CN1612471A - 弹性表面波元件和电子机器 - Google Patents

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CN1612471A CNA2004100869013A CN200410086901A CN1612471A CN 1612471 A CN1612471 A CN 1612471A CN A2004100869013 A CNA2004100869013 A CN A2004100869013A CN 200410086901 A CN200410086901 A CN 200410086901A CN 1612471 A CN1612471 A CN 1612471A
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Abstract

本发明可以提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。本发明的弹性表面波元件(1)具有作为基板(2)的用(0、θ、ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板，具有设在该基板(2)上的IDT3和反射器(4、5)。IDT3以Al作为主成分构成，配置成使弹性表面波的传播方向和水晶旋转Y板的X轴的形成的角度ψ成为90±10°,并以满足下述关系A那样设定IDT3的规格化膜厚H/λ和切割角θ：[关系A] θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°) θmin＝857.06(H/λ) 2+23.656(H/λ)+123.68 θmax＝2502.4(H/λ) 2+73.1(H/λ)+121.7。

Description

弹性表面波元件和电子机器
技术领域
本发明涉及弹性表面波元件和电子机器。
背景技术
众所周知，在传播介质的表面附近，集中能量而传播的波是弹性表面波(Surface Acoustic Wave：SAW)。
弹性表面波元件是利用这样的弹性表面波的元件，应用于移动电话机等通信机器用的带通滤波器、作为基准时钟脉冲的谐振器、信号处理用延迟元件(特别是傅立叶转换功能元件)、压力传感器和温度传感器那样的各种传感器、光偏转器等。
例如，作为滤波器和谐振器使用的弹性表面波元件具备作为弹性表面波的传播介质的压电基体；配置在该压电基体上、向压电基体施加激励弹性表面波的电压的输入用和检测压电基体中传播的弹性表面波、转换成电信号而输出的输出用的一对梳形电极(Inter Digital Transducer：IDT)；以及配置在IDT的两侧部的一对反射器。
在这样的弹性表面波元件中，向输入用IDT供给交流功率(电信号)时，通过由该交流功率产生的电场使压电基体发生变形。这时，因产生该电场的电极是梳形形状，从而使压电基体发生疏密，由此，产生弹性表面波。
该弹性表面波传播到IDT的两侧，由反射器反射，在反射器间发生谐振。而且，该弹性表面波的能量通过输出用IDT转换成电能并被输出。
这里，作为弹性表面波元件要求的特性有：相对于温度变化的频率数变动要小(温度特性良好)、机电耦合系数K2要大，另外，使用反射器时，弹性表面波的反射系数要大等。
其中，在作为谐振器或窄带域滤波器用的弹性表面波元件中，温度特性尤为重要。
作为温度特性优良的弹性表面波元件有使用在ST切割0°X轴传播的水晶基板上形成IDT和反射器、由IDT的激励生成的瑞利波。
但是，为了使瑞利波相对于反射器的反射系数小、得到充分的反射量，必须使反射器的个数多，其结果尺寸变大，对弹性表面波元件的小型化不利。另外，瑞利波存在机电耦合系数K2小、电信号和弹性表面波转换时的损失大的问题。
另外，作为使用SH波(Share Horizontal wave)的弹性表面波元件，提出了在ST切割90°X轴传播的水晶基板上形成IDT和反射器(例如，参照专利文献1、专利文献2、专利文献3)。
但是，由于该弹性表面波元件以重的金属膜作为梳形电极而使用，所以虽然反射系数、机电耦合系数K2优良，却存在相对于电极膜厚的变动的频率数变动大的缺点。
