CN1845857A - 隔板及使用该隔板的板状物的输送方法 - Google Patents

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Abstract

一种隔板及使用该隔板的板状物的输送方法，该隔板配置于一片板状物表面或多个板状物之间，以比隔板的面积小的接触面积与板状结构物接触。隔板相对板状物的接触面积比率优选小于或等于50％，更加理想的是小于或等于20％，最好小于或等于10％。另外，通过适当选择凹凸的图案形状及形成方向，防止有机物向隔板接触的玻璃基板等板状体的表面的转印、或产生尘埃附着，同时，也防止剥离时的静电产生。

Description

隔板及使用该隔板的板状物的输送方法
技术领域
本发明涉及在搬运并保管精密器件用基板及精密装置用部件等板状物时，为保护板状物表面不受到损伤、尘埃附着及有机物污染而使用的隔板及使用该隔板的板状物的输送方法。
背景技术
伴随半导体及液晶显示器等电子设备的高性能化，制造它们所使用的硅、玻璃、塑料等基板及装置用部件所使用的陶瓷、金属材料等板状物在搬运、保管时产生不良状况而问题化。
作为在搬运、保管时在板状物上产生的不良状况，公知有物理损伤、尘埃附着、及有机物污染、静电等，对使用该板状物制造产品时的成品率造成很大影响。
例如，半导体器件所使用的硅晶片及液晶基板所使用的玻璃基板由于在搬运·保管时受到的污染使在这些基板上制作的MOSFET及TFT等器件的性能大幅降低，故在接收后，需要彻底地清洗，再进行使用。
但是，伴随器件的高性能化、微细化，需要对基板进行更精密的清洗，使清洗工序复杂化，成为生产性降低的主要原因。
其中，发明了将清洗工序简化的各种清洗技术，但当有机物及灰尘的吸附量大时，产生清洗时间长时间化，或清洗不足等问题。
另外，对将搬运容器密封化，不在搬运、保管时产生污染进行了研究，但从基板接触造成的损伤的问题出发，而在使用箱盒等的非接触搬运下进行搬运、保管，因此，容器内产生大量空隙，容器的容积增大，成为使搬运、保管成本增加的原因。
特别是，在使用液晶用玻璃基板的情况下，探索将基板面积扩大这一方法，伴随与此，搬运液晶用玻璃基板的搬运容器的大小也有增大的倾向。
为解决这样的问题，考虑有使用隔板将多个板状物相互重叠进行搬运的方法。这种搬运方法例如记载于日本专利公开公报2002-121835号(下面记作文献1)及日本专利公开公报平6-316432号(下面记作文献2)中。
在文献1中公开有如下的隔板，即，为了确保板状物间良好的通气性，在一面上形成有高度0.5～2.5mm的凹凸形状，其特征在于，将突起密度大的区域和小的区域混合。
另外，在专利文献2中公开有含有0.1重量％以上的三聚磷酸钠的玻璃用合成纸。
根据使用这些隔板或玻璃用合成纸的搬运方法，可使板状物重叠来进行搬运，可大幅节约容积，因此，搬运、保管效率大幅提高，成本大幅降低。
但是，在文献1的情况中，不考虑隔板中含有的有机物成分向板状物的转印，尤其产生不能用作有机物的转印影响板状物的性能的问题。特别是，本申请发明者发现难以将文献1中公开的隔板应用于半导体用途、显示装置用途、光学相关产品用途、半导体·显示装置制造装置用途等。
另外，在文献2的情况中，主原料使用纸，产生了从纸转印的有机物及产生的纸粉等尘埃附着在板状物上的问题，必须仔细地清洗搬运对象物。
另外，由于在合成纸中含有三聚磷酸钠等碱金属成分，故产生如下的问题，即，不能在吸附于表面的碱金属成分成为问题的无碱玻璃及半导体基板等、由于碱金属成分而使性能显著恶化的用途中使用。
在使用上述的纸制隔板(玻璃用合成纸)的情况下，由于将隔板贴紧在对象物表面上而使用，故在使用时产生如下的问题，即，在剥离隔板时产生大量静电。这样，当产生静电时，也产生在对象物表面吸附周边环境中的灰尘及尘埃等，难以进行清洗的问题。
