CN1708728B - 感放射线性树脂组合物 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。

Description

感放射线性树脂组合物

技术领域

本发明涉及一种感放射线性树脂组合物。更详细地说，本发明涉及一种对于使用各种放射线的微细加工有用的、适宜用作化学增幅型抗蚀剂的感放射线性树脂组合物，其中所说的放射线包括例如KrF准分子激光、ArF准分子激光等的远紫外线、电子线等的带电粒子线、同步加速器放射线等的X射线等。

背景技术

在以集成电路元件的制备为代表的微细加工领域中，为了得到更高的集成度，最近需求一种能够以0.20μm以下水平进行微细加工的平版印刷技术。

然而，在以往的平版印刷术工艺中，作为放射线一般使用i线等的近紫外线，但可以说，使用该近紫外线进行亚1/4微米(sub-quartermicron)水平的微细加工是极为困难的。

因此，为了能够以0.20μm以下的水平进行微细加工，人们正在研究利用波长较短的放射线。作为这种短波长的放射线，可列举出例如，以水银灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、X射线、电子线等，但其中，KrF准分子激光(波长248nm)或者ArF准分子激光(波长193nm)特别受人注目。

作为适用于这种准分子激光照射的感放射线性树脂组合物，人们提出了许多利用具有酸解离性官能团的成分与通过放射线照射(以下称为“曝光”)而发生酸的成分(以下称为“酸发生剂”)带来化学增幅效果的组合物(以下称为“化学增幅型感放射线性组合物”)的方案。

作为上述化学增幅型感放射线性组合物，在例如特开昭59-45439号公报中公开了一种含有具有羧酸的叔丁酯基或者苯酚的碳酸叔丁酯基的聚合物和酸发生剂的组合物。该组合物利用了这样一种现象：通过由曝光产生的酸的作用，使聚合物中存在的叔丁酯基或者碳酸叔丁酯基解离，该聚合物变成具有由羧基或者酚性羟基构成的酸性基团，其结果，抗蚀剂被膜的曝光区域就变得易溶于碱显影液。

可是，以往的化学增幅型感放射线性组合物多数是以酚类树脂作为基料(ベ一ス)的。在含有这种树脂的情况，如果使用远紫外线作为放射线，则由于起因于树脂中的芳香族环，远紫外线被吸收，故存在着被曝光的远紫外线不能充分到达抗蚀剂被膜下层部的缺点。因此，曝光量在抗蚀剂被膜的上层部多，而在下层部变少，显影后的抗蚀剂图案就会变成上部细、越往下越粗的梯形形状，从而出现得不到充分分辨度等的问题。此外，在显影后的抗蚀剂图案变成梯形形状的情况，在进行后续工序、即蚀刻和离子注入等工序时，出现不能达到所希望的尺寸精度的问题。而且，如果抗蚀剂图案上部的形状不是矩形，还会出现采用干蚀刻的抗蚀剂的消失速度变大，使蚀刻条件的控制变难等问题。

另一方面，抗蚀剂图案的形状可以通过提高抗蚀剂被膜的放射线透过率来改善。例如，以聚甲基丙烯酸甲酯为代表的(甲基)丙烯酸酯系树脂对远紫外线的透明性也高，从放射线透过率的观点考虑，是非常好的树脂，在例如特开平4-226461号公报中公开了一种使用甲基丙烯酸酯系树脂的化学增幅型感放射线性树脂组合物。但是，该组合物虽然在微细加工性能方面是优良的，但由于没有芳香族环，存在着耐干蚀性低的缺点，在该情况下进行高精度的蚀刻加工也很困难，也不能说兼有对放射线的透明性和耐干蚀性。

另外，对于由化学增幅型感放射线性树脂组合物构成的抗蚀剂，作为不损害对放射线的透明性、改善耐干蚀性的对策之一，已知的方法是在组合物中的树脂成分中引入脂肪族环来代替芳香族环。例如，在特开平7-234511号公报中提出一种使用具有脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯系树脂的化学增幅型感放射线性树脂组合物的方案。

然而，该组合物中，作为树脂成分所具有的酸解离性官能团，使用较易被以往的酸解离的基团(例如，四氢吡喃基等的缩醛系官能团)或较难被酸解离的基团(例如，叔丁酯基、碳酸叔丁酯基等的叔丁基系官能团)。在具有前者的酸解离性官能团的树脂成分的情况，抗蚀剂的基本物性、特别是敏感度和图案形状良好，但在作为组合物的保存稳定性方面存在难点。而相反，对于具有后者的酸解离性官能团的树脂成分而言，其保存稳定性良好，但存在着抗蚀剂的基本物性、特别是敏感度和图案形状受到损害的缺点。进而，由于脂肪族环被引入该组合物中的树脂成分中，使树脂本身的疏水性变得非常高，在对基片的粘附性方面也存在着问题。

因此，从能够对应半导体元件微细化的技术开发的观点考虑，在能够适应以远紫外线为代表的短波长放射线的化学增幅型感放射线性组合物中，正在开发一种对放射线的透明性高、而且作为抗蚀剂的基本物性优良的新的树脂成分(参照例如特开2002-72484号公报)。但是，充分满足这些性能的树脂成分尚未被开发出来。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种对放射线的透明性高，而且敏感度、分辨度、耐干蚀性、图案形状等的作为抗蚀剂的基本物性优良，特别是显影缺陷少的感放射线性树脂组合物。

本发明内容如下。

<1>一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂：

(式中，R_1a表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，X₁和X₂相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳原子数1～4的氟代烷基，1表示0～5的整数，n表示0～2的整数)。

<2>上述<1>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，上述树脂还含有由下述通式(I-2)表示的重复单元(1-2)：

(式中，R_1b表示氢原子或甲基；另外，式中，各个R_1c相互独立地表示碳原子数4～20的1价脂环式烃基或其衍生物、或者碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基，且满足以下(1)或(2)的条件：

(1)R_1c中的至少1个为碳原子数4～20的1价脂环式烃基；

(2)任意2个R_1c相互键合，形成包括各自键合的碳原子的碳原子数4～20的2价脂环式烃基或其衍生物，其他的R_1c为碳原子数4～20的1价脂环式烃基或其衍生物、或者碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基。

<3>上述<2>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，上述通式(I-2)中的C(R_1c)3为1-烷基-1-环烷基、2-烷基-2-金刚烷基、(1-烷基-1-金刚烷基)烷基、或者(1-烷基-1-降冰片基)烷基。

<4>上述<1>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，上述树脂中没有内酯环。

<5>上述<4>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1-1)的含有比例为40～90摩尔％。

<6>上述<1>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，上述树脂还含有由下述通式(I-3)表示的重复单元(1-3)：

(式中，R_1b表示氢原子或甲基)。

<7>上述<6>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1-1)的含有比例为5～25摩尔％。

<8>上述<1>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，上述树脂还含有由下述通式(I-4)表示的重复单元(1-4)：

(式中，R_1b表示氢原子或甲基，A表示碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基或亚烷基、或者碳原子数4～20的1价或2价的脂环式烃基或其衍生物，n表示0～2的整数)。

<9>上述<1>中所述的感放射线性树脂组合物，其中，还含有〔C〕酸扩散控制剂。

本发明的感放射线性树脂组合物可作为感应活性光线、例如以KrF准分子激光(波长248nm)、ArF准分子激光(波长193nm)等为代表的远紫外线的化学增幅型抗蚀剂使用。另外，本发明的感放射线性树脂组合物由于对放射线的透明性高，因此分辨度高，敏感度、图案形状、耐蚀刻性优良。进而，本发明的感放射线性树脂组合物具有这样一些特征：蚀刻后的图案起伏(fluctuation)少，特别是对于显影液的溶解性良好，难以发生显影缺陷，而且对基片的粘附性以及裾形状(skirtconfiguration)也良好。因此，本发明的感放射线性树脂组合物极其适合于今后要求更加微细化的集成电路元件的制造。

另外，在树脂[A]中含有重复单元(1-1)和特定的其他重复单元的情况，可以使抗蚀剂图案的分辨力进一步提高。

具体实施方式

以下更详细地说明本发明。

此处，关于以下说明中所使用的多环型脂环式骨架的名称，将命名基准示于如下。

将上述的(A)命名为双环[2.2.1]庚烷，将(B)命名为四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二烷，将(C)命名为三环[5.2.1.0^2，6]癸烷，将(D)命名为三环[4.2.1.0^3，7]壬烷。在以下的说明中，是按照上述(A)～(D)的命名法进行说明的。

(1)树脂〔A〕

本发明的感放射线性树脂组合物中所含有的树脂〔A〕是一种含有由上述通式(I-1)表示的重复单元(以下称为“重复单元(1-1)”)的聚合物。

应予说明，本发明中所说的树脂〔A〕是一种碱不溶性或者碱难溶性的、且受到酸的作用变为碱易溶性的树脂。此处，上述所谓的“碱不溶性或者碱难溶性”意味着在由含有树脂〔A〕的本发明感放射线性树脂组合物所形成的抗蚀剂被膜形成抗蚀剂图案时采用的碱显影处理条件下，在代替该抗蚀剂被膜而对仅由树脂〔A〕所形成的被膜进行显影处理的情况下，在显影处理后残留该被膜的初期膜厚的50％以上的性质。

构成上述重复单元(1-1)的取代基R_1a为从氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、以及碳原子数1～4的全氟烷基中选出的1种。作为其例子，可列举出氢原子、甲基、乙基、一氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、羟甲基、2-羟乙基等。其中，优选氢原子、甲基、三氟甲基、羟甲基。

构成上述重复单元(1-1)的X₁和X₂相互独立地为从氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、以及碳原子数1～4的氟代烷基中选出的1种。作为上述烷基，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲基丙基、1-甲基丙基、叔丁基等。另外，作为氟代烷基，可列举出一氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、1-氟代乙基、1，2-二氟乙基、1，1，2，2-四氟乙基等。作为上述X₁，优选氢原子、氟原子、甲基和三氟甲基，作为上述X₂，优选氟原子和三氟甲基。另外，上述X₁和上述X₂的优选组合，可列举出上述X₁为氢原子、上述X₂为三氟甲基的情况；上述X₁为氟原子、上述X₂为三氟甲基的情况等。

另外，上述通式(I-1)中的1为0～5的整数，优选为0～3。另外，n为0～2的整数，优选为0或1。

作为具有上述取代基R_1a、X₁和X₂的提供重复单元(1-1)的单体，可列举出由下述通式(II)表示的化合物。

(式中，R_1a表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，X₁和X₂相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳原子数1～4的氟代烷基，1表示0～5的整数，n表示0～2的整数)。

作为由上述通式(II)表示的化合物，可以采用例如以下所示的制备方法来得到。

<1>将5-(2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯作为起始原料，使用甲酸进行Michael加成反应，由此得到甲酸5-(2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2(3)-基酯。(此处，“-2(3)-”的记载意味着键合位置处于2位或3位，表示异构体。以下相同)。

<2>然后，将1)中得到的化合物用碳酸钠等的碱水解，由此得到5-(2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基)双环[2.2.1]庚烷-2(3)-醇。

<3>其次，使<2>中得到的化合物与2当量的例如正丁基锂进行反应，由此将2个醇封端(キヤツプ)，在1当量的(甲基)丙烯酸的酰氯和碱的存在下进行脱氯化氢反应，由此选择性地仅使2位和/或3位的醇进行(甲基)丙烯酸化，可以得到提供重复单元(1-1)的化合物。

上述提供重复单元(1-1)的单体中，作为特别优选的单体，可列举出以下的化合物。

上述树脂〔A〕中，可以只含有上述重复单元(1-1)中的1种，也可以含有2种以上。

树脂〔A〕可以仅由上述重复单元(1-1)构成，也可以由上述重复单元(1-1)和其他重复单元构成，但优选是具有其他重复单元的共聚物。在后者的情况，其他重复单元的种类等没有特殊限定，而且，上述重复单元(1-1)的含量根据重复单元的种类等而不同，相对于总重复单元，通常为5～90摩尔％，优选为10～80摩尔％，特别优选为10～60摩尔％，更优选为10～50摩尔％。上述重复单元(1-1)的含有率不足10摩尔％时，抗蚀剂对溶剂的溶解性、对基片的密合性、抗蚀剂的显影性等有降低的倾向。另一方面，如果超过90摩尔％，则抗蚀剂图案的分辨力有降低的倾向。

作为其他重复单元，可列举出例如由下述通式(III)和(IV)表示的重复单元。

(式中，R₂表示1价有机基团，n表示0～2的整数)。

(式中，R₃表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基等，R₄表示1价有机基团)。

作为构成由上述通式(III)表示的重复单元(以下称为“重复单元(2)”)的1价有机基团R₂没有特殊限定，可列举出例如下述通式(2-1)～(2-4)所示的有机基团。

(有机基团(21)中的X₁和X₂相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳原子数1～4的氟代烷基，n表示0～5的整数。有机基团(2-2)中的R₅表示具有直链状、支链状或环状骨架的2价有机基团，在该情况，X为氢原子、羟基、羧基、硝基、氰基或氨基，或者也可以没有R₅，在该情况，X表示羧基或氰基。有机基团(2-3)中的R₆相互独立地表示碳原子数4～20的1价脂环式烃基或其衍生物、或者碳原子数1～4的烷基或其衍生物。有机基团(2-4)中的R₇表示碳原子数1～6的烷基或其衍生物、碳原子数5～10的环烷基或其衍生物、碳原子数4～20的1价多环型脂环式烃基或其衍生物、或者具有内酯环的基团)。

