CN1561291A - 喷嘴头、喷嘴头固定器和液滴喷射图案形成装置 - Google Patents
喷嘴头、喷嘴头固定器和液滴喷射图案形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1561291A CN1561291A CNA028191463A CN02819146A CN1561291A CN 1561291 A CN1561291 A CN 1561291A CN A028191463 A CNA028191463 A CN A028191463A CN 02819146 A CN02819146 A CN 02819146A CN 1561291 A CN1561291 A CN 1561291A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- nozzle head
- nozzle
- connecting rod
- scanning direction
- rod parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000059 patterning Methods 0.000 title 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 125
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 97
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 68
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 68
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 58
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 28
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 27
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims description 14
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 146
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 119
- 230000008569 process Effects 0.000 description 77
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 71
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 65
- 238000013461 design Methods 0.000 description 26
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 18
- 230000008531 maintenance mechanism Effects 0.000 description 18
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 3
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 3
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001915 proofreading effect Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 3
- 241001074085 Scophthalmus aquosus Species 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 241000191439 Priceomyces medius Species 0.000 description 1
- 241000439497 Varanus flavescens Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 210000004276 hyalin Anatomy 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
- B41J25/001—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface
- B41J25/003—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface for changing the angle between a print element array axis and the printing line, e.g. for dot density changes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/145—Arrangement thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16579—Detection means therefor, e.g. for nozzle clogging
