CN1823288A - 具有微结构光学元件的光源和具有光源的显微镜 - Google Patents

具有微结构光学元件的光源和具有光源的显微镜 Download PDF

Info

Publication number
CN1823288A
CN1823288A CN200480020233.2A CN200480020233A CN1823288A CN 1823288 A CN1823288 A CN 1823288A CN 200480020233 A CN200480020233 A CN 200480020233A CN 1823288 A CN1823288 A CN 1823288A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
light source
optical system
spectrum
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN200480020233.2A
Other languages
English (en)
Inventor
K·莫尔曼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems CMS GmbH
Original Assignee
Leica Microsystems CMS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leica Microsystems CMS GmbH filed Critical Leica Microsystems CMS GmbH
Publication of CN1823288A publication Critical patent/CN1823288A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/421—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical component consisting of a short length of fibre, e.g. fibre stub
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02295—Microstructured optical fibre

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

具有对一次光源的光进行光谱扩展的微结构光学元件的光源具有将光谱扩展过的光形成为照明光束的光学***。该光学***对光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发射进行补偿。此外，公开一种显微镜。

Description

具有微结构光学元件的光源 和具有光源的显微镜
本发明涉及一种具有微结构光学元件并具有光学***的光源，该微结构光学元件对一次光源的光进行光谱扩展，该光学***将光谱扩展过的光形成为照明光束。
此外，本发明涉及显微镜，该显微镜包括光源，该光源具有微结构光学元件并具有光学***，该微结构光学元件对一次光源的光进行光谱扩展，该光学***将光谱扩展过的光形成为照明光束。
专利文献US 6,097,870公开了一种用于在可见光谱范围和红外光谱范围中产生宽带光谱的装置。该装置基于在其中输入耦合泵激光器的光的微结构光纤。泵激光在微结构光纤中通过非线性效应来扩展。作为微结构光纤，可应用所谓的光子带隙材料(Photonic-Band-Gap-Material)或者“光子晶体光纤(photon crystal fibre)”、“多孔光纤(holey fiber)”或者“微结构光纤(micros tructuredfiber)”。改进方案也公知为所谓的“空心光纤(Hollow fiber)”。
用于产生宽带光谱的另一装置在Birks等人的公开文献：“Supercontinuum generation in tapered fibers”(Opt.Lett.Vol.25，p.1415(2000))中公开。在该装置中应用了具有光纤芯的传统的光导纤维，该光导纤维至少沿着部件成锥形(Verjuengung)。这类光导纤维公知为所谓的“锥形光纤(taperedfiber)”。
