CN1576889A - 光学透镜和信息记录再现装置 - Google Patents
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Abstract
一种光学透镜,其设置在一光学信息记录和/或再现装置内,包括:至少具有一个透镜本体,在所述透镜本体的透镜面中,有效半径内的周边部面角θ最大的第一透镜面上设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第一透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在348~460nm范围内。
Description
技术领域
本发明涉及光学透镜和具备该光学透镜的信息记录再现装置,其设置在信息记录再现装置上能进行向光记录媒体记录信息和把记录在光记录媒体上的信息再现中的至少一种。
背景技术
现有作为进行向光记录媒体的记录信息和把记录在光记录媒体上的信息再现的装置有光拾取装置(信息记录再现装置)。所谓光拾取装置是指把从半导体激光光源射出的光通过物镜(光学透镜)向光记录媒体的信息记录面上会聚而进行信息的记录和再现。
在该物镜上,为了提高光的利用效率,设置有减反射镀层。减反射镀层一般地是形成为从物镜的中央部越靠向外周部越薄,其膜厚设定成在物镜的中央部垂直射入光的反射率表示出对光拾取装置的激光波长是极小值。即把减反射镀层的膜厚设定成透射物镜中央部的光量最大。
但知晓的是对减反射镀层来说光的射入角越大则光反射率的波长依赖性越向短波长一侧移动。而物镜从中央部越靠向外周部则光的射入角越大。因此在现有的技术物镜中,外周部光反射率的波长依赖性比中央部光反射率的波长依赖性更加向短波长一侧移动,其结果是在外周部把射入光的反射率变成极小的波长是比在中央部把射入光的反射率变成极小的波长还短的波长。因此在设置了现有的技术减反射镀层的物镜中,尽管其中央部对激光的反射率低,但外周部对激光的反射率更高,所以其外周部的透射光量比中央部的透射光量相对地要少,其结果是整个透镜透射光的分光强度恶化和由光的会聚性能降低而引起光束点径的增大,产生光束光量降低等问题。
而且近年来由于光记录媒体的大容量化,所以为了能以高密度记录状态实施光信息的记录和再现而在试验光束点的小径化,即通过物镜把光束点充分缩小。由于光束点径与物镜的数值口径(NA:Numerical Aperture数值孔径)成反比,所以物镜的高NA化在进展。最近,透镜有效孔径面的法线与光轴交角在45度以上,甚至在55度以上的物镜被使用。
但由于高NA物镜其透镜面的曲率大,所以透镜外周部光的射入角就非常大。因此透射外周部的光量降低程度就变得非常大,尽管使用了高NA的物镜,但不能抑制点径的增大,妨碍光记录媒体的大容量化。
因此作为解决以上问题的技术,就有了通过增加外周部的透射光量而增加整个透镜透射光量的技术(例如参照专利文献1~3)。
专利文献1:特开平10-160906号公报
专利文献2:特开平11-222446号公报
专利文献3:特开2001-6204号公报
但用上述专利文献1~3公开的技术单纯增加外周部的透射光量时,产生光束形状崩溃、起伏特性恶化、失真增大等问题,有可能引起记录·再现的性能降低。这样使光的会聚性与光量这两者的平衡最佳化是困难的。
特别是在使用两种以上波长激光的光拾取装置的物镜中,一边对所有使用波长的光增加其透射光量一边把光束形状最佳化是非常困难的。作为这种光拾取装置有例如使用660nm和785nm波长光的DVD/CD用光拾取装置和使用405nm和660nm和785nm波长光的高密度光盘/DVD/CD用光拾取装置等。在此,高密度光盘有例如兰光光盘和AOD(AdvancedOptical Disk)等。
发明内容
根据以上问题,本发明的课题在于提供一种能把光点的小径化与确保透射光量良好进行平衡的光学透镜和具备该光学透镜的信息记录再现装置。
本发明方案1的结构是设置在信息记录再现装置上的,把从390~420nm的第一激光光源射出的光向所述光记录媒体上会聚的光学透镜,所述信息记录再现装置是把能进行向光记录媒体记录信息和把记录在所述光记录媒体上的信息再现中的至少一种,并且,其至少具有一个透镜本体,在所述透镜本体的透镜面中,有效孔径内的周边部面角θ最大的第一透镜面上设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第一透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在348~460nm范围内。
在此所谓面角θ是指透镜面上某一位置的法线与光轴所成的角度。
根据本发明方案1所述的结构,由于第一透镜面中光射入角小的中央部在从波长λ1到波长λ2间其反射率是4%以下,所以反射率极小的波长(以下叫做反射极小波长)是比波长λ1长的波长一侧。在此由于所述波长λ1在348~460nm范围内,所以所述反射极小波长容易成为比第一激光光源的波长390~420nm长的波长。另一方面在第一透镜面中占据大面积的外周部,由于光是射入角大,所以对比所述反射极小波长还短的波长,即对靠近第一激光光源波长的波长反射率极小。因此外周部与中央部相比就比较多地透射波长390~420nm的光,所以与现有的技术相比,改善了外周部透射光量与中央部透射光量的平衡。因此能使波长390~420nm光的光束点小径化并增加透射光量。
在此之所以把波长λ1定成348以上,是由于当波长λ1小于348时则对390~420nm光的透过率在中央部比第一透镜面的外周部高,其结果是点形状变坏的缘故。
之所以把波长λ1定成460nm以下,是由于当波长λ1大于460nm时则对波长390~420nm光,特别是对波长405nm光的透过率低于94%,在实用上不理想的缘故。而且第一透镜面中央部的透射光量远远小于外周部的透射光量,在光束点是周边部产生波纹状光强度不匀的结果是产生起伏特性恶化、失真增大等的缘故。
本发明方案2所述的结构是在本发明方案1所述的光学透镜中,所述波长λ1在375~441nm的范围内。
根据本发明方案2所述的结构,由于波长λ1在375~441nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部反射率极小的波长靠近第一激光光源的波长。因此能把波长390~420nm光的光束点确实地小径化,并使透射光量确实地增加。
本发明方案3所述的结构是在本发明方案1或本发明方案2所述的光学透镜中,所述波长λ2是1.9×λ1以上。
根据本发明方案3所述的结构,由于波长λ2是1.9×λ1以上,所以对比较宽带域的波长反射率是4%以下。因此对宽带域波长的光能减反射,所以能确实地增加波长390~420nm光的透射光量。
本发明方案4所述的结构是在本发明方案1~3任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第一透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以81.2~113nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以108.7~153nm的膜厚形成,第三层由中折射率材料以97.6~136nm的膜厚形成,第四层由低折射率材料以21.6~30nm的膜厚形成,第五层由中折射率材料以71.0~99nm的膜厚形成。
根据本发明方案4所述的结构能得到与本发明方案1~3任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案5所述的结构是在本发明方案1~4任一项所述的光学透镜中,在对面角θ是45度的所述第一透镜面外周部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1’到波长λ2’的宽度,所述波长λ1’在289~382nm范围内。
根据本发明方案5所述的结构,由于长λ1’在289~382nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部对更靠近第一激光光源波长的波长反射率极小。因此外周部与中央部相比就更多地透射波长390~420nm的光,所以与现有的技术相比,更加改善了外周部透射光量与中央部透射光量的平衡。
在第一透镜面的外周部最好P偏振光反射率与S偏振光反射率的差小。这样在激光光源一侧对光学透镜配设了1/4波长板的光拾取装置中,从直线偏振光向圆偏振光变换和从圆偏振光向直线偏振光变换就能在整个有效孔径内大致确实地进行。而且即使在不配设1/4波长板而使直线偏振光向物镜射入的光拾取装置中,也把光束点保持良好的形状。
本发明方案6所述的结构是在本发明方案1~5任一项所述的光学透镜中,其至少具有两个透镜本体,在所述透镜本体的透镜面中有效孔径内的周边部面角θ最大的第一透镜面上设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第一透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在350~458nm范围内。
根据本发明方案6所述的结构,由于第一透镜面中光的射入角小的中央部在从波长λ1到波长λ2之间其反射率是4%以下,所以反射极小波长是比波长λ1长的波长。在此由于所述波长λ1在350~458nm范围内,所以所述反射极小波长容易成为比第一激光光源的波长390~420nm长的波长。另一方面在第一透镜面中占据大面积的外周部,光是射入角大,所以对比所述反射极小波长短的波长,即对靠近第一激光光源波长的波长反射率极小。因此外周部与中央部相比就比较多地透射波长390~420nm的光,所以与现有的技术相比,改善了外周部透射光量与中央部透射光量的平衡。因此能使波长390~420nm光的光束点小径化并增加透射光量。
在此之所以把波长λ1定成350以上,是由于当波长λ1小于350时则对390~420nm光的透过率在中央部比第一透镜面的外周部高,其结果是点形状变坏的缘故。
之所以把波长λ1定成458以下,是由于当波长λ1大于458时则对波长390~420nm光,特别是对波长405nm光的透过率低于94%,在实用上不理想的缘故。而且第一透镜面中央部的透射光量远远小于外周部的透射光量,在光束点是周边部产生波纹状光强度不匀的结果是产生起伏特性恶化、失真增大等的缘故。
本发明方案7所述的结构是在本发明方案6所述的光学透镜中,所述波长λ1在375~440nm的范围内。
根据本发明方案7所述的结构,由于波长λ1在375~440nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部反射率极小的波长靠近第一激光光源的波长。因此能把波长390~420nm光的光束点确实地小径化,并使透射光量确实地增加。
本发明方案8所述的结构是在本发明方案6或本发明方案7所述的光学透镜中,所述波长λ2是2.04×λ1以上。
根据本发明方案8所述的结构,由于波长λ2是2.04×λ1以上,所以对比较宽带域的波长反射率是4%以下。因此对宽带域波长的光能减反射,所以能确实地增加波长390~420nm光的透射光量。
本发明方案9所述的结构是在本发明方案6~8任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第一透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以91.6~122.2nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以32.0~43.0nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以37.5~50.0nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以18.9~25.4nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以16.6~22.2nm的膜厚形成。
根据本发明方案9所述的结构能得到与本发明方案6~8任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案10所述的结构是在本发明方案6~9任一项所述的光学透镜中,在对面角θ是45度的所述第一透镜面外周部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1’到波长λ2’的宽度,所述波长λ1’在290~375nm范围内。