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
可转动地安装了第一连杆部件(56A和56B),一对第二连杆部件(57A和57B),以及三个头部固定器(51R、51G和51B)。转动枢轴(50A和50B)设在第二连杆部件(57A和57B)的中间部分,并且参考头部固定器(51R)的参考喷嘴定位于主扫描方向的同一条直线上。参考头部固定器(51R)绕参考喷嘴转动,并且其它头部固定器(51G和51B)也同时转动。形成头部固定器(51G和51B)使得不论它们的转角是多少,它们都能平行次扫描方向移动。
Description
技术领域
本发明涉及喷嘴头固定器,特别涉及这样一种喷嘴头固定器,其中喷嘴间距在次扫描方向是可调节的,并且在次扫描方向能够微调喷嘴头位置,还涉及设有这种喷嘴头固定器的液滴喷射图案形成装置。
背景技术
近期,随着各种结构的喷墨打印机得到广泛地应用,能够以照片质量进行高分辨率彩色打印的彩色喷墨打印机逐渐流行起来。在喷墨打印机的托架中安装着多个喷嘴头,每个喷嘴头具有很多(如128个)小喷嘴,这些小喷嘴在次扫描方向形成一行或多行。通过从每个喷嘴中喷出墨滴在喷射目标介质上形成点阵,这样就记录下想要的图像。日本未决专利申请No.11-334049披露了一种改变喷嘴间距的技术,它利用可移动连接件相对于固定连接件的移动来部分地转动喷嘴头。
近几年,液晶显示屏已经很普及了,它们应用于个人计算机、文字处理器、复印机、传真机、移动电话以及各种其它的便携终端中。另外最近广泛采用了具有彩色显示功能的液晶显示屏。在液晶显示屏的彩色显示中使用了一种滤色镜。滤色镜由三原色光(红(R)、绿(G)和蓝(B))精细滤色像素形成的规则点阵构成,这些精细滤色像素位于透明膜上,滤色镜能够使用液滴喷射图案形成装置形成,该装置具有与上述喷墨打印机类似的结构。
在日本专利No.3,121,226中披露了一种制造这样的滤色镜的液滴喷射图案形成装置。设计该装置使得它能够从形成在喷嘴头中的多个喷嘴喷出R、G和B三种颜色的液滴,从而在玻璃基底上记录R、G和B的点阵。通过相对于次扫描方向倾斜喷嘴头能够调节喷嘴间距使得喷嘴间距在次扫描方向上比喷嘴的实际间距相称地小一些。当倾斜喷嘴头时,使得每个喷嘴的喷射定时不同以对齐记录开始边沿在玻璃基底上的位置。通过控制喷射定时来校正每个喷嘴对喷嘴列中心线的偏离。
在日本未决专利申请No.9-300664中披露了一种制造滤色镜的液滴喷射图案形成装置。在这个装置中,倾斜喷嘴头并且在次扫描方向上移动喷嘴头。这个装置设有R、G和B三种颜色的喷嘴头,它们形成在一个板中。固定每个喷嘴头使得它们都处于与喷射目标介质垂直的状态。每个喷嘴头的两端都支撑在固定器中,而固定器在它的一端可转动地连接到喷嘴头安装件上,在它的另一端可转动地连接到滑动件上。利用卷簧向喷嘴头安装件一侧驱策每个喷嘴头,从而可以使用螺栓调节每个喷嘴头相对于喷嘴头安装件的相对位置。如果使用滑动件的精调螺栓在次扫描方向上移动滑动件,能够改变喷嘴头相对于次扫描方向的倾斜角,从而能够在次扫描方向调节点距。
有机场致发光(EL)显示屏逐渐成为取代液晶显示屏的下一代显示屏。例如,有机EL显示屏的EL基底上具有阳极层、孔传输层、光发射层和形成在彩色基底表面上的阴极层。在光发射层中使用与光发射颜色对应的各种光发射有机化合物。有机EL显示屏具有简单的结构并且可以制造得更薄、更轻,而且更便宜,它还具有更低的能耗以及对视角依赖很小等优点。
这里简要描述制造彩色有机EL显示屏的EL基底的方法。在形成在玻璃基底上的阳极层的上面,喷上形成孔传输层的液滴,然后通过在真空或惰性气体中加热来固定这些液滴。于是与EL光发射层的R、G和B对应的三种不同类型的液滴喷射到孔传输层上以形成光发射像素的三种颜色的规则点阵。当在真空中加热点阵后,阴极层形成在EL光发射层上。
但是,上述的现有技术具有下述的问题。首先,尽管在日本未决专利申请No.11-334049的喷墨打印机结构中利用可移动连接件相对于固定连接件的移动来倾斜喷嘴头,但是为了保持倾斜角需要至少将固定连接件、可移动连接件和喷嘴头组合在喷嘴头安装件中。由于可移动连接件相对于固定连接件以弧形移动,所以这个结构是比较复杂的。因此,很难制造具有喷嘴头的喷嘴头单元。
日本专利No.3,121,226没有披露任何相对于次扫描方向以可倾斜形式支撑喷嘴头的机构,也没有披露使得喷嘴头转动的促动器。日本专利No.3,121,226没有提出能够把作为一个喷嘴头单元的多个喷嘴头移去的技术。在喷嘴头倾斜的过程中转动中心也不清楚。
由于日本未决专利申请No.9-300664的液滴喷射图案形成装置设有位于垂直状态的板状喷嘴头,这样就给喷嘴头的形状带来了很大的限制。在对喷嘴头进行维护或更换时,每个喷嘴头都要从固定器上移走。但是,如果喷嘴头的两端能够***固定器或者从固定器上移走,很难精确设定喷嘴头的垂直位置。如果每个喷嘴头不能***上述的固定器或者不能从上述的固定器上移走,就很难移走喷嘴头并且因此不能保证维护。
另外,由于每个喷嘴头的转动中心是支撑固定器的转轴,如果喷嘴头部分地转动起来,所有的喷嘴都会改变它们在主扫描方向和次扫描方向Y的位置。所以在计算引起玻璃基底相对于喷嘴头在主扫描方向和次扫描方向相对移动的记录驱动数据和转动角时就会增加数据处理的负担,这样就很难提高图案形成的精度。