尤其是在显微术、内诊术、流量细胞测量法(Flusszytometrie)、色层分离法和在石版印刷术中，为了照明对象，通用的、具有高光密度的照明设备是重要的。在扫描显微术中，利用光束对试样进行扫描(abrastern)。为此，激光器常常被用作光源。从EP 0 495 930：“Konfokales Mikroskopsystem fuer Mehrfarbenfluoreszenz”中例如公知一种具有单个发射多个激光线的激光器的装置。目前，为此大多采用混合气体激光器、尤其是ArKr激光器。作为试样，研究例如利用荧光染料制备的、生物的组织或者剖面。在材料研究领域中常常检测从试样反射的照明光。常常也应用泵激光器排在其前面的固体激光器和染料激光器以及光纤激光器和光学参量振荡器(OPO)。
从公开文献DE 101 15 488 A1中公知一种用于照明对象的装置，该装置包括对激光器的光进行光谱扩展的微结构光学元件。该装置包括将光谱扩展过的光形成为照明光束的光学***。此外，在该公开文献中公开了在显微镜中、尤其是在扫描显微镜中应用用于照明的装置。
已指出，尤其是来自光源的多色彩的照明光束基于差的光束特性只可有限地应用，该光源包括微结构光学材料、尤其是微结构光学纤维。特别是在显微术中，在应用这样的照明光束时常得到不够好的结果。
因而，本发明的任务是，给出具有微结构光学元件的光源，该光源产生照明光束，该照明光束与被包括在其中的光谱分量无关地具有良好的光束质量。
该任务通过光源来解决，该光源的特征在于，光学***对光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发散进行补偿。
本发明的另一任务是，给出一显微镜，该显微镜包括具有微结构光学元件的光源，利用该显微镜也可以在多色彩照明时实现良好的成像结果。
该任务通过显微镜来解决，该显微镜的特征在于，光学***可以对光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发散进行补偿。
根据本发明认识到，在从现有技术中公知的、具有微结构光学材料的光源中的不够好的光束质量归因于：在光谱扩展过的光从微结构光学材料中射出时，其不同光谱分量的照明锥具有不同的差别。在“传统的玻璃光纤(突变型(Step-Index)光纤)”中，针对所有波长的发散在第一级中很大程度相等，而各个光谱分量的波长越长，微结构光纤处的发散度越大。这归因于：包层(Cladding)中的孔修改了针对各个波长有效的折射率，并且也修改了色散度。在短波长中，只有微小部分的电场侵入该孔中，以致包层中的折射率几乎与光纤材料(通常为纯石英)的折射率相对应。在较长的波长中，电场大大侵入到该孔的区域中，由此强烈降低有效的折射率。这种效应与孔的大小和孔的间距有关。
根据本发明的光源有利地产生照明光束，该照明光束的光对于其所有光谱分量可被同时准直。这尤其是在扫描显微术中产生极其有利的效果，因为在那里具有以下决定性的重要性，即照明光束的所有光谱分量在应观测的试样层中可找到其焦点。
在优选的改进方案中，针对不同光的波长的光学***具有不同的焦距。在此，对于许多应用足够的是，光学***在第一级中考虑并校正了发散度与波长的线性关系。对于极其特殊的应用，光学***优选地精确地与微结构光纤的光谱特性相匹配。
在光源的优选的实施变型中，光学***对光谱扩展过的光的较短波的光谱分量比光谱扩展过的较长波的光谱分量进行更强烈地聚焦。
微结构光学元件优选地包括光子带隙材料，并且附加地优选地被构造为光导纤维(光子晶体光纤PCS；多孔光纤等)。
在另一变型中，被构造为光导纤维的微结构光学元件成锥形(锥形光纤)。
在光源的优选的变型中，设置光阑，该光阑遮住光谱扩展过的光的边缘光线。该光阑考虑以下效应，即随着波长的增长，更多的光到达微结构光导纤维的包层中，虽然该光的光功率分量基本上小于直接从芯中射出的光谱扩展过的光的光功率分量，但是这在微结构光导纤维的输出上是可见的。尤其是在共焦的电子光栅显微镜中采用该光源时有利的是，将该边缘光通过光阑过滤出。将光谱扩展过的光形成为照明光束的光学***优选地具有适当的光阑。
在完全优选的改进方案变型中，光学***是显微镜的组成部分，尤其是电子光栅显微镜或共焦的电子光栅显微镜的组成部分。如果光学***被实施为物镜，则是特别有利的。
本发明的光源例如也可用于流量细胞测量仪(Flusszytometer)或内窥镜或色层谱仪或石版印刷装置中。
在优选的扫描显微镜的改进方案中，微结构光学元件由具有至少两种不同光学密度的、多个微光学结构元件构成。以下改进方案是完全特别优选的，其中光学元件包括第一区域和第二区域，其中，第一区域具有均匀的结构，而在第二区域中，显微镜的结构由微光学结构元件构成。此外，如果第一区域包围第二区域，则是有利的。微光学结构元件优选的是套管、桥形接片、蜂房(Wabe)、电子管或空腔。
在另一改进方案中，微结构光学元件由并排布置的玻璃或塑料材料和空腔构成。特别优选以下实施变型，其中微结构光学元件由光子带隙材料构成，并被构造为光导纤维。在激光器和光导纤维之间优选地设置光学二极管，该光学二极管抑制来源于光导纤维的末端的光束的逆反射。