根据本发明方案10所述的结构,由于长λ1’在290~375nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部对更靠近第一激光光源波长的波长反射率极小。因此外周部与中央部相比就确实更多地透射波长390~420nm的光,所以与现有的技术相比,改善了外周部透射光量与中央部透射光量的平衡。
本发明方案11所述的结构是在本发明方案1所述的光学透镜中,在所述第一透镜面相反一侧的第二透镜面也上设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第二透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在320~400nm范围内。
根据本发明方案11所述的结构,当然能得到与本发明方案1所述结构同样的效果,能确实地使波长390~420nm光的光束点小径化并确实地增加透射光量。
本发明方案12所述的结构是在本发明方案11所述的光学透镜中,所述波长λ1在335~440nm的范围内。
根据本发明方案12所述的结构能得到与本发明方案11所述结构同样的效果。
本发明方案13所述的结构是在本发明方案11或本发明方案12所述的光学透镜中,所述波长λ2是1.9×λ1以上。
根据本发明方案13所述的结构能得到与本发明方案11或本发明方案12所述结构同样的效果。
本发明方案14所述的结构是在本发明方案11~13任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第二透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以74.0~95.5nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以95.9~129.8nm的膜厚形成,第三层由中折射率材料以87.8~115.1nm的膜厚形成,第四层由低折射率材料以19.7~25.4nm的膜厚形成,第五层由中折射率材料以63.9~83.7nm的膜厚形成。
根据本发明方案14所述的结构能得到与本发明方案11~13任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案15所述的结构是在本发明方案11~14任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第二透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以91.6~122.2nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以32.0~43.0nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以37.5~50.0nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以18.9~25.4nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以16.6~22.2nm的膜厚形成。
根据本发明方案15所述的结构能得到与本发明方案11~14任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案16所述的结构是在本发明方案1所述的光学透镜中,还把从630~680nm的第二激光光源射出的光向光记录媒体上会聚的光学透镜,所述波长λ1在350~458nm范围内。
根据本发明方案16所述的结构,由于把从390~420nm的第一激光光源射出的光和从630~680nm的第二激光光源射出的光分别向光记录媒体上会聚,所以能使用高密度光盘和DVD进行信息的记录和再现。而且能增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案17所述的结构是在本发明方案16所述的光学透镜中,所述波长λ1在373~458nm的范围内。
根据本发明方案17所述的结构,由于波长λ1在373~458nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部反射率极小的波长靠近第一激光光源的波长。因此能把波长390~420nm和波长630~680nm光的光束点确实地小径化,并使透射光量确实地增加。
本发明方案18所述的结构是在本发明方案17所述的光学透镜中,还把从770~800nm的第三激光光源射出的光在光记录媒体上会聚。
根据本发明方案18所述的结构,由于把从770~800nm的第三激光光源射出的光在光记录媒体上会聚,所以能够利用CD进行信息的记录和再现。另外能够增加波长390~420nm的透射光量,并且能够减少对于包括波长630~680nm和770~800nm的多个波长的光的减反射。
本发明方案19所述的结构是在本发明方案16~18任一项所述的光学透镜中,所述波长λ2是2.3×λ1以上。
根据本发明方案19所述的结构,由于所述波长λ2是2.3×λ1以上,所以在比较宽的波长区域内的波长反射率是4%以下。因此,由于能够对比较宽的波长区域内的波长的光进行减反射,所以能够确实增加波长390~420nm和630~680nm的光的透射光量。
本发明方案20所述的结构是在本发明方案16~19任一项所述的光学透镜中,在对面角θ是45度的所述第一透镜面外周部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1’到波长λ2’的宽度,所述波长λ1’在294~384nm范围内。
根据本发明方案20所述的结构,由于长λ1’在294~384nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部对更靠近第一激光光源波长的波长反射率极小。因此外周部与中央部相比就更多地透射波长390~420nm的光,所以与现有的技术相比,更加改善了外周部透射光量与中央部透射光量的平衡。
本发明方案21所述的结构是在本发明方案16~20任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第一透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以93.3~126.5nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以35.6~49.2nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以18.5~25.1nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以54.0~74.7nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以29.0~39.4nm的膜厚形成,第六层由高折射率材料以16.5~22.8nm的膜厚形成,第七层由低折射率材料以18.0~24.4nm的膜厚形成。
根据本发明方案21所述的结构能得到与本发明方案16~20任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案22所述的结构是在本发明方案16~21任一项所述的光学透镜中,在所述第一透镜面相反一侧的第二透镜面上还设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第二透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在350~430nm范围内。
根据本发明方案22所述的结构,当然能得到与本发明方案16~21任一项所述结构同样的效果,能确实地增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案23所述的结构是在本发明方案22所述的光学透镜中,所述波长λ1在360~400nm的范围内。
根据本发明方案23所述的结构能得到与本发明方案22所述结构同样的效果。
本发明方案24所述的结构是在本发明方案23所述的光学透镜中,还把从770~800nm的第三激光光源射出的光在光记录媒体上会聚。
根据本发明方案24所述的结构,由于把从770~800nm的第三激光光源射出的光也向光记录媒体上会聚,所以能使用CD进行信息的记录和再现。而且能增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm和770~800nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案25所述的结构是在本发明方案22~24所述的光学透镜中,所述波长λ2是2.3λ1以上。
根据本发明方案25所述的结构能得到与本发明方案22~24所述结构同样的效果。
本发明方案26所述的结构是在本发明方案22~25任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第二透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以93.3~118nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以35.6~45.9nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以18.5~23.4nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以54.0~69.9nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以29.0~36.8nm的膜厚形成,第六层由高折射率材料以16.5~21.2nm的膜厚形成,第七层由低折射率材料以18.0~22.8nm的膜厚形成。
根据本发明方案26所述的结构能得到与本发明方案22~25任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案27所述的结构是在本发明方案16所述的光学透镜中,至少具有二个透镜本体,在所述透镜本体的透镜面中有效孔径内的周边部面角θ最大的第一透镜面上设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第一透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在360~458nm范围内。
根据本发明方案27所述的结构能得到与本发明方案16所述的结构同样的效果。
本发明方案28所述的结构是在本发明方案27所述的光学透镜中,由于把从770~800nm的第三激光光源射出的光也向光记录媒体上会聚。
根据本发明方案28所述的结构,由于把从770~800nm的第三激光光源射出的光向光记录媒体上会聚,所以能使用CD进行信息的记录和再现。而且能增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm和770~800nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案29所述的结构是在本发明方案27所述的光学透镜中,所述波长λ1在400~442nm的范围内。
根据本发明方案29所述的结构,由于波长λ1在400~442nm的范围内,所以在第一透镜面的外周部反射率极小的波长靠近第一激光光源的波长。因此能把390~420nm光的光束点确实地小径化,并能使透射光量确实地增加。
本发明方案30所述的结构是在本发明方案27~29所述的光学透镜中,所述波长λ2是2.3×λ1以上。
根据本发明方案30所述的结构,由于波长λ2是2.3×λ1以上,所以对比较宽带域的波长反射率是4%以下。因此能确实地增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案31所述的结构是在本发明方案27~30任一项所述的光学透镜中,在对面角θ是45度的所述第一透镜面外周部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1’到波长λ2’的宽度,所述波长λ1’在306~384nm范围内。