另外,由于通过手动操作精细螺栓来实现对滑动件的移动,就不能使喷嘴头的最大倾斜角足够大。因此点距变化的宽度较小。
如图29(c)所示,在液滴喷射图案形成装置中经常发生某种特定颜色的点(如R点)与其它的点(如G或B点)分开较小的距离。这时如果每个喷嘴头在次扫描方向只移动预定的距离是有益的。但是,日本未决专利申请No.9-300664的结构只允许每个喷嘴头在喷嘴头的长度方向上(喷嘴列方向)精细移动,这样当喷嘴头相对于次扫描方向倾斜时就不能平行于次扫描方向移动喷嘴头。由于必须根据微调螺栓和喷嘴头的倾斜角所引起的移动量来计算在次扫描方向上的精细移动量,在得到记录驱动数据和倾斜转动角的过程中数据处理的负担会增加,这样就很难提高图案形成的精度。
另外,由于喷嘴头以平行的姿态返回到次扫描方向并且然后喷嘴头在次扫描方向上的位置必须进行微调,这样对微调螺栓的操作就变得复杂。由于微调螺栓的位置和倾斜状态随着喷嘴头的倾斜角变化,能够被自动驱动的微调螺栓的结构是完全不可能的。
因此本发明的一个目的是提供一种喷嘴头固定器,使得对喷嘴头的***和移走很简单,并且在喷嘴头安装在它上面的情况下也能够把固定器自身很简单***该装置或从该装置上移走。
本发明的另一个目的是提供一种喷嘴头固定器,其中喷嘴头的转动角较大并且不论喷嘴头的转动角是多少,喷嘴头能够平行于次扫描方向移动。
本发明的另一个目的是提供一种液滴喷射图案形成装置,其中安装着上述的喷嘴头固定器,并且提供一种能够安装在这样的喷嘴头固定器中的喷嘴头。
发明内容
为了解决上述问题,根据本发明的喷嘴头固定器的特征在于固定多个具有多个喷嘴的喷嘴头。每个喷嘴头在主扫描方向上以预定间隔放置。喷嘴头固定器包括具有一对第一连杆部件和一对第二连杆部件的四杆连杆机构,该对第一连杆部件平行于主扫描方向延伸,该对第二连杆部件连接该对第一连杆部件;和移动装置,它使得多个喷嘴头中的至少一个喷嘴头平行于与主扫描方向垂直的次扫描方向移动。每个喷嘴头的两个端部分别连接该对第一连杆部件。移动装置使得至少一个喷嘴头相对于该对第一连杆部件平行于次扫描方向(Y)移动。
由于这个结构保证多个喷嘴头中的至少一个喷嘴头能够相对于该对第一连杆部件平行于次扫描方向移动,喷嘴头能够在次扫描方向微小移动以精细调节喷嘴头在次扫描方向上的位置,而不论喷嘴头的转角是多少。上述结构使得当需要精细调节G喷嘴头和B喷嘴头相对于R喷嘴头在次扫描方向上的位置时,根据R、G、B中三种记录点所形成的像素布置,能够对喷嘴头执行精确和有效地精细调节。
另外,由于设有多个喷嘴头,所以当制造滤色镜或彩色EL基底时,能够通过喷射多个类型的液滴来形成图案。
由于这个喷嘴头固定器设有四杆连杆机构、一对转动枢轴和具有两个端部的喷嘴头,其中两个端部分别可转动地连接到该对第一连杆部件上。喷嘴头固定器的结构能够变得简单。为进行维修和更换而具有的拆卸和连接喷嘴头的结构也能够被简化,这样就保证了可维修性。
由于四杆连杆机构自身可以被构造成高精度部件并且能够以高精度把喷嘴头安放在这个四杆连杆机构中,所以能够制造出把制造误差减到最小的高精度喷嘴头固定器。
优选在该对第一连杆部件中分别形成具有引导表面的凹陷结构。移动装置设有一对辊部件,它们可转动地安装在至少一个喷嘴头的两个端部,还设有压力件,它把辊部件压向引导表面。并且在辊部件被压向靠在引导表面时,沿引导表面在与次扫描方向平行的方向上移动压力件。
通过引导表面和该对辊部件,即使喷嘴头处于转动状态时,这个结构也能够精细地平行于次扫描方向移动喷嘴头。另外,由于无论喷嘴头转角多大,该对辊部件都相对于该对第一连杆部件定位在固定的位置,所以移动机构可以安装在第一连杆部件的固定位置,并且能够在外部提供移动这些移动机构的促动器,所以能够自动进行对喷嘴头在次扫描方向上的调节。
优选可拆卸地在该对第一连杆部件上安装多个喷嘴头。这个结构简化了对喷嘴头的维修和替换,并且改善了可维护性。
可以用一个弹性件来驱策每个喷嘴头的两个端部,从而它们与第一连杆部件的上表面处于表面接触。如果每个喷嘴头的两个端部都与第一连杆部件处于表面接触,就能够最小化喷嘴头高度位置在垂直方向上的误差,并且能够精确设定喷嘴头相对于喷射目标介质的高度。因此,增加了喷射记录的性能。
优选每个喷嘴头设有一个其中形成有多个喷嘴的喷嘴部分,和支撑喷嘴部分的头部固定器。头部固定器的两个端部分别连接到该对第一连杆部件上。
根据本发明的喷嘴头的特征在于它用在上述的喷嘴头固定器中。在这个喷嘴头中,多个直径很小的喷嘴在次扫描方向上形成一行。优选喷嘴间距能够设定为具有75dpi或150dpi的尺寸。为了能够可转动地把这个喷嘴头的两个端部分别和第一连杆部件连接,可以设有一对辊部件。由于辊部件能够相对于喷嘴头转动,所以在喷嘴头转动的过程中和喷嘴头以倾斜状态平行于次扫描方向移动的过程中,通过辊部件的转动可以实现平顺移动。
根据本发明的液滴喷射图案形成装置包括:上述的喷嘴头固定器;以可拆卸方式安装喷嘴头固定器的头部组件连接台;固定喷射目标介质的介质固定器装置;使得喷射目标介质能够相对于喷嘴头在主扫描方向和次扫描方向移动的相对移动产生装置;使得四杆连杆机构能够转动的转动装置;和设在该对第二连杆部件中间部分的转动枢轴。该对第二连杆部件能够绕转动枢轴转动。喷嘴头的两个端部分别可转动地连接该对第一连杆部件。转动装置使得该对第二连杆部件绕转动枢轴转动以使得四杆连杆机构转动。