在上述重复单元(2)中，当取代基R₂为上述有机基团(2-1)时，作为X₁和X₂为烷基时的例子，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲基丙基、1-甲基丙基、叔丁基等。另外，作为X₁和X₂为氟代烷基时的例子，可列举出一氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、1-氟代乙基、1，2-二氟乙基、1，1，2，2-四氟乙基等。作为上述X₁，优选氢原子、氟原子、三氟甲基；作为上述X₂，优选氢原子、氟原子、三氟甲基。因此，作为上述有机基团(2-1)，只要是在1位上与主链键合，优选羟甲基、2-羟甲基、3-羟丙基、1-氟-1-羟甲基、1，1-氟-1-羟甲基、1，2-二氟-2-羟甲基、1，1，2，2-四氟-2-羟甲基、2-三氟甲基-2-羟乙基、2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基。

在上述重复单元(2)中，当取代基R₂为上述有机基团(2-2)时，作为构成上述取代基R₂的R₅，在其存在的情况，可列举出亚甲基、亚乙基、正亚丙基、异亚丙基、正亚丁基、异亚丁基等亚烷基；来自环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷等环烷烃的2价有机基团；来自金刚烷的2价有机基团；来自双环[2.2.1]庚烷的2价有机基团；来自四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二烷的2价有机基团等。其中，优选亚甲基、亚乙基、来自金刚烷的2价有机基团、来自双环[2.2.1]庚烷的2价有机基团。

在上述情况，作为构成有机基团(2-2)的X，可列举出氢原子、羟基、羧基、硝基、氰基、氨基。其中，优选氢原子、羟基、硝基。

另外，当上述有机基团(2-2)中没有R₅时，上述X以原样直接构成取代基R₂，作为其例子，可列举出羧基、氰基。

因此，作为上述有机基团(2-2)，如果表示为与氧原子键合的残基，可列举出氢原子、羟甲基、2-羟乙基、3-羟丙基、3-羟基金刚烷-1-基、5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基、9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、羧基、羧甲基、2-羧乙基、3-羧丙基、3-羧基金刚烷-1-基、5(6)-羧基双环[2.2.1]庚-2-基、9(10)-羧基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、氰基、氰甲基、2-氰乙基、3-氰丙基、3-氰基金刚烷-1-基、5(6)-氰基双环[2.2.1]庚-2-基、9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基等。

在上述重复单元(2)中，当取代基R₂为上述有机基团(2-3)、进而取代基R₆为脂环式烃基时，作为其例子，可列举出环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基等。另外，作为其衍生物，可列举出将所键合的氢原子置换为羟基；羧基；氧基(即＝O基)；羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟丙基、2-羟丙基、3-羟丙基、2-羟丁基、3-羟丁基、4-羟丁基等的碳原子数1～4的羟烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、2-甲基丙氧基、1-甲基丙氧基、叔丁氧基等的碳原子数1～4的烷氧基；氰基；氰甲基、2-氰乙基、3-氰丙基、4-氰丁基等的碳原子数2～5的氰烷基等的1种以上的基团等。这些取代基中，优选羟基、羧基、羟甲基、氰基、氰甲基。

另外，当取代基R₆为烷基时，作为其例子，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、1-甲基丙基、2-甲基丙基、叔丁基等。这些取代基中，优选甲基、乙基。另外，作为其衍生物，可列举出将所键合的氢原子置换为羟基；羧基；氧基(即＝O基)；羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟丙基、2-羟丙基、3-羟丙基、2-羟丁基、3-羟丁基、4-羟丁基等的碳原子数1～4的羟烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、2-甲基丙氧基、1-甲基丙氧基、叔丁氧基等的碳原子数1～4的烷氧基；氰基；氰甲基、2-氰乙基、3-氰丙基、4-氰丁基等的碳原子数2～5的氰烷基等的1种以上的基团等。这些取代基中，优选羟基、羧基、羟甲基、氰基、氰甲基。

应予说明，上述有机基团(2-3)中的各取代基R₆，可以是3个皆相同，也可以是3个中的2个相同，也可以是3个皆不同。

作为3个中的2个相同、其余1个取代基R₆为脂环式烃基的情况的有机基团(2-3)，可列举出以下所示的基团。

(在上述取代基(6-3)和(6-4)中，n表示0～2的整数)。

另外，上述有机基团(2-3)中，2个取代基R₆也可以相互键合，二者一起形成碳原子数4～20的2价脂环式烃基或其衍生物。作为其例子，可列举出以下所示的基团。

(在上述取代基(6-7)和(6-8)中，n表示0～2的整数)。

作为具有上述结构的基团，可列举出由双环[2.2.1]庚烷、三环[5.2.1.0^2，6]癸烷、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷等构成的基团等。

因此，作为上述有机基团(2-3)，如果作为与酯基的氧原子键合的残基以-C(R₆)₃的形式表示，则可列举出以下的基团：

叔丁基、3-甲基-3-丁基、2-甲基-2-丁基、2-乙基-2-丁基、3-乙基-3-丁基、3-甲基-3-戊基等的三烷基甲基；

2-甲基金刚烷-2-基、2-甲基-3-羟基金刚烷-2-基、2-甲基-3-氰基金刚烷-2-基、2-乙基金刚烷-2-基、2-乙基-3-羟基金刚烷-2-基、2-乙基-3-氰基金刚烷-2-基、8-甲基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、8-甲基-4-羟基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、8-甲基-4-氰基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、8-乙基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、8-乙基-4-羟基三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基、8-乙基-4-氰基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、1-甲基环戊基、1-乙基环戊基、1-甲基环己基、1-乙基环己基、2-甲基环戊基、2-乙基环戊基、2-甲基双环[2.2.1]庚-2-基、2-甲基-5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基、2-甲基-5-氰基双环[2.2.1]庚-2-基、2-乙基双环[2.2.1]庚-2-基、2-乙基-5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基、2-乙基-5(6)-氰基双环[2.2.1]庚-2-基、4-甲基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-甲基-9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-甲基-9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-乙基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-乙基-9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-乙基-9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基等的烷基环烷基；

1-环戊基-1-甲基乙基、1-环己基-1-甲基乙基、1-环庚基-1-甲基乙基、1-双环[2.2.1]庚-2-基-1-甲基乙基、1-三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基-1-甲基乙基、1-四环[7.5.2.1.0^2，7]十二烷-4-基-1-甲基乙基、1-金刚烷-1-基-1-甲基乙基、1-(2(3)-羟基环戊基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-羟基环己基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-羟基环庚基)-1-甲基乙基、1-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)-1-甲基乙基、1-(4-羟基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)-1-甲基乙基、1-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)-1-甲基乙基、1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1-甲基乙基、1-(2(3)-氰基环戊基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-氰基环己基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-氰基环庚基)-1-甲基乙基、1-(5(6)-氰基双环[2.2.1]庚-2-基)-1-甲基乙基、1-(4-氰基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)-1-甲基乙基、1-(9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)-1-甲基乙基、1-(3-氰基金刚烷-1-基)-1-甲基乙基等的二烷基环烷基甲基；

1，1-二环戊基乙基、1，1-二环己基乙基、1，1-二环庚基乙基、1，1-二双环[2.2.1]庚-2-基乙基、1，1-二三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基乙基、1，1-二(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基、1，1-二金刚烷-1-基乙基、1，1-二(2(3)-羟基环戊基)乙基、1，1-二(3(4)-羟基环己基)乙基、1，1-二(3(4)-羟基环庚基)乙基、1，1-二(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙基、1，1-二(4-羟基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)乙基、1，1-二(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基、1，1-二(3-羟基金刚烷-1-基)乙基、1，1-二(2(3)-氰基环戊基)乙基、1，1-二(3(4)-氰基环己基)乙基、1，1-二(3(4)-氰基环庚基)乙基、1，1-二(5(6)-氰基双环[2.2.1]庚-2-基)乙基、1，1-二(4-氰基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)乙基、1，1-二(9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基、1，1-二(3-氰基金刚烷-1-基)乙基等的烷基二环烷基甲基；等。

上述例示的有机基团中，优选叔丁基、2-甲基-2-丙基、2-甲基-2-丁基、2-乙基-2-丁基、3-乙基-3-丁基、2-甲基金刚烷-2-基、2-甲基-3-羟基金刚烷-2-基、2-乙基金刚烷-2-基、8-甲基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、8-乙基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基、1-甲基环戊基、1-乙基环戊基、1-甲基环己基、1-乙基环己基、2-甲基双环[2.2.1]庚-2-基、2-乙基双环[2.2.1]庚-2-基、4-甲基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、4-乙基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、1-环己基-1-甲基乙基、1-双环[2.2.1]庚-2-基-1-甲基乙基、1-三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基-1-甲基乙基、1-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基-1-甲基乙基、1-金刚烷-1-基-1-甲基乙基、1-(2(3)-羟基环戊基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-羟基环己基)-1-甲基乙基、1-(3(4)-羟基环庚基)-1-甲基乙基、1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1-甲基乙基、1，1-二环己基乙基、1，1-二双环[2.2.1]庚-2-基乙基、1，1-二三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基乙基、1，1-二(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基、1，1-二金刚烷-1-基乙基。

在上述重复单元(2)中，当取代基R₂为上述有机基团(2-4)时，作为构成上述取代基R₂的取代基R₇为烷基时的例子，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲基丙基、1-甲基丙基、正戊基、正己基等。这些取代基中，优选甲基、乙基。另外，作为其衍生物，可列举出将所键合的氢原子置换为羟基；羧基；氧基(即＝O基)；羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟丙基、2-羟丙基、3-羟丙基、2-羟丁基、3-羟丁基、4-羟丁基等的碳原子数1～4的羟烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、2-甲基丙氧基、1-甲基丙氧基、叔丁氧基等的碳原子数1～4的烷氧基；氰基；氰甲基、2-氰乙基、3-氰丙基、4-氰丁基等的碳原子数2～5的氰烷基等的1种以上的基团等。

当构成上述取代基R₂的取代基R₇为环烷基时，作为其例子，可列举出环戊基、环己基、环庚基、环辛基等。这些取代基中，优选环戊基、环己基、环庚基和环辛基。另外，作为其衍生物，可列举出将所键合的氢原子置换为羟基；羧基；氧基(即＝O基)；羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟丙基、2-羟丙基、3-羟丙基、2-羟丁基、3-羟丁基、4-羟丁基等的碳原子数1～4的羟烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、2-甲基丙氧基、1-甲基丙氧基、叔丁氧基等的碳原子数1～4的烷氧基；氰基；氰甲基、2-氰乙基、3-氰丙基、4-氰丁基等的碳原子数2～5的氰烷基等的1种以上的基团等。

另外，当构成取代基R₂的取代基R₇为多环型脂环式烃基时，作为其例子，可列举出来自金刚烷、双环[2.2.1]庚烷、7，7-二甲基双环[2.2.1]庚烷、三环[5.2.1.0^2，6]癸烷、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷等多环型脂环式烃的基团。这些取代基中，优选来自金刚烷、双环[2.2.1]庚烷、7，7-二甲基双环[2.2.1]庚烷、三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷的基团。另外，作为其衍生物，可列举出将所键合的氢原子置换为上述例示的官能团等的1种以上的基团等。

进而，构成上述取代基R₂的取代基R₇也可以是具有以下所示内酯环的基团。

(在上述取代基(7-1)中，取代基R₈表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、或者碳原子数1～5的烷氧基，Z表示亚甲基、二甲基亚甲基、氧原子、或者硫原子。在上述取代基(7-2)中，取代基R₉表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、或者碳原子数1～5的烷氧基。n表示0～2的整数。在上述取代基(7-3)中，取代基R₁₀表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、或者碳原子数1～5的烷氧基，V表示亚甲基。另外，m表示0～4的整数)。

作为构成上述取代基(7-1)的取代基R₈、构成上述取代基(7-2)的取代基R₉以及构成取代基(7-3)的取代基R₁₀中所使用的烷基，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、1-甲基丙基、2-甲基丙基、叔丁基、正戊基等。另外，作为构成上述取代基(7-1)的取代基R₈、构成上述取代基(7-2)的取代基R₉以及构成取代基(7-3)的取代基R₁₀中所使用的烷氧基，可列举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、1-甲基丙氧基、2-甲基丙氧基、叔丁氧基、正戊氧基等。

应予说明，构成上述取代基(7-1)的Z也可以不存在。另外，构成上述取代基(7-3)的V也可以不存在。

因此，作为上述有机基团(2-4)的优选例子，如果作为与酯基的氧原子键合的残基表示，则可列举出以下的基团：

甲基、乙基、正丙基、环戊基、环己基、金刚烷-1-基、双环[2.2.1]庚-2-基、7，7-二甲基双环[2.2.1]庚-1-基、三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基等的烷基；

5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基、9-甲氧基羰基-5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基、7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基、2-甲氧基羰基-7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基、2-氧代四氢吡喃-4-基、4-甲基-2-氧代四氢吡喃-4-基、4-乙基-2-氧代四氢吡喃-4-基、4-丙基-2-氧代四氢吡喃-4-基、5-氧代四氢呋喃-3-基、2，2-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基、4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基、2-氧代四氢呋喃-3-基、4，4-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基、5，5-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基、2-氧代四氢呋喃-3-基、5-氧代四氢呋喃-2-基甲基、3，3-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基、4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基等的具有内酯环的基团等。

此处，以下列举出提供重复单元(2)的单体实例。

5-羟甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(3-羟丙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(1-氟-1-羟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(1，1-氟-1-羟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(1，2-二氟-2-羟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(1，1，2，2-四氟-2-羟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、

双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-丁基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-己基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-辛基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(3-羟基金刚烷-1-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-乙酸、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-乙烷羧酸、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-丙酸、5-氰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-氰甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2-氰乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(3-氰丙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、