根据本发明方案31所述的结构,能得到与本发明方案27~30任一项所述结构同样的效果。
本发明方案32所述的结构是在本发明方案27~31任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第一透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以97.5~126.5nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以37.3~49.2nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以19.3~25.1nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以56.6~74.7nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以30.3~39.4nm的膜厚形成,第六层由高折射率材料以17.3~22.8nm的膜厚形成,第七层由低折射率材料以18.8~24.4nm的膜厚形成。
根据本发明方案32所述的结构能得到与本发明方案27~31任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案33所述的结构是在本发明方案27所述的光学透镜中,在所述第一透镜面相反一侧的第二透镜面上还设置减反射膜,在对面角θ是0度的所述第二透镜面中央部垂直射入光时,所述减反射膜的分光反射率在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续一个以上的波长区域内是4%以下,所述一个以上的波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度,所述波长λ1在360~458nm范围内。
根据本发明方案33所述的结构,当然能得到与本发明方案27所述结构同样的效果,能确实地增加波长390~420nm光的透射光量,且能减少对包括波长630~680nm和770~800nm在内的多个波长光的反射。
本发明方案34所述的结构是在本发明方案33所述的光学透镜中,所述波长λ1在387~430nm的范围内。
根据本发明方案34所述的结构能得到与本发明方案33所述结构同样的效果。
本发明方案35所述的结构是在本发明方案33或本发明方案34所述的光学透镜中,所述波长λ2是2.3λ1以上。
根据本发明方案35所述的结构能得到与本发明方案33或本发明方案34所述结构同样的效果。
本发明方案36所述的结构是在本发明方案33~35任一项所述的光学透镜中,把所述减反射膜包括的多层按从所述第二透镜面开始向远去的顺序定为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,第一层由低折射率材料以97.5~126.5nm的膜厚形成,第二层由高折射率材料以37.3~49.2nm的膜厚形成,第三层由低折射率材料以19.3~25.1nm的膜厚形成,第四层由高折射率材料以56.6~74.7nm的膜厚形成,第五层由低折射率材料以30.3~39.4nm的膜厚形成,第六层由高折射率材料以17.3~22.8nm的膜厚形成,第七层由低折射率材料以18.8~24.4nm的膜厚形成。
根据本发明方案36所述的结构能得到与本发明方案33~35任一项所述的结构同样的效果。
本发明方案37所述的结构是信息记录再现装置,其具备激光光源和本发明方案1~36任一项所述的光学透镜,通过把从所述激光光源射出的光用所述光学透镜向光记录媒体会聚,能进行向该光记录媒体记录信息和把记录在所述光记录媒体上的信息再现的这两者中的至少一个。
根据本发明方案37所述的结构能得到与本发明方案1~36任一项所述的结构同样的效果。
附图说明
图1是表示本发明光拾取装置概略结构的图;
图2是表示物镜的纵剖面图;
图3是表示透镜面透过率分布的图;
图4是表示本发明物镜其他实施例的图;
图5是表示光拾取装置其他实施例概略结构的图;
图6(a)、(b)、(c)是说明光束点形状评价基准用的图;
图7是表示实施例1的物镜的中央部分光反射曲线的图;
图8是表示实施例1的物镜的外周部分光反射曲线的图;
图9是表示实施例2的物镜的中央部分光反射曲线的图;
图10是表示实施例3的物镜的中央部分光反射曲线的图;
图11是表示比较例1的物镜的中央部分光反射曲线的图;
图12(a)是表示实施例5的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图;
图13(a)是表示比较例3的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图;
图14(a)是表示比较例4的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图;
图15是表示表8所示的减反射镀层的分光反射曲线的图;
图16(a)是表示实施例6的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图;
图17(a)是表示比较例6的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图;
图18(a)是表示比较例7的物镜其中央部分光反射曲线的图,(b)、(c)是表示透镜面S1的反射率分布、透过率分布的图。
具体实施方式
下面一边参照附图一边说明本发明的实施例。
[第一实施例]
首先说明本发明光拾取装置的实施例。
图1是光拾取装置1的概略结构图。
如该图所示,光拾取装置1具备第一激光光源2a和第二激光光源2b。
第一激光光源2a射出波长390~420nm的第一激光,本实施例第一激光的波长是405nm。该第一激光用于对AOD(光记录媒体)100记录信息和把AOD100上记录的信息进行再现。AOD100的保护基板101的厚度是0.5~0.7mm。
第二激光光源2b射出波长630~680nm的第二激光中,本实施例第二激光的波长是650nm。该第二激光用于对DVD(光记录媒体)200记录信息和把DVD200上记录的信息进行再现。DVD200的保护基板201的厚度是0.5~0.7mm。
从这些第一激光光源2a、第二激光光源2b射出的第一、第二激光通过会聚光学***3而会聚在AOD100、DVD200上。
会聚光学***3具有:第一、第二准直透镜30a、30b和第一~第三光束分光器31a~31c和物镜(光学透镜)5。
第一、第二准直透镜30a、30b把从第一、第二激光光源2a、2b射出的激光变成平行光。
光束分光器31a使从第一激光光源2a射出的第一激光向物镜5的方向透射,并把来自AOD100的反射光,即返回光向第一光检测器4a引导。在光束分光器31a与第一光检测器4a之间配置传感器透镜群33a。
光束分光器31b使从第二激光光源2b射出的第二激光向光束分光器31c的方向透射,并把来自DVD200反射光向第二光检测器4b引导。在光束分光器31b与第二光检测器4b之间配置传感器透镜群33b。
光束分光器31c把来自第一激光光源2a的第一激光和来自第二激光光源2b的第二激光载置在同一光路上。
如图2所示,物镜5具备透镜本体(光学元件本体)50,并安装在能向规定方向移动的平面传动装置(未图示)上。物镜5的数值口径是0.65。
透镜本体50具有透镜面S1和透镜面S2,有效孔径内周边部的面角θ,即最大面角在透镜面S1是66度、在透镜面S2是3度。透镜本体50把这些透镜面S1、S2中最大面角大的透镜面S1配置成朝向第一、第二激光光源2a、2b的状态。本实施例中透镜面S1的有效孔径是φ3.2mm。
该透镜本体50由塑料材料、玻璃材料、它们的复合体等构成,通过塑料材料的射出成形和玻璃模具成形、磨削加工、切削加工等形成。作为塑料材料例如有:丙烯酸树脂、聚碳酸酯树脂、聚烯烃系树脂(日本ゼオン社制的ゼオネツクス树脂等)、环状烯烃共聚树脂等透明的树脂材料。作为玻璃材料可以使用周知的光学用玻璃,例如M-BaCD5N(商品名,HOYA公司制)等。
透镜面S1上设有对第一激光和第二激光具有减反射功能的减反射镀层(减反射膜)51。
减反射镀层51的分光反射率对向面角θ是0度的透镜面S1中央部C垂直射入的光在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在348~460nm,最好是在375~441nm的范围内,波长λ2是λ1×1.9以上。
减反射镀层51的分光反射率对向面角θ是45度的透镜面S1外周部P垂直射入的光在连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1’到波长λ2’的宽度。波长λ1’在289~382nm,最好是在312~366nm的范围内。
这样,透镜面S1中在光的射入角小的中央部,反射率极小的波长,即反射极小的波长是比第一激光的波长390~420nm长的波长,而透镜面S1中在光的射入角大的外周部P,反射率极小的波长是比波长λ1’长,且比所述反射极小的波长短的波长,即是靠近第一激光波长405nm的波长。
该减反射镀层51是多个层层合的结构,把这些多个层按从透镜面S1向远去的顺序为第一层、…、第n层(n是2以上的自然数)时,则第一层由低折射率材料、第二层由高折射率材料、第三层由中折射率材料、第四层由低折射率材料、第五层由中折射率材料形成。这些层的膜厚是第一层是81.2~113nm、第二层是108.7~153nm、第三层是97.6~136nm、第四层是21.6~30nm、第五层是71.0~99.0nm。
作为高折射率材料,例如有氧化铈、氧化钛、氧化钽、氧化锆、氧化铝、氮化硅、含氧化的氮化硅等。作为中折射率材料,例如可举出氧化铝和氧化钇、氟化铅、氟化铈等。作为低折射率材料,例如有氧化硅、氟化镁、氟化铝、冰晶石等。这些材料既可以通过使用一种而成为由单独成分构成的层,也可以通过使用多种而成为由多种成分构成的层。在使用多种材料时有把混合物作为蒸镀材料的情况和把其他材料同时作为蒸镀材料的情况等。
这种减反射镀层51最好是通过例如所述专利文献1所公开的技术层合状地成膜,但也可以用真空蒸镀法和溅射法、CVD法、大气压等离子体法(特开2001-100008号公报、特开2000-147209号公报)等现有周知的成膜方法进行成膜。
图2中虽未图示,但在减反射镀层51的表面上也可以设置保护层。作为保护层例如有含有硅、或氟的防水性的层。根据该防水性的保护层能防止污渍附着。也可以在透镜本体50与减反射镀层51之间设置打底层等的表面处理层。作为打底层有由厚度数nm到数10μm的氧化硅构成的层和由紫外线固化树脂或热固化树脂构成的层。根据该打底层能实现提高减反射镀层的膜附着性和提高耐摩擦性。
以上结构的光拾取装置1的动作是周知的,所以省略详细说明,从第一激光光源2a射出的第一激光在通过第一光束分光器31a后在第一准直透镜30a中被平行光化,并通过第三光束分光器31c。
然后第一激光通过物镜5而向AOD100的信息记录面上会聚,在光轴L上形成点。在此,在透镜面S1中占有大面积的外周部其对靠近第一激光波长405nm的波长的光反射率极小,所以透镜面S1的第一激光的透过率如图3所示,对透镜面S1的有效孔径R(=φ/2)在0.5R~0.7R,最好是在0.6R的位置处最大。因此透镜面S1的外周部P比中央部C对第一激光来说透射比较多的光,所以外周部P的透射光量与中央部C的透射光量的平衡比现有的技术改善了,并且点形状良好。图3中所谓“中心”是指透镜面S1与光轴L的交点。
然后,形成点的第一激光在信息记录面上通过信息位调制并被反射,再次通过物镜5、第三光束分光器31c、第一准直透镜30a,在第一光束分光器31a被反射分光。
被分光的第一激光经过传感器透镜群33a射入第一光检测器4a。第一光检测器4a检测射入的光点并输出信号,使用该输出的信号就得到AOD100上记录信息的读取信号。
而且检测第一光检测器4a上由点的形状变化和位置变化引起的光量变化等来进行对焦检测和磁道检测。所述平面传动装置根据该检测结果,使物镜5在会聚方向和跟踪方向上移动,以使第一激光在信息记录面上形成正确的点。
而从第二激光光源2b射出的第二激光在通过第二光束分光器31b后在第二准直透镜30b中被平行光化,并被第三光束分光器31c反射到达物镜5。
然后第二激光通过物镜5而向DVD200的信息记录面上会聚,在光轴L上形成点。
然后,形成点的第二激光在信息记录面上通过信息位调制并被反射,再次通过物镜5在第三光束分光器31c被反射分光。