特别是在半导体基板、玻璃基板或使用它们的产品等为了维持器件性能而不得不在干燥环境下处理的对象物的情况下，静电的问题尤其显著。本申请发明者发现文献2中公开的技术中存在有这样的问题点。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而构成的，其目的在于提供隔板及使用该隔板的板状物的搬运方法，为抑制成为板状物污染原因的有机物转印及灰尘的附着、静电的产生等，而着眼于隔板和板状物的接触面积，通过对形状进行研究，抑制污染。
本发明的其它目的在于提供单个或多个板状物的输送或保管的方法，使用成为污染原因的有机物转印极少的隔板，将单个的板状物或多个板状物相互贴紧，进行输送、保管，由此可大幅缩小输送、保管时的空间。
在此，隔板是指片状物，其配置于板状物的单面或两面，具有保护该板状物的功能。隔板被配置于单个板状物的单面或两面、或多个板状物的单面或两面及/或它们之间。隔板形是将片状物形成为适合保护板状物的形状。
本发明的隔板，其配置于单个板状物表面或多个板状物之间，其特征在于，在将该板状物和该隔板接触的接触面积设为S1，将该隔板的接触面侧的面积设为S2时，满足S1＜S2的关系，具有防止向所述板状物附着有机物的结构。
另外，防止有机物附着的结构是指在隔板表面和板状物之间产生非接触的部分的所有结构。
另外，最好在所述隔板表面形成有图案形状。
形成于隔板表面的图案形状只要为可保证隔板的强度且可降低与基板的接触面积的结构即可，但从也包括制造成本的观点考虑，优选为周期图案，更加理想的是从与隔板表面垂直的方向看到的所述图案为以平行四边形为基本图案的周期图案，最好是所述平行四边形为菱形。
另外，本发明的隔板在将隔板的剥离方向上的向隔板表面投影的投影成分与所述菱形的边构成的角度设为θ的情况下，优选θ≠0°。
形成所述基本图案的平行四边形及菱形形状的长对角线最好与隔板的长边大致平行。
而且，形成所述基本图案的平行四边形及菱形形状的长对角线最好与隔板剥离方向上的向隔板投影的投影成分大致平行。
另外，剥离方向上的向隔板投影的投影成分最好是隔板的长边方向。
而且，隔板的剥离方向与隔板面构成的角度最好小于90°。
另外，本发明的隔板中理想的是，所述基本图案的边部形成凸部，由所述基本图案的边部包围的面形成凹部，所述凸部与所述板状物接触。
本发明的隔板也可以为网状，此时，可将构成网的结构部定义为凸部，将网的开口部定义为凹部。
另外，在配置于多个板状物间的隔板中，该隔板的构成材料最好少向该板状物附着有机物。
另外，本发明的隔板最好配置于多个板状物之间。
另外，本发明的隔板从可容易地形成表面图案观点考虑，该隔板的构成材料优选至少含有有机物，最好为树脂。
本发明的隔板从容易地清洗成为捆包对象的板状物的观点考虑，有机物向该板状物的转印量优选小于或等于100ng/cm2。另外，向该板状物转印的有机物的分子量最好小于或等于10000。
在此，所述板状物只要是使用本发明的隔板进行搬运的部件即可，列举有：玻璃基板(包括液晶显示器、有机EL显示器及等离子显示器等平面板制造用的部件)、半导体制造用硅基板、半导体基板、树脂基板、印刷基板等电路基板、印刷线路板、平板等陶瓷基板、平板等金属基板、塑料基板、电路基板、磁记录基板、光学记录基板及光磁记录基板等基板类；透镜片、棱镜片、相位差薄膜、亮度提高片、视野放大片、电磁波屏蔽片、扩散片、双凸透镜片及反射片等光学片类；液晶显示装置、有机EL显示装置及等离子显示装置等显示装置；导光板、反射板、偏光板、相位差板、扩散板、透镜、棱镜等光学成形部件；半导体装置；CD、DVD、MO及硬盘等记录介质用玻璃；半导体及平板显示器等设备装置级；成形陶瓷板等陶瓷应用品，其中，优选使用玻璃基板、半导体基板、树脂基板、印刷线路板、陶瓷基板、显示装置、半导体装置、导光板、反射板、透镜片、棱镜片、相位差板、偏光板、电路基板、磁记录基板、光学记录基板、光磁记录基板及成形陶瓷板中使用，特别优选玻璃基板。通过使用本发明的隔板搬运所述板状物，可谋求可靠性的提高及后工序中的清洗的减轻等。