双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸叔丁酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲基-2-丙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲基-2-丁基、2-乙基-2-丁基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(3-乙基-3-丁基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲基金刚烷-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲基-3-羟基金刚烷-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-乙基金刚烷-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(8-甲基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(8-乙基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-甲基环戊基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-乙基环戊基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-甲基环己基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-乙基环己基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-乙基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4-甲基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4-乙基-四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二烷-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-环己基-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-双环[2.2.1]庚-2-基-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-金刚烷-1-基-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-(2(3)-羟基环戊基)-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-(3(4)-羟基环己基)-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-(3(4)-羟基环庚基)-1-甲基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1-甲基乙基、1，1-二环己基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1，1-二双环[2.2.1]庚-2-基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1，1-二三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1，1-二(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(1，1-二金刚烷-1-基乙基)酯、

双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸甲酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸乙酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸正丙酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸环戊酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸环己酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(金刚烷-1-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(双环[2.2.1]庚-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(7，7-二甲基双环[2.2.1]庚-1-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二烷-4-基)酯；

双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(9-甲氧基羰基-5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-甲氧基羰基-7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4-甲基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4-乙基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4-丙基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2，2-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4，4-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(5，5-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(3，3-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸(4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯、9-羟甲基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(2-羟乙基)四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(3-羟丙基)四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(1-氟-1-羟甲基)四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(1，1-氟-1-羟甲基)四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(1，2-二氟-2-羟甲基)四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二碳-4-烯、9-(1，1，2，2-四氟-2-羟甲基)四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(2-三氟甲基-2-羟乙基)四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基)四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、

四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-甲基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-乙基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-丁基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-己基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-辛基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(3-羟基金刚烷-1-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-乙酸、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-乙烷羧酸、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-丙酸、9-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-氰甲基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(2-氰乙基)四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯、9-(3-氰丙基)四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸叔丁酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲基-2-丙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲基-2-丁基、2-乙基-2-丁基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二碳-4-烯-9-羧酸(3-乙基-3-丁基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲基金刚烷-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲基-3-羟基金刚烷-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-乙基金刚烷-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(8-甲基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(8-乙基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-甲基环戊基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-乙基环戊基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-甲基环己基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-乙基环己基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-乙基双环[2.2.1]庚-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4-甲基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4-乙基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-环己基-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-双环[2.2.1]庚-2-基-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-金刚烷-1-基-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-(2(3)-羟基环戊基)-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-(3(4)-羟基环己基)-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-(3(4)-羟基环庚基)-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1-甲基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1，1-二环己基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1，1-二双环[2.2.1]庚-2-基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1，1-二三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基乙基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1，1-二(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)乙基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(1，1-二金刚烷-1-基乙基)酯、

四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸甲酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸乙酯、双环[2.2.1]庚-2-烯-5-羧酸正丙酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸环戊酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸环己酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(金刚烷-1-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(双环[2.2.1]庚-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(7，7-二甲基双环[2.2.1]庚-1-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基)酯；

四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(9-甲氧基羰基-5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-甲氧基羰基-7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基)酯、四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4-甲基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4-乙基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4-丙基-2-氧代四氢吡喃-4-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2，2-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4，4-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(5，5-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(2-氧代四氢呋喃-3-基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(3，3-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二碳-4-烯-9-羧酸(4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲基)酯等。

作为构成由上述通式(IV)表示的重复单元(以下称为“重复单元(3)”)的取代基R₃，可列举出上述重复单元(1)中作为取代基R₁所例示的基团。

另外，作为构成上述重复单元(3)的取代基R₄，可列举出例如以下所示的有机基团。

(有机基团(4-1)中的R₁₁表示具有直链状、支链状或环状骨架的2价有机基团，在该情况，X为氢原子、羟基、羧基、硝基、氰基或氨基，或者也可以没有R₁₁，在该情况，X表示羧基或氰基。有机基团(4-2)中的R₁₂相互独立地表示碳原子数4～20的脂环式烃基或其衍生物，或者碳原子数1～4的烷基或其衍生物。有机基团(4-3)中的R₁₃表示碳原子数1～6的烷基或其衍生物、碳原子数5～10的环烷基或其衍生物、碳原子数4～20的多环型脂环式烃基或其衍生物、或者具有内酯环的基团)。

作为上述有机基团(4-1)中的取代基R₁₁，可列举出上述有机基团(2-2)中作为R₅所例示的基团。作为该R₁₁，特别优选为能够形成由上述通式(I-4)表示的重复单元(1-4)的A，即，碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基或亚烷基(亚甲基、亚乙基、亚丙基等)、或者碳原子数4～20的1价或2价的脂环式烃基或其衍生物。

作为上述有机基团(4-2)中的取代基R₁₂，可列举出在上述有机基团(2-3)中作为取代基R₆所例示的基团。作为该取代基R₁₂，特别优选为能够形成由上述通式(I-2)表示的重复单元(1-2)的取代基，即R_1c。上述通式(I-2)中的各个R_1c相互独立地表示碳原子数4～20的1价脂环式烃基或其衍生物、或者碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基，且(1)R_1c中的至少1个为碳原子数4～20的1价脂环式烃基、或者(2)任意2个R_1c相互键合，也含有各自键合的碳原子形成碳原子数4～20的2价脂环式烃环或其衍生物，其他的R_1c为碳原子数4～20的1价脂环式烃基或其衍生物、或者碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基。更优选R₁₂为上述的R_1c、且它们为上述(1)或者(2)那样的构成。另外，上述通式(I-2)中的C(R_1c)₃优选为1-烷基-1-环烷基、2-烷基-2-金刚烷基、(1-烷基-1-金刚烷基)烷基、或者(1-烷基-1-降冰片基)烷基。

在树脂[A]含有重复单元(1-1)和重复单元(1-2)的情况，它们的含有比例没有特殊限定，在将构成树脂[A]的总重复单元的合计量作为100摩尔％的情况，重复单元(1-1)的含有比例为40～90摩尔％，优选为40～80摩尔％，更优选为60～80摩尔％。该重复单元(1-1)的含有比例不足40摩尔％时，存在着显影性降低、易发生显影缺陷的倾向。另一方面，如果超过90摩尔％，则作为抗蚀剂的分辨力有降低的倾向。进而，当大量含有这种重复单元(1-1)时，树脂[A]优选不含来自内酯骨架的官能团。在大量含有重复单元(1-1)的情况下，如果树脂[A]具有来自内酯骨架的官能团，则存在着抗蚀剂对溶剂的溶解性降低、同时图案容易发生膨润的倾向。

另外，作为上述有机基团(4-3)中的取代基R₁₃，可列举出在上述有机基团(2-4)中作为取代基R₇所例示的基团。作为该取代基R₁₃，特别优选能够形成由上述通式(I-3)表示的重复单元(1-3)的来自内酯骨架的官能团。

在树脂[A]含有重复单元(1-1)、重复单元(1-2)和重复单元(1-3)的情况，即，树脂[A]中含有来自内酯骨架的官能团时，虽然它们的含有比例没有特殊限定，但重复单元(1-1)的含量优选与不含来自内酯骨架的官能团时相比是少量的。具体地说，在将构成树脂[A]的总重复单元的合计量作为100摩尔％的情况下，重复单元(1-1)的含有比例为5～25摩尔％，优选为5～20摩尔％。该重复单元(1-1)的含有比例不足5摩尔％时，作为抗蚀剂的分辨力有降低的倾向。另一方面，如果超过25摩尔％，则存在着图案容易发生膨润、易变形(collapse)的倾向。

此处，以下列举出提供重复单元(3)的单体实例。

(甲基)丙烯酸羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-2-羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-3-羟丙基酯、1-(甲基)丙烯酸-1-氟-1-羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-1，1-氟-1-羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-1，2-二氟-2-羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-1，1，2，2-四氟-2-羟甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-2-三氟甲基-2-羟乙基酯、1-(甲基)丙烯酸-2，2-二(三氟甲基)-2-羟乙基酯、

(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸-3-羟基金刚烷-1-基酯、(甲基)丙烯酸-5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸羧甲基酯、(甲基)丙烯酸-2-羧乙基酯、(甲基)丙烯酸-3-羧丙基酯、(甲基)丙烯酸-3-羧基金刚烷-1-基酯、(甲基)丙烯酸-5(6)-羧基双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-9(10)-羧基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸氰甲基酯、1-(甲基)丙烯酸-2-氰乙基酯、1-(甲基)丙烯酸-3-氰丙基酯、(甲基)丙烯酸-3-氰基金刚烷-1-基酯、(甲基)丙烯酸-5(6)-氰基双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-9(10)-氰基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基酯、

(甲基)丙烯酸-叔丁酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-2-丙酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-2-丁酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基-2-丁酯、(甲基)丙烯酸-3-乙基-3-丁酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基金刚烷-2-基酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基-3-羟基金刚烷-2-基酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基金刚烷-2-基酯、(甲基)丙烯酸-8-甲基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸-8-乙基三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸-1-甲基环戊酯、(甲基)丙烯酸-1-乙基环戊酯、(甲基)丙烯酸-1-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸-1-乙基环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-4-甲基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸-4-乙基-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸-1-环己基-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-双环[2.2.1]庚-2-基-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-金刚烷-1-基-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-(2(3)-羟基环戊基)-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-(3(4)-羟基环己基)-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-(3(4)-羟基环庚基)-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸-1，1-二环己基乙酯、1，1-二双环[2.2.1]庚-2-基乙酯、(甲基)丙烯酸-1，1-二三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷-8-基乙酯、(甲基)丙烯酸-1，1-二(四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}.]十二烷-4-基)乙酯、(甲基)丙烯酸-1，1-二金刚烷-1-基乙酯、

(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸金刚烷-1-基酯、(甲基)丙烯酸双环[2.2.1]庚-2-基酯、(甲基)丙烯酸-7，7-二甲基双环[2.2.1]庚-1-基酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.0^2，6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7.]十二烷-4-基酯；

(甲基)丙烯酸-5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基酯、(甲基)丙烯酸-9-甲氧基羰基-5-氧代-4-氧杂-三环[4.2.1.0^3，7]壬烷-2-基酯、(甲基)丙烯酸-7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸-2-甲氧基羰基-7-氧代-6-氧杂-双环[3.2.1]辛烷-4-基酯、(甲基)丙烯酸-2-氧代四氢吡喃-4-基酯、(甲基)丙烯酸-4-甲基-2-氧代四氢吡喃-4-基酯、(甲基)丙烯酸-4-乙基-2-氧代四氢吡喃-4-基酯、(甲基)丙烯酸-4-丙基-2-氧代四氢吡喃-4-基酯、(甲基)丙烯酸-5-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-2，2-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-2-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-4，4-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-5，5-二甲基-2-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-2-氧代四氢呋喃-3-基酯、(甲基)丙烯酸-5-氧代四氢呋喃-2-基甲酯、(甲基)丙烯酸-3，3-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲酯、(甲基)丙烯酸-4，4-二甲基-5-氧代四氢呋喃-2-基甲酯等。

作为上述重复单元(2)和(3)所例示的重复单元，上述树脂〔A〕中可以仅含有1种，也可以含有2种以上。

另外，上述重复单元(2)和/或(3)的含量的合计量，根据重复单元(2)和/或(3)的种类等而有所不同，相对于总重复单元，通常为80摩尔％以下，优选为70摩尔％以下，更优选为60摩尔％以下。在该情况，如果上述重复单元(2)和/或(3)的含量的合计量超过80摩尔％，则存在着抗蚀剂的密合性和显影性降低、同时减少显影缺陷的效果降低的倾向。另外，当树脂[A]具有来自内酯骨架的官能团时，上述重复单元(2)和/或(3)的含量的合计量反而优选越多越好，可以是70摩尔％以上，特别是80摩尔％以上、即使比80摩尔％更多的量也可以。

作为构成上述树脂〔A〕的单体单元，还可列举出由以下单体形成的单体单元等。

可列举出例如，乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯等乙烯基酯类；

(甲基)丙烯腈、α-氯代丙烯腈、巴豆腈(crotonitrile)、马来腈(maleinitrile)、富马腈(fumaronitrile)、中康腈(mesaconitrile)、柠康腈(citraconitrile)、衣康腈(itaconitrile)等不饱和腈化合物；

(甲基)丙烯酰胺、N，N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、巴豆酰胺、马来酰胺、富马酰胺、中康酰胺、柠康酰胺、衣康酰胺等不饱和酰胺化合物；

N-乙烯基-ε-己内酰胺、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、乙烯基咪唑等其他的含氮乙烯基化合物；

巴豆酸、马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸等不饱和羧酸(酸酐)类；

等的单官能性单体、以及

亚甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，5-二甲基-2，5-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，8-辛二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-双(2-羟丙基)苯二(甲基)丙烯酸酯、1，3-双(2-羟丙基)苯二(甲基)丙烯酸酯、1，2-金刚烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-金刚烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-金刚烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、三环癸基二羟甲基二(甲基)丙烯酸酯等多官能性单体等。

这些重复单元可以仅含有1种，也可以含有2种以上。

另外，这些重复单元的含量，相对于总重复单元，通常为20摩尔％以下，优选为10摩尔％以下。

作为本发明中所说的树脂〔A〕，可以例示具有以下单体单元的树脂，但单体单元的构成顺序和含有比例等没有特殊限定。

(在所有上述的结构式中，R₁表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，R表示甲基或乙基)。

本发明中所说的树脂〔A〕的采用凝胶渗透色谱法(GPC)测得的按聚苯乙烯换算的重均分子量(以下称为“Mw”)，通常为1,000～300,000，优选为2,000～200,000，更优选为3,000～100,000。Mw不足1,000时，作为抗蚀剂的耐热性有降低的倾向，另一方面，如果超过300,000，则作为抗蚀剂的显影性有降低的倾向。