被分光的第二激光通过第二准直透镜30b被第二光束分光器31b反射分光后经过传感器透镜群33a射入第二光检测器4b。下面与第一激光的情况相同。
根据以上这种光拾取装置1,能改善波长390~420nm光的外周部P的透射光量与中央部C的透射光量的平衡,所以能把光束点小径化且使透射光量增加。
由于能对比较宽带域波长的光减反射,所以能对包括第二激光的多种光减反射。
光拾取装置1以使用AOD1000和DVD200进行记录再现的情况进行了说明,但也可以仅使用AOD1000进行记录再现。
[第二实施例]
下面说明本发明的第二实施例。对与所述第一实施例同样的结构要素付与相同的符号而省略其说明。
本实施例的光拾取装置1A(1)具备物镜5A(5)。
如图2所示,物镜5A具备透镜本体(光学元件本体)50A(50)。
透镜本体50A具有透镜面S1和透镜面S2,有效孔径内透镜面S1的最大面角是55度、透镜面S2的最大面角是5度。透镜本体50把这些透镜面S1、S2中最大面角大的透镜面S1配置成朝向第一、第二激光光源2a、2b的状态。本实施例透镜面S1的有效孔径是φ4mm。
透镜面S1上设置有减反射镀层51A(51)。
减反射镀层51A由7层构成。这些层中从透镜面S1到最远是第一层由低折射率材料、第二层由高折射率材料、第三层由低折射率材料、第四层由高折射率材料、第五层由低折射率材料、第六层由高折射率材料、第七层由低折射率材料形成。这些层的膜厚是第一层是93.3~126.5nm、第二层是35.6~49.2nm、第三层是18.5~25.1nm、第四层是54.0~74.7nm、第五层是29.0~39.4nm、第六层是16.5~22.8nm、第七层是18.0~24.4nm。
减反射镀层51A的分光反射率对向面角θ是0度的透镜面S1中央部C垂直射入的光在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在350~458nm,最好是在373~458nm的范围内,波长λ2是λ1×2.3以上,最好波长λ1×2.35以上。
减反射镀层51A的分光反射率对向面角θ是45度的透镜面S1中央部P垂直射入的光在连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在294~384nm,最好是在317~384m的范围内。
[第三实施例]
下面说明本发明的第三实施例。对与所述第一实施例同样的结构要素付与相同的符号而省略其说明。
本实施例的光拾取装置1B(1)具备物镜5B(5)。
如图4所示,物镜5B具备:在光射入侧的透镜本体(光学元件本体)500(50)和在光射出侧的透镜本体(光学元件本体)501(50)。
透镜本体500具有透镜面S1和透镜面S2,有效孔径内透镜面S1的最大面角是12度、透镜面S2的最大面角是5度。透镜本体500把这些透镜面S1、S2中最大面角大的透镜面S1配置成朝向第一、第二激光光源2a、2b的状态。本实施例透镜面S1的有效孔径是φ3.8mm。
透镜本体501具有透镜面S3和透镜面S4,有效孔径内透镜面S3的最大面角是65度、透镜面S4的最大面角是12度。透镜本体501把这些透镜面S3、S4中最大面角大的透镜面S3配置成朝向第一、第二激光光源2a、2b的状态。本实施例透镜面S3、S4的有效孔径是φ3.5mm、φ2.0mm。
透镜面S3上设置有减反射镀层51B(51)。
减反射镀层51B由7层构成。这些层中从透镜面S3到最远是第一层由低折射率材料、第二层由高折射率材料、第三层由低折射率材料、第四层由高折射率材料、第五层由低折射率材料、第六层由高折射率材料、第七层由低折射率材料形成。这些层的膜厚是第一层是97.5~126.5nm、第二层是37.3~49.2nm、第三层是19.3~25.1nm、第四层是56.6~74.7nm、第五层是30.3~39.4nm、第六层是17.3~22.8nm、第七层是18.8~24.4nm。
减反射镀层51B的分光反射率对向面角θ是0度的透镜面S3中央部C垂直射入的光在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在350~458nm,最好是在400~422nm的范围内,波长λ2是λ1×2.3以上,最好波长λ1×2.58以上。
减反射镀层51B的分光反射率对向面角θ是45度的透镜面S3中央部P垂直射入的光在连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在306~384nm,最好是在339~373m的范围内。
减反射镀层51B(51)由7层构成,也可以由5层构成。在这种情况下,这些层中从透镜面S3到最远是第一层由低折射率材料、第二层由高折射率材料、第三层由低折射率材料、第四层由高折射率材料、第五层由低折射率材料。这些层的膜厚最好是第一层是91.6~122.2nm、第二层是32.0~43.0nm、第三层是37.5~50.0nm、第四层是18.9~25.4nm、第五层是16.6~22.2nm。
这时,减反射镀层51B的分光反射率对向面角θ是0度的透镜面S3中央部C垂直射入的光在包括300~1000nm范围内至少一部分波长的连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在350~458nm,最好是在375~440nm的范围内,波长λ2是λ1×2.04以上。
减反射镀层51的分光反射率对向面角θ是45度的透镜面S1中央部P垂直射入的光在连续的一个以上波长区域中是4%以下,这些波长区域中最宽的波长区域具有从波长λ1到波长λ2的宽度。该波长λ1在290~375nm,最好是在318~360m的范围内。
根据以上这种光拾取装置1B也能得到与所述光拾取装置1同样的效果。
所述实施例中对光拾取装置1使用AOD100和DVD200进行记录和再现的情况进行了说明,但不限定于此,也可以如图5所示光拾取装置1C那样还可以使用CD进行记录和再现。光拾取装置1C与光拾取装置1不同,其还具备:射出波长750~850nm第三激光的第三激光光源2c和把从第三激光光源2c射出的第三激光变成平行光的准直透镜30c和把第一~第三激光载置同一光路上的光束分光器31d和把来自CD300的反射光引导向第三光检测器4c的衍射板6。这种光拾取装置1C也能得到与所述光拾取装置1同样的效果。
对物镜5具备一个或两个透镜本体的情况进行了说明,但其也可以具备三个以上的透镜本体。
对把直线偏振光的激光射入物镜5的情况进行了说明,但只要能记录或再现,偏振光性是哪种都可,例如也可以是把用1/4波长板变换成了圆偏振光的激光射入。
对物镜5的数值口径是0.65的情况进行了说明,但其也可以是0.85~0.90。这时作为光记录媒体能代替AOD100而使用保护基板厚度是0.1mm的兰光光盘。
对减反射镀层51仅设置在透镜本体50的透镜面S1、S3上的情况进行了说明,但也可以设置在其他透镜面上。
透镜面S1、S2、S3、S4、的有效孔径和最大面角等也可以是其他值。
对把光学透镜作为物镜5进行了说明,但其也可以是光束收缩和光束扩展器。
[实施例]
下面通过实施例具体说明本发明,但本发明并不限定于此。
1、第一实施例的透镜
<透镜的透过率和点形状的评价>
作为所述第一实施例的物镜5是把具有表1所示层结构的减反射镀层51分别设置在透镜本体50的透镜面S1、S2上而形成的。而且物镜5的数值口径是0.6。透镜面S1的面角θ的最大值是53度。图中“OA600”(商品名,オプトロン(株)制)是氧化钽和氧化钛的混合物。在以下的说明中,用图中最上面的号码来特定各减反射镀层51。
表1
如上述形成的各物镜5对波长390~420nm光的透过率(最小值~最大值)被表示在表2各栏的上面。波长405nm光的透过率被表示在图中各栏的括弧内。把透过率的评价和光束点形状的评价用AA标记、BB标记、CC标记表示在图中各栏的下面。该反射率的测量使用反射分光膜厚仪(FE-3000)(大冢电子株式会社制)。
在此表2的透过率评价中,对波长390~420nm光在经常能对应于得到95%以上透过率的减反射镀层51的栏中表示的是实用上非常良好水平的AA标记,在经常能对应于得到94%以上透过率但不是AA水平的减反射镀层51的栏中表示的是实用上良好水平的BB标记,除此以外的对应于减反射镀层51的栏中表示的是实用上有问题水平的CC标记。
对光束点形状的评价参考图6进行说明。图6中纵轴表示光量、横轴表示点径。
在光束点形状的评价中使用一般的点检查机,测量对应于50%光量的点径X的大小和点周边的光量杂波Y,对点径X和点周边的光量杂波Y都小的(参照图6(a)),则在其对应于减反射镀层51的栏中表示AA。对点径X和点周边的光量杂波Y一个小另一个比较大的来说,则对应于其减反射镀层51的栏中表示BB。对点周边的光量杂波Y和点径X至少一个是大的(参照图6(b)、图6(c)),则在其对应于减反射镀层51的栏中表示CC。
表2
表2(接上页表格)
如表3所示,这些透过率和点形状的优劣影响到物镜5的中心部透过率与外周部透过率的关系。在此,表中“透过率”的栏是表示对透射整个物镜5的光的透过率的评价。
[表3]
透镜中心部的透过率S1面θ=0 | 透镜外周部的透过率θ=30°~45°(距光轴的距离0.6~1.0mm) | 透过率(光量) | 点形状评价 |
大 | 大 | AA | BB |
大 | 中~小 | BB | CC |
中 | 大 | AA | AA |
中 | 大~中 | AA | AA |
中 | 小 | CC | BB |
小 | 大 | BB | CC |
小 | 中~小 | CC | AA |
这些透过率和光束点形状评价结果,只要透过率是BB水平或是AA水平且点形状是BB水平或是AA水平的,则可判断为能没问题地进行记录和再现动作。只要透过率是AA水平且点形状是AA水平的,则可判断为能更稳定良好地进行记录和再现动作,是最理想的。只要透过率或点形状的至少一个是CC水平的,则可判断为记录和再现动作不稳定,有问题。
因此,根据所述表2就能知道适用于物镜5的减反射镀层51的理想的层结构。
即,了解到在使用390~420nm范围内波长激光的光拾取装置1中,为了得到BB水平或AA水平的透过率和BB水平或AA水平的点形状,作为设置在透镜面S1上的减反射镀层51的层结构最好是适用所述波长λ1是348~460nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是375~441nm范围内的层结构。波长λ1在348~460nm范围内时,所述波长λ1’是289~382nm,波长λ2是λ1×1.9以上,波长λ1在312~366nm范围内时,所述波长λ1’是312~366nm,波长λ2是λ1×1.9以上。
作为设置在透镜面S2上的减反射镀层51的层结构最好是适用所述波长λ1是320~400nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是335~400nm范围内的层结构。波长λ1在320~400nm范围内时,所述波长λ1’是266~340nm,波长λ2是λ1×1.9以上,波长λ1在335~400nm范围内时,所述波长λ1’是278~340nm,波长λ2是λ1×2.35以上。
根据这点,了解到作为设置在透镜面S1上的减反射镀层51的层结构最好是适用表1所示的No.5~No.14,更理想的是适用No.7~No.12。
了解到作为设置在透镜面S2上的减反射镀层51的层结构最好是适用所述波长λ1是320~400nm的No.3~No.9,更理想的是适用所述波长λ1是335~400nm的No.4~No.9。
<透镜的评价>
用真空蒸镀法在加工成透镜状的透镜本体50的透镜面S1、S2上分别形成是下表2所示层结构(各栏所示层结构的号码与上述表1对应)的减反射镀层51,并制作成物镜5(实施例1~3,比较例1、2)。
[表4]
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 比较例1 | 比较例2 | ||
激光波长(nm) | 407 | 405 | 405 | 405 | 405 | |
S1面 | 面角θ | 0~66° | 0~66° | 0~66° | 0~66° | 0~66° |
有效孔径 | ||||||
减反射镀层 | No.13 | No.9 | No.6 | No.3 | V镀层 | |
S2面 | 面角θ | 0~3° | 0~3° | 0~3° | 0~3° | 0~3° |
有效孔径 | ||||||
减反射镀层 | No.5 | No.7 | No.7 | No.5 | No.5 |