另外，虽然已知在水晶基板上作为SH波的一种的STW(SurfaceTransversal Wave：横波弹性表面波)(例如专利文献4)，但是该场合却存在作为切割角θ在128.4°附近使用，2次温度系数比ST切割的瑞利波更差的缺点。
【专利文献1】特公昭61-45892号公报
【专利文献2】特开平10-233645号公报
【专利文献3】特开2000-323956号公报
【专利文献4】US Pat.4965479
发明内容
本发明的目的在于，提供各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件和具备这样的弹性表面波元件的电子机器。
通过下述发明达到这样的目的。
本发明的弹性表面波元件的特征在于，具有：用(0、θ、Ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板，和设在该水晶旋转Y板上、具有将电信号转变为在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波的功能和/或将在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波转变为电信号的功能的梳形电极，
上述梳形电极以Al作为主成分构成，配置成使上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成的角度Ψ成为90±10°，
以满足以下所示的关系A那样设定上述梳形电极的规格化膜厚H/λ(H表示梳形电极的平均厚度，λ表示弹性表面波的波长)和切割角θ：
[关系A]
θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°)
θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68
θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7由此，可以得到各种特性(特别是温度特性)优良的弹性表面波元件。
在本发明的弹性表面波元件中，上述规格化膜厚H/λ优选0.03～0.14。
由此，可以进一步改善温度特性，另外，可以使机电耦合系数K2增大，可以使电机械转换时的能量损失抑制为小。
在本发明的弹性表面波元件中，上述弹性表面波优选以横波弹性表面波作为主成分。
由于横波弹性表面波的音速快，所以作为弹性表面波通过利用以横波弹性表面波作为主成分，可以谋求弹性表面波元件的高频化。
在本发明的弹性表面波元件中，优选上述角度Ψ是90±2°。
由此，可以效率良好地利用作为弹性表面波的STW。
本发明的弹性表面波元件具有使上述梳形电极介于之间所设的一对反射器，该各反射器都优选以Al作为主成分构成，配置成使上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成角度Ψ成为90±10°，并以满足上述关系A那样设定上述各反射器的规格化膜厚和切割角θ。
由此，可以进一步提高各种特性(特别是温度特性)。
本发明的弹性表面波元件优选具有至少在上述梳形电极的上面所设的绝缘保护膜。
由此，可以防止异物附着在梳形电极的表面上，就可以防止介入异物的短路。
本发明的电子机器，其特征在于，具备本发明的弹性表面波元件。
由此，可以得到具有高可靠性的电子机器。
附图说明
图1是模式地表示本发明的弹性表面波元件的第1实施方式的立体图。
图2是图1所示的弹性表面波元件的剖面图。
图3是表示角度Ψ和各种弹性表面波的机电耦合系数K2的关系的曲线图。
图4是表示水晶旋转Y板的切割角θ和2次温度系数的关系的曲线图。
图5是表示IDT的规格化膜厚H/λ和水晶旋转Y板的切割角θ的关系的曲线图。
图6是表示本发明的弹性表面波元件的第2实施方式的立体图。
图7是图6所示的弹性表面波元件的剖面图。
图8是具备本发明的弹性表面波元件的电子机器(笔记本型个人计算机)。
图9是具备本发明的弹性表面波元件的电子机器(移动电话机)。
图10是具备本发明的弹性表面波元件的电子机器(数码相机)。
图11是表示实施例1的弹性表面波元件的阻抗特性的曲线图。
图12是表示比较例1的弹性表面波元件的阻抗特性的曲线图。