另外，上述Mw与采用GPC同时求出的数均分子量(以下称为“Mn”)的比值(Mw/Mn)，通常为1～5，优选为1～3。

用于本发明感放射线性树脂组合物中的树脂〔A〕，可以单独使用1种，或者将2种以上组合使用。

树脂〔A〕可以通过例如，使用氢过氧化物类、二烷基过氧化物类、二酰基过氧化物类、偶氮化合物等自由基聚合引发剂，根据需要在链转移剂的存在下，在适当的溶剂中，将提供各重复单元的单体的混合物聚合来制备。

作为上述聚合中所使用的溶剂，可列举出例如，正戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、正壬烷、正癸烷等链烷烃类；环己烷、环庚烷、环辛烷、萘烷、降冰片烷等环链烷烃类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯、异丙苯等芳香族烃类；氯丁烷类、溴己烷类、二氯乙烷类、六亚甲基二溴化物、氯苯等卤代烃类；乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、丙酸甲酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯等饱和羧酸酯类；γ-丁内酯等烷基内酯类；四氢呋喃、二甲氧基乙烷类、二乙氧基乙烷类等醚类；2-丁酮、2-庚酮、甲基异丁基酮等烷基酮类；环己酮等环烷基酮类；2-丙醇、丙二醇单甲基醚等醇类等。这些溶剂可以单独使用1种，或者将2种以上组合使用。

另外，上述聚合的反应温度通常为40～120℃，优选为50～100℃，反应时间通常为1～48小时，优选为1～24小时。

本发明中所说的树脂〔A〕优选其纯度高，优选不仅卤素、金属等杂质的含量少，而且残留单体和低聚物成分在规定值以下，例如采用HPLC分析时在0.1质量％以下等。由此，不仅可以进一步改善作为由含有树脂〔A〕的本发明感放射线性树脂组合物得到的抗蚀剂的敏感度、分辨度、加工稳定性、图案形状等，而且可以提供液中无异物或敏感度等不发生经时变化的抗蚀剂。

因此，作为采用上述方法得到的树脂〔A〕的精制方法，可列举出以下的方法。作为除去金属等杂质的方法，可列举出使用电动电位过滤器吸附聚合溶液中的金属的方法；用草酸、磺酸等的酸性水溶液洗涤聚合溶液，使金属成为螯合物状态而将其除去的方法等。另外，作为将残留的单体和低聚物成分除去以达到规定值以下的方法，可列举出通过将水洗或适当的溶剂组合来除去残留的单体或低聚物成分的液液萃取法；仅将特定分子量以下的物质萃取除去的超滤法等的在溶液状态下的精制方法；通过将聚合溶液滴入到贫溶剂中，使树脂在贫溶剂中凝固，从而除去残留的单体等的再沉淀法；将过滤分离出的树脂浆液用贫溶剂洗涤等的在固体状态下的精制方法等。而且，也可以将这些方法组合起来。

(2)感放射线性酸发生剂〔B〕

本发明的感放射线性树脂组合物中所含有的感放射线性酸发生剂〔B〕(以下称为“酸发生剂〔B〕”)，是一种受到可视光线、紫外线、远紫外线、电子线、X射线等的放射线曝光而发生酸的物质。

上述酸发生剂〔B〕通过曝光所发生的酸的作用，使树脂〔A〕中存在的烷基金刚烷基、叔丁基、四氢吡喃基等酸解离性基团解离。其结果，抗蚀剂被膜的曝光部变得易溶于碱显影液，从而形成正型的抗蚀剂图案。上述酸发生剂〔B〕由母核和所发生的酸构成。

<2-1>所发生的酸

作为所发生的酸，可列举出磺酸化合物、羧酸化合物、亚氨化合物等。具体地说，为由下述通式(V)～(IX)表示的化合物。

(式中，Ra表示氢原子、氟原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数1～20的氟代烷基、碳原子数3～20的环状烃基、或者碳原子数3～20的环状氟代烃基，该环状烃基和该环状氟代烃基也可以具有取代基。Rf表示氟原子或三氟甲基)。

(式中，Rb表示氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～20的环状烃基、或者碳原子数3～20的环状氟代烃基，该环状烃基和该环状氟代烃基也可以具有取代基。Rf表示氟原子或三氟甲基，Rf’表示氢原子、氟原子、甲基、或者三氟甲基)。

Rs-SO₃H    (VII)

(式中，Rs表示碳原子数1～20的烷基、或者碳原子数3～20的环状烃基，该环状烃基也可以具有取代基)。

Rc-COOH    (VIII)

(式中，Rc表示碳原子数1～20的烷基、碳原子数1～20的氟代烷基、碳原子数3～20的环状烃基、或者碳原子数3～20的环状氟代烃基，该环状烃基和该环状氟代烃基也可以具有取代基)。

(式中，Re表示Rg-SO₂-基或者Rg-CO-基，Rg表示与上述Ra相同的基团)。

当构成通式(V)的取代基Ra、构成通式(VI)的取代基Rb、构成通式(VII)的取代基Rs、构成通式(VIII)的取代基Rc、以及构成通式(IX)的取代基Re中含有的取代基Rg分别为烷基时，它们可以是直链状，也可以是支链状。作为其例子，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙基己基、壬基、癸基、十二烷基等。

当构成通式(V)的取代基Ra、构成通式(VIII)的取代基Rc、以及构成通式(IX)的取代基Re中含有的取代基Rg分别为氟代烷基时，它们可以是直链状，也可以是支链状。作为其例子，可列举出三氟甲基、五氟乙基、七氟正丙基、七氟异丙基、九氟正丁基、九氟异丁基、九氟仲丁基、九氟叔丁基、全氟正戊基、全氟正己基、全氟正庚基、全氟正辛基等。

当构成通式(V)的取代基Ra、构成通式(VI)的取代基Rb、构成通式(VII)的取代基Rs、构成通式(VIII)的取代基Rc、以及构成通式(IX)的取代基Re中含有的取代基Rg分别为环状烃基时，可以是脂环式烃基，也可以是含有芳香环的烃基。作为其例子，可列举出环丙基、环丁基、环戊基、环庚基、环辛基、苯基、甲苯基、二甲苯基、苄基、萘基等。另外，当构成通式(V)的取代基Ra、构成通式(VI)的取代基Rb、构成通式(VIII)的取代基Rc、以及构成通式(IX)的取代基Re中含有的取代基Rg分别为环状氟代烃基时，可以是脂环式烃基，也可以是含有芳香环的烃基。作为该环状氟代烃基，可列举出上述例示的环状烃基所键合的至少1个氢原子被取代为氟原子的基团。

当上述环状烃基和环状氟代烃基进一步具有取代基时，作为其取代基，可列举出苯基、2-萘基、环烷基、双环[2.2.1]庚烷-2-基、四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7.]十二烷-4-基、金刚烷-1-基、樟脑基及其取代衍生物等。

因此，作为由上述通式(V)表示的酸的具体例，可列举出直链状或支链状的氟代烷基磺酸类、2位上具有脂环式骨架的2-脂环式骨架取代物等。

作为直链状或支链状的氟代烷基磺酸类，可列举出三氟甲磺酸、五氟乙磺酸、七氟正丙磺酸、九氟正丁磺酸、全氟正辛磺酸、1，1，2，2-四氟正丙磺酸、1，1，2，2-四氟正丁磺酸、1，1，2，2-四氟正辛磺酸等。

作为2位上具有脂环式骨架的2-脂环式骨架取代物，可列举出1，1，2，2-四氟乙磺酸类、1-三氟甲基-1，2，2-三氟乙磺酸类、2-三氟甲基-1，1，2-三氟乙磺酸类、1，2-二(三氟甲基)-1，2-二氟乙磺酸类、1，1-二(三氟甲基)-2，2-二氟乙磺酸类、2，2-二(三氟甲基)-1，1-二氟乙磺酸类等。

进而，作为2位上具有脂环式骨架的1，1，2，2-四氟乙磺酸类，可列举出2-环丁基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-环戊基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-环己基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-苯基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(4-三氟甲基苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(2，3-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(2，4-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(2，5-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(2，6-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(3，4-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(3，5-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(3，6-二氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(2，3，4，5，6-五氟苯基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-萘-1-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-萘-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-双环[2.2.1]庚烷-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(5-羟基双环[2.2.1]庚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(6-羟基双环[2.2.1]庚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(7，7-二甲基双环[2.2.1]庚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(9-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(10-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-金刚烷-1-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(1-金刚烷基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-金刚烷-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(3-羟基金刚烷-1-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸、2-(3-羟基金刚烷-2-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸等。

作为由上述通式(VI)表示的酸的具体例，可列举出直链状或支链状的氟代烷基磺酸类、1位或2位上具有脂环式骨架的脂环式骨架取代物等。

作为直链状或支链状的氟代烷基磺酸类，可列举出1-氟乙磺酸、1-氟-正丙磺酸、1-氟-正丁磺酸、1-氟-正辛磺酸、1、1-二氟乙磺酸、1、1-二氟-正丙磺酸、1、1-二氟-正丁磺酸、1、1-二氟-正辛磺酸、1-三氟甲基-正丙磺酸、1-三氟甲基-正丁磺酸、1-三氟甲基-正辛磺酸、1，1-双(三氟甲基)乙磺酸、1，1-双(三氟甲基)-正丙磺酸、1，1-双(三氟甲基)-正丁磺酸、1，1-双(三氟甲基)-正辛磺酸等。

作为1位或2位上具有脂环式骨架的脂环式骨架取代物，可列举出1，1-二氟甲磺酸类、1，1-二氟乙磺酸类、1-一氟甲磺酸类、1-一氟乙磺酸类、1-三氟甲基甲磺酸类、1-三氟甲基乙磺酸类、1、1-二(三氟甲基)甲磺酸类、1、1-二(三氟甲基)乙磺酸类等脂环式骨架取代物等。

作为1位上具有脂环式骨架的1，1-二氟甲磺酸类，可列举出1-环丁基-1，1-二氟甲磺酸、1-环戊基-1，1-二氟甲磺酸、1-环己基-1，1-二氟甲磺酸、1-苯基-1，1-二氟甲磺酸、1-(4-三氟甲基苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2，3-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2，4-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2，5-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2，6-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(3，4-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(3，5-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(3，6-二氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2，3，4，5，6-五氟苯基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(萘-1-基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(萘-2-基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(5-羟基-2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(6-羟基-2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(2-7，7-二甲基双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟甲磺酸、1-四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}]十二烷-4-基-1，1-二氟甲磺酸、1-(9-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(10-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1-二氟甲磺酸、1-金刚烷-1-基-1，1-二氟甲磺酸、1-金刚烷-2-基-1，1-二氟甲磺酸、1-(3-羟基金刚烷-1-基)-1，1-二氟甲磺酸、1-(3-羟基金刚烷-2-基)-1，1-二氟甲磺酸等。

另外，作为2位上具有脂环式骨架的1，1-二氟乙磺酸类，可列举出2-环丁基-1，1-二氟乙磺酸、2-环戊基-1，1-二氟乙磺酸、2-环己基-1，1-二氟乙磺酸、2-苯基-1，1-二氟乙磺酸、2-(4-三氟甲基苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2，3-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2，4-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2，5-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2，6-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(3，4-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(3，5-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(3，6-二氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2，3，4，5，6-五氟苯基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(萘-1-基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(萘-2-基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(5-羟基-2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(6-羟基-2-双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(2-7，7-二甲基双环[2.2.1]庚基)-1，1-二氟乙磺酸、2-四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}]十二烷-4-基-1，1-二氟乙磺酸、2-(9-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(10-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1-二氟乙磺酸、2-金刚烷-1-基-1，1-二氟乙磺酸、2-金刚烷-2-基-1，1-二氟乙磺酸、2-(3-羟基金刚烷-1-基)-1，1-二氟乙磺酸、2-(3-羟基金刚烷-2-基)-1，1-二氟乙磺酸等。

作为由上述通式(VII)表示的酸的具体例，可列举出直链状、支链状和环状的烷基磺酸类、芳香族磺酸类、10-樟脑磺酸、或者当取代基Rs为碳原子数3～20的环状烃基或者碳原子数3～20的环状氟代烃基、进而为它们的衍生物取代基时键合-SO₃H基的酸等。

作为直链状、支链状和环状的烷基磺酸类，可列举出甲磺酸、乙磺酸、正丙磺酸、正丁磺酸、异丁磺酸、仲丁磺酸、叔丁磺酸、正戊磺酸、正己磺酸、正辛磺酸、环戊磺酸、环己磺酸等。

另外，作为芳香族磺酸类，可列举出苯磺酸、对甲苯磺酸、苄磺酸、α-萘磺酸、β-萘磺酸等。

作为由上述通式(VIII)表示的酸的具体例，可列举出乙酸、正丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、异戊酸、己酸、苯甲酸、水杨酸、邻苯二甲酸、对苯二甲酸、α-萘羧酸、β-萘羧酸、环丁烷羧酸、环戊烷羧酸、环己烷羧酸、1，1-环丁烷二羧酸、1，2-环丁烷二羧酸、1，1-环戊烷二羧酸、1，2-环戊烷二羧酸、1，3-环戊烷二羧酸、1，1-环己烷二羧酸、1，2-环己烷二羧酸、1，3-环己烷二羧酸、1，4-环己烷二羧酸、2-降冰片烷羧酸、2，3-降冰片烷二羧酸、降冰片基-2-乙酸、1-金刚烷羧酸、1-金刚烷乙酸、1，3-金刚烷二羧酸、1，3-金刚烷二乙酸、石胆酸、脱氧胆酸、鹅脱氧胆酸、胆酸、当取代基Rc为碳原子数3～20的环状烃基或者碳原子数3～20的环状氟代烃基、进而为它们的衍生物取代基时的键合-COOH基的酸等。

