CN1577309A - 机台自动化程序更新***及方法以及计算机可读取储存媒体 - Google Patents
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Abstract
一种机台自动化程序(Equipment AutomationProgram；EAP)更新***及方法以及计算机可读取储存媒体。其***包括一服务器单元、一管控单元以及一机台。服务器单元管理多个管控单元，用以控制机台自动化程序版本，并传送新版的机台自动化程序。管控单元在从机台接收到一离线请求讯息后，进行机台自动化程序的版本更新。机台则再进入自动化程序的另一阶段时，发出讯息通知管控单元。
Description
技术领域
此发明是一种程序更新***及方法，特别是一种于制造工厂中，自动更新机台自动化程序(Equipment Automation Program；EAP)的***及方法。
背景技术
程序更新***被使用于多样的程序更新程序中，用以安全及快速地自动更新或进行程序改版。
在一半导体制造领域中，一制造执行***(Manufacturing ExecutionSystem；MES)以及机台间会透过多台管控(Host)计算机来沟通。图1是表示习知技术的制造自动化***的架构示意图。制造执行***110连结管控计算机120、121，管控计算机120连结机台130、131。机台自动化程序(Equipment Automation Program；EAP)内嵌于管控计算机中，用以于制造执行***以及机台间传递讯息以及发布指令。操作人员于机台自动化程序撰写特定的程序代码，用以控制机台、查询数据以及从机台接收讯息。机台自动化程序是以事件驱动来驱动的程序，用以从制造执行***或接收事件并采取适当的响应行动。详而言之，制造执行***会依循一标准流程步骤传送相应的讯息予机台自动化程序，之后，机台自动化程序会根据其讯息控制机台。例如，当机台自动化呈是从制造执行***接收到查询机台状态的讯息时，机台自动化程序会发出一查询状态指令予机台，并将结果回传给制造执行***。
通常，在机台自动化制造期间，包含五个阶段，联机请求(onlinerequest)、加载(loading)、处理(processing)、载出(unloading)以及离线请求(offline request)。在联机请求阶段的一开始，管控计算机，亦即是机台自动化程序，会准备进行制造程序。尔后，机台会依序进入加载、处理以及载出等阶段。当机台结束了所有的制造工作，会停止并进入离线阶段。在每个阶段的一开始，机台会递送适当讯息给管控计算机，用以报告目前的状态。机台在制造过程中，通常会回报制造数据以及重要信息，例如，良率过低(low yield)或重大错误(fatal error)，给相应的管控计算机。当机台停止整个自动化制造程序，并将其切换至手动模式时，它们会递送一离线请求讯息给管控计算机。
过去，是以人工操作方式来进行机台自动化程序的更新。操作人员经由计算机网络上载新的机台自动化程序至冠控计算机，并且发出一命令置换旧有的机台自动化程序。置换之后，使用一重新启动程序启动新的机台自动化程序。重新启动程序通常需要执行一启动程序，并且在必要时输入数据。增加程序功能或修改程序代码，会导致经常需要更新机台自动化程序。
于机台自动化程序更新时，数个问题需要被解决。当机台正在工作之时，贸然进行机台自动化程序更新是充满风险的，可能会危害自动化制造作业或损失制造过程中产生的重要信息。所以，选择适切的时机来进行机台自动化程序更新是相当重要的。肇因于机台自动化程序的版本，以及控制机台的多样性，一点点的更新失误都会导致不预期的错误或无法执行预期的功能。
为克服上述的缺点，操作人员必须在更新机台自动化程序之前，要求现场作业人员停机并清除在制品，变于以手动的方式更新机台自动化程序，最后，重新启动一个个机台。虽然此解决方法可行，但还是遗留了些问题。首先，需要耗费现场作业人员的人力进行停机以及清除在制品。除此之外，必须耗费过多时间来检查及监控每一机台的机台自动化程序的版本，并在更新时须追踪其进度，通常，更新版本所花费的时间远超过修改程序代码的时间。最后，为了要进行机台自动化程序的更新，必须中断自动化作业，降低机台的生产力。
为克服上述的问题，需要一可靠及有效率的机台自动化程序更新***及方法，除用以降低更新时间、增加机台产能外，可于更新期间提供更好的安全性。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的为提供一种机台自动化程序更新***及方法，用以降低更新时间以及可于一安全的时间点进行版本更新作业。