图中，1、7—弹性表面波元件；2—基板；3—IDT；3a、3b—电极(梳形电极)；31—电极指；4、5—反射器；41、51—反射体；6—绝缘保护膜；8-IDT(输入侧电极)；81—电极指；9—IDT(输出侧电极)；91—电极指；1100—个人计算机；1101—天线；1102—键盘；1104—主体部；1106—显示单元；1200—移动电话机；1201—天线；1202—操作按钮；1204—受话口；1206—送话口；1300—数码相机；1302—箱体(机身)；1304—受光单元；1306—快门按钮；1308—存储器；1312—图像信号输出端子；1314—数据通信用的输入输出端子；1430—电视监视器；1440—个人计算机
具体实施方式
以下说明本发明的弹性表面波元件和电子机器的适宜的实施方式。
(第1实施方式)
图1是模式地表示本发明的弹性表面波元件的第1实施方式的立体图。图2是图1所示的弹性表面波元件的剖面图。另外，在以下的说明中，将图2中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。
图1和图2所示的弹性表面波元件1具有：基板2、设在基板2上的IDT3、配置在IDT3的两侧部的—对反射器4、5、设在IDT3和反射器4、5上面的绝缘保护膜6。
在本发明中，作为基板2使用水晶旋转Y板。由此，在弹性表面波元件1中就会激励成为机电耦合系数K2大的弹性表面波。
在本发明中，规定该水晶旋转Y板中的欧拉角(0、θ、Ψ)的角度Ψ、切割角θ、切割角θ和ITD3的规格化膜厚H/λ(H表示梳形电极的平均厚度，λ表示弹性表面波的波长)的关系和IDT3的构成材料。另外，对于这些，将在以后详述。
基板2的厚度(平均)不作特别的限定，但优选0.05～1mm左右，更优选0.1～0.8mm左右。
弹性表面波元件1是称为1口(port)型的典型的元件，具有可以发挥向基板2施加电压、在基板2上激励弹性表面波功能的电极3a、3b。另外，在本实施方式中，各电极3a、3b还分别具有将弹性表面波转换成电信号的功能。
另外，各反射器4、5反射在基板2上传播的弹性表面波，反射器4和反射器5之间具有密封功能。
将驱动电压输入到ITD3(各电极3a、3b)上时，在基板2的表面附近激励弹性表面波，由谐振产生的特定频率数的电信号由ITD3(各电极3a、3b)输出。
各电极3a、3b分别具有以规定的间隔并设的多个电极指31，作为整体形成梳齿状。
另外，各反射器4、5分别具有以规定间隔并设的多个反射体41、51，作为整体形成帘子状。由此，各反射器4、5构成得分别可以效率良好地反射而得到弹性表面波。
通过调整这些电极指31和反射体41、51的宽度、间隔、间距、厚度等，就可以将弹性表面波元件1中被激励的弹性表面波的振荡频率数等的特性设定为所希望的特性。
另外，各反射器4、5的构成，互相既可以是相同的，也可以是不同的，优选是大体相同的构成。由此，反射器4和反射器5之间可以更确实地密封弹性表面波，其结果，可以使弹性表面波更好地谐振。
IDT3和各反射器4、5离间的距离g优选是在基板2上激励的弹性表面波的波长λ的0.05～0.4倍左右或者其值是满足波长的整数倍的值，更优选是0.2～0.3倍左右或者其值是满足波长的整数倍的值。由此，可以使IDT3上的弹性表面波的相位和各反射器4、5上的弹性表面波的相位的偏移小，其结果，可以效率更好地进行由反射器4、5产生的弹性表面波的谐振。
绝缘保护膜6可以防止IDT3和反射器4、5的表面附着异物，防止介入异物而使电极指31间短路。
在本实施方式中，绝缘保护膜6在图2所示的IDT3和反射器4、5的上面与其布线图形相对应而形成，IDT3和反射器4、5的侧面露出。由此，可以将弹性表面波在基板2传播时的能量损失抑制为小。
该绝缘保护膜6的构成材料优选使用以氧化硅、氮化硅、氧化铝中的至少一种作为主材料。通过用这样的材料构成绝缘保护膜6，容易形成绝缘保护膜6，同时使绝缘保护膜6的绝缘性优良。
另外，通过设置该绝缘保护膜6、适宜地设定其构成材料或厚度(膜厚)，可以补正(改善)温度特性(伴随温度变化的频率数变动)。
这样的绝缘保护膜6的厚度(平均)不作特别的限定，但优选10～1500nm左右，更优选30～400nm左右，通过将绝缘保护膜6的厚度取为上述范围，可以防止或者抑制伴随质量的增大弹性表面波的谐振频率数的降低，同时可以发挥充分的绝缘性。另外，可以使温度特性(频率数温度特性)为良好的值(小值)。