作为由上述通式(IX)表示的酸的具体例，可列举出N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸、N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸、N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸、N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸、N，N-双(全氟-正辛磺酰基)亚氨酸、N，N-双(1，1，2，2-四氟-正丙磺酰基)亚氨酸、N，N-双(1，1，2，2-四氟-正丁磺酰基)亚氨酸、N，N-双(1，1，2，2-四氟-正辛磺酰基)亚氨酸、N-三氟甲磺酰基-N-五氟乙磺酰基亚氨酸、N-三氟甲磺酰基-N-七氟-正丙磺酰基亚氨酸、N-三氟甲磺酰基-N-九氟-正丁磺酰基亚氨酸、N-五氟乙磺酰基-N-七氟-正丙磺酰基亚氨酸、N-五氟乙磺酰基-N-九氟-正丁磺酰基亚氨酸、N-七氟-正丙磺酰基-N-九氟-正丁磺酰基亚氨酸、当取代基Re为碳原子数3～20的环状烃基或者碳原子数3～20的环状氟代烃基、进而为它们的衍生物取代基时的键合-NH-基的酸等。

<2-2>母核

作为发生由上述通式(V)～(IX)表示的酸的母核，可列举出鎓盐化合物、硫酰亚胺化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、二磺酰基重氮甲烷化合物、二磺酰基甲烷化合物、肟磺酸酯化合物、肼磺酸酯化合物等。

作为构成母核的鎓盐化合物，可列举出碘鎓盐、锍盐(包括四氢噻吩鎓(thiophenium)盐)、鏻盐、重氮鎓盐、吡啶鎓盐。

作为上述碘鎓盐，可列举出二苯基碘鎓盐、双(4-叔丁基苯基)碘鎓盐、二(对甲苯酰基)碘鎓盐、二(3，4-二甲基苯基)碘鎓盐、4-硝基苯基·苯基碘鎓盐、二(3-硝基苯基)碘鎓盐、4-甲氧基苯基·苯基碘鎓盐、二(4-氯苯基)碘鎓盐、二(4-三氟甲基苯基)碘鎓盐、亚联苯基碘鎓盐、二(2-萘基)碘鎓盐、2-氯亚联苯基碘鎓盐等。

作为上述锍盐，可列举出三苯基锍盐、4-叔丁基苯基·二苯基锍盐、4-叔丁氧基苯基·二苯基锍盐、4-羟基苯基·二苯基锍盐、三(4-甲氧基苯基)锍盐、二(4-甲氧基苯基)·对甲苯酰基锍盐、苯基·亚联苯基锍盐、(4-苯基噻吩基)·二苯基锍盐、4，4’-双(二苯基锍基(sulfonio)苯基)硫化物盐等芳基锍盐；

二环己基甲基锍盐、二甲基环己基锍盐、三环己基锍盐等(环)烷基锍盐；

环己基·2-氧代环己基·甲基锍盐、二环己基·2-氧代环己基锍盐、2-氧代环己基二甲基锍盐、双环[2.2.1]庚-2-基·甲基·(2-氧代环己基)锍盐、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍盐、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓盐、1-(2-萘-2-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓盐、1-(2-氧代-正丁基)四氢噻吩鎓盐等2-氧代锍盐；

1-(萘-1-基)二甲基锍盐、1-(萘-1-基)二乙基锍盐、1-(4-氰基萘-1-基)二甲基锍盐、1-(4-氰基萘-1-基)二乙基锍盐、1-(4-硝基萘-1-基)二甲基锍盐、1-(4-硝基萘-1-基)二乙基锍盐、1-(4-甲基萘-1-基)二甲基锍盐、1-(4-甲基萘-1-基)二乙基锍盐、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-羟基萘-1-基)二甲基锍盐、1-(4-羟基萘-1-基)二乙基锍盐等二烷基·萘-1-基锍盐；

等。

作为上述芳基噻吩鎓盐，可列举出1-(4-甲氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-乙氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-甲氧基甲氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-乙氧基甲氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-[4-(1-甲氧基乙氧基)萘-1-基]四氢噻吩鎓盐、1-[4-(2-甲氧基乙氧基)萘-1-基]四氢噻吩鎓盐、1-(4-甲氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-乙氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-正丙氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-异丙氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-正丁氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-(4-叔丁氧基羰氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、1-[4-(2-四氢呋喃基氧基)萘-1-基]四氢噻吩鎓盐、1-[4-(2-四氢吡喃基氧基)萘-1-基]四氢噻吩鎓盐、1-(4-苄氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓盐、4-(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア(thionia)三环[5.2.1.0^2，6]癸烷盐、(4-乙氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷盐、1-[4-(双环[2.2.1]庚-2-基)氧基萘-1-基]四氢噻吩鎓盐、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓盐、1-(3，5-二甲基-4-乙氧基苯基)四氢噻吩鎓盐、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓盐等。

作为上述硫酰亚胺化合物没有特殊限定，可列举出例如由下述通式(B1-1)表示的化合物。该化合物是下述通式(B1-2)表示的母核和所发生的酸通过磺酰氧键或酯键而形成的。

(式中，R表示由上述通式(V)、(VI)、(VII)、(VIII)和(IX)表示的所发生的酸的骨架，X表示来自所发生的酸的键合基团，Y表示2价有机基团)。

(Y表示2价有机基团)。

在上述通式(B1-1)中，例如，当所发生的酸为磺酸时，X表示磺酰基，当所发生的酸为羧酸时，X表示羰基。另外，当所发生的酸为亚氨酸时，X表示N-R’(其中，R’表示含磺酰基的有机基团或者含羰基的有机基团)。，R和R’依存于相对应的所发生的酸的结构。

另外，作为构成上述通式(B1-1)和(B1-2)的Y没有特殊限定，可列举出亚甲基、亚乙基、正亚丙基、异亚丙基、正亚丁基、异亚丁基等亚烷基；来自环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷、双环[2.2.1]庚烷等环烷烃或者有机脂环结构的2价有机基团等。

作为形成硫酰亚胺化合物的由上述通式(B1-2)表示的母核，可列举出N-羟基琥珀酰亚胺、N-羟基二苯基马来酰亚胺、N-羟基双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-羟基-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-羟基双环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧基酰亚胺、N-羟基萘基酰亚胺、N-羟基邻苯二甲酰亚胺等。

作为上述砜化合物，可列举出β-酮砜、β-磺酰砜、和它们的α-重氮化合物等。

另外，作为上述磺酸酯化合物，可列举出烷基磺酸酯、卤代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亚氨基磺酸酯等。

作为上述二磺酰基重氮甲烷化合物没有特殊限定，可列举出例如由下述通式(B2)表示的化合物。

(式中，R表示由上述通式(V)、(VI)、(VII)、(VIII)和(IX)表示的所发生的酸的骨架，X表示来自所发生的酸的键合基团)。

在上述通式(B2)中，例如，当所发生的酸为磺酸时，X表示磺酰基，当所发生的酸为羧酸时，X表示羰基。另外，当所发生的酸为亚氨酸时，X表示N-R’(其中，R’表示含磺酰基的有机基团或者含羰基的有机基团)。，R和R’依存于相对应的所发生的酸的结构。

作为上述二磺酰基甲烷化合物没有特殊限定，可列举出例如由下述通式(B3)表示的化合物。

(式中，R表示由上述通式(V)、(VI)、(VII)、(VIII)和(IX)表示的所发生的酸的骨架，X表示来自所发生的酸的键合基团，V或W为芳基，或者V与W相互连结，形成具有至少1个不饱和键的单环或多环，或者V与W相互连结，形成由下述通式(B4)表示的基团)。

在上述通式(B3)中，例如，当所发生的酸为磺酸时，X表示磺酰基，当所发生的酸为羧酸时，X表示羰基。另外，当所发生的酸为亚氨酸时，X表示N-R’(其中，R’表示含磺酰基的有机基团或者含羰基的有机基团)。，R和R’依存于相对应的所发生的酸的结构。

(式中，V’和W’可以相互相同或不同，多个存在的V’和W’可以相互相同或不同，表示氢原子、卤素原子、烷基、环烷基、芳基或芳烷基，或者键合到相同或不同碳原子上的V’和W’相互连结，形成碳单环结构，k为2～10的整数)。

作为上述肟磺酸酯化合物没有特殊限定，可列举出例如由下述通式(B5)和通式(B6)表示的化合物。

(式中，R表示由上述通式(V)、(VI)、(VII)、(VIII)和(IX)表示的所发生的酸的骨架，X表示来自所发生的酸的键合基团，Y表示1价有机基团)。

在上述通式(B5)中，例如，当所发生的酸为磺酸时，X表示磺酰基，当所发生的酸为羧酸时，X表示羰基。另外，当所发生的酸为亚氨酸时，X表示N-R’(其中，R’表示含磺酰基的有机基团或者含羰基的有机基团)。，R和R’依存于相对应的所发生的酸的结构。

作为构成上述通式(B5)的Y，可列举出甲基、乙基、正丙基、苯基、甲苯磺酰基等。

(式中，R相互独立地表示由上述通式(V)、(VI)、(VII)、(VIII)和(IX)表示的所发生的酸的骨架，X表示来自所发生的酸的键合基团，Y相互独立地表示1价有机基团)。

在上述通式(B6)中，例如，当所发生的酸为磺酸时，X表示磺酰基，当所发生的酸为羧酸时，X表示羰基。另外，当所发生的酸为亚氨酸时，X表示N-R’(其中，R’表示含磺酰基的有机基团或者含羰基的有机基团)。，R和R’依存于相对应的所发生的酸的结构。

作为构成上述通式(B6)的Y，可列举出甲基、乙基、正丙基、苯基、甲苯磺酰基等。

作为上述肼磺酸酯化合物，可列举出例如，双(苯)磺酰肼、双(对甲苯)磺酰肼、双(三氟甲烷)磺酰肼、双(九氟-正丁烷)磺酰肼、双(正丙烷)磺酰肼、苯磺酰肼、对甲苯磺酰肼、三氟甲磺酰肼、九氟-正丁磺酰肼、正丙磺酰肼、三氟甲磺酰基对甲苯磺酰肼等。

<2-3>酸发生剂〔B〕的例子

作为由上述所发生的酸和上述母核构成的酸发生剂〔B〕的例子，可列举出二苯基碘鎓三氟甲磺酸酯、二苯基碘鎓九氟正丁磺酸酯、二苯基碘鎓全氟正辛磺酸酯、二苯基碘鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、二苯基碘鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、二苯基碘鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、二苯基碘鎓2-(9(10)-羟基-3-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、二苯基碘鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓苯磺酸酯、二苯基碘鎓4-三氟苯磺酸酯、二苯基碘鎓2，4-二氟苯磺酸酯、二苯基碘鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、二苯基碘鎓樟脑磺酸酯、

双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓九氟正丁磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-正辛磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓苯磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓4-三氟苯磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2，4-二氟苯磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓樟脑磺酸酯、

三苯基锍三氟甲磺酸酯、三苯基锍九氟-正丁磺酸酯、三苯基锍全氟-正辛磺酸酯、三苯基锍2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、三苯基锍1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、三苯基锍2-四环[6.2.1.1^3，6.0^{2， 7}]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、三苯基锍2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、三苯基锍N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、三苯基锍N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、三苯基锍N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、三苯基锍N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、三苯基锍苯磺酸酯、三苯基锍4-三氟苯磺酸酯、三苯基锍2，4-二氟苯磺酸酯、三苯基锍2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、三苯基锍樟脑磺酸酯、

双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍三氟甲磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍九氟-正丁磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍全氟-正辛磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍苯磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍4-三氟苯磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍2，4-二氟苯磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、双环[2.2.1]庚-2-基·环己基·(2-氧代环己基)锍樟脑磺酸酯、

1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓2-(8(9)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓苯磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓4-三氟苯磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓2，4-二氟苯磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、1-(2-萘-1-基-2-氧代乙基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、二苯基碘鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓苯磺酸酯、二苯基碘鎓4-三氟苯磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓2，4-二氟苯磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、1-(4-羟基萘-1-基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓苯磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓4-三氟苯磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2，4-二氟苯磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷三氟甲磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^{2， 6}]癸烷九氟-正丁磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷全氟-正辛磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓苯磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷4-三氟苯磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷2，4-二氟苯磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、(4-正丁氧基萘-1-基)4-チオニア三环[5.2.1.0^2，6]癸烷樟脑磺酸酯、

1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓4-三氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2，4-二氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(三氟甲磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(五氟乙磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(七氟-正丙磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓4-三氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓2，4-二氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓2，3，4，5，6-五氟苯磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-丁氧基苯基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

N-(三氟甲磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(九氟-正丁磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(全氟-正辛磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2，4-二氟苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2，3，4，5，6-五氟苯磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)琥珀酰亚胺、

N-(三氟甲磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(九氟-正丁磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟-正辛磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2，4-二氟苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2，3，4，5，6-五氟苯磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、

N-(三氟甲磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(九氟-正丁磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟-正辛磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(1，1，2，2-四氟-2-(5(6)-羟基双环[2.2.1]庚-2-基)乙磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-(9(10)-羟基四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基)-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2，4-二氟苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2，3，4，5，6-五氟苯磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)-7-氧杂双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、等。

