CN1810608A - 基底传送设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基底传送设备。该设备包括多个空气喷射模块，所述空气喷射模块用于使基底浮起，并能够独立地连接到基底传送设备上或独立地从基底传送设备上拆下。从而，即使任一空气喷射模块损坏，仍可防止基底跌落，因为其它空气喷射模块继续使该基底浮起。而且，此类构造使得空气喷射模块具有维护方便的优点。

Description

基底传送设备

技术领域

本发明涉及一种用于传送板状基底的基底传送设备。

背景技术

信息技术近来的发展已导致信息显示设备的广泛应用，并且对其需求也持续增长。现有技术中已有多种信息显示设备，其范围从传统的CRT监视器到平板显示器，诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)及发光二极管(OLED)等。尤其是LCD，因其实用从而应用的重要性已日益增长。特别地，因为体积小、质量轻、功耗低等优点，LCD的应用已日益增长，能克服传统显示器如CRT监视器的缺点并作为传统显示器的替代品。

在此类平板显示设备的生产过程中，要加工一厚度约为0.7mm的薄玻璃基底。特别地，当将一薄而宽的玻璃基底传送到相应处理阶段时，要进行不同的处理。同时，由于平板显示设备需要相当高的精度，即使一微小的瑕疵也会严重影响平板显示设备的质量。这样，当生产平板显示设备时，其质量管理非常重要，以防止在传送基底以及制造平板设备的其它工序中损伤基底表面。

从这点意义上说，对于用于平板设备生产过程中的基底传送设备，已大体上研发了不与基底表面直接接触以避免损伤基底的基底传送设备。特别地，现有技术主要使用一种设计成以空气传送处在漂浮状态基底的基底传送设备。更特别地，所述基底传送设备如此运行：基底传送设备的滚轮在基底两侧与其很狭窄的部分相接触，并转动以传送基底，同时空气喷射喷嘴垂直于基底的包含中央区域在内的相当大表面而喷射空气以使基底浮起，从而允许稳定地传送宽的基底。

然而，由于此类空气漂浮型基底传送设备需要一泵来提供高压空气而使基底浮起，还需要导管将泵连接到基底传送设备的机体，所以该基底传送设备结构复杂，导致制造成本增加。特别地，由于近来平板显示设备的表面积增大，也需要更大容量的泵，这也使得对导管的管理更为困难。

另外，现有技术急需一种基底传送设备，该设备能够通过根据基底尺寸对该设备进行合适的调节从而通用于传送不同尺寸的基底。

发明内容

本发明用于解决上述问题，并且本发明的一个目的是提供一种适于有效地传送大面积基底的基底传送设备。

根据本发明的一个方面，上述及其它目的能通过提供一种基底传送设备而达到，所述基底传送设备用于沿水平方向传送放置在其上的基底，该设备包括：一对传送滚轮装置，所述滚轮装置彼此平行并间隔开一预定距离，并且以与基底两侧都接触的方式转动而在水平方向移动基底；多个空气喷射模块，所述各空气喷射模块放置在所述一对传送滚轮装置之间并且彼此间隔开一预定距离，适于向上朝着基底的中央区域喷射空气并使基底浮起，各空气喷射模块可拆卸地连接到基底传送设备上，并且其位置能够移动。

根据本发明的另一方面，提供一种基底传送设备，所述基底传送设备用于沿水平方向传送保持在倾斜状态的基底，该设备包括：一基底移动部件，该部件能转动并与所述倾斜基底的下端接触而沿水平方向移动该基底；以及多个空气喷射模块，所述各空气喷射模块相对于基底移动部件倾斜布置而朝着基底喷射空气以浮起处于倾斜状态的基底。

附图说明

从下文结合附图所作的详细描述，将会更为清楚地理解本发明的上述及其它目的和特征，在所述附图中：

图1为一立体图，示出了依据本发明的第一实施方式的基底传送设备；

图2为一横截面视图，示出了依据第一实施方式的基底传送设备的空气喷射模块的构造；

图3示出了一用于将基底装载在依据第一实施方式的基底传送设备上的工序；

图4示出了依据第一实施方式的基底传送设备的缓冲构件；

图5示出了依据第一实施方式的基底传送设备中一对传送滚轮设备的运行；

图6为一横截面视图，示出了依据本发明第二实施方式的基底传送设备；

图7为一前视图，示出了由依据第二实施方式的基底传送设备所传送的基底；以及

图8为一局部横截面视图，示出了依据第二实施方式的基底传送设备。

具体实施方式

下面将参考附图详细描述本发明的优选实施方式。

实施方式1

如图1所示，依据第一实施方式的基底传送设备1包括一对传送滚轮装置10、多个空气喷射模块20、及多个基底装载和卸载通道30。

所述一对传送滚轮装置10与基底S的两端直接接触，并且转动从而沿水平方向传送基底S。为了使基底在基底两侧非常狭窄的部分与所述一对传送滚轮装置10相接触的情况下由所述一对传送滚轮装置10传送，传送滚轮装置10在水平方向上尽可能远地间隔开。此时，传送滚轮装置10由隔离开的驱动单元(图未示)转动。这里，所述驱动单元与所述一对传送滚轮装置10隔离开是为了防止在传送滚轮装置10转动中可能产生的微粒朝基底扩散并污损基底。具体地，如图1所示，各驱动单元设置在外部箱体12的封闭空间内，并且与相关联的、接触基底S的传送滚轮装置10隔离开。外部箱体12上可形成有通风孔(图未示)，通过该通风孔可抽吸内部的空气并将其排到外侧。

空气喷射模块20用于垂直于由基底传送设备1所传送基底的中央区域喷射空气以使基底浮起。如图2所示，各空气喷射模块20包括多个吹风机22、一过滤构件24、一多孔板26和一缓冲空间28。吹风机22用于垂直于基底S吹气。各空气喷射模块20包括多个在其中彼此以一预定距离间隔开并水平放置的吹风机22。优选地，各吹风机22从吹风机22的中央部分向上喷射空气，而从吹风机22***部分倾斜地喷射空气，使得空气能从各空气喷射模块20的各个部分均匀地喷射到基底上。

过滤构件24用于过滤由吹风机22向上所吹出空气中的杂质以净化空气。从而，过滤构件24放置在吹风机22上方并且其所具有的构造能充分地滤除空气中的杂质同时确保足够的空气通道以不会降低吹风机22所产生的空气压力。优选地，过滤构件24与各个吹风机22相比有一较宽的横截面，并设置成正对空气喷射模块20的整个表面。

多孔板26使得穿过过滤构件24的空气可以均匀地向上喷射。如图2所示，多孔板26为一其上带有许多通孔的板，其中所述通孔彼此以一预定距离间隔开。在此，通孔直径很小，优选地，在所述板上形成尽可能多的通孔以使得空气能均匀地喷射到基底的整个表面。

缓冲空间28使得穿过过滤构件24的空气可以在其中停留一预定的时间，以在空气喷射模块20的整个表面下方均匀地分配空气，从而使得空气以一预定的压力从空气喷射模块20喷出。即，当空气通过吹风机22而以高压状态通过过滤构件24进入缓冲空间28时，缓冲空间28用于使得空气在通过多孔板26喷射出去之前能以一预定压力停留在缓冲空间28中，从而所述空气在缓冲空间28中均匀分布，然后以一预定压力喷射。若基底传送设备不包含此类缓冲空间28，空气将从空气喷射模块20直接吹向基底，使得高压空气吹到基底的中央区域而低压空气吹向基底的其它区域，导致基底的某些部分浮起得相对较高而其它部分相对较低。这使得在传送基底时基底弯曲。因此，对缓冲空间28容积的确定是非常重要的。若缓冲空间28的容积过大，则使得缓冲空间28中产生涡流。相反，若缓冲空间28容积过小，则空气不能充分地扩散。

依据本实施方式的基底传送设备1包含多个空气喷射模块20。换句话说，如图1所示，在一对传送滚轮装置之间，多个空气喷射模块20彼此以一预定距离间隔开。在此意义上说，较大面积的基底将导致空气喷射模块20数目增加，而较小面积的基底将导致空气喷射模块20数目减少。而且，依据本实施方式，当基底传送设备1包含多个空气喷射模块20时，空气喷射模块20彼此以一预定距离间隔开。从而，在两个空气喷射模块20之间形成了预定的空间。依据本实施方式，这些空间用作基底装载/卸载通道30，该基底装载/卸载通道30用于将基底装载至基底传送设备上或卸载位于基底传送设备1上的基底。如图3所示，各个基底装载/卸载通道30使得安置在外侧的基底传送自动机械(图未示)的机械手A能够进入所述空间，并且在将基底装载至基底传送设备1上或卸载位于基底传送设备1上的基底时在该空间中升起或降低机械手。也就是说，在其上放置有基底S的机械手A进入相关的基底装载/卸载通道30后，机械手A在其中降低，将基底S放置到传送滚轮装置10上，接着机械手A退回到其原始位置。由机械手A卸载基底S时将按相反步骤执行上述操作。

依据本实施方式，基底传送设备还包括一个位于各装载/卸载通道30中的缓冲构件40。缓冲构件40用于在由空气喷射模块20浮起的基底S下落的时候通过支撑基底S的下表面而防止基底碰撞空气喷射模块20。从而，能升起或降低缓冲构件40以避免与机械手A发生干涉。在传送基底S的过程中，缓冲构件40的高度位于空气喷射模块20的上表面和浮起的基底的下表面之间。

在此意义上说，依据本实施方式，缓冲构件40包括一基底接触部分42、一冲击吸收部分44和一升降元件。基底接触部分42构成了缓冲构件40的上部，并与基底S的下表面直接接触。基底接触部分42为球形以使其与基底S的接触面积最小。由于基底接触部分42为球形，基底接触部分42与基底S点接触，从而提供一个优点：与基底S的接触面积最小。优选地，基底接触部分42由可延展材料制成，用于在与基底S接触的时候吸收施加到基底S的冲击。

升降元件用于升起或降低基底接触部分42。基于此目的，升降元件连接到基底接触部分42的下部以升起或降低基底接触部分42。

冲击吸收部分44插至一连接轴，该连接轴连接基底接触部分42和升降元件，并用于吸收施加到基底接触部分42的冲击。也就是说，如图4所示，冲击吸收部分44形成为一插至连接轴的弹性元件，其中连接轴位于基底接触部分42和升降元件之间，从而将基底接触部分42保持在一预定高度。

同时，优选地，各空气喷射模块20可拆卸地连接到基底传送设备1，并且其在基底传送设备中的位置可移动。此类构造使得空气喷射模块20可独立地从基底传送设备1上拆下或连接到基底传送设备1，基底传送设备具有可依据基底S的尺寸来调整空气喷射模块20数目的优点。

此外，优选地，传送滚轮装置10之间的距离是可调的。由此构造，当一个空气喷射模块20从该设备上拆下时，一个传送滚轮装置10朝着另一个传送滚轮装置10移动，如图5所示，从而减小传送滚轮装置10之间的距离。此类构造使得可以调整所述传送滚轮装置10之间的距离，基底传送设备能根据其所传送基底的尺寸而有调整，从而，依据本发明的设备能通用于具有不同尺寸的基底。

实施方式2

如图6所示，依据第二实施方式的基底传送设备100包括一基底移动部分110和多个空气喷射模块120。依据第二实施方式，基底以倾斜状态而不是水平状态传送，以减少基底传送设备100的占地面积。在此，基底以一预定的角度倾斜着传送而不是直立着传送，从而确保传送基底时具有更高的稳定性。当以一预定角度倾斜地传送基底时，基底由位于其一侧的多个空气喷射模块120支撑。这使得基底可以稳定地传送而不会跌落，并减少基底传送设备100在洁净室中占据的空间。

基底移动部件110用于在将基底保持在倾斜位置的同时沿水平方向移动基底。依据第二实施方式，基底移动部件110包含多个滚轮，这些滚轮与倾斜放置的基底S的下侧接触，并移动基底S。在此，如图6所示，依据第二实施方式，为了防止基底S的下侧脱离与滚轮的接触面，滚轮的外周向外延伸。

接下来，如图6所示，沿着相对于基底移动部件110倾斜的方向布置空气喷射模块120，并在保持基底S倾斜的同时水平地引导该基底。换句话说，空气喷射模块120用于：在保持基底S处在相对于竖直方向微微倾斜的状态以避免跌落的同时，水平地引导该基底。此时，依据第二实施方式，各喷射模块120还可拆卸地连接到基底传送设备100，并且其位置能够移动。第二实施方式中的空气喷射模块120与第一实施方式中的空气喷射模块具有相同构造，其重复部分在此不再描述。

依据本实施方式的基底传送设备100包含多个空气喷射模块120。换句话说，如图6所示，多个空气喷射模块120在相对于基底移动部件110倾斜的方向上彼此以一预定距离间隔开。此时，较大面积的基底将导致空气喷射模块120行数的增加，而较小面积的基底将导致空气喷射模块120行数的减少。另外，依据本实施方式，当在基底传送设备100上布置多行空气喷射模块120时，行与行之间彼此以一预定距离间隔开，从而在各行之间形成一预设通道130。首先，该预设通道130能够用作将基板装载至基底传送设备100上或卸载位于基底传送设备100上的基底的装载/卸载通道。

此外，如图8所示，各预设通道130可作为放置缓冲构件140的空间。换句话说，缓冲构件140设置在各个预设通道130中，并且当基底支撑在空气喷射模块120上时缓冲构件140能相对于基底升起或降低。缓冲构件140用于：当由空气喷射模块120浮起的基底S下落时，通过支撑基底S的下表面而防止基底碰撞空气喷射模块120。从而，能相对于基底升起或降低缓冲构件140以使得预设通道130可以用于其它装置，并且当预设通道130用于其它装置时，缓冲构件140处在一位于空气喷射模块120的上表面和浮起的基底的下表面之间的高度，并暂停在此处。

同时，由于第二实施方式中的缓冲构件140与第一实施方式中的缓冲构件140具有相同额构造，在此不再对之进行重复描述。

同时，优选地，依据第二实施方式的各个空气喷射模块120可拆卸地连接到基底传送设备100。此类构造使得空气喷射模块120可独立地从基底传送设备100上拆下或连接到基底传送设备100，这具有可依据基底的尺寸来调整空气喷射模块数目的优点。

从以上描述已经很清楚，本发明的一个有利方面在于其能传送大面积的基底而无须额外的压缩泵或导管，并且不会损伤基底。

而且，根据本发明，基底传送设备能够通过根据所传送基底的尺寸改变其构造从而通用于具有不同尺寸的各种基底。

此外，根据本发明，空气喷射模块能够可拆卸地连接到基底传送设备上，从而，即使任意一个空气喷射模块损坏，仍可防止基底跌落，因为其它空气喷射模块继续使该基底浮起。而且，此类构造使得空气喷射模块在维护方面具有优点。

另外，基底传送设备能够在通过空气喷射方法支撑基底的同时稳定地传送稳定地传送处在稍微倾斜状态下而非竖直状态下的基底，从而防止基底在传送的过程中受到损害。

需要理解的是，对所述实施方式和附图的描述是例示性的，本发明由所附带的权利要求来限定。而且，本领域的普通技术人员能够理解的是，在不偏离附带的权利要求所说明的本发明范围和精神的情况下，可有各种修改、增加或替代。

Claims (16)

1.一种基底传送设备，用于沿水平方向传送安装在其上的基底，该设备包括：

一对彼此平行并相隔一预定距离的传送滚轮装置，该传送滚轮装置以与基底的两侧都接触的方式转动而在水平方向上移动基底；

多个空气喷射模块，所述空气喷射模块设置在所述的一对传送滚轮装置之间并且彼此间隔开一预定距离，所述空气喷射模块适于向上朝着基底的中央区域喷射空气而使基底浮起，各空气喷射模块可拆卸地连接到基底传送设备上，并且其位置能够移动。

2.如权利要求1所述的设备，其中各空气喷射模块包括：

一用于向上朝着基底吹气的吹风机；

一过滤构件，该过滤构件设置在吹风机上方以过滤吹风机所吹出空气中的杂质；

一多孔板，该多孔板位于所述过滤构件上方并与之间隔开一预定距离，从而使得穿过过滤构件的空气能够均匀地向上喷射；和

一缓冲空间，该缓冲空间封闭在过滤构件和多孔板之间，从而散开穿过过滤构件的空气。

3.如权利要求1所述的设备，进一步包括：设置在空气喷射模块之间的缓冲构件，所述缓冲构件并能够在喷射模块之间其间升起或下降，从而当基底下落时缓冲构件升起高于空气喷射模块并支撑基底。

4.如权利要求3所述的设备，其中各所述缓冲构件包括一与基底接触的基底接触部分、以及一冲击吸收部分，该冲击吸收部分连接到基底接触部分的下部而吸收施加至基底接触部分上的冲击。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述基底接触部分由可延展材料制成。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述基底接触部分为球形。

7.如权利要求6所述的设备，其中传送滚轮装置之间的距离是可调的。

8.一种基底传送设备，该设备用于沿水平方向传送一保持在倾斜状态的基底，该设备包括：

一可旋转的基底移动部件，其接触所述倾斜基底的下侧而沿水平方向移动所述基底；和

多个空气喷射模块，其相对于所述基底移动部件以一倾斜方向放置而朝着基底喷射空气并使处于倾斜状态下的基底浮起。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述基底移动部件包括多个彼此间隔开一预定间距的滚轮。

10.如权利要求9所述的设备，其中各所述空气喷射模块可拆卸地连接到基底传送设备，并且其位置能够移动。

11.如权利要求10所述的设备，其中各所述空气喷射模块包括：

一用于向上朝着基底吹气的吹风机；

一过滤构件，其设置在吹风机的上方以过滤吹风机所吹出空气中的杂质；

一多孔板，该多孔板位于所述过滤构件的上方并与之间隔开一预定距离，从而使得穿过过滤构件的空气能够均匀地向上喷射；和

一缓冲空间，该缓冲空间封闭在过滤构件和多孔板之间，从而散开穿过过滤构件的空气。

12.如权利要求11所述的设备，其中所述空气喷射模块设置成多个彼此间隔开一预定距离的行，从而在各行之间形成预设通道。

13.如权利要求12所述的设备，还包括：设置在空气喷射模块之间的缓冲构件，所述缓冲构件相对于位于各个预设通道中的基底而升起或下降，从而当基底下落时缓冲构件升起高于空气喷射模块并支撑基底。

14.如权利要求13所述的设备，其中各所述缓冲构件包括：一与基底接触的基底接触部分；一冲击吸收部分，该冲击吸收部分连接到基底接触部分的下部而吸收施加到基底接触部分上的冲击；以及一连接到冲击吸收部分的下部而升起或降低基底接触部分和冲击吸收部分的升降元件。

15.如权利要求14所述的设备，其中所述基底接触部分由可延展材料制成。

16.如权利要求15所述的设备，其中所述基底接触部分为球形。

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