由于这个液滴喷射图案形成装置设有喷嘴头固定器,液滴喷射图案形成装置具有和那个喷嘴头固定器类似的效果。在图案形成之前,当该对第二连杆部件绕位于它中间部分的转动枢轴转动时,该对第二连杆部件转动,该对第一连杆部件在主扫描方向上移动,并且它们的移动方向互相相对。这导致连接到该对第一连杆部件上的每个喷嘴头的两端移动。多个喷嘴头相对于次扫描方向转动。通过相对于次扫描方向转动喷嘴头,精细地调节在次扫描方向上的喷射间距,所以改变了想要的喷射间距。并且在喷射目标介质相对于喷嘴头固定器在主扫描方向上移动时完成一次喷射记录。随后当喷射目标介质在次扫描方向进行适当的相对移动后,完成下一次喷射记录。因此,通过顺序重复这些操作完成喷射记录。
由于通过使得四杆连杆机构转动来转动喷嘴头,所以能够增加喷嘴头的转角,这样就能够增加喷射间距在次扫描方向上的变化宽度。
这时优选液滴喷射图案形成装置包括可拆卸地连接在移动装置上、驱动移动装置的移动驱动装置,它使得至少一个喷嘴头平行于次扫描方向移动。因此,在把喷嘴头固定器安放在头部组件连接台中并且移动驱动装置连接到移动机构后,能够使用移动驱动装置通过移动机构使得喷嘴头在次扫描方向上移动,这样就保证了自动化。
另外,优选液滴喷射图案形成装置进一步包括探测四杆连杆机构转动量的转动量探测装置,和根据探测到的转动量控制转动装置的转动量控制装置。根据这个结构,通过利用转动量控制装置探测转角然后使用这个转动量利用转动量控制装置来控制转动装置,能够使得四杆连杆机构转动到任意想要的转角。
根据本发明的喷嘴头固定器是固定喷嘴头的喷嘴头固定器,喷嘴头中形成了多个喷嘴。喷嘴头固定器包括:一个四杆连杆机构,它具有一对平行于主扫描方向延伸的第一连杆部件,和一对与该对第一连杆部件连接的第二连杆部件;和设在该对第二连杆部件中间部分的转动枢轴。该对第二连杆部件能够绕转动枢轴转动。喷嘴头的一个顶端部分可转动地连接一个第一连杆部件,并且喷嘴头的基端部分可转动地连接另一个第一连杆部件。
当具有上述结构的该对第二连杆部件绕位于它中间部分的转动枢轴转动时,该对第二连杆部件转动,该对第一连杆部件在主扫描方向上移动,并且它们的移动方向彼此相反。连接到该对第一连杆部件上的每个喷嘴头的两端相对于次扫描方向转动多个喷嘴头。由于通过转动四杆连杆机构转动喷嘴头,可以增加喷嘴头的转角,并且可以增加喷射间距在次扫描方向上的变化宽度。
由于上述的喷嘴头固定器设有四杆连杆机构、该对转动枢轴、和具有可转动地连接到该对第一连杆部件上的两个端部的喷嘴头,喷嘴头固定器的结构能够较简单。还能够简化为了维修和更换而连接和拆卸喷嘴头所需的结构,这样就保证了可维护性。
由于四杆连杆机构自身具有高精度结构并且能够以高精度把喷嘴头安放在四杆连杆机构中,所以能够提供精确的喷嘴头固定器以最小化制造误差。
该对转动枢轴设在该对第二连杆部件的中间部分并且被可转动地支撑。因此喷嘴头的参考喷嘴(如No.1喷嘴)能够定位在连接该对转动枢轴的直线上。由于这个结构保证了参考喷嘴的位置(在主扫描方向和次扫描方向上的位置)即使在喷嘴头转动时也不会改变,就能够简化数据处理,产生导致喷射目标介质和喷嘴头之间的相对移动的驱动数据,因此增加了图案形成的精度。
多个喷嘴头能够在主扫描方向以预定的间距放置在该对第一连杆部件上。根据上述结构,能够相对于次扫描方向转动多个喷嘴头以形成图案,可以用来制造滤色镜或给有机彩色EL显示器制造EL基底。
优选多个喷嘴头为形成多种颜色的EL光发射层喷射预定的多种颜色的液滴。这能够减少形成EL光发射层的步骤,保证生产量的增加,并且能够为全色应用制造EL基底。
优选喷嘴头喷射液滴,为EL光发射层中的传输孔形成孔传输层,从而使得EL光发射层发射光。根据上述结构,能够形成孔传输层。
优选在每个喷嘴头中形成多个喷嘴。在至少一个喷嘴头中形成的多个喷嘴中最靠近喷嘴头基部的参考喷嘴能够定位在连接该对转动枢轴的直线上。
由于上述结构保证即使喷嘴头转动参考喷嘴在次扫描方向上的位置(在主扫描方向和次扫描方向上的位置)也不会改变,就能够简化数据处理,产生导致喷射目标介质和喷嘴头之间的相对移动的驱动数据,同时增加了图案形成的精度。另外,由于通过转动四杆连杆机构转动喷嘴头,可以增加喷嘴头的转角,从而可以增加喷射间距在次扫描方向上的变化宽度。
优选可拆卸地在该对第一连杆部件上安装多个喷嘴头。这个结构简化了对喷嘴头的维修和更换,并且改善了可维护性。
根据本发明的喷嘴头的特征在于它用在上述的喷嘴头固定器中。如果提供连接销从而把喷嘴头的两个端部和第一连杆部件可转动地连接起来,那么可以使用简单的结构喷嘴头就能够安装到喷嘴头固定器中或者从喷嘴头固定器中拆卸下来。
根据本发明的喷嘴头固定器包括用来以可拆卸方式安装上述喷嘴头固定器的头部组件连接台;固定喷射目标介质的介质固定器装置;使得四杆连杆机构能够转动的转动装置;和使得固定在介质固定器装置中的喷射目标介质能够相对于喷嘴头在主扫描方向和次扫描方向移动的相对移动装置。
由于这个结构保证喷嘴头固定器可拆卸地安装在头部组件连接台中,可以很容易地安装或者拆卸喷嘴头固定器,并且很容易对喷嘴头进行维修或更换。由于所提供的转动装置作用在四杆连杆机构的该对转动枢轴上以使得四杆连杆机构转动,当喷射间距在次扫描方向调节了一个小距离时,四杆连杆机构能够快速、自动并且精确地转动。另外,介质固定器装置支撑喷射目标介质并且当喷射目标介质和喷嘴头在主扫描方向和次扫描方向进行相对移动时能够完成图案形成。