其中优选二苯基碘鎓三氟甲磺酸酯、二苯基碘鎓九氟-正丁磺酸酯、二苯基碘鎓全氟-正辛磺酸酯、二苯基碘鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、二苯基碘鎓2-四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、二苯基碘鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、二苯基碘鎓樟脑磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓九氟-正丁磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-正辛磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、双(4-叔丁基苯基)碘鎓樟脑磺酸酯、

三苯基锍三氟甲磺酸酯、三苯基锍九氟-正丁磺酸酯、三苯基锍全氟-正辛磺酸酯、三苯基锍2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、三苯基锍2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、三苯基锍N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、三苯基锍樟脑磺酸酯、

1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^{3， 6}.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓三氟甲磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓全氟-正辛磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓N，N-双(九氟-正丁磺酰基)亚氨酸酯、1-(3，5-二甲基-4-羟基苯基)四氢噻吩鎓樟脑磺酸酯、

N-(三氟甲磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(九氟-正丁磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(全氟-正辛磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)琥珀酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)琥珀酰亚胺、

N-(三氟甲磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(九氟-正丁磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(全氟-正辛磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(2-四环[6.2.1.1^3，6.0^2，7]十二烷-4-基-1，1，2，2-四氟乙磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺、N-(樟脑磺酰氧基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺等。

上述酸发生剂〔B〕可以单独使用1种，或者将2种以上组合使用。

本发明的感放射线性树脂组合物中的上述酸发生剂〔B〕的含量，相对于上述树脂〔A〕100质量份，通常为0.1～20质量份，优选为0.1～15质量份，更优选为0.1～10质量份。通过使含量处于该范围，可以充分确保作为抗蚀剂的敏感度和显影性。另外，当上述酸发生剂〔B〕的含量不足0.1质量份时，敏感度和显影性有降低的倾向，另一方面，如果超过10质量份，则对于放射线的透明性降低，存在着难以得到矩形的抗蚀剂图案的倾向。

(3)添加剂

本发明的感放射线性树脂组合物中可以含有各种添加剂。其中，优选配合酸扩散控制剂〔C〕，所说酸扩散控制剂〔C〕具有控制酸发生剂〔B〕受到曝光而产生的酸在抗蚀剂被膜中的扩散现象，抑制非曝光区域中不必要的化学反应的作用。

作为上述酸扩散控制剂，优选在抗蚀剂图案形成工序中受到曝光和热处理时碱性不发生变化的含氮有机化合物。

作为上述含氮有机化合物没有特殊限定，可列举出由下述通式(X)表示的化合物、氢氧化季铵化合物、含酰胺基的化合物、脲化合物、含氮杂环化合物等。

(式中，各R相互独立地表示氢原子、取代或非取代的直链状、支链状或环状的烷基、取代或非取代的芳基、或者取代或非取代的芳烷基，X表示2价有机基团，n表示0～2的整数)。

当构成上述通式(X)的取代基R中具有官能团时，作为其例子，可列举出羟基等。它们可以只是1种键合或者也可以是2种以上键合的。

在上述通式(X)中，将n＝0的情况记为“含氮化合物(a)”。另外，将n＝1～2的情况记为“含氮化合物(b)”。进而，将具有3个以上氮原子的多氨基化合物和聚合物记为“含氮化合物(c)”。

作为上述含氮化合物(a)，可列举出例如，正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、环己胺等单(环)烷基胺类；二正丁胺、二正戊胺、二正己胺、二正庚胺、二正辛胺、二正壬胺、二正癸胺、环己基甲胺、二环己胺等二(环)烷基胺类；三乙胺、三正丙胺、三正丁胺、三正戊胺、三正己胺、三正庚胺、三正辛胺、三正壬胺、三正癸胺、环己基二甲胺、二环己基甲胺、三环己胺等三(环)烷基胺类；苯胺、N-甲基苯胺、N，N-二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-硝基苯胺、2，6-二甲基苯胺、2，6-二异丙基苯胺、二苯胺、三苯胺、萘胺等芳香族胺类。

作为上述含氮化合物(b)，可列举出例如，乙二胺、N，N，N’，N’-四甲基乙二胺、N，N，N’，N’-四(2-羟丙基)乙二胺、四亚甲基二胺、1，3-双[1-(4-氨基苯基)-1-甲基乙基]苯四亚甲基二胺、六亚甲基二胺、4，4’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯基醚、4，4’-二氨基二苯甲酮、4，4’-二氨基二苯基胺、2，2-双(4-氨基苯基)丙烷、2-(3-氨基苯基)-2-(4-氨基苯基)丙烷、2-(4-氨基苯基)-2-(3-羟基苯基)丙烷、2-(4-氨基苯基)-2-(4-羟基苯基)丙烷、1，4-双[1-(4-氨基苯基)-1-甲基乙基]苯、1，3-双[1-(4-氨基苯基)-1-甲基乙基]苯、双(2-二甲氨基乙基)醚、双(2-二乙氨基乙基)醚等。

另外，作为上述含氮化合物(c)，可列举出例如，聚乙烯亚胺、聚烯丙胺、2-二甲氨基乙基丙烯酰胺的聚合物等。

除了上述通式(X)表示的化合物以外，作为用作酸扩散控制剂〔C〕的、上述氢氧化季铵化合物，可列举出氢氧化四甲铵、氢氧化四乙铵、氢氧化四正丙铵、氢氧化四正丁铵等。

作为上述含酰胺基的化合物，可列举出N-叔丁氧基羰基二正辛胺、N-叔丁氧基羰基二正壬胺、N-叔丁氧基羰基二正癸胺、N-叔丁氧基羰基二环己胺、N-叔丁氧基羰基-1-金刚烷基胺、N-叔丁氧基羰基-N-甲基-1-金刚烷基胺、N，N-二叔丁氧基羰基-1-金刚烷基胺、N，N-二叔丁氧基羰基-N-甲基-1-金刚烷基胺、N-叔丁氧基羰基-4，4’-二氨基二苯基甲烷、N，N’-二叔丁氧基羰基六亚甲基二胺、N，N，N’N’-四叔丁氧基羰基六亚甲基二胺、N，N’-二叔丁氧基羰基-1，7-二氨基庚烷、N，N’-二叔丁氧基羰基-1，8-二氨基辛烷、N，N’-二叔丁氧基羰基-1，9-二氨基壬烷、N，N’-二叔丁氧基羰基-1，10-二氨基癸烷、N，N’-二叔丁氧基羰基-1，12-二氨基十二烷、N，N’-二叔丁氧基羰基-4，4’-二氨基二苯基甲烷、N-叔丁氧基羰基苯并咪唑、N-叔丁氧基羰基-2-甲基苯并咪唑、N-叔丁氧基羰基-2-苯基苯并咪唑等的含N-叔丁氧基羰基的氨基化合物；甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、丙酰胺、苯甲酰胺、吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮等。

作为上述脲化合物，可列举出尿素、甲基脲、1，1-二甲基脲、1，3-二甲基脲、1，1，3，3-四甲基脲、1，3-二苯基脲、三正丁基硫脲等。

作为上述含氮杂环化合物，可列举出咪唑、4-甲基咪唑、1-苄基-2-甲基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑、苯并咪唑、2-苯基苯并咪唑等咪唑类；吡啶、2-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2-乙基吡啶、4-乙基吡啶、2-苯基吡啶、4-苯基吡啶、2-甲基-4-苯基吡啶、烟碱、烟酸、烟酰胺、喹啉、4-羟基喹啉、8-羟喹啉、吖啶等吡啶类；哌嗪、1-(2-羟乙基)哌嗪等哌嗪类，除此之外，还可列举出吡嗪、吡唑、哒嗪、喹喔啉、嘌呤、吡咯烷、哌啶、3-哌啶并-1，2-丙二醇、吗啉、4-甲基吗啉、1，4-二甲基哌嗪、1，4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷等。

这些含氮有机化合物中，优选含酰胺基的化合物、含氮杂环化合物。作为含酰胺基的化合物，优选含N-叔丁氧基羰基的氨基化合物，作为含氮杂环化合物，优选咪唑类。另外，上述含氮有机化合物可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

上述酸扩散控制剂〔C〕的配合量，相对于上述树脂〔A〕100质量份，通常为0.001～15质量份，优选为0.01～10质量份，更优选为0.01～5质量份。通过使配合量处于该范围，可以进一步提高得到的感放射线性树脂组合物的贮存稳定性。而且，可以进一步提高作为抗蚀剂的分辨度，同时还可以抑制由于从曝光至显影处理的后曝光时间延迟(post-exposuer delay：PED)的变动造成的抗蚀剂图案的线宽变化，可以得到加工稳定性极为优良的组合物。

应予说明，如果上述酸扩散控制剂〔C〕的配合量超过15质量份，则作为抗蚀剂的敏感度和曝光部的显影性有降低的倾向。另一方面，如果不足0.001质量份，则根据工艺条件，作为抗蚀剂的图案形状和尺寸稳定性有可能降低。

本发明的感放射线性树脂组合物中的树脂〔A〕、酸发生剂〔B〕和酸扩散控制剂〔C〕的优选含有比例如下。即，相对于上述树脂〔A〕100质量份，通常情况下，上述酸发生剂〔B〕为0.1～20质量份，上述酸扩散控制剂〔C〕为0.001～15质量份，优选的是，上述酸发生剂〔B〕为0.1～15质量份，上述酸扩散控制剂〔C〕为0.01～10质量份，更优选的是，上述酸发生剂〔B〕为0.1～10质量份，上述酸扩散控制剂〔C〕为0.01～5质量份。

本发明的感放射线性树脂组合物中，可以配合显示出进一步改善耐干蚀性、图案形状、与基片的粘附性等的作用的添加剂。该添加剂可以含有或不含酸解离性官能团。作为其例子，可列举出1-金刚烷羧酸叔丁酯、1-金刚烷羧酸叔丁氧基羰基甲酯、1-金刚烷羧酸α-丁内酯酯、1，3-金刚烷二羧酸二叔丁酯、1-金刚烷乙酸叔丁酯、1-金刚烷乙酸叔丁氧基羰基甲酯、1，3-金刚烷二乙酸二叔丁酯、2，5-二甲基-2，5-二(金刚烷基羰氧基)己烷等金刚烷衍生物类；

脱氧胆酸叔丁酯、脱氧胆酸叔丁氧基羰基甲酯、脱氧胆酸2-乙氧基乙酯、脱氧胆酸2-环己氧基乙酯、脱氧胆酸3-氧代环己酯、脱氧胆酸四氢吡喃基酯、脱氧胆酸メバロノ(mevalono)内酯酯等脱氧胆酸酯类；

石胆酸叔丁酯、石胆酸叔丁氧基羰基甲酯、石胆酸2-乙氧基乙酯、石胆酸2-环己氧基乙酯、石胆酸3-氧代环己酯、石胆酸四氢吡喃基酯、石胆酸メバロノ内酯酯等石胆酸酯类；

己二酸二甲酯、己二酸二乙酯、己二酸二丙酯、己二酸二正丁酯、己二酸二叔丁酯等烷基羧酸酯类等。其中，优选1-金刚烷羧酸叔丁酯、1，3-金刚烷二羧酸二叔丁酯、1-金刚烷乙酸叔丁酯、2，5-二甲基-2，5-二(金刚烷基羰氧基)己烷、脱氧胆酸叔丁酯、脱氧胆酸叔丁氧基羰基甲酯、石胆酸叔丁酯、石胆酸叔丁氧基羰基甲酯、己二酸二正丁酯。而且，它们可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

上述添加剂的配合量，相对于上述树脂〔A〕100质量份，通常为50质量份以下，优选为1～30质量份。如果上述添加剂的配合量超过50质量份，则作为抗蚀剂的耐热性有降低的倾向。

另外，本发明的感放射线性树脂组合物中，可以配合显示出改良涂布性、显影性等的作用的表面活性剂。可以使用阴离子型表面活性剂、阳离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂中的任一种，其中，优选阴离子型表面活性剂。作为其例子，可列举出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等。此外，还可列举出以下的商品名：KP341(信越化学工业公司制造)；ポリフロ一No.75、ポリフロ一No.95(共荣社化学公司制造)エフトツプEF 301、エフトツプEF 303、エフトツプEF 352(ト一ケムプロダクツ公司制造)；メガフアツクスF171、メガフアツクスF173(大日本油墨化学工业公司制造)；フロラ一ドFC430、フロラ一ドFC431(住友スリ一エム公司制造)；アサヒガ一ドAG710、サ一フロンS-382、サ一フロンSC-101、サ一フロンSC-102、サ一フロンSC-103、サ一フロンSC-104、サ一フロンSC-105、サ一フロンSC-106(旭硝子公司制造)等。上述表面活性剂可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

另外，上述表面活性剂的配合量，相对于树脂〔A〕和酸发生剂〔B〕的合计100质量份，通常为2质量份以下，优选为0.001～2质量份。

另外，本发明的感放射线性树脂组合物中，可以配合显示出改善敏感度等的作用的增感剂。作为其例子，可列举出咔唑类、二苯甲酮类、玫瑰红类、蒽类、酚类等。而且，它们可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

上述增感剂的配合量，相对于树脂〔A〕100质量份，通常为50质量份以下，优选为1～20质量份。

作为本发明的感放射线性树脂组合物中所配合的其他添加剂，可列举出光晕防止剂、粘附助剂、保存稳定剂、消泡剂等。

(4)溶剂

本发明的感放射线性树脂组合物可以将树脂〔A〕、酸发生剂〔B〕等溶解于溶剂等中而制成。作为该溶剂，可列举出2-丁酮、2-戊酮、3-甲基-2-丁酮、2-己酮、4-甲基-2-戊酮、3-甲基-2-戊酮、3，3-二甲基-2-丁酮、2-庚酮、2-辛酮等的直链状或支链状的酮类；