在此表4的“激光波长”栏表示光拾取装置1使用的第一激光光源2a的波长。“面角θ”栏表示各透镜面S1、S2具有的角θ的范围。
表中“V镀层”是指3层结构的减反射膜,第一层由氧化硅、第二层由OA-600、第三层由氧化硅形成。该减反射膜的各层膜厚是第一层是91nm、第二层是19nm、第三层是8nm。
如所述表2所示,实施例1的高NA的物镜中,向透镜照射407nm的平行光时,光的透过率是95.2%,评价是BB水平,光束点形状非常良好,评价是AA水平。
在此,测量透镜面S1中心部C的分光反射率的结果如图7。如该图所示,所述波长λ1是453nm、所述波长λ2是960(=2.11×λ1)nm、所述波长λ1’是376nm、所述波长λ2’是798(=2.12×λ1’)nm。对波长((λ1+λ2)/2)的光其反射率是0.5%以下。
测量面角θ是45度的透镜面S1外周部P的分光反射率的结果如图8。如该图所示,在透镜面S1的外周部P,其P偏振光反射率与S偏振光反射率的差在0.5%以下,特别是在波长453nm附近,该差小。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是348nm、所述波长λ2是700(=2.01×λ1)nm。
如所述表2所示,实施例2的高NA的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时,光的透过率是96.6%,评价是AA水平,光束点形状非常良好,评价是AA水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图9。如该图所示,所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是830(=2.07×λ1)nm、所述波长λ1’是340nm、所述波长λ2’是680(=2.07×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是375nm、所述波长λ2是765(=2.04×λ1)nm。
如所述表2所示,实施例3的高NA的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时,光的透过率是95.8%,评价是AA水平,光束点形状良好,评价是BB水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图10。如该图所示,所述波长λ1是360nm、所述波长λ2是730(=2.02×λ1)nm、所述波长λ1’是310nm、所述波长λ2’是600(=1.93×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是375nm、所述波长λ2是765(=2.04×λ1)nm。
从以上了解到通过实施例1~3能提供具有高数值口径的会聚性好的物镜。而且了解到光拾取装置1通过把实施例1~3的透镜作为物镜使用能实现信息记录的大容量化。
另一方面如所述表2所示,比较例1的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时,光的透过率是93.3%,评价是CC水平,光束点中包含杂波光多,点形状评价是CC水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图11。如该图所示,所述波长λ1是320nm、所述波长λ2是630(=1.96×λ1)nm、所述波长λ1’是266nm、所述波长λ2’是524(=1.97×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是348nm、所述波长λ2是700(=2.01×λ1)nm。
比较例2的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时,光的透过率是93.5%,评价是CC水平,光束点形状评价也是CC水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果,所述波长λ1是360nm、所述波长λ2是610(=1.69×λ1)nm、所述波长λ1’是300nm、所述波长λ2’是507(=1.69×λ1’)nm。
从以上了解到比较例1、2的透镜作为使用405nm光的光拾取装置1的透镜5使用是不恰当的,而且用比较例1、2的透镜实现高密度光盘的记录大容量化是困难的。
2、第二实施例的透镜
<透镜的透过率和点形状的评价>
作为所述第二实施例的物镜5A是把具有表5所示层结构的减反射镀层51A分别设置在透镜本体50A的透镜面S1、S2上而形成的。而且图中“OH5”(商品名,オプトロン(株)制)是氧化锆和钛的混合物。
表5
如上述形成的各物镜5A对波长390~420nm光的透过率(最小值~最大值)被表示在表6各栏的上面。波长405nm光的透过率被表示在表中各栏的括弧内。对波长630~680nm光的透过率(最小值~最大值)被表示在表中各栏的中间。把透过率的评价和光束点形状的评价用A标记、BB标记、CC标记表示在表中各栏的下面。
表6
表6(接上页表格)
在此表6的透过率评价中,在对波长390~420nm光经常能得到94%以上透过率,且对波长630~680nm光经常能得到95%以上透过率的对应于减反射镀层51A的栏中表示的是实用上非常良好水平的A标记。在对波长390~420nm光经常能得到93%以上透过率,且对波长630~680nm光经常能得到94%以上透过率,但不是AA水平的对应于减反射镀层51A的栏中表示的是实用上良好水平的BB标记。除AA水平、BB水平以外的对应于减反射镀层51A的栏中表示的是实用上有问题水平的CC标记。
根据表6就能知道适用于物镜5A的减反射镀层51A的理想的层结构。
即了解到在光拾取装置1中使用的激光波长分别在390~420nm和630~680nm的范围内时,为了得到BB水平或AA水平的透过率和BB水平或AA水平的点形状,作为设置在透镜面S1上的减反射镀层51的层结构最好是适用所述波长λ1是350~458nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是373~458nm范围内的层结构。波长λ1在350~458nm范围内时,波长λ1’在294~384nm范围内,波长λ2是λ1×2.3以上,波长λ1在373~458nm范围内时,波长λ1’是317~384nm,波长λ2是λ1×2.3以上。
而把所述波长λ1比350nm小的层结构的减反射镀层51A设置在透镜面S1上时,对390~420nm光的透过率是在第一透镜面其中央部外周部高的结果,点形状的评价是CC水平。
把所述波长λ1比458nm大的层结构的减反射镀层51A设置在透镜面S1上时,对波长390~420nm,特别是对波长405nm光的透过率是比93%还低,透过率评价是CC水平。而且第一透镜面中央部的透射光量远远小于外周部的透射光量,在光束点周边部产生波纹状光强度不匀的结果是产生起伏特性恶化和失真增大等的问题。
作为设置在透镜面S2上的减反射镀层51A的层结构最好是适用所述波长λ1是350~430nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是360~400nm范围内的层结构。波长λ1在350~430nm范围内时,所述波长λ1’是294~361nm,波长λ2是λ1×2.3以上,波长λ1在360~400nm范围内时,所述波长λ1’是306~339nm,波长λ2是λ1×2.3以上。
根据这点,了解到作为设置在透镜面S1上的减反射镀层51的层结构最好是适用表5所示的No.3’~No.11’,更理想的是适用No.5’~No.11’。
了解到作为设置在透镜面S2上的减反射镀层51的层结构最好是适用所述波长λ1是350~430nm的No.3’~No.9’,不过更适用所述波长λ1是360~400nm的No.4’~No.7’。
另外,在本实施例中,如果是能够得到AA水平的透过率和AA水平的点形状的层结构,即使在利用AOD和DVD以及CD进行信息的记录和再现的光拾取装置中,也能够在实用上得到充分的透过率和点形状。
<透镜的评价>
用真空蒸镀法在加工成透镜状的透镜本体50的透镜面S1、S2上分别形成是下表7所示层结构(各栏所示层结构的号码与上述表1、表2对应)的减反射镀层51,并制作成物镜5A(实施例4、5,比较例3~5)。
[表7]
实施例4 | 实施例5 | 比较例3 | 比较例4 | 比较例5 | ||
激光波长(nm) | 405650 | 406635 | 405650 | 405650 | 405650 | |
S1面 | 面角θ | 0~55° | 0~55° | 0~55° | 0~55° | 0~55° |
有效孔径 | φ4mm | φ4mm | φ4mm | φ4mm | φ4mm | |
减反射镀层 | No.4’ | No.8’ | No.2’ | No.12’ | No.12’ | |
S2面 | 面角θ | 0~5° | 0~5° | 0~5° | 0~5° | 0~5° |
减反射镀层 | No.7’ | No.7’ | No.7’ | No.7’ | No.10’ |
如上述表6所示,在实施例4的高NA的物镜中,向透镜照射405nm、650nm的平行光时,波长405nm光的透过率是94.6%、波长650nm光的透过率是96.8%,透过率评价是AA水平。光束点形状对两波长的光都良好,评价是BB水平。
在此,测量透镜面S1中心部C的分光反射率的结果是所述波长λ1是360nm、所述波长λ2是828(=2.3×λ1)nm、所述波长λ1’是306nm、所述波长λ2’是755(=2.46×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果是所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是1050(=2.62×λ1)nm。
如所述表6所示,在实施例5的高NA的物镜中,向透镜照射405nm、650nm的平行光时,波长405nm光的透过率是95.4%、波长650nm光的透过率是97.1%,透过率评价是AA水平,光束点形状对两波长都非常良好,评价是AA水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图12(a)。如该图所示,所述波长λ1是420nm、所述波长λ2是1085(=2.58×λ1)nm、所述波长λ1’是351nm、所述波长λ2’是890(=2.53×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是1050(=2.62×λ1)nm。
对波长405nm光在透镜面S1内的反射率分布和透过率分布被表示在图12(b)、图12(c)。如这些图所示,在透镜面S1中反射率极小而透过率极大的区域在距离透镜面S1中心0.5R~0.7R的位置。
从以上了解到通过实施例4、5能提供具有高数值孔径的会聚性好的物镜。而且了解到光拾取装置1A通过把实施例4、5的透镜作为物镜使用能实现信息记录的大容量化。
另一方面如所述表6所示,在比较例3的物镜中,向透镜照射405nm、650nm的平行光时,波长405nm光的透过率是93.7%、波长650nm光的透过率是95.7%,透过率评价是BB水平。而且光束点形状对两波长的光都恶劣,评价是CC水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图13(a)。如该图所示,所述波长λ1是332nm、所述波长λ2是844(=2.54×λ1)nm、所述波长λ1’是280nm、所述波长λ2’是690(=2.46×λ1’)nm。
测量透镜面S2分光反射率的结果,所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是1050(=2.62×λ1)nm。
对波长405nm光在透镜面S1内的反射率分布和透过率分布被表示在图13(b)、图13(c)。如这些图所示,在透镜面S1中反射率极小而透过率极大的区域在靠近透镜面S1中心的位置。
如表6所示,在比较例4的物镜中,向透镜照射405nm、650nm的平行光时,波长405nm光的透过率是92.6%、波长650nm光的透过率是97.5%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状评价是BB。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果如图14)。如该图所示,所述波长λ1是468nm、所述波长λ2是1244(=2.66×λ1)nm、所述波长λ1’是395nm、所述波长λ2’是1032(=2.61×λ1’)nm。