为达成上述目的，本发明的机台自动化程序更新***首先设置一服务器单元、一管控单元(host unit)以及一机台。
一种机台自动化程序更新***，包括：一服务器单元，包含一程序版本数据库、一第一储存装置以及一传送单元，上述程序版本数据库储存复数程序版本纪录，上述第一储存装置储存一第一自动化程序，上述传送单元用以传送上述新机台自动化程序；以及一管控单元，耦接于服务器单元，包含一第二储存装置以及一程序更新单元，上述第二储存装置储存一第二自动化程序以及由上述服务器单元接收的上述第一自动化程序，上述第一自动化程序为上述第二自动化程序的新版程序，上述程序更新单元用以接收由一机台所传出的一离线请求讯息，上述程序更新单元于上述第二储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序，取代相应于上述机台的上述第二自动化程序为上述第一自动化程序，重新启动上述第一自动化程序，上述程序更新单元追踪由上述第一自动化程序所产生的一更新完成通知，传送一更新纪录请求给上述服务器单元，据以更新相应于上述机台的上述程序版本纪录。
一种机台自动化程序更新***，包括：一储存装置，上述储存装置储存一第二自动化程序以及一第一自动化程序，上述第一自动化程序为上述第二自动化程序的新版程序；以及一程序更新单元，上述程序更新单元用以接收由制造设备所传出的一状态信息，上述程序更新单元于上述第一储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序，取代相应于上述机台的上述第二自动化程序为上述第一自动化程序，重新启动上述第一自动化程序。
一种机台自动化程序更新方法，其方法包括下列步骤：
于一服务器单元中，比较一程序版本纪录以侦测新版本的一第一机台自动化程序；
由上述服务器单元上传上述第一机台自动化程序至一管控单元；
于上述管控单元中，储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
于上述管控单元中，从一机台接收一离线请求讯息；
于上述管控单元中，取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；
于上述管控单元中，重新启动上述第一机台自动化程序；以及
于上述管控单元中，传送一更新纪录请求至上述服务器单元，用以更新上述程序版本纪录。
一种机台自动化程序更新方法，其方法被一计算机加载执行，包括下列步骤：
接收一第一机台自动化程序；
储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
从一机台接收一离线请求讯息；
取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；以及
重新启动上述第一机台自动化程序。
一种计算机可读取储存媒体，用以被一计算机加载执行机台自动化程序更新方法，其方法包括下列步骤：
接收一第一机台自动化程序；
储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
从一机台接收一离线请求讯息；
取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；以及
重新启动上述第一机台自动化程序。
服务器单元用以储存机台自动化程序不同版本的程序代码与版本纪录，并且传送新版的机台自动化程序至管控单元。机台是一个自动化半导体制造设备，例如一曝光机或一蚀刻机，用以执行一系列的半导体制造作业。管控单元用以侦测机台状态，侦测新机台自动化程序版本，将目前使用的机台自动化程序置换为新机台自动化程序，重新启动程序，侦测由新机台自动化程序传来的更新完成通知，以及发送命令予服务器单元，要求更新程序版本纪录。
附图说明
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图示，进行详细说明如下：
图1是表示习知技术的制造自动化***的架构示意图；
图2是表示本发明实施例的机台自动化程序更新***的***方块图；
图3是表示本发明实施例的机台自动化程序更新方法的方法流程图；
图4是表示本发明实施例的机台自动化程序更新方法的储存媒体示意图。
符号说明：
110-制造执行***； 120、121-管控计算机；
130、131-机台； 210-服务器单元；
211-数据库； 212-储存装置；
213-传送单元； 214-监督单元；
220-管控单元； 221-储存装置；
222-程序更新单元； 230-机台；
S31、S32、...、S39-操作步骤；
400-储存媒体；
410-机台自动化程序更新计算机程序；
411-接收新机台自动化程序逻辑；