完全特别优选的并且能简单实现的实施变型包括具有约9μm的光纤芯直径的传统的光导纤维作为微结构光学元件，该光导纤维至少沿着部件成锥形。这种类型的光导纤维公知为所谓的“锥形光纤”。光导纤维优选地总共长1m，并且在从30mm到90mm的长度上成锥形。在优选的改进方案中，整个光纤的直径在成锥形的范围中约为2μm。
在附图中示意性示出本发明对象，并且下面根据附图来说明。在此：
图1示出本发明的光源，
图2示出没有光学***的光谱扩展过的光的光束径迹，
图3示出具有消色差校正过的光学***的光谱扩展过的光的光束径迹，
图4示出本发明光源中的光谱扩展过的光的光束径迹，
图5示出另一本发明的光源和
图6示出本发明的共焦的电子光栅显微镜。
图1示出具有被构造为微结构光导纤维5的微结构光学元件3的本发明的光源1。微结构光导纤维5扩展了被实施为脉冲激光器11的一次光源9的光7。将光谱扩展过的光形成为照明光束15的光学***13位于微结构光导纤维5的末端，其中，光学***13对从微结构光导纤维5中射出的光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发射进行补偿。聚焦光学***17位于一次光源9和微结构光导纤维5之间。该聚焦光学***17将一次光源的光聚焦到微结构光导纤维5的入射端。为了防止外部干扰影响，构件位于外壳19中。
图2示例性地示出在光谱扩展过的光从微结构光学光导纤维5中射出时其来自红色光谱范围的第一光束21和来自蓝色光谱范围的第二光束23的径迹。微结构光导纤维5具有包层25和光纤芯27。也示意性地认识到：来自红色光谱范围的第一光束21部分地也从包层25射出，而来自蓝色光谱范围的第二光束23基本上从光纤芯中射出。优选地，光学***也补偿远焦性的这种实际情况。
图3示出根据现有技术的装置，其中，为了形成照明光束15，光学***13被构造为消色差的光学***29。在包括来自蓝色光谱范围的光的第二光束23由消色差的光学***29进行准直时，以有缺陷的方式对包括来自红色光谱范围的光的第一光束21的光进行聚焦。因此，两光束21、23并非同时形成平行的射束，而是因而仅仅形成降低的光学射束质量的照明光束。
图4示出在应用光学***13时第一光束21和第二光束23的径迹，该第一光束21包括红色光谱分量的光，该第二光束23包括蓝色光谱分量的光，该光学***13被实施为调谐到微结构光学光导纤维5的光谱特性的光学***31。在本发明的装置中，不仅包括光谱扩展过的光的来自红色光谱范围的光的第一光束21经过，而且包括光谱扩展过的光的来自蓝色光谱范围的光的第二光束23经过，并且这两个光束彼此平行地准直，而且形成具有完好无缺陷的光学射束特性的照明光束。
图5示出光源的改进方案变型，其中，为了遮住从微结构光学元件3的包层25中射出的光而设置一可变的光阑33。
图6示出本发明的、被构成为共焦的电子光栅显微镜的电子光栅显微镜。从具有在该图中未示出的微结构光学元件的光源1发出的照明光束15由透镜35聚焦到照明针孔光阑37，并且最终到达主分束器(Hauptstrahlteiler)39，该主分束器39将照明光束15转向包括万向悬置的扫描镜43的光束偏转设备41。光束偏转设备41通过扫描透镜45和镜筒透镜47以及通过物镜49将照明光束15引导穿过或通过试样51。从试样射出的、在该图中以虚线示出的检测光53以相反的光程到达，也即通过物镜49、镜筒透镜47和通过扫描透镜45返回到光束偏转设备41，并且返回到主分束器39，通过该主分束器39，并且在经过检测针孔光阑55之后到达被实施为多频带检测器59的检测器57。在多频带检测器59中，在各种光谱检测通道中对检测光进行检测，并且产生与功率成比例的电信号，该电信号被转交给未示出的、用于示出试样51的像的处理***。
本发明参考特别的实施形式加以说明。可是，当然可执行变化方案和变形，而在此不离开下述的权利要求的保护范围。
参考符号列表：
1    光源
3    微结构光学元件
5    光导纤维
7    光
9    一次光源
11   脉冲激光器
13   光学***
15   照明光束
17   聚焦光学***
19   外壳
21   第一光束
23   第二光束
25   包层
27   光纤芯
29   消色差的光学***
31   所调谐的光学***
33   光阑
35   透镜
37   照明针孔光阑
39   主分束器
41   光束偏转设备
43   扫描镜
45   扫描透镜
47   镜筒透镜
49   物镜
51   试样
53   检测光
55   检测针孔光阑
57   检测器
59   多频带检测器