优选喷嘴头固定器进一步设有转角探测装置,用来探测四杆连杆机构的转动量,还具有转动量控制装置,用来根据探测到的转动量控制转动装置。由于在这个结构中设有转角探测装置和转动量控制装置,在一个或多个喷嘴头和四杆连杆机构的该对第二连杆部件转动时,能够转动四杆连杆机构。
优选转动装置包括与一个第二连杆部件连接的一个转动促动器,其中转动促动器使得一个第二连杆部件绕一个转动枢轴转动。根据这个结构,所提供的转动促动器能够使用简单的结构使得绕该对转动枢轴中的一个转动枢轴的第二连杆部件、两个第二连杆部件或四杆连杆机构转动。因此当喷射间距在次扫描方向调节了一个小距离时,能够利用四杆连杆机构快速、自动并且精确地转动喷嘴头。
根据本发明的液滴喷射图案形成装置设有一个喷嘴头,喷嘴头具有多个沿与主扫描方向垂直的次扫描方向形成的喷嘴,从多个喷嘴中喷射液滴以在喷射目标介质上形成图案。液滴喷射图案形成装置包括一个固定器部件,它可转动地支撑喷嘴头;转动驱动装置,它使得支撑在固定器部件上的喷嘴头相对于次扫描方向绕参考喷嘴的轴线或它附近的轴线在0到60度的范围内转动;和转动控制装置,它根据喷射分辨率利用转动驱动装置控制喷嘴头的转角。
由于这个结构在转动喷嘴头时使得喷嘴头绕参考喷嘴的轴线或它附近的轴线转动,并且因此参考喷嘴在次扫描方向和主扫描方向的位置不变或者改变一个小量,所以能够简化为记录产生驱动数据的数据处理,并且能够简化对喷射记录的控制,而且能够更精确地完成图案形成。
由于喷嘴头能够在0到60度的范围内变化,如果喷嘴间距是P并且倾斜转角是θ,次扫描方向上的喷射间距(P×cosθ)可以在P和0.5P之间变化,从而能够增加喷射间距在次扫描方向上的变化宽度并且在次扫描方向、P到0.5P的范围内连续设定分辨率。另外,由于设有转动机构、转动驱动装置和转动控制装置,能够使得喷嘴头自动转动,而无须任何手动操作,因此能够快速并且准确地设定喷嘴头的转角。
优选液滴喷射图案形成装置进一步包括相对移动装置,它使得喷射目标介质在次扫描方向相对于喷嘴头移动;和馈送量控制装置,它根据喷射分辨率控制相对移动装置从而使用交错方法在次扫描方向执行喷射目标介质的相对运动。
由于液滴喷射图案形成装置设有相对移动装置和馈送量控制装置,其中相对移动装置使得喷射目标介质在次扫描方向相对于喷嘴头移动,而馈送量控制装置根据喷射分辨率控制相对移动装置从而使用交错方法在次扫描方向执行相对运动,所以能够自动设定在次扫描方向上的馈送量并且自动地相对移动喷射目标介质和喷嘴头,从而保证能够把次扫描方向上的喷射间距设定为适合喷射分辨率的间距。另外,由于喷射到喷射目标介质上的液滴在次扫描方向上的喷射间距能够在更宽的范围内变化,所以能够根据喷射目标介质上的喷射位置(喷射图案)非常可靠地调节喷射间距。
优选固定器部件包括一对第一连杆部件,它平行于主扫描方向延伸,和一对第二连杆部件,它把一对第一连杆部件连接在一起。喷嘴头的两个端部可转动地连接到该对第一连杆部件上。
根据上述结构,能够使得喷嘴头可靠地在0到60度的范围内转动。另外,这个结构保证四杆连杆机构自身具有很高的精度,几乎没有制造误差。另外,喷嘴头两端可转动地连接到该对第一连杆部件上保证了在转动过程中喷嘴头组件和定位的精度可以保持在很高的水平,因此能够在图案形成中保持很高的精度。
优选固定器部件进一步包括在该对第二连杆部件的中间部分支撑该对第二连杆部件的转动枢轴,其中该对第二连杆部件被支撑着以绕转动枢轴转动。
根据这个结构,在喷嘴头中的多个喷嘴中最靠近喷嘴头基部的参考喷嘴定位在连接该对转动枢轴的直线上。由于这样的结构保证即使喷嘴头转动参考喷嘴的位置(在主扫描方向和次扫描方向上的位置)也不会改变,就能够简化计算转角和记录驱动数据的数据处理,从而增加了图案形成的精度。
优选喷嘴头在主扫描方向上以预定间距放置。根据这个结构,能够提供设有R、G、B喷嘴头的液滴喷射图案形成装置。液滴喷射图案形成装置可以制造滤色镜或为彩色有机EL显示器制造EL基底。
附图说明
图1是根据本发明一个实施例的液滴喷射图案形成装置的前视图;
图2是液滴喷射图案形成装置的平面图;
图3是液滴喷射图案形成装置的部分放大平面图;
图4是液滴喷射图案形成装置的部分放大前视图;
图5是平面图,它示出了液滴喷射图案形成装置的玻璃基底、介质固定器移动装置和基底容器;
图6是液滴喷射图案形成装置的头部在提升位置时的视图;
图7是平面图,它示出了液滴喷射图案形成装置的一部分Z轴滑动件、喷嘴头固定器、转动驱动机构和编码器;
图8是沿图7线VIII-VIII的剖视图(部分剖开);
图9是喷嘴头固定器、转动驱动机构和编码器的部分剖开的纵向右侧视图;
图10是喷嘴头固定器的部分剖开的纵向左侧视图;
图11是沿图7线XI-XI的端视图(包括部分剖开的纵向部分);
图12是穿过基本部件的纵向剖视图,它处于喷嘴头固定器安装在支撑基底上的状态;
图13是穿过基本部件的纵向剖视图,它处于喷嘴头固定器从支撑基底上拆卸下来的状态;
图14是喷嘴头固定器的部分剖开横向平面图;
图15是喷嘴头固定器的后视图;
图16是喷嘴头固定器的纵向剖面侧视图;
图17是喷嘴头固定器的另一个纵向剖面侧视图;
图18是喷嘴头固定器的部分剖开纵向前视图;
图19是喷嘴头固定器的示意性平面图;
图20是引起第二连杆部件转动的转动驱动机构的基本部件的平面图;
图21是喷嘴头固定器的引导机构和移动机构的基本部件的横向剖面侧视图;
图22是喷嘴头固定器的平面图;
图23是喷嘴头固定器的基本部件的纵向剖面侧视图;
图24是示出喷嘴头内喷嘴间尺寸误差的视图;
图25是示出喷嘴间尺寸误差级别和中心误差的表;
图26是液体供应机构的侧视图;
图27(a)是四杆连杆机构和喷嘴头在初始位置状态的视图;