412-储存新机台自动化程序逻辑；
413-侦测离线请求讯息逻辑；
414-更新新版程序逻辑；
415-重新启动新机台自动化程序逻辑。
具体实施方式
图2是表示本发明实施例的机台自动化程序(Equipment AutomationProgram；EAP)更新***的***方块图。此***架构包含一服务器单元210、一管控单元(host unit)220以及一机台230。服务器单元210用以储存机台自动化程序不同版本的程序代码与版本纪录，并且传送新版的机台自动化程序至管控单元220。服务器单元210可以实施于一个人计算机、工作站或大型主机，于最佳的情况下，管理多个管控单元220，将有助于有效管理机台自动化程序的版本。管控单元220可以实施于一个人计算机、工作站或大型主机。机台230是一个自动化半导体制造设备，例如一曝光机或一蚀刻机，用以执行一是列的半导体制造作业。一管控单元220透过机台自动化程序由制造执行***或机台接收讯息，并根据其讯息采取适当动作。服务器单元210透过一通讯协议，例如NetBEUI或TCP/IP与管控单元进行沟通。
服务器单元210包含一数据库211、一储存体212、一传送单元213以及一监督单元214。数据库211，用以储存多笔机台自动化程序版本纪录，于最佳的情况下，包含四个字段，机台识别码、机台自动化程序识别码、程序版本以及管控单元识别码。机台自动化程序识别码字段为数据库中的一主键，用以识别机台自动化程序于最佳的情况下，与其程序文件名称相同。机台识别码字段为一外来键，用以识别机台自动化程序所管理的机台。管控单元识别码字段为一外来键，用以储存机台自动化程序所存在的管控单元。程序版本字段储存目前正在使用的机台自动化程序的版本信息，数据中通常含有一日期，用以指出程序的起始日期。储存装置212用以暂存机台自动化程序，供后续传送之用，可以为一计算机硬盘、一虚拟路径或一虚拟路径的目录。当机台自动化程序增加新功能或错误修正完后，新版本的机台自动化程序会被传送到储存装置212中。于最佳的情况，机台自动化程序的文件名称会依循一命名原则，在档名中包含机台以及版本信息，例如，TT18SL01.TAP的机台自动化程序目前正被使用来管理TT18SL01机台，除此之外，TT18SL01.NEWTAP的机台自动化程序为TT18SL01.TAP机台自动化程序的新版本。又如果相应于TT18SL01.NEWTAP机台自动化程序的管控单元识别码字段的值为CPPHA1，则此新程序会被传送到CPPHA1管控单元。传送单元213提供一图形化接口(Graphic User Interface；GUI)，以便更易于传送机台自动化程序，其并提供设定参数功能，诸如设定传送时间、目的地管控单元等。监督单元214从数据库211中，透过开放数据库联机(ODBC)驱动程序，使用标准查询语言(SQL)的指令，产生汇总报表供使用参考。汇总报表包括未更新机台报表、程序概要数据表、版本更新明细表或其它有关机台自动化程序的报表。
管控单元220包含储存装置221以及程序更新单元222。储存装置221储存现在正在使用的机台自动化程序，以及，从服务器单元或使用者接收来的新机台自动化程序。程序更新单元222为***的核心单元，用以侦测机台状态，侦测新机台自动化程序版本，将目前使用的机台自动化程序置换为新机台自动化程序，重新启动程序，侦测由新机台自动化程序传来的更新完成通知，以及发送命令予服务器单元210，要求更新程序版本纪录。
程序更新单元222藉由从机台传来的讯息，侦测其状态。机台进入另一新状态的典型讯息有五，分别为联机请求(online request)、加载(loading)、处理(processing)、载出(unloading)以及离线请求(offlinerequest)。离线请求讯息是侦测的重点，以便于展开后续的版本更新程序。于加载、处理及载出阶段，进行机台自动化程序更新会影响自动化制造流程或遗漏重大信息，诸如良率过低、产品破损，或其它重大信息。在联机请求阶段，程序更新会使机台浪费过多时间等待版本更新完成。
程序更新单元222在侦测到离线请求讯息后，使展开后续的更新作业。首先，于储存装置221中，藉由比对机台自动化程序文件名或从程序代码中萃取版本信息来找出相应于进入离线阶段机台的新版机台自动化程序。当找到新机台自动化程序后，则将现有的机台自动化程序取代为新版机台自动化程序，否则，停止整个更新程序并继续侦测从机台传来的讯息。取代作业，举例来说，可以先删除目前使用的程序，然后将新版的程序文件名改名成代表现正使用的档名，重新启动机台自动化程序。当程序被成功重新启动后，含有更新完成通知功能的新机台自动化程序会发送一带有更新日期的讯息给程序更新单元222，用以表示其重新启动成功。最后，程序更新单元222会发送一更新纪录请求予服务器单元210，要求更新程序版本纪录。