本发明的隔板和板状物的接触面根据隔板的结构而不同，但可大致分成没有开设将表面和背面贯通的开口的单纯的片形状和网状片形状两大类。
前者中，接触面如下定义。
首先，在将隔板的短边方向的长度设为W时，以测定曲线的基准长度为W，得到隔板单侧表面的由JIS B0601-1994定义的振幅分布曲线。
在以划分数设为n，将测定曲线的最高端和最低端的距离为D时，n＝D/Ra。
Ra为由JIS B0601-1994定义的算术平均粗度。
如图1的下部所示，在具有突起部的隔板10的情况中，如放大图1的上部所示，隔板单侧表面的振幅分布曲线在各突起部10的顶部和底部得到两个峰值，在该两个峰值中，以板状物侧为第一峰值11，以隔板侧为第二峰值12。
此时，将存在于第一峰值11侧的隔板表面定义为接触面Sc。
另一方面，如图2所示，在将线材纵横交织而形成的网状片15的情况中，接触面被如下定义。
测定隔板结构部的Ra及隔板结构部的厚度T。
设在基准平板16上载置有隔板15时的基准平板表面为0，以从隔板表面到Ra的内部侧的高度、即T-Ra的位置为计测线，将该计测线与隔板结构部交叉而形成的区域作为接触面。
此时，超过由JIS B0601-1994规定的局部顶端的平均间隔的10倍的非交叉部不看作为接触面。
在两者中，隔板的面积是指包括凹部或开口部的整个片的面积。
图案即可以不规则，也可以规则，但从制造成本方面考虑，优选规则的周期图案，更加理想的是从与隔板表面垂直的方向看到的形状为以平行四边形为基本图案的周期图案，最好是所述平行四边形为菱形。
由此，可在确保机械强度的同时，使剥离时产生的静电量最小。
作为本发明的隔板所使用的树脂，不论其热固化性、热塑性如何，理想的是转印有机物量少的树脂，最好是有机物转印量小于或等于100ng/cm2的树脂。另外，理想的是转印有机物的分子量小于或等于10000，更加理想的是小于或等于1000，最好小于或等于100。
另外，考虑成本及生产性，则最好使用热塑性树脂。
作为热塑性树脂的具体例，列举：聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚氨脂、聚脂、聚碳酸脂、聚酰胺、聚环状烯烃(ポリシクロォレフィン)等。
在上述热塑性树脂中，特别是从有机物转印量少且作为薄膜的特性优良考虑，优选聚烯烃、聚氨脂、聚脂、聚碳酸脂及聚环状烯烃，更加理想的是聚烯烃、聚脂、聚碳酸脂及聚环状烯烃，最好为聚烯烃及聚环状烯烃。
另外，作为聚脂，优选聚对苯二甲酸乙二脂。
作为聚烯烃，优选聚乙烯。
在本发明中，板状物是指板状的结构。板状是指薄的形状，是物体的长度方向的长度及与其垂直的方向的长度比宽度方向的长度(厚度)长许多的形状。包含长度方向及与其垂直的方向的面既可以为平面，也可以为曲面，还可以具有台阶高差。
另外，板状物也可以为如下的结构，即，将本发明的隔板作为要保护对象面的一部分，整体上不是板状。
作为板状物，优选(板状物长度方向的长度及与其垂直的方向的长度的平均值)/(板状物的厚度最大处的厚度)大于或等于3，理想的是大于或等于10，更加理想的是大于或等于100，最好大于或等于1000。