图27(b)是四杆连杆机构和喷嘴头在转动状态的视图;
图28是示出转动驱动机构、编码器和位置调节驱动机构的结构的视图;
图29(a)示出了R、G、和B点布置的一个例子;
图29(b)示出了R、G、和B点布置的另一个例子;
图29(c)示出了R、G、和B点布置的另一个例子;
图30是喷射监测机构结构的结构图;
图31示出了用于喷射监测的CCD相机内部的CCD成像区域;
图32示出了图31的液滴的一个图像和一个观察窗;
图33是基底容器上的玻璃基底和自动对齐调节机构的结构图;
图34是喷嘴头维护机构的透视图;
图35是示出玻璃基底和喷嘴头之间相对移动而在玻璃基底的多个图案形成区域中形成液滴喷射图案的视图;
图36是示出通过使得喷嘴头每次移动一次而形成图案的移动路径的视图;
图37是示出以交错形式移动喷嘴头从而形成图案的移动路径的视图;
图38是液滴喷射图案形成装置的控制***的框图;
图39是图38剩余的框图;
图40是对在玻璃基底上的喷射记录进行连续记录控制的流程图;
图41是连续记录控制所执行的记录准备过程的流程图;
图42是连续记录控制所执行的监测过程的流程图;
图43是图41的流程图的继续;
图44是连续记录控制所执行的原位置返回过程的流程图;
图45是连续记录控制所执行的等待位置返回过程的流程图;
图46是连续记录控制所执行的喷射监测过程的流程图;
图47是图46的喷射监测过程所执行的R头监测过程的流程图。
具体实施方式
下面参考附图描述本发明的一个实施例。应该注意这个实施例把本发明的应用与液滴喷射图案形成装置联系起来以制造用于有机EL(场致发光)显示屏中的EL基底(一个薄玻璃板,其上形成三种颜色(R、G和B)的光发射层)。
如图1所示,液滴喷射图案形成装置1设有基架2、平行六面体形的外壳3、介质固定器移动装置5、Z轴滑动机构6、喷嘴头固定器7、液体供应装置12和馈送输入器H。液滴喷射图案形成装置1进一步设有图2所示的监测/调节装置9和图38所示的控制装置13。如图6所示,喷嘴头固定器7设有头部43,并且多个用来喷射记录的喷嘴头8设在头部54中。喷嘴头8喷出多种颜色的液滴以在作为记录介质的玻璃基底4上形成点阵,这样就形成了发射多种预定颜色光的EL光发射层。下面将依次解释上述的元件。
如图1所示,外壳3形成在基架2上并且水平分隔板14(分隔件)在中间位置把外壳3的内部空间分成第一层的图案形成室15和第二层的维护室16。图案操作台120设在图案形成室15中,监测操作台44设在维护室16中。开孔部分14a(见图6)形成在分隔板14上给喷嘴头固定器7提供通道。上述喷射记录在第一层的图案形成室15内完成。为了使得腔室中的湿度和氧气浓度保持在预定水平以下,用压缩氮气来取代图案形成室15中的空气。另外,在第二层的维护室16内完成对喷嘴头8的监测和调节。应该注意只要分隔板14能够把图案形成室15和维护室16分开就可以,不必一定水平放置分隔板14。
图案形成室15的尺寸可以是1500×1500×500mm。在室5的基架2的上表面上放置着大理石基台17。支撑柱18从基台17的每个角部升起。
如图1和2所示,支撑柱18在左侧和右侧支撑着一对箱架37,箱架在维护室16的水平分隔板14上面,并且在前后方向(次扫描方向Y)上延伸。支撑架38架在箱架37之间。
现在描述介质固定器移动装置5。在图2双点划线示出的等待位置WP,介质固定器移动装置5接收支撑在馈送输入器H上的、并且由馈送输入器H从液滴喷射图案形成装置1的后面传递来的玻璃基底4,然后把基底4移动到预定的自动对齐开始位置,再在初始设定位置调节玻璃基底4的对齐。介质固定器移动装置5还在喷射记录的过程中独立地在X轴和Y轴方向(主扫描方向X和次扫描方向Y)移动玻璃基底4,并且把玻璃基底4移动到等待位置WP以在喷射记录后把它传送到馈送输入器H上。
如图5所示,介质固定器移动装置5设有介质传送机构24、基底容器21、基底提升机构23和角度调节装置35。介质传送机构24是能够在主扫描方向X和次扫描方向Y独立移动玻璃基底4的机构。介质传送机构24设有X轴滑动机构20、Y轴滑动机构19、X方向驱动部分26和Y方向驱动部分29。
如图6所示,Y轴滑动机构19设有安装在基台17上的Y方向引导件19a和可以沿着Y方向引导件19a在次扫描方向Y上移动的输出件19b。另外,X轴滑动机构20设有安装在基台17上的X方向引导件20a和可以沿着X方向引导件20a在主扫描方向X上移动的输出件20b。基底容器21设在这个输出件20b的顶部。玻璃基底4安装在基底容器21上。如图5所示,基底容器21能够绕销22转动。
如图5所示,Y方向驱动部分29设有Y轴编码器30和伺服电动机31,从而可以沿着Y方向引导件19a移动输出件19b。与之类似,X方向驱动部分26设有X轴编码器27和伺服电动机28,从而可以沿着X方向引导件20a移动输出件20b。这个结构使得安装在基底容器21上的玻璃基底4能够独立地在主扫描方向X上和次扫描方向Y上移动。当玻璃基底4相对于喷嘴头8在主扫描方向X和次扫描方向Y上移动时完成实际的喷射记录。
如图38所示,Y轴滑动机构19进一步设有Y轴线性标尺198,该标尺能够精确测量输出件19b的移动量。X轴滑动机构20进一步设有X轴线性标尺189,它能够精确测量输出件20b的移动量。