机台230负责在进入其它阶段时，发出适当讯息，用以通知管控单元220。例如，当其被切换到手动模式时，会发出一离线请求讯息。
图3是表示本发明实施例的机台自动化程序更新方法的方法流程图。
于服务器单元210，首先，如步骤S31，传送单元213于储存装置212侦测新版本的机台自动化程序。除上述的自动侦测外，操作人员亦可使用图形化使用接口来选定新版的机台自动化程序。有数种方法可用以侦测新版的机台自动化程序，例如，扫描储存装置212并侦测扩展名为“.NEWTAP”的档案。之后，如步骤S32，传送单元透过ftp或NetBEUI通讯协议，上传新机台自动化程序至管控单元220。
于管控单元220中，如步骤S33，程序更新单元22由传送单元213接收新机台自动化程序并将其储存至储存装置221。之后，持续追踪由机台230所传来的讯息。当程序更新单元222从机台230接收到一离线请求讯息后，如步骤S34所示，其会侦测储存装置221中相应此机台的新机台自动化程序，如步骤S35。侦测新机台自动化程序的可行方法，包括进行文件名比对或程序版本比对。于步骤S36中，现存的机台自动化程序会被取代，并于步骤S37中，重新启动新版的机台自动化程序。如步骤S38所示，当其接收到由新版程序所传来的更新完成通知后，传送一更新纪录请求予服务器单元210，要求更新程序版本纪录。更新完成通知及更新纪录请求中会包含机台识别码、机台自动化程序识别码、管控单元识别码以及程序版本信息。
再者，本发明提出一种储存媒体，用以储存一计算机程序，上述计算机程序用以实现机台自动化程序更新方法，此方法会执行如上所述的步骤。
图4是表示本发明实施例的机台自动化程序更新方法的储存媒体示意图。此储存媒体400，用以储存一计算机程序410，用以实现机台自动化程序更新方法。其计算机程序包含五个逻辑，分别为接收新机台自动化程序逻辑411、储存新机台自动化程序逻辑412、侦测离线请求讯息逻辑413、更新新版程序逻辑414以及重新启动新机台自动化程序逻辑415。
Claims (30)
1.一种机台自动化程序更新***，包括：
一服务器单元，包含一程序版本数据库、一第一储存装置以及一传送单元，上述程序版本数据库储存复数程序版本纪录，上述第一储存装置储存一第一自动化程序，上述传送单元用以传送上述新机台自动化程序；以及
一管控单元，耦接于服务器单元，包含一第二储存装置以及一程序更新单元，上述第二储存装置储存一第二自动化程序以及由上述服务器单元接收的上述第一自动化程序，上述第一自动化程序为上述第二自动化程序的新版程序，上述程序更新单元用以接收由一机台所传出的一离线请求讯息，上述程序更新单元于上述第二储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序，取代相应于上述机台的上述第二自动化程序为上述第一自动化程序，重新启动上述第一自动化程序，上述程序更新单元追踪由上述第一自动化程序所产生的一更新完成通知，传送一更新纪录请求给上述服务器单元，据以更新相应于上述机台的上述程序版本纪录。
2.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，其中上述机台传送一机台状态给上述管控单元。
3.根据权利要求2所述的机台自动化程序更新***，其中上述机台为一半导体制造机台。
4.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，于上述管控单元中，上述管控单元使用上述第一机台自动化程序以及上述第二机台自动化程序中之一者，管理上述机台。
5.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，于上述服务器单元中，更包含一监督单元，用以产生汇总报表。
6.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，于上述服务器单元中，更包含一应用程序，利用一图形化使用者接口传送上述第一机台自动化程序。
7.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，于上述数据库中，上述程序版本纪录包含一机台识别码字段、一机台自动化程序识别码字段、一管控单元识别码字段以及一目前版本字段。
8.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，上述程序更新单元于接收上述机台所传来的上述离线请求讯息后，于上述第二储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序。