环戊酮、3-甲基环戊酮、环己酮、2-甲基环己酮、2，6-二甲基环己酮、异佛尔酮等环状酮类；

丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单正丙基醚乙酸酯、丙二醇单异丙基醚乙酸酯、丙二醇单正丁基醚乙酸酯、丙二醇单异丁基醚乙酸酯、丙二醇单仲丁基醚乙酸酯、丙二醇单叔丁基醚乙酸酯等丙二醇单烷基醚乙酸酯类；

2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸正丙酯、2-羟基丙酸异丙酯、2-羟基丙酸正丁酯、2-羟基丙酸异丁酯、2-羟基丙酸仲丁酯、2-羟基丙酸叔丁酯等2-羟基丙酸烷基酯类；

3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等3-烷氧基丙酸烷基酯类；

正丙醇、异丙醇、正丁醇、叔丁醇、环己醇等醇类；

乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇二正丙基醚、二甘醇二正丁基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单正丙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚等亚烷基二醇单烷基醚等；

甲苯、二甲苯等芳香族系溶剂；

2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丁酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸正丁酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、苄基乙基醚、二正己基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等。

其中，优选直链状或支链状的酮类、环状酮类、丙二醇单烷基醚乙酸酯类、2-羟基丙酸烷基酯类、3-烷氧基丙酸烷基酯类、γ-丁内酯。而且，上述溶剂可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

(5)组合物的制备

本发明的感放射线性树脂组合物一般是通过将各成分溶解于溶剂中，以使全部成分的总固形物浓度通常达到3～50质量％、优选达到5～25质量％后，用例如孔径0.2μm左右的过滤器进行过滤而得到。

(6)抗蚀剂图案的形成方法

本发明的感放射线性树脂组合物特别是可作为化学增幅型抗蚀剂使用。

在上述化学增幅型抗蚀剂中，受到通过曝光而由酸发生剂〔B〕发生的酸的作用，树脂〔A〕中的酸解离性基团发生解离，产生以羧基为代表的碱可溶性的官能团，其结果，抗蚀剂的曝光部对碱显影液的溶解性提高，该曝光部被碱显影液溶解并被除去，从而得到正型的抗蚀剂图案。

<6-1>抗蚀剂图案的形成

在使用本发明的感放射线性树脂组合物形成抗蚀剂图案时，采用旋转涂布、流延涂布、辊涂布、喷雾涂布等涂布方法，将组合物涂布到硅晶片、用铝包覆的晶片等基片上，由此形成涂膜，根据不同情况进行预先热处理(以下称为“PB”)后，使该涂膜曝光，以便形成规定的抗蚀剂图案。作为此时使用的放射线，可列举出紫外线、KrF准分子激光(波长248nm)、ArF准分子激光(波长193nm)、F₂准分子激光(波长157nm)、EUV(极远紫外线、波长13nm等)等远紫外线、电子线等带电粒子线、同步加速器放射线等X射线等。其中，优选远紫外线、电子线。另外，曝光量等曝光条件可根据感放射线性树脂组合物的配合组成、各添加剂的种类等适宜地选定。

为了稳定地形成高精度的微细图案，通常在曝光后进行热处理(以下称为“PEB”)。通过该PEB，使树脂〔A〕中的酸解离性官能团的解离反应平稳地进行。PEB的加热条件根据感放射线性树脂组合物的配合组成而变化，通常情况下，温度为30～200℃，优选为50～170℃，时间为0.1～5分钟，优选为0.2～3分钟。

为了最大限度地发挥本发明的感放射线性树脂组合物的潜在能力，也可以象特开昭59-93448号公报等中公开的那样，在所使用的基片上形成有机系或无机系的抗反射膜。另外，为了防止环境氛围气中所含有的碱性杂质等的影响，也可以象特开平5-188598号公报等中公开的那样，在抗蚀剂被膜上设置保护膜。

接着，通过对曝光了的抗蚀剂被膜进行显影，形成规定的抗蚀剂图案。

<6-2>显影

作为显影中所使用的显影液没有特殊限定，可列举出将下述碱性化合物中的至少1种溶解而形成的碱性水溶液，所说碱性化合物为氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、乙基二甲胺、三乙醇胺、氢氧化四甲铵、吡咯、哌啶、胆碱、1，8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1，5-二氮杂双环-[4.3.0]-5-壬烯等。作为上述碱性化合物，优选氢氧化四甲铵。

另外，上述碱性水溶液中的碱性化合物的浓度，通常为10质量％以下。在该情况，如果上述碱性化合物的浓度超过10质量％，则非曝光部也可能溶解于显影液中，因此是不好的。

另外，上述显影液中，也可以添加有机溶剂。作为其例子，可列举出丙酮、丁酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、3-甲基环戊酮、2，6-二甲基环己酮等的直链状、支链状或环状的酮类；甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、叔丁醇、环戊醇、环己醇、1，4-己二醇、1，4-己烷二羟甲基等醇类；四氢呋喃、二恶烷等醚类；乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异戊酯等酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类、以及苯酚、乙腈、丙酮、二甲基甲酰胺等。这些有机溶剂可以单独使用1种或者将2种以上组合使用。

上述有机溶剂的配合量，相对于配合有机溶剂之前的显影液100质量份，通常为100质量份以下，优选为0.01～20质量份。如果上述有机溶剂的配合量超过100质量份，则有可能使显影性降低，从而使曝光部的显影残留物增多。

上述显影液中也可以进一步适量添加表面活性剂等。

另外，在用由碱性水溶液构成的显影液进行显影后，优选用水洗涤并干燥。

使用本发明的感放射线性树脂组合物得到的抗蚀剂，采用实施例中记载的方法测得的敏感度为270J/m²以下，优选为260J/m²以下，耐蚀刻性为0.8～1.0，显影缺陷在10个以下。

以下列举出实施例，以便更具体地说明本发明。但是，本发明不受这些实施例的任何制约。此处，只要不特别指明，“份”表示以重量为基准。

1.各种测定方法

本实施例中所使用的各测定方法和评价方法如下。

(1)树脂〔A〕的重均分子量Mw

将东ソ一(株)制GPC柱(G2000HXL 2根、G3000HXL 1根、G4000HXL1根)直接连接起来使用，在流速1.0mL/分、洗脱溶剂四氢呋喃、柱温40℃的条件下，采用以单分散聚苯乙烯为标准的凝胶渗透色谱法(GPC)进行测定。

(2)放射线透过率

采用旋转涂布法将组合物涂布到石英玻璃上，在保持130℃的加热板上进行60秒钟PB，制成膜厚0.34μm的抗蚀剂被膜。由该抗蚀剂被膜在波长193nm处的吸光度，计算出放射线透过率，将其作为在远紫外线区域中的透明性的尺度。

(3)敏感度

<1>实施例1～14和比较例1的情况

使用一种在晶片表面上形成了膜厚820□的ARC25(BrewerScience公司制)膜的硅晶片(ARC25)。采用旋转涂布法将组合物涂布到基片上，在加热板上，在各表所示的条件下进行PB，形成膜厚0.34μm的抗蚀剂被膜。使用ニコン公司制造ArF准分子激光曝光装置(开口数0.55)，借助掩模图案对该抗蚀剂被膜进行曝光。然后，在各表所示的条件下进行PEB之后，用浓度2.38％的氢氧化四甲铵水溶液，在25℃下进行60秒钟显影，水洗、干燥，形成正型的抗蚀剂图案。此时，将以1∶1的线宽形成线宽0.16μm的line-and-space图案(1L1S)的曝光量作为最佳曝光量，将该最佳曝光量作为敏感度。

<2>实施例15～28和比较例2的情况

使用一种在晶片表面上形成了770□的ARC29A(日产化学公司制造)膜的基片。采用旋转涂布法将组合物涂布到基片上，在加热板上，在各表所示的条件下进行PB，形成膜厚0.20μm的抗蚀剂被膜。使用ニコン公司制造full field缩小投影曝光装置S306C(开口数0.75)，透过掩模图案对该抗蚀剂被膜进行曝光。然后，在各表所示的条件下进行PEB后，用浓度2.38重量％的氢氧化四甲铵水溶液，在25℃下进行60秒显影，水洗、干燥，形成正型的抗蚀剂图案。此时，将以1∶1的线宽形成线宽110nm的line-and-space的曝光量作为最佳曝光量，将该最佳曝光量作为敏感度。

(4)分辨度

将以最佳曝光量分辨的最小的抗蚀剂图案的尺寸作为分辨度。

(5)耐干蚀性

对于采用旋转涂布法将组合物涂布到硅晶片上并干燥而形成的膜厚0.5μm的抗蚀剂被膜，使用PMT公司制造干蚀刻装置“Pinnacle8000”，使蚀刻气体为CF₄，在气体流量75sccm、压力2.5mTorr、输出2,500W的条件下进行干蚀刻。测定蚀刻速度，根据对于用比较例1的组合物所获被膜的蚀刻速度的相对值，评价相对蚀刻速度。蚀刻速度越小，意味着耐干蚀性越优良。

(6)图案形状

<1>实施例1～14和比较例1的情况

用扫描型电子显微镜测定线宽0.16μm的line-and-space图案(1L1S)的方形截面的下边尺寸Lb和上边尺寸La。当满足0.85La/Lb 1、且图案形状没有拖边时，图案形状为“良好”，而当0.85＞La/Lb时，图案形状为“锥形”。使用其他曝光装置的情况，用线宽0.22μm的line-and-space图案进行判断。

<2>实施例15～28和比较例2的情况

测定线宽110nm(0.11μm)的line-and-space图案，除此之外，与实施例1～14和比较例1的情况同样地进行判断。

(7)显影缺陷

采用用光学显微镜观察有无显影缺陷的方法、以及使用KLA-TENCOR(株)制的KLA缺陷检查装置的下述方法进行评价。

以阵列模式进行观察，检测由参照影像与象素单位重叠所产生的差异抽出的cluster和uncluster的缺陷总数。缺陷总数的检测是按照能够检测出0.15mm以上的缺陷来设定该装置的灵敏度而进行的。在评价时，测定在使用上述KLA缺陷检查装置的方法中每1枚晶片的缺陷总数的12％。

2.树脂〔A〕的制备

(合成例1)

将以下作为结构式(S-2)示出的丙烯酸-1-甲基环戊酯18.40g(30mol％)、以下示出的化合物(S-3)55.09g(40mol％)溶解于2-丁酮73.48g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯7.32g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向容积500mL的三口烧瓶中加入以下示出的化合物(S-1)26.52g(30mol％)和2-丁酮26.52g，氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并将温度保持在80℃，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液，再使其反应3小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将聚合溶液转移入容积1,000mL的分液漏斗中，再将乙酸乙酯200g、甲醇150g、水200g加入到分液漏斗中，搅拌5分钟，静置1小时。然后，取出250g的下层。使用蒸发器将下层的聚合溶液置换为丙二醇单甲基醚乙酸酯溶液，得到浓度39％的聚合溶液200g。收率为82％。

得到的树脂其Mw为7,200，是一种由化合物(S-1)、化合物(S-2)和化合物(S-3)构成的重复单元的含有率为28.1/31.2/39.7(mol％)的共聚物。将得到的树脂记做树脂(A-1)。

(合成例2)

将丙烯酸-2-甲基金刚烷-2-基酯(S-5)28.38g(30mol％)、上述化合物(S-3)59.48g(40mol％)溶解于2-丁酮87.87g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯7.91g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向容积500mL的三口烧瓶中加入以下示出的双环[2.2.1]庚-2-烯(S-4)112.13g(30mol％)和2-丁酮12.13g，氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并将温度保持在80℃，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液，再使其反应3小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，加入2-丁酮200g进行稀释后，投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂75g。收率为75％。

得到的树脂其Mw为6,900，是一种由化合物(S-4)、化合物(S-5)和化合物(S-3)构成的重复单元的含有率为29.2/30.4/40.4(mol％)的共聚物。将得到的树脂记做树脂(A-2)。

(合成例3)

将上述化合物(S-2)12.54g(20mol％)、上述化合物(S-3)42.25g(30mol％)、丙烯酸-3-羟基金刚烷-1-基酯(S-6)18.08g(20mol％)溶解于2-丁酮72.88g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯7.49g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向容积500mL的三口烧瓶中加入上述化合物(S-1)27.12g(30mol％)和27.12g的2-丁酮，氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并将温度保持在80℃，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液，再加热3小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将聚合溶液转移入容积1,000mL的分液漏斗中，再将乙酸乙酯200g、甲醇150g、水200g加入到分液漏斗中，搅拌5分钟，静置1小时。然后，取出250g的下层。使用蒸发器将下层的聚合溶液置换为丙二醇单甲基醚乙酸酯溶液，得到浓度40％的聚合溶液200g。收率为80％。

得到的树脂其Mw为64,000，是一种由化合物(S-1)、化合物(S-2)、化合物(S-3)和化合物(S-6)构成的重复单元的含有率为27.8/22.1/30.0/20.1(mol％)的共聚物。将得到的树脂记做树脂(A-3)。

(合成例4)

将以下示出的化合物(S-7)65.27g(55mol％)、甲基丙烯酸-2-甲基金刚烷-2-基酯(S-8)34.73g(45mol％)溶解于丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.03g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口***内部氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂71g。收率为71％。

得到的树脂其Mw为11,200，是一种由化合物(S-7)和化合物(S-8)构成的重复单元的含有率为57.8/42.2(mol％)的共聚物。将得到的树脂记做树脂(A-4)。