基底容器21的结构中包括合成树脂或烧结金属制成的多孔件。为了把基底4吸到基底容器21上,负压通过多孔件施加到安放在基底容器21上的玻璃基底4上。如图5所示,基底容器21在左右方向上比玻璃基底4宽。如下所述,在容器21的左侧和右侧与容器21整体形成着一对盘21a,它们用来容纳冲洗流体。设计基底提升机构23使它在送进和送出的过程中能够把玻璃基底4提升使得与基底容器21具有预定的一个较小距离。基底提升机构23设有四个提升杆23a和一个提升或降低这些提升杆23a的气缸(未示出)。
角度调节装置35设有凸轮件33和电动圆柱体34。凸轮件33通过摩擦与基底容器21的下表面接合。设计电动圆柱体34使它能够在主扫描方向X上移动凸轮件33一小段距离从而绕销22转动基底容器21。这种结构能够把安装在基底容器21上的介质传送机构24转动想要的角度α,从而校正介质传送机构24的定向。
下面描述自动对齐调节机构36。设计自动对齐调节机构36使它能够在初始设定位置自动移动玻璃基底4。如图33、35和38所示,在玻璃基底4的后沿侧的左角部和右角部印着较大的和较小的对齐标志AM1、AM2、AM3和AM4。自动对齐调节机构36使用这些对齐标志AM1到AM4得到与玻璃基底4的初始设定位置的偏离量,从而保证玻璃基底4放置在初始设定位置。自动对齐调节机构36具有前述的X轴和Y轴滑动机构20和19、角度调节装置35、示于图1的监测/调节台44、和示于图38的控制装置33。由于已经描述了X轴和Y轴滑动机构20和19以及角度调节装置35,所以就不重复描述了,下面描述其它的部件。
如图3所示,监测/调节台44设在维护室16中并且设有低放大率CCD相机32a和32b,高放大率相机32c和32d,X方向移动驱动机构149,Y方向移动驱动机构150。低放大率CCD相机32a和高放大率CCD相机32c安装在开口部分14a左侧的公共支撑板145上。设计CCD相机32a和32c分别对对齐标志AM1和AM3成像,对齐标志AM1和AM3位于设在分隔板14中的玻璃窗(图中未示出)下面。可以手动单独调节CCD相机32a和32c的焦距。如果玻璃基底4的厚度改变,可以利用气缸146调节CCD相机32a和CCD相机32c的垂直位置。
与之类似,低放大率CCD相机32b和高放大率CCD相机32d安装在开口部分14a右侧的公共支撑板147上。设计CCD相机32b和32d分别对对齐标志AM2和AM4成像,对齐标志AM2和AM4位于设在分隔板14中的玻璃窗(图中未示出)下面。可以手动单独调节CCD相机32b和32d的焦距。如果玻璃基底4的厚度改变,可以利用气缸148调节CCD相机32b和CCD相机32d的在高度方向的位置。
设计X方向移动驱动机构149和Y方向移动驱动机构150使得它们能够分别独立地在X方向和Y方向以较小的量移动支撑板147和CCD相机32b、32d。如果玻璃基底4的位置误差较大或者玻璃基底4的尺寸改变了,右侧的对齐标志AM2和AM4的位置在X和Y方向可能有很大变化。即使发生了这种情况,通过在X方向和Y方向以适当量移动CCD相机32b和32d,还是能够探测到对齐标志AM2和AM4。
现在详细描述利用自动对齐调节机构36对基底容器21上的玻璃基底4与初始设定位置对齐进行调节的方法。首先,低放大率CCD相机32a和32b对较大的对齐标志AM1和AM2成像并且将得到的图像信息输入到控制装置13。控制装置13用预定的控制程序处理并且分析输入的图像信息,从而得到在主扫描方向X和次扫描方向Y上偏离玻璃基底4初始设定位置的位移量ΔX和ΔY,以及相对于销22的角位移量Δα。然后控制装置13控制X轴和Y轴滑动机构20和19以及角度调节装置35以消除ΔX、ΔY和Δα这些位移量,这样就实现了玻璃基底4在初始设定位置的大致定位。
然后左右高放大率CCD相机32c和32d对较小的对齐标志AM3和AM4成像并且将得到的图像信息输入到控制装置13。与上述方式类似,控制装置13分析图像信息从而得到偏离玻璃基底4初始设定位置的位移量ΔX、ΔY以及Δα。然后控制装置13控制X轴和Y轴滑动机构20和19以及角度调节装置35以消除ΔX、ΔY和Δα这些位移量。这样就实现了玻璃基底4在初始设定位置的精确定位。
由于以这种方式提供了多个CCD相机32a到32d,这样就能够探测到安放在基底容器21上的玻璃基底4的位置,然后可以根据探测结果把玻璃基底4精确地放置在原始位置。
下面描述Z轴滑动机构6。Z轴滑动机构6升高和降低喷嘴头固定器7使得喷嘴头固定器7的头部43可以定位在图6所示的位置中,这些位置包括喷射位置(下部位置)DP,监测/调节位置(上部位置)UP和原位置HP,其中原位置HP比监测/调节位置UP略高。应该注意喷嘴头8的喷射记录是在喷射位置DP完成的。下面将描述的对头部43的监测和调节是在监测/调节位置UP完成的。原位置HP是喷嘴头固定器7的等待位置。
如图4所示,Z轴滑动机构6具有滑动箱39、能够被导入滑动箱39的输出件40、升高和降低输出件40的电动圆柱体41和电动圆柱体41的Z轴编码器42。滑动箱39固定在前述的支撑架38上。在输出件40的下端固定着一个头部组件连接台25。喷嘴头固定器7以可移动的方式连接到头部组件连接台25上。更具体地说,如图9所示,头部组件连接台25具有支撑板47。支撑板47利用多个螺栓48固定到输出件40的下端。喷嘴头固定器7用这个支撑板47支撑,这将在后面详细描述。
现在描述喷嘴头固定器7。喷嘴头固定器7设有图14所示的支架件46、四杆连杆机构49、一对转动枢轴50A和50B、三个头部固定器51R、51G和51B,两组示于图19中的引导机构52A和52B,和移动机构53A、53B。如图27(a)和27(b)所示,四杆连杆机构49能够绕转动枢轴50A和50B的中心转动。