9.根据权利要求1所述的机台自动化程序更新***，于上述程序更新单元中，上述更新完成通知包含一更新日期以及一版本数据。
10.一种机台自动化程序更新***，包括：
一储存装置，上述储存装置储存一第二自动化程序以及一第一自动化程序，上述第一自动化程序为上述第二自动化程序的新版程序；以及
一程序更新单元，上述程序更新单元用以接收由制造设备所传出的一状态信息，上述程序更新单元于上述第一储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序，取代相应于上述机台的上述第二自动化程序为上述第一自动化程序，重新启动上述第一自动化程序。
11.根据权利要求10所述的机台自动化程序更新***，更包括一机台，传送上述机台状态给上述管控单元。
12.根据权利要求11所述的机台自动化程序更新***，其中上述机台为一半导体制造机台。
13.根据权利要求11所述的机台自动化程序更新***，于上述***中，使用上述第一机台自动化程序以及上述第二机台自动化程序中之一者管理上述机台。
14.根据权利要求11所述的机台自动化程序更新***，上述程序更新单元于接收上述机台所传来的上述离线请求讯息后，于上述储存装置中侦测相应于上述机台的上述第一自动化程序。
15.一种机台自动化程序更新方法，其方法包括下列步骤：
于一服务器单元中，比较一程序版本纪录以侦测新版本的一第一机台自动化程序；
由上述服务器单元上传上述第一机台自动化程序至一管控单元；
于上述管控单元中，储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
于上述管控单元中，从一机台接收一离线请求讯息；
于上述管控单元中，取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；
于上述管控单元中，重新启动上述第一机台自动化程序；以及
于上述管控单元中，传送一更新纪录请求至上述服务器单元，用以更新上述程序版本纪录。
16.根据权利要求15所述的机台自动化程序更新方法，更包含一步骤，于上述管控单元中，侦测上述储存装置中的上述第一机台自动化程序。
17.根据权利要求15所述的机台自动化程序更新方法，更包含一步骤，于上述管控单元中，接收由上述第一机台自动化程序所产生的一更新完成通知。
18.根据权利要求17所述的机台自动化程序更新方法，上述更新完成通知包含一更新日期以及一版本数据。
19.根据权利要求15所述的机台自动化程序更新方法，其中于传送上述更新纪录请求至上述服务器单元步骤中，上述程序版本纪录包含一机台识别码字段、一机台自动化程序识别码字段、一管控单元识别码字段以及一目前版本字段。
20.根据权利要求15所述的机台自动化程序更新方法，上述机台为一半导体制造机台。
21.一种机台自动化程序更新方法，其方法被一计算机加载执行，包括下列步骤：
接收一第一机台自动化程序；
储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
从一机台接收一离线请求讯息；
取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；以及
重新启动上述第一机台自动化程序。
22.根据权利要求21所述的机台自动化程序更新方法，其中上述第一机台自动化程序由一服务器传来。
23.根据权利要求21所述的机台自动化程序更新方法，其中上述第一机台自动化程序由一使用者传来。
24.根据权利要求21所述的机台自动化程序更新方法，其中上述机台为一半导体制造机台。
25.根据权利要求21所述的机台自动化程序更新方法，更包含一步骤，侦测上述储存装置中相应于上述机台的上述第一机台自动化程序。
26.一种计算机可读取储存媒体，用以被一计算机加载执行机台自动化程序更新方法，其方法包括下列步骤：
接收一第一机台自动化程序；
储存上述第一机台自动化程序至一储存装置；
从一机台接收一离线请求讯息；
取代相应于上述机台的一第二机台自动化程序为上述第一机台自动化程序，上述第二机台自动化程序为旧版本程序；以及
重新启动上述第一机台自动化程序。
27.根据权利要求26所述的计算机可读取储存媒体，其中上述第一机台自动化程序由一服务器传来。
28.根据权利要求26所述的计算机可读取储存媒体，其中上述第一机台自动化程序由一使用者传来。
29.根据权利要求26所述的计算机可读取储存媒体，其中上述机台为一半导体制造机台。
30.根据权利要求26所述的计算机可读取储存媒体，更包含一步骤，侦测上述储存装置中相应于上述机台的上述第一机台自动化程序。
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