(合成例5)

将上述化合物(S-7)63.94g(55mol％)、甲基丙烯酸-2-乙基金刚烷-2-基酯(S-9)36.06g(45mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯2.97g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。然后，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂65g。收率为65％。

得到的树脂其Mw为10,900，是一种由上述化合物(S-7)和化合物(S-9)构成的重复单元的含有率为59.9/40.1(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-5)。

(合成例6)

将以下示出的化合物(S-10)67.72g(55mol％)、上述化合物(S-8)32.28g(45mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯2.66g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口***内部氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂68g。收率为68％。

得到的树脂其Mw为11,900，是一种由化合物(S-10)和化合物(S-8)构成的重复单元的含有率为59.9/40.1(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-6)。

(合成例7)

将上述化合物(S-7)37.69g(25mol％)、上述化合物(S-8)41.42g(50mol％)、甲基丙烯酸-3-羟基金刚烷-1-基酯(S-11)20.89g(25mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.25g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂69g。收率为69％。

得到的树脂其Mw为9,200，是一种由化合物(S-7)、化合物(S-8)和化合物(S-11)构成的重复单元的含有率为29.9/45.1/25.0(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-7)。

(合成例8)

将上述化合物(S-10)36.78g(25mol％)、上述化合物(S-9)42.84g(50mol％)、上述化合物(S-11)20.38g(25mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.18g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1000mL的三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂66g。收率为66％。

得到的树脂其Mw为9,400，是一种由化合物(S-10)、上述化合物(S-9)和上述化合物(S-11)构成的重复单元的含有率为30.2/44.2/25.4(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-8)。

(合成例9)

将上述化合物(S-7)23.06g(16mol％)、上述化合物(S-8)44.05g(47mol％)、以下示出的化合物(S-12)32.89g(37mol％)溶解于2-丁酮150g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.68g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的500mL三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟1.4ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。然后，将其投入到正庚烷2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用正庚烷400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂85.5g。收率为85.5％。

得到的树脂其Mw为12,000，是一种由化合物(S-7)、化合物(S-8)和化合物(S-12)构成的重复单元的含有率为15.2/44.7/50.1(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-9)。

(合成例10)

将上述化合物(S-7)22.70g(16mol％)、上述化合物(S-9)36.18g(37mol％)、上述化合物(S-12)41.12g(47mol％)溶解于2-丁酮150g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.62g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的500mL三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟1.4ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到正庚烷2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用正庚烷400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂89.9g。收率为89.9％。

得到的树脂其Mw为11,500，是一种由化合物(S-7)、化合物(S-9)和化合物(S-12)构成的重复单元的含有率为15.2/33.1/51.7(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-10)。

(合成例11)

将上述化合物(S-7)22.24g(16mol％)、甲基丙烯酸-1-金刚烷-1-基-1-甲基乙酯(S-13)37.46g(37mol％)、上述化合物(S-12)40.30g(47mol％)溶解于2-丁酮150g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.54g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的500mL三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟1.4ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到正庚烷2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用正庚烷400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂97.1g。收率为97.1％。

得到的树脂其Mw为18,000，是一种由化合物(S-7)、化合物(S-13)、化合物(S-12)构成的重复单元的含有率为15.1/35.3/49.6(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-11)。

(合成例12)

将上述化合物(S-3)23.09g(16mol％)、丙烯酸-2-乙基金刚烷-2-基酯(S-14)36.13g(37mol％)、以下示出的化合物(S-15)40.78g(47mol％)溶解于2-丁酮150g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.84g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的500mL三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟1.4ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到正庚烷2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用正庚烷400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂90.5g。收率为90.5％。

得到的树脂其Mw为10,600，是一种由化合物(S-3)、化合物(S-14)、化合物(S-15)构成的重复单元的含有率为15.0/34.2/50.8(mo l％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-12)。

(合成例13)

将上述化合物(S-3)22.60g(16mol％)、丙烯酸-1-金刚烷-1-基-1-甲基乙酯(S-16)37.48g(37mol％)、上述化合物(S-15)39.92g(47mol％)溶解于2-丁酮150g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.75g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的500mL三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟1.4ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到正庚烷2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用正庚烷400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂95.5g。收率为95.5％。

得到的树脂其Mw为16,600，是一种由化合物(S-3)、化合物(S-16)和化合物(S-15)构成的重复单元的含有率为14.8/35.1/50.1(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-13)。

(合成例14)

将上述化合物(S-10)23.97g(25mol％)、上述化合物(S-8)50.55g(50mol％)、上述化合物(S-11)25.49g(25mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.97g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应釜并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂74g。收率为74％。

得到的树脂其Mw为9,800，是一种由化合物(S-10)、化合物(S-8)和化合物(S-11)构成的重复单元的含有率为29.2/45.2/25.6(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(A-14)。

(合成例15)

将上述化合物(S-12)23.97g(25mol％)、上述化合物(S-8)50.55g(50mol％)、上述化合物(S-11)25.49g(25mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.97g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，将已加入2-丁酮100g的容积1,000mL的三口烧瓶氮气吹扫30分钟。氮气吹扫后，一边搅拌反应溶液并在80℃下加热，一边以每分钟2ml的速度从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应5小时。聚合结束后，将聚合溶液水冷冷却至30℃以下。接着，将其投入到甲醇2,000g中，使白色粉末析出。将其过滤后，将得到的白色粉末用甲醇400g以浆液的形式重复洗涤2次。接着，过滤，在50℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂74g。收率为74％。

得到的树脂其Mw为9,800，是一种由化合物(S-12)、化合物(S-8)、化合物(S-11)构成的重复单元的含有率为29.2/45.2/25.6(mol％)的共聚物。将该树脂记做树脂(a-1)。

(合成例16)

将上述化合物(S-7)24.15g(16mol％)、上述化合物(S-12)34.45g(37mol％)、以下示出的化合物(S-17)41.41g(47mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.86g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷2000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂79g。收率为79％。

得到的树脂其Mw为12600，由化合物(S-7)、化合物(S-12)、化合物(S-17)构成的重复单元的含有率为15.6/39.2/45.2(mol％)。将该树脂记做树脂(A-15)。

(合成例17)

将上述化合物(S-7)26.33g(16mol％)、上述化合物(S-12)37.56g(37mol％)、以下示出的化合物(S-18)36.11g(47mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯4.20g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷2000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂71g。收率为71％。

得到的树脂其Mw为12100，由化合物(S-7)、化合物(S-12)、化合物(S-18)构成的重复单元的含有率为15.1/39.1/45.8(mol％)。将该树脂记做树脂(A-16)。

(合成例18)

将上述化合物(S-7)23.59g(16mol％)、上述化合物(S-12)33.65g(37mol％)、以下示出的化合物(S-19)42.76g(47mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮双异丁酸二甲酯3.77g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷2000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂73g。收率为73％。

得到的树脂其Mw为11800，由化合物(S-7)、化合物(S-12)、化合物(S-19)构成的重复单元的含有率为14.9/40.3/44.8(mol％)。将该树脂记做树脂(A-17)。

(合成例19)

将上述化合物(S-7)82.18g(70mol％)、以下示出的化合物(S-20)17.82g(30mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈3.21g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷4000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂72g。收率为72％。

得到的树脂其Mw为11500，由化合物(S-7)、化合物(S-20)构成的重复单元的含有率为69.5/30.5(mol％)。将该树脂记做树脂(A-18)。

(合成例20)

将上述化合物(S-7)73.41g(60mol％)、上述化合物(S-20)18.57g(30mol％)、上述化合物(S-11)8.02g(10mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈3.35g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷4000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂77g。收率为77％。

得到的树脂其Mw为10900，由化合物(S-7)、化合物(S-20)、化合物(S-11)构成的重复单元的含有率为60.2/29.5/10.3(mol％)。将该树脂记做树脂(A-19)。

(合成例21)

将上述化合物(S-7)73.81g(60mol％)、上述化合物(S-20)18.67g(30mol％)、以下示出的化合物(S-21)7.52g(10mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈3.36g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷4000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂64g。收率为64％。

得到的树脂其Mw为11300，由化合物(S-7)、化合物(S-20)、化合物(S-21)构成的重复单元的含有率为61.3/30.9/7.8(mol％)。将该树脂记做树脂(A-20)。

(合成例22)

将上述化合物(S-7)73.43g(60mol％)、上述化合物(S-20)18.57g(30mol％)、以下示出的化合物(S-22)7.99g(10mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈3.35g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将其投入到正己烷4000g中，使白色固体析出。将其过滤后，将得到的白色固体用正己烷400g实施洗涤2次。将其过滤，在60℃下干燥17小时，得到白色粉末树脂67g。收率为67％。

得到的树脂其Mw为11300，是一种由化合物(S-7)、化合物(S-20)、化合物(S-22)构成的重复单元的含有率为61.1/30.6/8.3(mol％)。将该树脂记做树脂(A-21)。

(合成例23)

将上述化合物(S-7)74.33g(60mol％)、以下示出的化合物(S-23)17.94g(30mol％)、以下示出的化合物(S-24)7.73g(10mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈1.15g、正十二烷基硫醇1.41g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将本聚合溶液浓缩至200g，将该浓缩液转移入1L分液漏斗中，加入200g甲醇和1000g正己烷，混合。静置30分钟后，将下层取出，其重量为226g。向该溶液中加入24g  2-丁烷和150g甲醇，转移入分液漏斗中，用1000g正己烷进行分液洗涤。静置30分钟后，将下层取出，用蒸发器将其转变成丙二醇单甲基醚乙酸酯溶液。收率为75％。

得到的树脂其Mw为10900，由化合物(S-7)、化合物(S-23)、化合物(S-24)构成的重复单元的含有率为60.1/30.2/9.7(mol％)。将该树脂记做树脂(A-22)。

(合成例24)

将上述化合物(S-7)77.54g(60mol％)、以下示出的(S-25)14.38g(30mol％)、上述化合物(S-24)8.09g(10mol％)溶解于2-丁酮200g中，进而加入偶氮二异丁腈1.19g、正十二烷基硫醇1.48g，使其溶解，制成单体溶液，置于滴液漏斗中。然后，向500ml三口烧瓶中加入2-丁酮100g，氮气吹扫30分钟，一边搅拌并在80℃下加热，一边花2小时从滴液漏斗滴下单体溶液。从滴下开始使其反应6小时。聚合结束后，冷却至30℃以下。接着，将本聚合溶液浓缩至200g，将该浓缩液转移入1L分液漏斗中，加入200g甲醇和1000g正己烷，混合。静置30分钟后，将下层取出，为243g。向该溶液中加入7g  2-丁烷和150g甲醇，转移入分液漏斗中，用1000g正己烷进行分液洗涤。静置30分钟后，将下层取出，用蒸发器将其转变成丙二醇单甲基醚乙酸酯溶液。收率为75％。

得到的树脂其Mw为10130，由化合物(S-7)、化合物(S-25)、化合物(S-24)构成的重复单元的含有率为59.6/30.8/9.6(mol％)。将该树脂记做树脂(A-23)。

3.实施例1～22和比较例1～2

使用上述得到的树脂A-1～23和树脂a-1、以下示出的酸发生剂〔B〕、酸扩散控制剂〔C〕、添加剂〔D〕以及溶剂〔E〕，按照表1～表5示出的配合比例制成均匀溶液后，用孔径0.2μm的膜滤器进行过滤，制备感放射线性树脂组合物。然后，采用上述方法进行各种评价。将其结果一并记录于表1～表5中。

·酸发生剂〔B〕

B-1：1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯

B-2：三苯基锍 九氟丁磺酸酯

B-3：1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓全氟辛磺酸酯

B-4：1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓2-双环[2.2.1]庚-2-基-1，1，2，2-四氟乙磺酸酯

B-5：(4-叔丁基苯基)碘鎓  九氟丁磺酸酯

B-6：N-九氟丁磺酰氧基双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧基酰亚胺

·酸扩散控制剂〔C〕

C-1：2-苯基苯并咪唑

C-2：N-叔丁氧基羰基-2-苯基苯并咪唑

C-3：N-叔丁氧基羰基-4-羟基哌啶

·添加剂〔D〕

D-1：2，5-二甲基-2，5-二(金刚烷羰氧基)己烷

·溶剂〔E〕

E-1：丙二醇单甲基醚乙酸酯

E-2：γ-丁内酯

工业实用性

本发明的感放射线性树脂组合物的分辨度高，敏感度、图案形状、耐蚀刻性优良，蚀刻后的图案起伏少。另外，本发明的感放射线性树脂组合物特别是对显影液的溶解性良好，具有难以发生显影缺陷的特征。进而，本发明的感放射线性树脂组合物对基片的粘附性和裾形状也良好。因此，本发明的感放射线性树脂组合物可以用于例如今后要求更加微细化的集成电路元件的制造。

Claims (2)

1.一种ArF准分子激光用的感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂：

其中，在构成上述树脂[A]的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1-1)的含有比例为5～25摩尔％，

式中，R_1a表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，X₁表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳原子数1～4的氟代烷基，X₂表示碳原子数1～4的氟代烷基，1表示1的整数，n表示0～1的整数；

其中，上述树脂还含有由下述通式(I-3)表示的重复单元(1-3)：

上述树脂还含有由下述通式(I-2)表示的重复单元(1-2)：

式中，R_1b表示氢原子或甲基，

式中，R_1b表示氢原子或甲基；-C(R_1c)₃表示下式(6-5)或(6-7)中的任一个：

在式(6-7)中，n表示0～2的整数，R₆表示碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基。

2.权利要求1中所述的ArF准分子激光用的感放射线性树脂组合物，其中，还含有〔C〕酸扩散控制剂。