把对波长405nm光在透镜面S1内的反射率分布和透过率分布表示在图14)、图14)。如这些图所示,在透镜面S1中反射率极小而透过率极大的区域在靠近透镜面S1最外周的位置。
在比较例5的物镜中,向透镜照射405nm、650nm的平行光时,波长405nm光的透过率是92.1波长650nm光的透过率是97.3%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状的评价是CC水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果是所述波长λ1是468nm、所述波长λ2是1244(=2.66×λ1)nm。
从以上了解到比较例3~5的透镜作为使用405nm、650nm光的光拾取装置1的透镜5A使用是不恰当的,而且用比较例3~5的透镜实现光记录媒体的记录大容量化是困难的。
3、第三实施例的透镜(1)
<透镜的透过率和点形状的评价>
作为所述第三实施例的物镜5B是把表8所示的No.4”的减反射镀层51B分别设置在透镜本体500的透镜面S1、S2上,并且把具有所述表5所示层结构的减反射镀层51B分别设置在透镜本体501的透镜面S3、S4上而形成的。在此,表8所示各减反射镀层51B的分光反射特性如图28。该图例示了对No.2”的减反射镀层51B的所述波长λ1、λ2。
表8
如上述形成的各物镜5B对波长390~420nm光的透过率(最小值~最大值)被表示在表9各栏的上面。对波长630~680nm、770~800nm光的透过率(最小值~最大值)被表示在表中各栏的中间。把透过率的评价和光束点形状的评价用AA标记、BB标记、CC标记表示在表中各栏的下面。
表9
表9(接上页表格)
在此表9的透过率评价中,在对波长390~420nm光经常能得到89%以上透过率,且对波长630~680nm光经常能得到92%以上透过率,且对波长770~800nm光经常能得到92%以上透过率的对应于减反射镀层51B的栏中表示的是实用上非常良好水平的AA标记。在对波长390~420nm光经常能得到88%以上透过率,且对波长630~680nm光经常能得到90%以上透过率,且对波长770~800nm光经常能得到90%以上透过率,但不是AA水平的对应于减反射镀层51B的栏中表示的是实用上良好水平的BB标记。除AA水平、BB水平以外的对应于减反射镀层51B的栏中表示的是实用上有问题水平的CC标记。
根据表9就能知道适用于物镜5B的减反射镀层51B的理想的层结构。
即了解到在光拾取装置1中使用的激光波长分别在390~420nm、630~680nm、770~800nm的范围内时,为了得到BB水平或AA水平的透过率和BB水平或AA水平的点形状,作为设置在透镜面S3上的减反射镀层51B的层结构最好是适用所述波长λ1是360~458nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是400~442nm范围内的层结构。波长λ1在360~458nm范围内时,波长λ1’在306~384nm范围内,波长λ2是λ1×2.3以上,波长λ1在400~442nm范围内时,波长λ1’是339~373nm,波长λ2是λ1×2.3以上。
而把所述波长λ1比360nm小的层结构的减反射镀层51B设置在透镜面S3上时,对波长390~420nm的光有时能得到实用上良好的透过率,但对波长630~680nm的光则透过率不良,所以透过率评价是CC水平。而且对波长390~420nm的光,透镜面S3中央部的透过率对外周部的透过率是相等或大的结果,是点形状是BB或CC的水平。
把所述波长λ1比458nm大的层结构的减反射镀层51B设置在透镜面S3上时,波长390~420nm光的透过率不良,透过率评价是CC水平。而且对波长390~420nm的光,透镜面S3外周部的透过率与中央部的透过率比较,其结果是非常大的,在点周边产生杂波,点形状的评价是CC水平。
作为设置在透镜面S4上的减反射镀层51B的层结构最好是适用所述波长λ1是360~458nm范围内的层结构。了解到为了进一步得到AA水平的透过率和AA水平的点形状,最好是适用所述波长λ1是387~430nm范围内的层结构。波长λ1在360~458nm范围内时,所述波长λ1’是306~384nm,波长λ2是λ1×2.3以上,波长λ1在387~430nm范围内时,所述波长λ1’是328~361nm,波长λ2是λ1×2.58以上。
根据这点,了解到作为设置在透镜面S3上的减反射镀层51B的层结构最好是适用表5所示的No.4’~No.11’,更理想的是适用No.7’~No.10’。
从表9了解到,对设置在透镜面S4上的减反射镀层51B来说,所述波长λ1是360~458nm时其透过率和点形状的评价都在BB水平以上,是373~442nm时其透过率和点形状的评价都是AA水平。
如果是本实施例,即使在利用AOD和DVD以及CD进行信息的记录和再现的光拾取装置中,也当然能够在实用上得到充分的透过率和点形状。
<透镜的评价>
用真空蒸镀法在加工成透镜状的透镜本体501的透镜面S3、S4上分别形成是下表10所示层结构(各栏所示层结构的号码与上述表1、表5对应)的减反射镀层51B,并制作成物镜5B(实施例6、7,比较例6~8)。
[表10]
实施例6 | 实施例7 | 比较例6 | 比较例7 | 比较例8 | ||
激光波长(nm) | 405650780 | 407660785 | 405650780 | 405650780 | 405650780 | |
S3面 | 面角θ | 0~65° | 0~65° | 0~65° | 0~65° | 0~65° |
有效孔径 | φ3.5mm | φ3.5mm | φ3.5mm | φ3.5mm | φ3.5mm | |
减反射镀层 | No.8’ | No.11’ | No.2’ | No.13’ | No.12’ | |
S4面 | 面角θ | 0~12° | 0~12° | 0~12° | 0~12° | 0~12° |
减反射镀层 | No.7’ | No.5’ | No.7’ | No.7’ | No.11’ |
如上述表9所示,在实施例6的高NA的物镜中,向透镜照射405nm、650nm、780nm的平行光时,波长405nm光的透过率是90.9%、波长650nm光的透过率是95.0%、波长780nm光的透过率是94.4%,透过率评价是AA水平。光束点形状对各波长的光都非常良好,评价是AA水平。
在此,测量透镜面S3中心部分光反射率的结果如图16(a)。如该图所示,所述波长λ1是420nm、所述波长λ2是1085(=2.58×λ1)nm、所述波长λ1’是351nm、所述波长λ2’是890(=2.53×λ1’)nm。
测量透镜面S4分光反射率的结果,所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是1050(=2.62×λ1)nm。
对波长405nm光在透镜面S3内的反射率分布和透过率分布被表示在图16(b)、图16(c)。如这些图所示,在透镜面S3中反射率极小而透过率极大的区域位于透镜面S3的外周部。
如表9所示,在实施例7的高NA的物镜中,向透镜照射405nm、650nm、780nm的平行光时,波长405nm光的透过率是89.8%、波长650nm光的透过率是95.8%、波长780nm光的透过率是95.0%,透过率评价是AA水平。光束点形状对各波长的光都良好,评价是BB水平。
在此,测量透镜面S3分光反射率的结果,所述波长λ1是458nm、所述波长λ2是1076(=2.35×λ1)nm、所述波长λ1’是384nm、所述波长λ2’是993(=2.58×λ1’)nm。
测量透镜面S4分光反射率的结果,所述波长λ1是373nm、所述波长λ2是962(=2.57×λ1)nm。
从以上了解到通过实施例6、7能提供具有高数值口径的会聚性好的物镜。而且了解到光拾取装置1B通过把实施例6、7的透镜作为物镜使用能实现信息记录的大容量化。
另一方面如所述表9所示,在比较例6的物镜中,向透镜照射405nm、650nm、780nm的平行光时,波长405nm光的透过率是89.9%、波长650nm光的透过率是92.4%、波长780nm光的透过率91.1%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状的评价是BB水平。
在此,测量透镜面S3分光反射率的结果如图17(a)。如该图所示,所述波长λ1是332nm、所述波长λ2是844(=2.54×λ1)nm、所述波长λ1’是280nm、所述波长λ2’是690(=2.46×λ1’)nm。
把对波长405nm光在透镜面S3内的反射率分布和透过率分布表示在图17(b)、图17(c)。如这些图所示,在透镜面S3中反射率极小的区域位于透镜面S3的中心部,而透过率在透镜面S3内表示出大致一样的值。
如表9所示,在比较例7的物镜中,向透镜照射405nm、650nm、780nm的平行光时,波长405nm光的透过率是87.8%、波长650nm光的透过率是96.2%、波长780nm光的透过率是96.3%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状的评价是CC水平。
在此,测量透镜面S3分光反射率的结果如表18(a)。如该图所示,所述波长λ1是483nm、所述波长λ2是1288(=2.67×λ1)nm、所述波长λ1’是407nm、所述波长λ2’是1063(=2.61×λ1’)nm。
把对波长405nm光在透镜面S3内的反射率分布和透过率分布表示在表18(b)、表18(c)。如这些图所示,在透镜面S3中反射率极小区域位于靠近透镜面S3最外周的位置,而透过率极大的区域是透镜面S3的外周部。
在比较例8的物镜中,向透镜照射405nm、650nm、780nm的平行光时,波长405nm光的透过率是87.9%、波长650nm光的透过率是95.6%、波长780nm光的透过率是95.6%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状的评价是BB水平。
在此,测量透镜面S1分光反射率的结果是所述波长λ1是468nm、所述波长λ2是1244(=2.66×λ1)nm。
从以上了解到比较例6~8的透镜作为使用405nm、650nm、780nm光的光拾取装置1B的透镜5B使用是不恰当的,而且用比较例6~8的透镜实现光记录媒体的记录大容量化是困难的。
4、第三实施例的透镜(2)
<透镜的透过率和点形状的评价>
作为所述第三实施例的物镜5B是把表8所示的No.3”、No.2”、No.2”的减反射镀层51B分别设置在透镜本体500的透镜面S1、透镜面S2、透镜本体501的透镜面S4上,并且把具有表8各层结构的减反射镀层51B设置在透镜本体501的透镜面S3上而形成的。
进行如上述形成的各物镜5B对波长390~420nm光的透过率评价和光束点形状的评价。
其结果是,光拾取装置1中使用的激光波长在390~420nm的范围内时,作为设置在透镜面S3上的减反射镀层51B的层结构,适用所述波长λ1是350~458nm范围内的层结构,透过率是95%以上,是理想的。而且适用所述波长λ1是375~440nm范围内的层结构,透过率是96%以上,更理想。这时的点形状良好。
波长λ1是350~458nm时,所述波长λ1’290~375nm,波长λ1是375~440时,所述波长λ1’是318~360nm。而且这时λ2是2.3×λ1以上。
根据这点,了解到作为设置在透镜面S3上的减反射镀层51B的层结构最好是适用表8所示的No.1”~No.7”,更理想的是适用No.4”~No.6”。
<透镜的评价>
用真空蒸镀法在加工成透镜状的透镜本体501的透镜面S3、S4上分别形成是下表5所示层结构(各栏所示层结构的号码与上述表5、表8对应)的减反射镀层51B,并制作成物镜5B(实施例8,比较例9)。虽然表中没表示,但实施例8的物镜5在透镜本体500的透镜面S1上设置了所述表8的No.3”减反射镀层51B,在透镜面S2上设置了No.2”减反射镀层51B。而且比较例9的物镜在透镜本体500的透镜面S1上设置了所述表8的No.3”减反射镀层51B,在透镜面S2上设置了No.2”减反射镀层51B。