基板等板状物夹着本发明的隔板贴紧捆包，在将其运输并搬运后，在将捆包开封时，进行去除隔板的操作。在本申请中将其称作剥离。关于剥离的方向，由于相对隔板面完全垂直地剥离、即将片整体提起而进行剥离的方式并不实际，因此，通过将隔板从端部向一方向拉伸进行剥离是有效的。在本发明中，将该方向称作剥离方向。剥离方向与隔板面构成的角度最好小于90°。另外，由于其方向相对隔板面不平行，故最好将剥离方向的向隔板投影的投影成分设为隔板的长边方向。例如，在操作者握住一点进行剥离时，优选从片的角部向对角线方向剥离，在使用机械手等进行剥离时，最好保持相邻的角部两点而沿片的边部方向进行剥离。从除去静电的观点考虑，当相对剥离方向垂直地具有长的接触面时，由于在将其线剥离的瞬间，瞬间产生大量的静电，故理想的是剥离方向与线的方向不平行。
另外，在隔板在表面具有以平行四边形为基本图案的周期图案的情况下，从防静电的观点考虑，优选剥离方向的向隔板投影的投影成分与该平行四边形的长对角线大致平行。
另外，大致平行是指，投影成分与长对角线构成的角度小于或等于30°，优选小于或等于10°，最好小于或等于3°。
根据本发明的隔板，在将其配置于单个板状物表面或多个板状物之间时，隔板与该板状物的接触面积S1比隔板的接触面侧的面积S2小。因此，可高密度地层积或捆包板状物，并且保护表面，降低剥离时产生的静电量。即，由于可缩小捆包体积并且减少灰尘的附着量，故可不降低可靠性等地降低输送成本。
另外，作为本发明的隔板的优选形态，在表面形成有图案的情况下，可确保机械强度并且缩小其与板状物的接触面积。
另外，在配置于多个板状物间的隔板中，由于该隔板的构成材料向该板状物的有机物附着少，故不会在板状物上产生有机物造成的污染，可有助于该板状物的可靠性的提高及后工序中的清洗成本的降低等。另外，本发明的隔板在作为优选的样态由树脂等有机物构成的情况下，可以以低的成本形成表面图案。
根据本发明的隔板，可将玻璃基板、半导体基板、树脂基板、印刷线路板、陶瓷板及陶瓷应用制品、金属基板、液晶显示装置、有机EL显示装置、等离子地址装置、半导体装置、导光板、反射板、透镜片、棱镜片、偏光板、电路基板、磁记录基板、光学记录基板、光磁记录基板、成形陶瓷板、相位差薄膜、亮度提高片、视野扩大片、电磁波屏蔽片、扩散板、扩散片、双凸透镜片、反射片等光学片类、透镜、棱镜这样的光学成形部件等廉价地高度集成，并且难以产生有机物及灰尘的附着造成的污染，故可谋求可靠性的提高及后工序的清洗的减轻等。
根据本发明，可提供可控制成为污染原因的静电及有机物转印的板状物的搬运方法。
另外，可提供使用利用本发明的隔板输送的各种基板制造的产品，例如半导体装置、电路基板、磁记录装置、光学记录装置、光磁记录装置、导光板、透镜片、棱镜片、反射板、偏光板、成形陶瓷板等产品。
另外，可提供板状物的输送方法，其特征在于，在多个板状物之间夹着本发明的隔板，使该板状物和隔板贴紧，进行输送。
附图说明
图1是使用振幅分布曲线说明本发明的单一片形状的隔板的接触表面的定义的图；
图2是使用振幅分布曲线说明本发明的网状片形状的隔板的接触表面的定义的图；
图3是表示本发明的实施例1的隔板表面的模式图；
图4是表示本发明的实施例2的隔板表面的概略图；
图5是表示本发明的实施例3的隔板表面的概略图。
具体实施方式
本发明者在为抑制成为污染原因的静电及有机物转印而探讨各种隔板的形状及材质的过程中发现，为了减少静电的产生及有机物转印，只要减小隔板与板状物的接触面积即可，通过对最适合的形状进行研究，选定材料，本发明能够实现难以将保护的各种板状物表面污染。下面，具体地说明本发明。
图3～图5是表示本发明实施例1～3的隔板的形状的部分概略剖面图。
如图3～图5所示，在本发明的隔板表面形成有微小的凸部(或结构部)及凹部(或开口部)。
