机电激发光构造于该第一透明电极阵列;以及
设置至少一第二透明电极阵列于该有机电激发光构造上。
13、如权利要求1所述的制作方法,其特征是该有机电激发光元件阵列为主动式矩阵或被动式矩阵。
14、如权利要求1所述的制作方法,其特征是进一步于提供该软性封盖步骤之前,包括:
成形一钝化膜于该有机电激发光元件阵列上。
15、如权利要求1所述的制作方法,其特征是提供该软性封盖步骤,包括:
设置一吸气剂于该软性封盖下。
16、如权利要求1所述的制作方法,其特征是提供该软性封盖步骤之前,包括:
清洗与烘烤该软性封盖。
17、如权利要求1所述的制作方法,其特征是该可双面黏着的非固化胶膜为具低吸湿性、高可塑性的非导电材料。
18、如权利要求1所述的制作方法,其特征是整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜,包括:
贴附该可双面黏着的非固化胶膜于该软性封盖或该塑料基板上;以及
对位贴附该软性封盖与该塑料基板。
19、如权利要求18所述的制作方法,其特征是整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜步骤,包括:
提供全密闭式或非密闭式设计的该可双面黏着的非固化胶膜,黏合该塑料基板与该软性封盖。
20、如权利要求19所述的制作方法,其特征是整面式贴附该可双面黏着的非固化胶膜步骤,包括:
提供具有至少一细微开口散布其上的非密闭式设计的该可双面黏着的非固化胶膜。
21、如权利要求1所述的制作方法,其特征是进一步于剥离该载板步骤之前或之后,包括:
裁切该载板、及设置于该载板上的塑料基板。
22、如权利要求21所述的制作方法,其特征是于裁切步骤之后,包括:
贴附驱动模块于该塑料基板上。
23、如权利要求22所述的制作方法,其特征是于贴附该驱动模块步骤之后,包括:
化学气相沉积抗水氧膜覆盖该塑料基板及其该驱动模块。
24、一种可挠式有机电激发光显示模块,其中包含:
塑料基板;
至少一保护层,沉积于该塑料基板上;
有机电激发光元件阵列,设置于该保护层上;
软性封盖,安置于该塑料基板的上方;以及
可双面黏着的非固化胶膜,整面式贴合该塑料基板与该软性封盖。
25、如权利要求24所述的显示模块,其特征是该塑料基板具有耐温、透明及不透气等性质。
26、如权利要求25所述的显示模块,其特征是该塑料基板是以聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polcarbonate,PC)、聚醚(Polythersuphone,PES)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)等材料制作而成。
27、如权利要求24所述的显示模块,其特征是该保护层是由氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅等材料沉积而成。
28、如权利要求24所述的显示模块,其特征是进一步包括有阻气层设于该塑料基板与该保护层之间,防止水氧进入该有机电激发光元件阵列。
29、如权利要求28所述的显示模块,其特征是该阻气层为钛氧化物(TiOx)、铝氧化物(AlOx)或硅氧化物(SiOx)等材料所制成。
30、如权利要求24所述的显示模块,其特征是该有机电激发光元件阵列包括:
至少第一透明电极阵列,设置于该塑料基板的该保护层上;
具有多层构造的有机电激发光构造,布设于该第一透明电极阵列上;以及
至少第二透明电极阵列,设置于该有机电激发光构造上。
31、如权利要求24所述的制作方法,其特征是该有机电激发光元件阵列为主动式矩阵或被动式矩阵。
32、如权利要求24所述的显示模块,其特征是进一步包括有钝化膜成形于该有机电激发光元件阵列上。
33、如权利要求24所述的显示模块,其特征是进一步包括有吸气剂设置于该软性封盖下。
34、如权利要求24所述的显示模块,其特征是该可双面黏着的非固化胶膜为全密闭式或非密闭式设计。
35、如权利要求34所述的显示模块,其特征是该可双面黏着的非固化胶膜具有至少一细微开口散布其上。
36、如权利要求24所述的显示模块,其特征是进一步包括有驱动模块设置于该塑料基板上。
37、如权利要求36所述的显示模块,其特征是进一步包括有抗水氧膜化学气相沉积覆盖该塑料基板及其软性封盖。
38、一种可挠式有机电激发光显示模块,其中包含:
塑料基板;
至少一保护层,沉积于该塑料基板上;
有机电激发光元件阵列,设置于该保护层上;
软性封盖,安置于该塑料基板的上方;
可双面黏着的非固化胶膜,整面式贴合该塑料基板与该软性封盖;
驱动模块,设置于该塑料基板上;以及
抗水氧膜,化学气相沉积覆盖该塑料基板及其软性封盖。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101834281A (zh) * 2010-03-30 2010-09-15 东莞宏威数码机械有限公司 剥离回收装置及具有该剥离回收装置的封装设备
CN103474580A (zh) * 2013-09-09 2013-12-25 京东方科技集团股份有限公司 柔性有机电致发光器件的封装结构、方法、柔性显示装置
US9708719B2 (en) 2010-12-10 2017-07-18 Aquahydrex Pty Ltd Multi-layer water-splitting devices
CN108269835A (zh) * 2018-01-19 2018-07-10 云谷(固安)科技有限公司 显示基板及其制作方法、显示装置
CN109087936A (zh) * 2018-08-24 2018-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示基板的制备方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101834281A (zh) * 2010-03-30 2010-09-15 东莞宏威数码机械有限公司 剥离回收装置及具有该剥离回收装置的封装设备
US9708719B2 (en) 2010-12-10 2017-07-18 Aquahydrex Pty Ltd Multi-layer water-splitting devices
US10428431B2 (en) 2010-12-10 2019-10-01 Aquahydrex Pty Ltd Multi-layer water-splitting devices
CN103474580A (zh) * 2013-09-09 2013-12-25 京东方科技集团股份有限公司 柔性有机电致发光器件的封装结构、方法、柔性显示装置
WO2015032232A1 (zh) * 2013-09-09 2015-03-12 京东方科技集团股份有限公司 柔性有机电致发光器件的封装结构及封装方法、柔性显示装置
US9431630B2 (en) 2013-09-09 2016-08-30 Boe Technology Group Co., Ltd. Package structure for flexible organic light emitting diode device, method for packaging the same and flexible display device
CN108269835A (zh) * 2018-01-19 2018-07-10 云谷(固安)科技有限公司 显示基板及其制作方法、显示装置
CN109087936A (zh) * 2018-08-24 2018-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种柔性显示基板的制备方法
US10910451B2 (en) 2018-08-24 2021-02-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Method for fabricating flexible display substrate

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