[表11]
实施例8 | 比较例9 | ||
激光波长(nm) | 405 | 405 | |
S3面 | 面角θ、有效孔径 | 0~60° | 0~66° |
减反射镀层 | No.5” | No.2’ | |
S4面 | 面角θ、有效孔径 | 0~3° | 0~3° |
减反射镀层 | No.2” | No.3” |
在实施例8的高NA的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时光的透过率是96.1%,透过率评价是AA水平。而且光束点形状也在实用上非常良好,评价是AA水平。
在此,测量透镜面S3中心部分光反射率的结果是,所述波长λ1是400nm、所述波长λ2是820(=2.62×λ1)nm、所述波长λ1’是340nm、所述波长λ2’是860(=2.56×λ1’)nm。
从以上了解到通过实施例8能提供具有高数值口径的会聚性好的物镜。而且了解到光拾取装置1B通过把实施例8的透镜作为物镜使用能实现信息记录的大容量化。
在比较例9的高NA的物镜中,向透镜照射405nm的平行光时光的透过率是94.5%,透过率评价是CC水平。而且光束点形状的评价也是CC水平。
在此,测量透镜面S3中心部分光反射率的结果是,所述波长λ1是332nm、所述波长λ2是844(=2.80×λ1)nm、所述波长λ1’是280nm、所述波长λ2’是690(=2.46×λ1’)nm。
因此了解到比较例9的透镜作为使用405nm光的光拾取装置1B的透镜5B使用是不恰当的,而且用比较例9的透镜实现光记录媒体的记录大容量化是困难的。
把以上实施例是结果表示在表12。
[表12]
实用上良好的条件 | 实用上非常良好的条件 | |
第一实施例的透镜使用390~420nm一种波长(一枚镜片) | λ1:348~460nmλ2/λ1:1.9nm以上λ1’:289~382nm | λ1:375~441nmλ2/λ1:1.9nm以上λ1’:312~366nm |
第三实施例的透镜(2)使用390~420nm一种波长(两枚镜片) | λ1:350~458nmλ2/λ1:2.04nm以上λ1’:290~375nm | λ1:375~440nmλ2/λ1:2.04nm以上λ1’:318~360nm |
第二实施例的透镜使用390~420nm、630~680nm两种波长(一枚镜片) | λ1:350~458nmλ2/λ1:2.30nm以上λ1’:306~384nm | λ1:400~458nmλ2/λ1:2.35nm以上λ1’:339~384nm |
第三实施例的透镜(1)使用 390~420nm、630~680nm、770~800nm三种波长(二枚镜片) | λ1:360~468nmλ2/λ1:2.30nm以上λ1’:306~384nm | λ1:400~442nmλ2/λ1:2.58nm以上λ1’:339~373nm |
作为第一~第三(1)(2)实施例的透镜的任一个用于使用的条件 | λ1:348~460nmλ2/λ1:1.9nm以上λ1’:289~384nm |
如该表所示,作为从第一实施例的透镜到第三实施例的透镜(2)的任一透镜,为了得到在实用上良好的透过率和点形状,需要所述波长λ1是348~460nm,所述波长λ2是1.9×λ1以上,所述波长λ1’是289~384nm。
根据本发明方案1的结构,与现有技术比较,外周部的透射光量和中央部的透射光量的平衡得到改善。因此,能够使波长390~420nm的光点小径化,并且增加透射光量。
根据本发明方案2的结构,当然能够得到与本发明方案1所述结构的同样的效果,能够使波长390~420nm的光点小径化,并且增加透射光量。
根据本发明方案3的结构,当然能够得到与本发明方案1或2所述结构的同样的效果,能够使波长390~420nm的光点小径化,并且增加透射光量。
根据本发明方案4的结构,当然能够得到与本发明方案1~3任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案5的结构,当然能够得到与本发明方案1~4任何一方案所述结构的同样的效果,与现有技术比较,外周部的透射光量和中央部的透射光量的平衡得到进一步改善。
根据本发明方案6的结构,与现有技术比较,外周部的透射光量和中央部的透射光量的平衡得到改善。因此,能够使波长390~420nm的光点小径化,并且增加透射光量。
根据本发明方案7的结构,当然能够得到与本发明方案6所述结构的同样的效果。能够确实使波长390~420nm的光点小径化,并且确实增加透射光量。
根据本发明方案8的结构,当然能够得到与本发明方案6或7所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm的光点小径化,并且确实增加透射光量。
根据本发明方案9的结构,当然能够得到与本发明方案6~8任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案10的结构,当然能够得到与本发明方案6~9任何一方案所述结构的同样的效果。与现有技术比较,外周部的透射光量和中央部的透射光量的平衡得到改善。
根据本发明方案11的结构,当然能够得到与本发明方案1所述的同样的效果。能够确实使波长390~420nm的光点小径化,并且确实增加透射光量。
根据本发明方案12的结构,能够得到与本发明方案11所述结构的同样的效果。
根据本发明方案13的结构,能够得到与本发明方案11~12任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案14的结构,能够得到与本发明方案11~13任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案15的结构,能够得到与本发明方案11~14任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案16的结构,当然能够得到与本发明方案1所述结构的同样的效果与利用高密度光盘和DVD进行信息的记录和再现,另外,能够使波长390~420nm的光通量增加,并且能够减少对于包括波长630~680nm的多个波长的光的减反射。
根据本发明方案17的结构,当然能够得到与本发明方案16所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm和波长630~680nm的光点小径化,并且确实增加透射光量。
根据本发明方案18的结构,能够增加波长390~420nm光的透射光量,并且还能够使波长630~680nm和770~800nm的光点小径化且增加透射光量。
根据本发明方案19的结构,当然能够得到与本发明方案16~18任何一方案所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm和630~680nm的光通量增加。
根据本发明方案20的结构,当然能够得到与本发明方案16~19任何一方案所述结构的同样的效果,与现有技术比较,外周部的透射光量和中央部的透射光量的平衡得到改善。
根据本发明方案21的结构,当然能够得到与本发明方案16~20任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案22的结构,当然能够得到与本发明方案16~21任何一方案所述结构的同样的效果。能够确实使波长390~420nm的光通量增加,并且能够减少对于包括波长630~680nm的多个波长的光的减反射。
根据本发明方案23的结构,当然能够得到与本发明方案22所述结构的同样的效果。
根据本发明方案24的结构,能够使波长390~420nm的光通量增加,能够确实使波长630~680nm和770~800nm的光点小径化且确实增加透射光量。
根据本发明方案25的结构,当然能够得到与本发明方案21~24任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案26的结构,当然能够得到与本发明方案21~25任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案27的结构,当然能够得到与本发明方案16所述结构的同样的效果。
根据本发明方案28的结构,当然能够得到与本发明方案27所述结构的同样的效果,更能够利用CD进行信息的记录和再现,另外,能够使波长390~420nm的光通量增加,并且能够减少对于包括波长630~680nm和770~800nm的多个波长的光的减反射。
根据本发明方案29的结构,当然能够得到与本发明方案27所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm的光点小径化,并且确实增加透射光量。
根据本发明方案30的结构,当然能够得到与本发明方案27~29所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm的光通量增加,并且能够减少对于包括波长630~680nm的多个波长的光的减反射。
根据本发明方案31的结构,当然能够得到与本发明方案27~30任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案32的结构,当然能够得到与本发明方案27~31任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案33的结构,当然能够得到与本发明方案27所述结构的同样的效果,能够确实使波长390~420nm的光通量增加,并且能够减少对于包括波长630~680nm和770~800nm的多个波长的光的减反射。
根据本发明方案34的结构,当然能够得到与本发明方案33所述结构的同样的效果。
根据本发明方案35的结构,当然能够得到与本发明方案33或34所述结构的同样的效果。
根据本发明方案36的结构,当然能够得到与本发明方案33~35任何一方案所述结构的同样的效果。
根据本发明方案37的结构,当然能够得到与本发明方案1~36任何一方案所述结构的同样的效果。
Claims (37)
1.一种光学透镜,其设置在光学信息记录和/或再现装置内,用于进行在光学信息记录媒体上记录信息和再现该光学信息记录媒体上记录的信息中的至少一种,且将波长为390nm-420nm的第一激光光源发出的光束会聚到该光学信息记录媒体上,该光学透镜包括:
至少一个透镜本体;
设置在第一透镜表面上的减反射膜,该第一透镜表面在该透镜本体上的透镜表面的有效半径内的外周部分上具有最大面角θ;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第一透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其中该光谱反射率连续地为4%或更低,且波长包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
该一个或多个波长区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在348-460nm的范围内。
2.如权利要求1的光学透镜,其中,该波长λ1在375-441nm的范围内。
3.如权利要求1的光学透镜,其中,该波长λ2满足1.9×λ1或更大。
4.如权利要求1的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第一透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有81.2-113nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有108.7-153nm的层厚;
该第三层由中折射系数材料制成,且具有108.7-153nm的层厚;
该第四层由低折射系数材料制成,且具有21.6-30nm的层厚;以及
该第五层由中折射系数材料制成,且具有71.0-99nm的层厚。
5.如权利要求1的光学透镜,
其中,对于垂直射入其外周部分具有45度面角θ的该第一透镜表面的外周部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其连续地满足4%或更低,
所述区域的最宽波长区域从波长λ1′延伸至波长λ2′,以及
该波长λ1′在289-382nm的范围内。
6.如权利要求1的光学透镜,包括:
至少两个透镜本体;