凹凸的高度通常小于或等于1mm，优选小于或等于0.5mm，最好小于或等于0.1mm。
凸部及凹部的高度不必特别均匀，但最好使其尽可能地均匀。
接触面积S1和隔板的接触面侧的面积S2只要满足S1＜S2即可，但优选S2大于或等于S1的2倍，更加理想的是大于或等于5倍，最好大于或等于10倍。
接触面的配置(图案)最好其至少一部分是周期性的，既可以是连续的也可以是不连续的。
接触面最好尽可能地均匀分散配置在整个隔板上，隔板的周边部最好形成凸部。
隔板的形状形成方法没有特别限制，但通常使用采用转印辊的转印法、使用模型的冲压法、压气(圧空)或真空冲压法等。另外，也可以使用采用溶剂及光分解等的蚀刻法、及用于形成凸部的倾斜形成法。另外，也可以使用采用喷墨等印刷技术的印刷法形成凸部的倾斜。
本发明的隔板的使用方法最好是，在使用于玻璃基板及硅基板等单一的板状物时，夹在捆包容器或捆包袋与板状物之间使用。
在将多个板状物重叠时，最好将隔板夹在板状物之间使用。
捆包容器及捆包袋没有特别限制，但优选密封性优良，且容器及袋本身无污染的金属、陶瓷或塑料制容器或袋。另外，这些容器或袋最好为聚环状烯烃制或精制的树脂制。
下面表示实施例。
实施例1
参照图3对本发明的实施例1的隔板的结构进行说明。
图3是表示本实施例1的隔板的结构的模式图。在图示的隔板中，在其两面利用轧纹法形成台状的凸部21及22。
在本实施例中，使用聚环状烯烃作为片材料。
隔板的厚度可根据作为对象的板状物的形状或大小适当选择，但在本实施例中，从加工性的观点考虑，将片基材部的厚度设为75μm，凸部21的高度设为50μm。另外，将凸部21及22的上面形成为一边为10μm的正方形。
此时，通过上述的方法测定一个凸部21、22与板状物接触的接触面积，测定结果为100μm2。
在使用厚度0.7mm、宽度1100mm、长度1300mm的玻璃基板作为板状物的情况下，接触面积为794cm2。此时，由于片的面积为14300cm2，故接触面积比率为5.6％，剥离造成的静电产生量与全面接触的情况相比，约为1/20。
为评价本实施例的隔板对玻璃基板的影响，对分别形成于与纸制隔板接触的玻璃基板和与本实施例的隔板接触的玻璃基板上的电气元件的特性进行比较。
准备分别与纸制隔板和本实施例的隔板接触的玻璃基板，将通过硬掩模法对在它们之上构图的A1喷溅成膜，构成下部电极。
在下部电极之上利用等离子CVD法以400℃的温度形成Si3N4膜而作为绝缘膜。
通过在成膜了的Si3N4膜表面喷溅成膜A1并进行构图，形成上部电极。
在下部电极和上部电极之间施加电压，计测绝缘膜绝缘破坏时的电场，作为绝缘耐压。
与纸制隔板接触的玻璃基板上的Si3N4膜的绝缘耐压为1MV/cm，与本实施例的隔板接触的玻璃基板上的Si3N4膜的绝缘耐压为8.2MV/cm。
为将绝缘耐压的不同明确化，而分别对这些Si3N4膜的剖面进行EDX分析，其结果是，在与纸制隔板接触的玻璃基板上的Si3N4膜(绝缘膜)中观测到碳C及氧O等元素分别为3.6atom％、22atom％，可推测为它们是使绝缘耐压劣化的主要原因。
另一方面，在与本发明的隔板接触的玻璃基板上的Si3N4膜中没有观测到碳C及氧O等元素。
即，本发明的隔板由于对作为板状物的玻璃基板不给予有机物的转印污染，故在玻璃基板上的绝缘膜上没有看到绝缘耐压的劣化。
根据本实施例1的隔板，可抑制由有机物的吸附造成的向板状物表面的污染，并且减小剥离时的静电产生量。另外，图3中对在片的两面设有凸部21及22的情况进行了说明，但也可以仅在片的一面设置凸部。此时，不仅可以将凸部的上面形成为平坦面，也可以将凸部前端裁断而使凸部包围凹部(开口部)。即，也可以采用由包围凹部的凸部形成闭曲线(或多角形)的结构。该结构具有可将接触面积降低，同时也可以维持机械强度的效果。