Claims (20)

1、具有微结构光学元件的光源，该光学元件对一次光源的光进行光谱扩展，并且该光源具有光学***，该光学***将光谱扩展过的光形成为照明光束，其特征在于，该光学***对该光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发散进行补偿。
2、根据权利要求1所述的光源，其特征在于，所述光学***针对不同波长的光具有不同的焦距。
3、根据权利要求1或2之一所述的光源，其特征在于，所述光学***对所述光谱扩展过的光的较短波的光谱分量比所述光谱扩展过的光的较长波的光谱分量进行更强烈地聚焦。
4、根据权利要求1到3之一所述的光源，其特征在于，所述微结构光学元件包括光子带隙材料。
5、根据权利要求1到4之一所述的光源，其特征在于，所述微结构光学元件被构造为光导纤维。
6、根据权利要求5所述的光源，其特征在于，所述微结构光学元件成锥形(锥形光纤)。
7、根据权利要求5或6之一所述的光源，其特征在于，所述微结构光学元件是光子晶体光纤(微结构光纤、多孔光纤)。
8、根据权利要求1到7之一所述的光源，其特征在于，设置遮住所述光谱扩展过的光的边缘光线的光阑。
9、根据权利要求1到8之一所述的光源，其特征在于，所述光学***是显微镜的组成部分，尤其是电子光栅显微镜或共焦的电子光栅显微镜的组成部分。
10、根据权利要求1到9之一所述的光源，其特征在于，所述光学***是物镜。
11、根据权利要求1到8之一所述的光源，其特征在于，在流量细胞测量仪或内窥镜或色层谱仪或石版印刷装置中的应用。
12、显微镜，其包括光源，该光源具有对一次光源的光进行光谱扩展的微结构光学元件，并且该光源具有将光谱扩展过的光形成为照明光束的光学***，其特征在于，该光学***对该光谱扩展过的光的光谱分量的不同的发散进行补偿。
13、根据权利要示12所述的显微镜，其特征在于，所述光学***针对不同波长的光具有不同的焦距。
14、根据权利要求12或13之一所述的显微镜，其特征在于，所述光学***对所述光谱扩展过的光的较短波的光谱分量比对所述光谱扩展过的光的较长波的光谱分量进行更强烈地聚焦。
15、根据权利要求12到14之一所述的显微镜，其特征在于，所述微结构光学元件包括光子带隙材料。
16、根据权利要求12到15之一所述的显微镜，其特征在于，所述微结构光学元件被构造为光导纤维。
17、根据权利要求16所述的显微镜，其特征在于，所述微结构光学元件成锥形(锥形光纤)。
18、根据权利要求16或17之一所述的显微镜，其特征在于，所述微结构光学元件是光子晶体光纤(微结构光纤、多孔光纤)。
19、根据权利要求12到18之一所述的显微镜，其特征在于，所述光学***是物镜。
20、根据权利要求12到19之一所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜是电子光栅显微镜、尤其是共焦的电子光栅显微镜。
CN200480020233.2A 2003-07-15 2004-07-15 具有微结构光学元件的光源和具有光源的显微镜 Pending CN1823288A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10331906.9 2003-07-15
DE10331906A DE10331906B4 (de) 2003-07-15 2003-07-15 Lichtquelle mit einem Mikrostruktuierten optischen Element und Mikroskop mit Lichtquelle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1823288A true CN1823288A (zh) 2006-08-23

Family

ID=34041860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200480020233.2A Pending CN1823288A (zh) 2003-07-15 2004-07-15 具有微结构光学元件的光源和具有光源的显微镜

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20060165359A1 (zh)
EP (1) EP1644765A1 (zh)
JP (1) JP2009513994A (zh)
CN (1) CN1823288A (zh)
DE (1) DE10331906B4 (zh)
RU (1) RU2006104323A (zh)
WO (1) WO2005006042A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6831781B2 (en) * 1998-02-26 2004-12-14 The General Hospital Corporation Confocal microscopy with multi-spectral encoding and system and apparatus for spectroscopically encoded confocal microscopy
DE102004055321B4 (de) * 2004-11-16 2020-12-24 Leica Microsystems Cms Gmbh Optische Anordnung für ein Mikroskop und ein Mikroskop
US7519253B2 (en) 2005-11-18 2009-04-14 Omni Sciences, Inc. Broadband or mid-infrared fiber light sources
CN101904020B (zh) * 2007-12-18 2016-12-28 皇家飞利浦电子股份有限公司 光子晶体led
DE202009007789U1 (de) 2009-06-03 2009-08-20 Carl Zeiss Microimaging Gmbh Breitbandige Lichtquelle und Mikroskop
DE102009024941A1 (de) * 2009-06-09 2010-12-23 Carl Zeiss Surgical Gmbh Beleuchtungsvorrichtung und medizinisch-optisches Beobachtungsgerät