设置在第一透镜表面上的减反射膜,该第一透镜表面在该透镜本体上的透镜表面的有效半径内的外周部分上具有最大面角θ;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第一透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其中该光谱反射率连续地为4%或更低,且波长包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
该一个或多个波长区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在350-458nm的范围内。
7.如权利要求6的光学透镜,其中,该波长λ1在375-440nm的范围内。
8.如权利要求6的光学透镜,其中,该波长λ2满足2.04×λ1或更大。
9.如权利要求6的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第一透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有91.6-122.2nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有32.0-43.0nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有37.5-50.0nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有18.9-25.4nm的层厚;以及
该第五层由低折射系数材料制成,且具有16.6-22.2nm的层厚。
10.如权利要求6的光学透镜,
其中,对于垂直射入其外周部分具有45度面角θ的该第一透镜表面的外周部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其连续地满足4%或更低,
所述区域的最宽波长区域从波长λ1′延伸至波长λ2′,以及
该波长λ1′在290-375nm的范围内。
11.如权利要求1的光学透镜,包括:
设置在位于该第一透镜表面的相反侧的第二透镜表面上的减反射膜;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第二透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其中该光谱反射率连续地为4%或更低,且波长包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
该一个或多个波长区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在320-400nm的范围内。
12.如权利要求11的光学透镜,其中,该波长λ1在335-400nm的范围内。
13.如权利要求11的光学透镜,其中,该波长λ2满足1.9×λ1或更大。
14.如权利要求11的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有74.0-95.6nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有95.9-129.8nm的层厚;
该第三层由中折射系数材料制成,且具有87.8-115.1nm的层厚;
该第四层由低折射系数材料制成,且具有19.7-25.4nm的层厚;以及
该第五层由中折射系数材料制成,且具有63.9-83.7nm的层厚。
15.如权利要求11的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有91.6-122.2nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有32.0-43.0nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有37.5-50.0nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有18.9-25.4nm的层厚;以及
该第五层由低折射系数材料制成,且具有16.6-22.2nm的层厚。
16.如权利要求1的光学透镜,其将具有630-680nm波长的第二激光源发出的光会聚到光学信息记录媒体上,其中波长λ1在350-458nm的范围内。
17.如权利要求16的光学透镜,其中,该波长λ1在373-458nm的范围内。
18.如权利要求17的光学透镜,其还将具有770-800nm波长的第三激光源发出的光会聚到光学信息记录媒体上。
19.如权利要求16的光学透镜,其中,该波长λ2满足2.3×λ1或更大。
20.如权利要求16的光学透镜,其中,对于垂直射入其外周部分具有45度的面角θ的该第一透镜表面的外周部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其连续地满足4%或更低,
所述区域的最宽波长区域自波长λ1′延伸至波长λ2′,且
该波长λ1′在294-384nm的范围内。
21.如权利要求16的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第一透镜的远侧质序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有93.3-126.5nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有35.6-49.2nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有18.5-25.1nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有54.0-74.7nm的层厚;
该第五层由低折射系数材料制成,且具有29.0-39.4nm的层厚;
该第六层由高折射系数材料制成,且具有16.5-22.8nm的层厚;以及
该第七层由低折射系数材料制成,且具有18.0-24.4nm的层厚。
22.如权利要求16的光学透镜,包括:
设置在位于该第一透镜表面的相反侧的第二透镜表面上的减反射膜;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第二透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其中该光谱反射率连续地为4%或更低,且波长包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
该一个或多个波长区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在350-430nm的范围内。
23.如权利要求22的光学透镜,其中,该波长λ1在360-400nm的范围内。
24.如权利要求23的光学透镜,其还将具有770-800nm波长的第三激光源发出的光会聚到光学信息记录媒体上。
25.如权利要求22的光学透镜,其中,该波长λ2满足2.3×λ1或更大。
26.如权利要求22的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有93.3-118nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有35.6-45.9nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有18.5-23.4nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有54.0-69.6nm的层厚;
该第五层由低折射系数材料制成,且具有29.0-36.8nm的层厚;
该第六层由高折射系数材料制成,且具有16.5-21.2nm的层厚;以及
该第七层由低折射系数材料制成,且具有18.0-22.8nm的层厚。
27.如权利要求16的光学透镜,其包括至少两个透镜本体;以及
设置在第一透镜表面上的减反射膜,该第一透镜表面在该透镜本体上的透镜表面的有效半径内的外周部分上具有最大面角θ;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第一透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其连续地满足4%或更低,且其包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
所述区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在360-458nm的范围内。
28.如权利要求27的光学透镜,其将具有770-800nm波长的第三激光源发出的光会聚到光学信息记录媒体上。
29.如权利要求27的光学透镜,其中,该波长λ1在400-442nm的范围内。
30.如权利要求27的光学透镜,其中,该波长λ2满足2.3×λ1或更大。
31.如权利要求27的光学透镜,
其中,对于垂直射入其外周部分具有45度的面角θ的该第一透镜表面的外周部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其连续地满足4%或更低,
所述区域的最宽波长区域自波长λ1′延伸至波长λ2′,且
该波长λ1′在306-384nm的范围内。
32.如权利要求27的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第一透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有97.5-126.5nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有37.3-49.2nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有19.3-25.1nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有56.6-74.7nm的层厚;
该第五层由低折射系数材料制成,且具有30.3-39.4nm的层厚;
该第六层由高折射系数材料制成,且具有17.3-22.8nm的层厚;以及
该第七层由低折射系数材料制成,且具有18.8-24.4nm的层厚。
33.如权利要求27的光学透镜,包括:
设置在位于该第一表面的相反侧的第二透镜表面上的减反射膜;
其中,对于垂直射入其中心部分具有0度的面角θ的该第二透镜表面的中心部分的光,该减反射膜的光谱反射率具有一个或多个区域,其中该光谱反射率连续地为4%或更低,且波长包括300至1000nm波长范围的至少一部分,
该一个或多个波长区域的最宽波长区域自波长λ1延伸至波长λ2,且
该波长λ1在360-458nm的范围内。
34.如权利要求33的光学透镜,其中,该波长λ1在387-430nm的范围内。
35.如权利要求33的光学透镜,其中,该波长λ2满足2.3×λ1或更大。
36.如权利要求33的光学透镜,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
其中,当该减反射膜自该第二透镜的远侧顺序包括第一层,......,和第n层,其中n为2或更大的自然数时,
该第一层由低折射系数材料制成,且具有97.5-126.5nm的层厚;
该第二层由高折射系数材料制成,且具有37.3-49.2nm的层厚;
该第三层由低折射系数材料制成,且具有19.3-25.1nm的层厚;
该第四层由高折射系数材料制成,且具有56.6-74.7nm的层厚;
该第五层由低折射系数材料制成,且具有30.3-39.4nm的层厚;
该第六层由高折射系数材料制成,且具有17.3-22.8nm的层厚;以及
该第七层由低折射系数材料制成,且具有18.8-24.4nm的层厚。
37.一种信息记录和/或再现装置,包括激光光源和包括如权利要求1的光学透镜的光会聚***,
其中,通过该光学透镜将该激光光源发射的光束会聚到该光学信息记录媒体上进行在该光学信息记录媒体上记录信息和再现该光学信息记录媒体上记录的信息中的至少一种。
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