实施例2
参照图4对本发明的实施例2的隔板进行说明。
图4是表示本实施例2的隔板的结构的模式图。在图示的隔板上，由辊转印法在其表面形成菱形形状的图案。
菱形的边部形成凸部31，由边包围的面部分形成凹部32。凸部的高度为50μm，成为基材的片部的厚度为100μm。
在菱形的对角线中，长的长对角线的长度为8mm，短的短对角线的长度为4.6mm。隔板的剥离方向上的向隔板表面投影的投影成分是图中的空心箭头方向D(图的右方向)，其被设定在隔板的长边方向上。
由此，可确保隔板的结构强度，并且在以一定速度进行剥离时使单位时间内剥离的面积最小。
即，可使单位时间内剥离造成的静电的产生最小。
在使用厚度0.7mm、宽度1100mm、长度1300mm的玻璃基板作为板状物的情况下，接触面积为715cm2。此时，由于片的面积为14300cm2，故接触面积比率为5％，剥离造成的静电产生量与全面接触的情况相比，约为1/20。
与实施例1同样，使用与本实施例的隔板接触的玻璃基板进行Si3N4膜的绝缘耐压的评价，得到与实施例1相同的结果。
即，根据本实施例2的隔板，可抑制由有机物的吸附造成的向板状物表面的污染，并且减小剥离时的静电产生量。
另外，本实施例的隔板在表面具有菱形形状，由于剥离方向上的向隔板投影的投影成分方向与菱形的长对角线平行，故可保持机械强度，并且抑制由于在局部产生大面积的剥离而引起的静电的产生。
实施例3
参照图5对本发明的实施例3的隔板进行说明。
图5是表示本实施例3的隔板的结构的模式图。图示的隔板为如下结构，将一定宽度的带状树脂41及42组合成网状，将交叉部融着构成。此时，带宽为5mm，带间距为20mm。
在图示的隔板的情况中，在交叉的带树脂41及42的交点位置形成与板状结构物接触的接触面。在使用厚度0.7mm、宽度1100mm、长度1300mm的玻璃基板作为板状物的情况下，接触面积为894cm2。
此时，由于隔板的面积为14300cm2，故接触面积比率为6.3％，剥离造成的静电产生量与全面接触的情况相比，约为1/20。
实施例4
为了进一步确认实施例1～3的各隔板的效果，进行有以下的试验。
首先，准备与实施例1～3相同的结构的聚环状烯烃制隔板及聚对苯酸二甲酸乙二脂制隔板、和多个无碱玻璃基板。无碱玻璃基板利用向超纯水中添加2～3ppm的臭氧并由CO2将pH调整到5左右的添加CO2的臭氧水和向超纯水中添加2～3ppm的氢并由NH3将pH调整到9左右的添加NH3氢水进行清洗。将各隔板夹在两片无碱玻璃基板中而重叠，并置于地面上放置1周时间。然后，调查各无碱玻璃基板的与隔板的接触面的尘埃量、有机物吸附量及附着有机物的分子量。
作为比较，在作为隔板使用纸时、及使用表面无图案形状的平坦的聚对苯酸二甲酸乙二脂时，对各基板表面也同样地调查附着尘埃量、有机物吸附量及附着有机物的分子量。
上述的试验在10000级的净室内，在化学薄膜之下实施。
作为无碱玻璃基板，厚度有所不同，但都是长为10cm、宽为20cm的长方形基板。
吸附尘埃量的测定如下进行，使光从横向与接触了隔板的无碱玻璃基板表面接触，目视调查其表面上的异物的数量。
有机物的吸附量如下定量，在高纯度氮气中将无碱玻璃基板加热到500℃，由捕集管捕集挥发成分，由气相色谱质量分析器(GC-MS)对捕集的有机物进行定量。
吸附有机物的分子量如下测定，代替用于有机物吸附测定的捕集管而通过在氯仿溶液中发泡来捕集有机物，将捕集到的有机物浓缩后，使用装备有分子量小于或等于10000测定用柱(カラム)的凝胶渗透色谱法(GPC)进行测定。
表1表示结果。
表1
  项目                     实施例         比较例   Ref.