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
HU193436B (en) * 1984-07-23 1987-10-28 Tavkoezlesi Kutato Intezet Selective optical sensing apparatus, mainly for optical telecommunication equipments and optical locators
US4742222A (en) * 1984-07-23 1988-05-03 Tavkozlesi Kutato Intezet Selective optical detector apparatus utilizing longitudinal chromatic aberration
US5161057A (en) * 1988-09-12 1992-11-03 Johnson Kenneth C Dispersion-compensated fresnel lens
JP2505892B2 (ja) * 1989-08-03 1996-06-12 浜松ホトニクス株式会社 パラメトリツクパルスレ―ザ
US5127730A (en) * 1990-08-10 1992-07-07 Regents Of The University Of Minnesota Multi-color laser scanning confocal imaging system
US5444236A (en) * 1994-03-09 1995-08-22 Loral Infrared & Imaging Systems, Inc. Multicolor radiation detector method and apparatus
DE19612846C2 (de) * 1996-03-30 2000-04-20 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Erzeugung eines definierten Farblängsfehlers in einem konfokalen mikroskopischen Strahlengang
US6167173A (en) * 1997-01-27 2000-12-26 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
DE19702753C2 (de) * 1997-01-27 2003-04-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
US6631226B1 (en) * 1997-01-27 2003-10-07 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
DE19713362A1 (de) * 1997-03-29 1998-10-01 Zeiss Carl Jena Gmbh Konfokale mikroskopische Anordnung
DE19811371A1 (de) * 1998-03-16 1999-10-07 Zeiss Carl Jena Gmbh Abstimmbarer Faserlaser
US6262844B1 (en) * 1998-08-28 2001-07-17 Ksm Associates, Inc. Optical systems employing stepped diffractive surfaces
US6097870A (en) * 1999-05-17 2000-08-01 Lucent Technologies Inc. Article utilizing optical waveguides with anomalous dispersion at vis-nir wavelenghts
DE10024685A1 (de) * 2000-05-18 2001-11-22 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur konfokalen Autofokussierung
EP1164402B1 (de) * 2000-06-17 2010-04-28 Leica Microsystems CMS GmbH Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauelement für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
EP1164401B1 (de) * 2000-06-17 2005-03-09 Leica Microsystems Heidelberg GmbH Verschränkte-Photonen-Mikroskop
DE20122791U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-29 Leica Microsystems Cms Gmbh Scanmikroskop
DE20122782U1 (de) * 2000-06-17 2007-11-15 Leica Microsystems Cms Gmbh Beleuchtungseinrichtung
DE50108370D1 (de) * 2000-06-17 2006-01-19 Leica Microsystems Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop
US6898367B2 (en) * 2000-06-17 2005-05-24 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Method and instrument for microscopy
EP1164406B1 (de) * 2000-06-17 2019-04-17 Leica Microsystems CMS GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts
DE10115577A1 (de) * 2000-06-17 2001-12-20 Leica Microsystems Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung
AU2002254276A1 (en) * 2001-03-19 2002-10-03 Peter H. Bartels Miniaturized microscope array digital slide scanner
US6804045B2 (en) * 2002-05-24 2004-10-12 The Regents Of The University Of California Optical chirped beam amplification and propagation
US7411884B2 (en) * 2002-08-21 2008-08-12 Hoya Corporation Optical system with objective lens having diffraction structure

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005006042A1 (de) 2005-01-20
RU2006104323A (ru) 2007-09-20
DE10331906A1 (de) 2005-02-17
JP2009513994A (ja) 2009-04-02
EP1644765A1 (de) 2006-04-12
US20060165359A1 (en) 2006-07-27
DE10331906B4 (de) 2005-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7466885B2 (en) Light source comprising a plurality of microstructured optical elements
JP5253761B2 (ja) 走査型レーザ顕微鏡
US20040057047A1 (en) Cars microscope and method for cars microscopy
JP2010271569A (ja) 走査型顕微鏡装置
EP0880690A1 (en) Fluorescence imaging system compatible with macro and micro scanning objectives
US7746553B2 (en) Laser scanning microscope for fluorescence testing
JP2003028795A (ja) 試料検査方法及び走査型顕微鏡
US7190514B2 (en) Confocal scanning microscope
US7817271B2 (en) Confocal microscope and method for detecting by means of a confocal microscope
JP4560243B2 (ja) 顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置構造および走査顕微鏡のための照明装置
US6496307B2 (en) Confocal scanning microscope
JP5046442B2 (ja) 走査顕微鏡で顕微プレパラートを検査するための装置
JP5461527B2 (ja) 試料をエバネッセント照明する装置および方法
JPH11149045A (ja) 組込み短パルスレーザをもつハイコンパクトレーザ走査型顕微鏡
US8294984B2 (en) Microscope
CN1823288A (zh) 具有微结构光学元件的光源和具有光源的显微镜
US8477418B2 (en) Confocal laser microscope
US20220326498A1 (en) Microscope system with oblique illumination
CN212083230U (zh) 一种模块化深紫外多维激光共聚焦显微装置
US20110199676A1 (en) Confocal microscope
US8879148B2 (en) Pulse combiner for the various spectral colors of a supercontinuum laser pulse
US20090303584A1 (en) Method for laser scanning microscopy and beam combiner
WO2009115943A3 (en) Optical system for a fiber optic scanner
CN111060487A (zh) 一种模块化深紫外多维激光共聚焦显微装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20070302

Address after: Germany Wetzlar

Applicant after: Leica Microsystems

Address before: Mannheim

Applicant before: Leica Microsystems

C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication