CN1766156A - 镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种镀膜设备，是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、一承载座以及至少一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心以及至少一悬臂，第一齿轮固定环设于旋转轴心，传动单元包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，第二齿轮与第一齿轮啮合，第二齿轮与夹具分别轴设于轴心，轴心穿设过固设于悬臂上的轴承，承载座则承载基板，且夹具连结于承载座***，而镀膜源用以形成镀膜层于基板上。本发明是利用第二齿轮带动夹具的转动，夹具具有复数各夹臂连结于承载座***，故可利用承载座的承载面积来承载大面积的基板而有效增加产能，另由于承载座由夹具带动转动，加上传动单元相对旋转轴心旋转，而可增加基板镀膜层的均匀性。

Description

镀膜设备

技术领域

本发明涉及一种镀膜设备，特别是涉及一种能承载大面积的基板的镀膜设备(COATING APPARATUS)。

背景技术

镀膜制程在工业界的应用极广，一般常使用在金属加工业、半导体业以及光电产业等等。近几年来，又由于半导体业与光电产业的迅速发展，使得镀膜技术亦有重大的进展。

请参阅图1所示，是一现有习知的镀膜设备的结构示意图，现有习知的镀膜设备1，包括一马达11、一伞具式承载座12、一遮板13以及一镀材源14。其中，伞具式承载座12轴设于马达11的轴心，而且伞具式承载座12的形状是类似伞状，其通常由四片伞具式承载座12所组成，因此，此镀膜设备1又称为伞具式镀膜机台。遮板13是设置于邻近伞具式承载座12的位置；而镀材源14是与伞具式承载座12相对而设；亦即遮板13是设于伞具式承载座12与镀材源14之间。

承上所述，当使用镀膜设备1来进行镀膜制程时，通常是先将复数个基板60固定在伞具式承载座12上，然后启动马达11以旋转伞具式承载座12，最后再利用真空蒸镀方式或溅镀方式等方式将镀材源14镀至该等基板60上。镀膜设备1的伞具式承载座12是适用于承载小面积的基板60并在其上形成镀膜层，以制造例如平板状的彩色滤光片等的光学元件。

然而，随着对光学产品的需求量增大，因此，光学元件厂商无不潜心研发相对应的镀膜设备以增大光学元件的产能，相较于现有技术来说，由于只能承载小面积的基板60，因此产能相对地受限，而若需增加产量，相对地需花费相当的劳力换置基板60以达到预定产量，此对操作者来说不啻为一费时费力的劳务。

由此可见，上述现有的镀膜设备在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决镀膜设备存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此，如何提供一种能够增加产能的镀膜设备实为当前镀膜制程技术的重要课题之一。

有鉴于上述现有的镀膜设备存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的镀膜设备，能够改进一般现有的镀膜设备，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的镀膜设备存在的缺陷，而提供一种能承载大面积的基板的镀膜设备，以达到增加产能的目的，从而更加适于实用，具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种镀膜设备，其是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其包括：一动力单元，其具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；一第一齿轮，其是以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心；至少一传动单元，其包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，其中该第二齿轮是与该第一齿轮啮合，该第二齿轮与该夹具分别轴设于该轴心，该轴承固设于该悬臂的另一端，该轴心是穿设过该轴承；一承载座，其承载该基板，且该夹具连结于该承载座的***；以及至少一镀膜源，其用以形成该镀膜层于该基板上。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的镀膜设备，其更包括一背板，其设置于该承载座上，该背板设置于该基板上。

前述的镀膜设备，其中所述的夹具具有复数个夹臂，该等夹臂是以轴设于该轴心的连结处放射状沿设，且该夹具是以该等夹臂的一端连结于该承载座的***。

前述的镀膜设备，其中所述的承载座具有一开口，该开口的面积小于该基板的面积，该基板卡置于该承载座上。

前述的镀膜设备，其中所述的基板是为一光学元件。

前述的镀膜设备，其中所述的第二齿轮、该轴心以及该夹具是为同步转动。

前述的镀膜设备，其中所述的悬臂与该轴承是以该旋转轴心为中心轴同步旋转。

前述的镀膜设备，其更包括：至少一遮板，其连接于该悬臂的一侧，且该遮板的一部分设置于该镀膜源与该承载座之间，用以修正该镀膜层的厚度。

前述的镀膜设备，其中所述的轴心是与该旋转轴心平行。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种镀膜设备，其是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其包括：一动力单元，其具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；一第一齿轮，其是以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心；至少一传动单元，其包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，其中该第二齿轮是与该第一齿轮啮合，该第二齿轮与该夹具分别轴设于该轴心，该轴承固设于该悬臂的另一端，该轴心穿设过该轴承，该夹具具有复数个夹臂，该等夹臂以轴设于该轴心的连结处放射状沿设；一承载座，其是承载该基板，且该等夹臂的一端是连结于该承载座的***；以及至少一镀膜源，其是用以形成该镀膜层于该基板上。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的镀膜设备，其更包括：一背板，其设置于该承载座上，该背板是设置于该基板上，该承载座具有一开口，该开口的面积小于该基板的面积，该基板卡置于该承载座上。

前述的镀膜设备，其中所述的基板是为一光学元件。

前述的镀膜设备，其中所述的第二齿轮、该轴心以及该夹具是为同步转动。

前述的镀膜设备，其中所述的悬臂与该轴承是以该旋转轴心为中心轴同步旋转。

前述的镀膜设备，其更包括：至少一遮板，其连接于该悬臂的一侧，且该遮板的一部分设置于该镀膜源与该承载座之间，用以修正该镀膜层的厚度。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下：

本发明提出一种镀膜设备，包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、一承载座以及至少一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于旋转轴心；第一齿轮以旋转轴心为中心轴，且固定环设于旋转轴心；传动单元包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，第二齿轮与第一齿轮啮合，第二齿轮与夹具则分别轴设于轴心，且轴心是穿设过固设于悬臂的另一端的轴承；承载座是承载基板，且夹具是连结于承载座的***；而镀膜源是用以形成镀膜层于基板上。

本发明还提出另一种镀膜设备，包括一动力单元、一第一齿轮、至少一传动单元、一承载座以及至少一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心以及至少一悬臂，悬臂的一端固设于旋转轴心；第一齿轮以旋转轴心为中心轴，且固定环设于旋转轴心；传动单元包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，第二齿轮与第一齿轮啮合，第二齿轮与夹具分别轴设于轴心，且轴心穿设过固设于悬臂的另一端的轴承，夹具具有复数个夹臂，各夹臂是以轴设于轴心的连结处放射状沿设；承载座是承载基板，且各夹臂的一端是连结于承载座的***；而镀膜源是用以形成镀膜层于基板上。

借由上述技术方案，本发明镀膜设备至少具有下列优点：因为本发明的镀膜设备是利用一夹具连结于承载座的***，更特别的是，夹具是具有复数个夹臂，以各夹臂连结于承载座的***，由于本发明的机械结构使得承载座充分运用面积的可利用性来承载大面积的基板，在镀膜过程完成之后，施以切割成较小面积的基板，例如：扇型的滤光片等光学元件，相较于现有***板状基板来说，本发明具有可有效地增加产能的功效。

综上所述，本发明提供了一种能承载大面积的基板的镀膜设备，可有效利用承载座的承载面积来承载大面积的基板，而可达到增加产能的目的；另外由于承载座由夹具带动转动，加上传动单元相对旋转轴心旋转，而可增加基板的镀膜层的均匀性。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大改进，在技术上有较大进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的镀膜设备具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是一现有习知的镀膜设备的结构示意图。

图2是本发明较佳实施例的镀膜设备的结构示意图。

图3是图2所示本发明较佳实施例的镀膜设备的局部放大示意图，包括动力单元、第一齿轮、传动单元以及承载座。

图4是本发明较佳实施例的镀膜设备的传动单元的分解立体示意图。

1：镀膜设备                      11：马达

12：伞具式承载座                 13：遮板

14：镀材源                       2：镀膜设备

21：动力单元                     211：旋转轴心

212：悬臂                        22：第一齿轮

23：传动单元                     231：第二齿轮

232：轴心                        233：轴承

234：夹具                        234A：夹臂

24：承载座                      241：方形开口

25：镀膜源                      26：腔体

27：背板                        28：遮板

60：基板                        70：基板

80：马达

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的镀膜设备其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

请参阅图2所示，本发明较佳实施例的镀膜设备2，是用以形成至少一镀膜层于一基板70上，镀膜设备2包括一动力单元21、一第一齿轮22、至少一传动单元23、一承载座24以及至少一镀膜源25。其中，基板70为玻璃，亦或是一光学元件。

第一齿轮22、传动单元23、承载座24以及镀膜源25是设置于一腔体26内，而动力单元21则穿设过腔体26的上壁，且连结一马达80，其中第一齿轮22、传动单元23以及承载座24是设置于腔体26的上部，镀膜源25则设置于腔体26的下部。在本实施例中，镀膜设备2是具有四个传动单元23，每一传动单元23是连结一个承载座24。

各承载座24是用以承载基板70，由位于腔体26下部的镀膜源25以蒸镀或是溅镀的方式将镀膜材料形成于基板70上，而形成所需的镀膜层，当然，亦可依据实际需要，设置复数个镀膜源25，用以形成复数层镀膜层于基板70上。

请参阅图3所示，是图2所示本发明较佳实施例的镀膜设备的局部放大示意图，以说明动力单元21、第一齿轮22、传动单元23以及承载座24的相对位置与连结关系。

该动力单元21，具有一旋转轴心211以及至少一悬臂212，各悬臂212的一端固设于旋转轴心211；在本实施例中，旋转轴心211是连接四个悬臂212，旋转轴心211是由马达80驱动而转动，同时使得各悬臂212随着旋转轴心211转动而带动旋转。

该第一齿轮22，是以旋转轴心211为中心轴，固定环设于旋转轴心211的周围；在此一提的是，第一齿轮22是为固定不动。

请再参阅图2至图4所示，该各传动单元23，是连结于各悬臂212的另一端，而各传动单元23分别包括一第二齿轮231、一轴心232、一轴承233以及一夹具234，其中第二齿轮231与第一齿轮22啮合，轴承233是穿设过悬臂212且固定于悬臂212的另一端，轴心232则穿设过轴承233，第二齿轮231与夹具234则分别轴设于轴心232的两端，并位于悬臂212相对的两侧，其中第二齿轮231是位于悬臂212的上侧。

由于第二齿轮231的轴心232为双轴承结构，即外轴承固设于悬臂212上，而内轴承是穿过悬臂212而与夹具234连结，因此当第二齿轮231由悬臂212带动而沿第一齿轮22滚动时，夹具234不会相对于悬臂212移动，而只会相对悬臂212由第二齿轮231带动而转动。

承载座24则承载欲镀膜的基板70，由夹具234连结于承载座24的***，在本实施例中，夹具234具有复数个夹臂234A，各夹臂234A是以轴设于轴心232的连结处为中心放射状沿设，且夹具234是以各夹臂234A的一端连结于承载座24的***。在本实施例中，夹具234具有三夹臂234A，各夹臂234A之间是呈120度角，且以夹持锁合方式连结承载座24，其中承载座24具有一方形开口241，且方形开口241的面积是小于基板70的面积，以使基板70得以卡置于承载座24上，并相对于镀膜源25暴露出基板70的欲镀膜面(如图2所示)。

另外，镀膜设备2更包括一背板27，其设置于承载座24上，且基板70是承载于背板27与承载座24之间，背板27的设置使得基板70的非镀膜面可以遮蔽而防止镀膜过程的污染。

又，镀膜设备2更包括至少一遮板28，遮板28是连接于悬臂212的一侧，且位于悬臂212的一端，遮板28的一部分设置于镀膜源25与承载座24之间(如图2所示)，用以修正镀膜层的厚度，在此需要一提的是，遮板28的形状可依据基板70上所镀的物质的特定厚度而决定，且遮板28至承载座24的距离是可随特定厚度的镀膜层而作调整。综上所述，传动单元23的夹具234、背板27以及承载座24是相对于第二齿轮231位于悬臂212的下侧。

承上所述，各传动单元23的第二齿轮231、轴心232以及夹具234是为同步转动，而悬臂212与轴承233是以旋转轴心211为中心轴而同步旋转，因此基板70能随着连结于夹具234的承载座24有效地旋转并移动，而达到均匀镀膜的目的。其中，各传动单元23的轴心232是与动力单元21的旋转轴心211平行设置。

综上所述，由于依本发明较佳实施例的镀膜设备是利用第二齿轮带动夹具的转动，由于夹具是具有复数各夹臂连结于承载座的***，因此可有效利用承载座的承载面积来承载大面积的基板，而有效增加产能，除此之外，由于承载座由夹具带动转动，加上传动单元相对旋转轴心旋转，由此可增加基板的镀膜层的均匀性。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (15)

1、一种镀膜设备，其是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其特征在于其包括：

一动力单元，其具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；

一第一齿轮，其是以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心；

至少一传动单元，其包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，其中该第二齿轮是与该第一齿轮啮合，该第二齿轮与该夹具分别轴设于该轴心，该轴承固设于该悬臂的另一端，该轴心是穿设过该轴承；

一承载座，其承载该基板，且该夹具连结于该承载座的***；以及

至少一镀膜源，其用以形成该镀膜层于该基板上。

2、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其更包括一背板，其设置于该承载座上，该背板设置于该基板上。

3、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的夹具具有复数个夹臂，该等夹臂是以轴设于该轴心的连结处放射状沿设，且该夹具是以该等夹臂的一端连结于该承载座的***。

4、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的承载座具有一开口，该开口的面积小于该基板的面积，该基板卡置于该承载座上。

5、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的基板是为一光学元件。

6、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的第二齿轮、该轴心以及该夹具是为同步转动。

7、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的悬臂与该轴承是以该旋转轴心为中心轴同步旋转。

8、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其更包括：

至少一遮板，其连接于该悬臂的一侧，且该遮板的一部分设置于该镀膜源与该承载座之间，用以修正该镀膜层的厚度。

9、根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的轴心是与该旋转轴心平行。

10、一种镀膜设备，其是用以形成至少一镀膜层于一基板上，其特征在于其包括：

一动力单元，其具有一旋转轴心以及至少一悬臂，该悬臂的一端固设于该旋转轴心；

一第一齿轮，其是以该旋转轴心为中心轴，固定环设于该旋转轴心；

至少一传动单元，其包括一第二齿轮、一轴心、一轴承以及一夹具，其中该第二齿轮是与该第一齿轮啮合，该第二齿轮与该夹具分别轴设于该轴心，该轴承固设于该悬臂的另一端，该轴心穿设过该轴承，该夹具具有复数个夹臂，该等夹臂是以轴设于该轴心的连结处放射状沿设；

一承载座，其是承载该基板，且该等夹臂的一端是连结于该承载座的***；以及

至少一镀膜源，其是用以形成该镀膜层于该基板上。

11、根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于其更包括：

一背板，其设置于该承载座上，该背板是设置于该基板上，该承载座具有一开口，该开口的面积小于该基板的面积，该基板卡置于该承载座上。

12、根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的基板是为一光学元件。

13、根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的第二齿轮、该轴心以及该夹具是为同步转动。

14、根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于其中所述的悬臂与该轴承是以该旋转轴心为中心轴同步旋转。

15、根据权利要求10所述的镀膜设备，其特征在于其更包括：

至少一遮板，其连接于该悬臂的一侧，且该遮板的一部分设置于该镀膜源与该承载座之间，用以修正该镀膜层的厚度。

Images