以下分别说明基板2所用的水晶旋转Y板中的欧拉角(0、θ、Ψ)的角度Ψ、切割角θ、切割角θ和ITD3的规格化膜厚H/λ(H表示梳形电极的平均厚度，λ表示弹性表面波的波长。)的关系以及IDT3的构成材料。
欧拉角(φ、θ、Ψ)的一般的定义如下所述。在Z轴的周围使装置坐标系(X、Y、Z)仅旋转φ，然后在旋转φ后的新的Y′轴的周围使装置仅旋转θ，最后在旋转θ后的新的Z″轴的周围仅旋转Ψ。
其中，角度Ψ设定为90±10°。也就是说，在弹性表面波元件1中，ITD3相对于通过该ITD3在水晶旋转Y板的表面附近激励的弹性表面波的传播方向(相对于电极指31的长度方向大体垂直的方向)配置成相对于水晶旋转Y板的X轴成为90±10°。
图3是表示角度Ψ和各种弹性表面波的机电耦合系数K2的关系的曲线图。
如图3所示，瑞利波随着角度Ψ增大而减少，在90°时大体成为0。另一方面，横波弹性表面波(Surface Transversal Wave：STW)的角度Ψ在80°～100°的范围内具有大的峰值。
因此，通过将角度Ψ取为90±10°，可以效率良好地由IDT3激励以STW作为主成分的弹性表面波。由于STW的音速快，所以作为弹性表面波通过利用以STW作为主成分，可以谋求弹性表面波元件1的高频化。
特别是优选上述角度Ψ设定为90±2°。由此，可以效率良好地利用STW作为弹性表面波。另外，作为弹性表面波，可以激励成机电耦合系数K2特别大的STW那样，将电信号和弹性表面波转换时的损失抑制为小。
另外，由于STW在各反射器4、5中的反射系数大，所以可以使反射体41、51的个数抑制为少数，从而可以谋求弹性表面波元件1的小型化。
另一方面，切割角θ设定为129～144°。
图4是表示水晶旋转Y板的切割角θ和2次温度系数的关系的曲线图。其中，2次温度系数是表示相对于温度变化的频率数的2次变动量的特性值，是将梳形电极膜的膜厚设定为最佳值、1次温度系数成为0附近时表现的温度特性。该值接近于0的程度意味着可以得到更良好的温度特性。
如图4所示，可以明显看出，2次温度系数依存于水晶旋转Y板的切割角θ而变化，随着切割角θ从127°上升到137°而变小。因此，如果使用更大的θ，可以得到良好的温度特性，但是实际上根据关系式A，因Al的膜厚增大，所以Al的蚀刻和成膜时的厚度波动、Al成膜时间增大等，单纯地增加切割角是有限度的。因此，通过将水晶旋转Y板的切割角θ设定在129～144°范围内，可以使2次温度系数接近于0。其结果，弹性表面波元件1可以有良好的温度特性。
特别是优选将切割角θ设定为133～139°。由此，可以更显著地发挥上述效果。
另外，切割角θ。设定成在与IDT3的规格化膜厚H/λ之间满足下述关系A。
[关系A]
θmin≤θ≤θmax
θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68
θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7
图5表示了IDT的规格化膜厚H/λ和水晶旋转Y板的切割角θ的关系。
满足上述关系A的范围是图5中用区域X表示的范围。本发明人反复锐意研究的结果发现，通过将切割角θ和IDT3的规格化膜厚H/λ设定为满足区域X内的关系的值，弹性表面波元件1的温度特性就特别良好。
特别优选切割角θ满足下述关系A′，也就是说，由于设定为图5中用区域Y所表示的范围内、在常温附近可以得到顶点温度而优选，由此，弹性表面波元件1的温度特性就会更优良。
[关系A′]
θmin′≤θ≤θmax′
θmin′＝857.06(H/λ)2+40.797(H/λ)+124.4
θmax′＝1193.6(H/λ)2+65.587(H/λ)+124.4
IDT3以Al作为主成分构成。由于Al的电阻小，所以通过以Al作为主成分构成IDT3，能量损失就小。因此，在弹性表面波元件1中，弹性表面波的谐振可以更尖锐。
另外，例如与使用钽、钨、金等的比重大的金属相比，由于Al的比重小，可以将依存于IDT3的膜厚的音速变化抑制为小。因而，可以抑制中心频率数的波动。
进而，通过以Al作为主成分构成IDT3，由于容易控制IDT3的膜厚，所以可以得到精度高的弹性表面波元件。
该IDT3既可以单独由Al构成，也可以添加Cu、Si、Ti、Mo、Sc等金属元素。通过添加这些金属元素，可以改善IDT3的耐移动性。
另外，IDT3也可以是在以Al作为主成分的电极层的上面或者下面的至少一个面侧上设成为绝缘金属的电极层的多层结构。
这样的IDT3的规格化膜厚H/λ根据水晶旋转Y板的切割角0而不同，但优选是0.03～0.14左右，更优选是0.055～0.125左右。通过将IDT3的规格化膜厚H/λ取为上述范围内，可以进一步改善温度特性，另外，机电耦合系数K2增大，可以将电机械转换时的能量损失抑制为小。
另外，通过将IDT3的规格化膜厚H/λ取为上述范围内，可以最佳地发挥IDT3的质量负荷效果，可以将STW封闭在水晶旋转Y板的表面附近。其结果，在弹性表面波元件1中，可以良好地激励STW。
另外，即使对各反射器4、5，也分别优选取为与IDT3同样的构成。也就是说，各反射器4、5都由与IDT3同样的构成材料构成，并且，规格化膜厚和切割角θ优选满足上述条件A。由此，可以更加提高弹性表面波元件1的各种特性。另外，由此，由于各反射器4、5可以与IDT3同时形成，所以可以谋求弹性表面波元件1的制造过程的简易化。
另外，各反射器4、5的规格化膜厚H/λ，与IDT3同样，分别优选是0.03～0.14左右，更优选是0.055～0.125左右。通过各反射器4、5的规格化膜厚H/λ取为上述范围内，可以使弹性表面波的反射率充分地大。因此，可以使反射体41、51的数量少，可以谋求弹性表面波元件1的小型化。
另外，各反射器4、5的规格化膜厚，也可以根据需要设定成与IDT3不同。
以上所说明的弹性表面波元件1，作为基板2使用水晶旋转Y板，通过由分别设定(规定)其欧拉角(0、θ、Ψ)的角度Ψ、切割角θ、切割角θ和ITD3的规格化膜厚H/λ的关系以及IDT3的构成材料的相乘效果，可以使各种特性(特别是温度特性)良好。
(第2实施方式)
以下说明本发明的弹性表面波元件的第2实施方式。
图6是表示本发明的弹性表面波元件的第2实施方式的立体图。图7是图6所示的弹性表面波元件的剖面图。另外，在以下的说明中，将图7中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。
以下，对于第2实施方式的弹性表面波元件重点说明与上述第1实施方式的弹性表面波元件1的不同点，对于同样的事项，省略其说明。
第2实施方式的弹性表面波元件7，除了分别设输入用IDT8和输出用IDT9代替兼有激励弹性表面波的功能和将弹性表面波转换成电信号的功能的IDT3以外，其余与上述第1实施方式的弹性表面波元件1是同样的。
IDT(输入侧电极)8具有向基板2施加电压、在基板2的表面附近激励弹性表面波的功能，另一方面，IDT(输出侧电极)9具有检测在基板2的表面附近传播的弹性表面波、将弹性表面波转换成电信号并输出到外部的功能。
因此，将驱动电压输入到IDT8上时，在基板2上弹性表面波被激励谐振，由谐振产生的特定频率数的电信号由IDT9输出。
各ITD8、9分别形成具有以规定间隔并设的多个电极指81、91的梳形形状，通过调整各ITD8、9的电极指81、91的宽度、间隔、间距、厚度等，可以将弹性表面波的振荡频率数等特性设定为所希望的特性。
即使在该第2实施方式的弹性表面波元件7中，作为基板2也使用水晶旋转Y板，通过由分别设定(规定)其欧拉角(0、θ、Ψ)的角度Ψ、切割角θ、切割角θ和ITD8、9的规格化膜厚H/λ的关系以及IDT8、9的构成材料的相乘效果，可以得到例如作为窄带域滤波器的优良的性能，同时可以将能量损失抑制为小。
如上述的弹性表面波元件1、7可以适用于各种电子机器，所得到的电子机器可靠性高。
以下，根据图8～图10表示的实施方式，详细地说明具备本发明的弹性表面波元件的电子机器。
图8是表示适用具备本发明的弹性表面波的电子机器的移动型(或者笔记本型)的个人计算机构成的立体图。
该图中，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104和显示单元1106构成，借助于相对于主体部1104的铰接结构部可回动地支持显示单元1106。