  材质       聚环状烯烃      聚对苯二甲酸乙二脂(PET)   纸   PET   无隔板
  形状   图2   图3   图4   图2   图3   图4   平坦   平坦
  附着尘埃量(个)   0   0   0   0   0   0   ＞10000   100   0
  吸附有机物量(ng/cm2)   ＜1   ＜1   ＜1   4   3   5   ＞200   10   ＜1
  吸附有机物的分子量(Mn)   -   -   -   1000   1000   1000   ＞10000   1000   -
在与聚环状烯烃制隔板及聚对苯二甲酸乙二脂制隔板接触的无碱玻璃基板的表面，没有观测到附着尘埃，另外，有机物的吸附量也少。
在与作为比较而使用的纸隔板接触的无碱玻璃基板的表面，观测到大量尘埃和吸附有机物。
在使无表面形状的平坦的聚对苯二甲酸乙二脂制隔板接触的无碱玻璃基板的表面，观测到大量附着尘埃量、有机物吸附量比纸的情况少。
将具有本发明的形状的聚环状烯烃制隔板和没有本实施例的形状的平坦的聚环状烯烃制隔板分别粘贴到玻璃基板上，快速剥离时的玻璃基板上的带电电位，前者为小于或等于500V，后者为大于或等于10000V。
实施例5
使用记载于实施例1～3的隔板作为液晶显示装置的显示面板的隔板，其结果是，灰尘向面板表面的附着、有机物造成的污染的附着极少，容易生产制造工序结束而清洗困难的显示面板。
另外，在实施例1～3中说明了板状结构体与隔板的接触面积的比率为5.0％～6.3％的情况，但根据本发明者的试验，其比率只要小于或等于50％即可，理想的是小于或等于20％，最好小于或等于10％。
另外，在上面说明的实施例中，对通过在表面进行轧纹而形成突起，或可通过使用形成网状的隔板减少与板状结构物表面的接触面积来显著减轻有机物等的污染及粘附的情况进行了说明，但本发明不限与此，例如，也可以在将由聚环状烯烃类树脂构成的平坦的隔板与板状结构物贴紧的状态下进行输送，在剥离隔板时，进行除电。作为除去此时的剥离隔板时的静电的方法，优选照射软X线。在使用由厚度0.5mm的聚环状烯烃类树脂构成的隔板来为输送、保管100片厚度0.7mm的玻璃基板而进行捆包时，可使整体的厚度为12cm，但其在为避免玻璃基板相互接触而保持约2cm的空间的情况下的整体厚度约为210cm的二十分之一，可无灰尘、水分、有机物污染，省空间地输送、保管玻璃基板。
产业上的可利用性
将本发明用于有机EL显示面板、等离子显示面板、半导体基板、陶瓷基板、金属基板、电路基板、CD、DVD、MO、硬盘基板、棱镜片、透镜片、相位差薄膜、亮度提高片、视野扩大片、电磁波屏蔽片、导光板、扩散板、扩散片、双凸透镜片、反射片、透镜、棱菱镜中，进行试验，其结果可知，向表面附着的灰尘、有机物造成的污染的附着极少，产品的可靠性提高。

Claims (15)

1、一种隔板，配置于单独的板状物表面或多个板状物之间，其特征在于，在将该板状物与该隔板进行接触的接触面积设为S1，将该隔板的接触面侧的面积设为S2时，满足S1＜S2的关系，并且具有防止向所述板状物附着有机物的结构。
2、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，在所述隔板表面形成有图案。
3、如权利要求2所述的隔板，其特征在于，从与隔板表面垂直的方向看到的所述图案是以平行四边形为基本图案的周期图案。
4、如权利要求3所述的隔板，其特征在于，所述平行四边形是菱形。
5、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，所述隔板的剥离方向与隔板的面构成的角度小于90°。
6、如权利要求3所述的隔板，其特征在于，所述基本图案的长对角线与隔板剥离方向上的向隔板投影的投影成分大致平行。
7、如权利要求3所述的隔板，其特征在于，所述基本图案的边部形成凸部，由所述基本图案的边部包围的面形成凹部，所述凸部与所述板状物接触。
8、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，其配置于多个板状物间。
9、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，该隔板的构成材料至少含有有机物。
10、如权利要求9所述的隔板，其特征在于，所述有机物是树脂。
11、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，有机物向所述板状物的转印量小于或等于100ng/cm2。
12、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，向所述板状物转印的有机物的分子量小于或等于10000。
13、如权利要求1所述的隔板，其特征在于，所述板状物是玻璃基板、半导体基板、树脂基板、印刷线路板、陶瓷基板、显示装置、半导体装置、导光板、反射板、透镜片、棱镜片、相位差板、偏光板、电路基板、磁记录基板、光学记录基板、光磁记录基板、成形陶瓷板中的任一个。
14、一种产品，其特征在于，使用利用权利要求1所记载的隔板进行输送的基板制造而成。
15、一种板状物的输送方法，其特征在于，在多个板状物之间夹着权利要求8所述的隔板，将该板状物与隔板贴紧并进行输送。
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