这种个人计算机1100中，内置有具有作为滤波器、谐振器、基准时钟脉冲等功能的弹性表面波元件1(或7)和天线1101。
图9是表示适用了具备本发明的弹性表面波元件的电子机器的移动电话机(也包括PHS)的构成的立体图。
在该图中，移动电话机1200具备天线1201、多个操作按钮1202，受话口1204和送话口1206，在操作按钮1202和受话口1204之间配置有显示部。
在这样的移动电话机机1200中，内置有具有作为滤波器、谐振器功能的弹性表面波元件1(或7)。
图10是表示适用了具备本发明的弹性表面波元件的电子机器的数码相机的构成的立体图。另外，该图简单地表示了与外部机器的连接。
这里，相对于普通的相机由被拍照对象的光像使银盐照相胶片感光，数码相机1300通过CCD(电荷耦合器件)等的摄像元件，光电转换被拍照对象的光像，生成摄像信号(图像信号)。
其构成是，在数码相机1300的箱体(机身)1302的背面，设显示部，根据由CCD产生的摄像信号进行显示，显示部具有作为使被拍照对象形成电子图像而显示的取景器的功能。
另外，在箱体1302的正面侧(图中的里面侧)设有包括光学透镜(摄像光学系)和CCD等的受光单元1304。
摄影者确认显示部显示的被拍照对象的图像，按下快门按钮1306时，此时刻的CCD摄像信号转送·存储到存储器1308中。
另外，在该数码相机1300的箱体1302的侧面，设有影像信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。
而且，如图所示，根据需要，电视监控器1430与图像信号输出端子1312、个人计算机1440与数据通信用输入输出端子1314分别连接。另外，其构成是，根据规定的操作，存储器1308中存储的摄像信号被输出到电视监控器1430和个人计算机1440中。
在这样的数码相机1300中，内置有具有作为滤波器、谐振器功能的弹性表面波元件1(或7)。
另外，具备本发明的弹性表面波元件的电子机器，除了图8的个人计算机(移动型个人计算机)、图9的移动电话机、图10的数码相机以外，例如，还可以适用于喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、笔记本型个人计算机、电视、摄像机、视频信号磁带记录器、车辆行驶导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括附通信功能)、电子辞典、计算器、电子游戏机、文字处理机、工作站、电视电话、防范用电视监视器、电子双眼镜、POS终端、医疗仪器(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内视镜)、鱼群探测机、各种测定仪器、计量仪器类(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟装置等。
以上，根据图示的实施方式说明了本发明的弹性表面波元件和电子机器，但是，本发明并不限于这些。
例如，本发明的弹性表面波元件也可以根据用途变更反射器、梳形电极的数量，或者也可以省略反射器。
另外，在上述实施方式中，绝缘保护膜设在梳形电极和反射器的上面，但是，绝缘保护膜只要至少设在梳形电极的上面就行。另外，也可以使绝缘保护膜设置成覆盖全部水晶旋转Y板。
另外，具有各种功能的半导体元件也可以与本发明的弹性表面波元件复合化。
(实施例)
以下说明本发明的具体的实施例。
1.制作弹性表面波元件
(实施例1)
首先，作为基板准备平均厚度0.4mm的水晶旋转Y板。该水晶旋转Y板的欧拉角是(0、133、90)。
在该水晶旋转Y板上用真空镀膜法或溅射法被覆铝，形成了导电性材料层。
然后，在该导电性材料上用CVD法或溅射法被覆氧化硅(SiO2)，形成了平均厚度40nm的氧化硅层(绝缘性材料层)。
接着，在氧化硅层上用光刻法形成了与IDT(梳形电极)和反射器对应的形状的保护层。
而且，用该保护层作为掩模，通过干式蚀刻法除去不要的导电性材料层和氧化硅层。由此，形成IDT、反射器和绝缘保护层，得到图1、图2所示的弹性表面波元件。
另外，IDT和反射器的规格化膜厚H/λ是0.07。
另外，IDT和各反射器的离间距离g分别取为弹性表面波的波长的0.25倍。
(比较例1～3)
除了作为水晶旋转Y板使用表1所示的欧拉角的、如表1所示那样变更IDT和反射器的规格化膜厚H/λ以外，其余与实施例1相同，得到图1、图2所示的弹性表面波元件。
表1
   欧拉角  IDT和反射器的规格化膜厚                           相对于基准频率数的频率数偏差[ppm]
   -40℃      -20℃   0℃   20℃    40℃    60℃    80℃
  实施例1   0,133,90   0.07    -120      -53   -13   0    -13    -53    -120
  比较例1   0,126,90   0.02    -170      -75   -19   0    -19    -75    -170
  比较例2   0,141,90   0.07    -1800      -1200   -800   0    300    1000    1700
  比较例3   0,126,90   0.07    3000      2000   1000   0    -1200    -2400    -3900
2.评价
对于实施例1和比较例2、3的弹性表面波元件分别调查相对于温度变化的频率数变动。
将其结果示于上述表1。表1表示了在各温度下相对于基准频率数的频率数偏差(ppm)。
如表1表明那样，实施例1的弹性表面波元件(本发明的弹性表面波元件)相对于温度变化的频率数变动小。
与此相反，比较例2、3的弹性表面波元件相对于温度变化的频率数变动都大。
另外，与各比较例的弹性表面波元件相比，实施例1的弹性表面波元件可以得到尖锐的谐振。图11代表性地表示了实施例1的弹性表面波元件的阻抗特性，图12代表性地表示了比较例1的弹性表面波元件的阻抗特性。另外，与上述实施例1和比较例1～3同样地制作图6和图7所示的弹性表面波元件，对其分别调查相对于温度变化的频率数变动的结果，得到与上述大体同样的结果。另外，实施例(本发明)的弹性表面波元件能量损失小。

Claims (7)

1.一种弹性表面波元件，其特征在于，具有：
用(0、θ、Ψ)表示欧拉角的水晶旋转Y板；和
梳形电极，其设在该水晶旋转Y板上、具有将电信号转变为在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波的功能和/或将在上述水晶旋转Y板的表面附近传播的弹性表面波转变为电信号的功能，其中，
上述梳形电极以Al作为主成分构成，配置成上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成的角度Ψ成为90±10°，
以满足以下所示的关系A那样设定上述梳形电极的规格化膜厚H/入(H表示梳形电极的平均厚度，λ表示弹性表面波的波长)和切割角θ：
[关系A]
θmin≤θ≤θmax(其中θ＝129～144°)
θmin＝857.06(H/λ)2+23.656(H/λ)+123.68
θmax＝2502.4(H/λ)2+73.1(H/λ)+121.7
2.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，上述规格化膜厚H/λ是0.03～0.14。
3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波元件，其中，上述弹性表面波以横波弹性表面波作为主成分。
4.根据权利要求1～3的任一项所述的弹性表面波元件，其中，上述角度Ψ是90±2°。
5.根据权利要求1～4的任一项所述的弹性表面波元件，其中，具有使上述梳形电极介于之间所设的一对反射器，
该各反射器都以Al作为主成分构成，配置成使上述弹性表面波的传播方向和上述水晶旋转Y板的X轴的形成角度Ψ成为90±10°，并以满足上述关系A那样设定上述各反射器的规格化膜厚和切割角θ。
6.根据权利要求1～5的任一项所述的弹性表面波元件，其中，具有至少在上述梳形电极的上面所设的绝缘保护膜。
7.一种电子机器，其特征在于，具备权利要求1～6的任一项所述的弹性表面波元件。
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