图7到图12示出了喷嘴头固定器7安装在支撑板47上的状态。图13和14a示出了喷嘴头固定器7已经从支撑板47上移走的状态。图15到18示出了喷嘴头固定器7已经从支撑板47上移走的状态并且略去了支架件46。
现在顺序描述喷嘴头固定器7的各个部件。首先描述支架件46。如图14所示,支架件46具有在侧向延伸的主部46a,从主部46a的左端向前延伸的左臂部46b,和从主部46a的右端沿对角线向前延伸的右臂部46c。转动枢轴50A和50B分别支撑在左臂部46b和右臂部46c上。
一对具有相似结构的附属连接机构67设置在支架件46的左后部和右后部。附属连接机构67把支架件46可拆卸地连接到头部组件连接台25的支撑板47上。现在参考图12和13描述附属连接机构67的结构。如图12所示,通孔47b和通孔46d分别形成在支撑板47和支架件46上。滚珠护圈69a、轴承衬69b和防脱落固定环69c安装在通孔47b中以装配在其中。圆柱形底的金属配件68利用螺栓固定到与支撑板47的通孔47b对应的下端部分。安装的滚珠护圈支撑弹簧68a向上驱策滚珠护圈69a。滚珠护圈71a、轴承衬71b和防脱落固定环71c安装在通孔46d中以装配在其中。
销组件70具有销部件70a、包括阳螺纹的圆柱形止动件70b、螺母板70c、旋钮70d和固定螺钉70e。止动件70b安装在上半销部件70a的外周边上。止动件70b从顶部开始依次设有小直径部分701、阳螺纹部分702和凸缘状防脱落部分703。螺母板70c与阳螺纹部分配合。旋钮70d安装在小直径部分的外侧并且利用固定螺钉70e固定在上面。螺母板70c最后固定到支架件46上。
当喷嘴头固定器7要安装到支撑板47上时,支架件46的通孔46d已经与支撑板47的通孔47b大致对齐。并且转动销组件70的旋钮70d将销部件70a***通孔47b。喷嘴头固定器7相对于支撑板47精确定位。这时,滚珠护圈69a抵抗滚珠护圈支撑弹簧68a的弹力略微向下移动。然后喷嘴头固定器7利用一对螺栓45固定到支撑板47上。另一方面,当喷嘴头固定器7要从支撑板47上拆下时,先移去那对螺栓45,然后转动旋钮70d以将销部件70a从通孔47b中取出。因此,如图13所示,整个喷嘴头固定器7能够向前滑动并且与支撑板47分开。这时,利用滚珠护圈71a向上移动并且防脱落部分703与螺母板70c的接触防止销组件70与支架件46分开。
下面描述头部固定器51。如图7所示,所形成的头部固定器51R、51G和51B具有伸长的形状,并且在主扫描方向X以预定的间距彼此平行放置。每个头部固定器51的两端被支撑的形式使得它们能够通过一对第一连杆部件56A和56B绕垂直轴线转动。如图23所示,相应的喷嘴头8(8R、8G和8B)利用螺栓99通过间隔件98固定在头部固定器51的下表面上。这些头部固定器51、相应的喷嘴头8和间隔件98一起形成了头部主体500。在初始设定状态,头部固定器51平行于次扫描方向Y放置。
喷嘴头8R、8G和8B由陶瓷材料等具有耐溶剂性的材料形成,它们分别喷射红(R)、绿(G)和蓝(B)色的喷射液体。在这个实施例中,把溶解在溶剂中的EL光发射有机物质等有机物质的溶液用作喷射液体。如图24所示,每个喷嘴头8设有多个(如64个)小直径喷嘴55,它们以预定的喷嘴间距(如75dpi)在纵向排列成单行。每个喷嘴头8的喷嘴55从最远端(基端侧)按次序编号为1,2,...64。在这个实施例中,指定每个喷嘴头8的No.1喷嘴55为参考喷嘴。指定喷嘴头8R为参考喷嘴头。
起到参考喷嘴头作用的头部固定器51R不能在次扫描方向Y上移动。头部固定器51B和51G都能够在次扫描方向Y上移动。如图19所示,头部固定器51B和51G在次扫描方向Y上的移动通过引导机构52A和52B以及移动机构53A和53B完成。后面将描述这些引导机构52A和52B以及移动机构53A和53B。
现在描述四杆连杆机构49。四杆连杆机构49是相对于参考喷嘴8的参考喷嘴或它附近的中心转动头部固定器51(即喷嘴头8)的转动机构。
如图14所示,四杆连杆机构49设有一对以预定间距隔开、在前部和后部沿主扫描方向X延伸的一对第一连杆部件56A和56B,和沿次扫描方向Y延伸的一对第二连杆部件57A和57B。突出部分60形成在后侧的第一连杆部件56B上,它越过右侧的第二连杆部件57B伸出预定的长度。第一连杆部件56A、56B和第二连杆部件57A、57B通过四个连接部分61连接在一起,从而第二连杆部件57A和57B能够绕连接部分61的垂直轴转动。
下面描述这些连接部分61。由于这四个连接部分61具有相同的结构,这里只描述连接第一连杆部件56A和第二连杆部件57A的连接部分61。如图10和17所示,销部件62位于连接件56A的上表面。滚珠轴承衬63在垂直方向上设在形成在第二连杆部件57A端部的通孔中。销部件62穿过滚珠轴承衬63的内部并且利用垫片64、卷簧65和空心螺栓66来防止它滑落。
现在描述该对转动枢轴50A和50B。如图7所示,转动枢轴50A和50B是转动四杆连杆机构49的转动枢轴。每个转动枢轴50A和50B定位在第二连杆部件57A和57B的中间部分。在这个实施例中,转动枢轴50A和50B分别设在距第二连杆部件57A和57B的后端三分之一长度的地方。
如图28所示,喷嘴头8R的参考喷嘴(No.1喷嘴)位于直线BF上,直线BF穿过那对转动枢轴50A和50B的中心在主扫描方向X上延伸。这保证参考喷嘴头8R的参考喷嘴起到参考喷嘴8R的转动中心的作用。应该注意喷嘴头8G和8B的参考喷嘴可以放在直线BF上,或者如果需要的话,可以放置它们使得它们在次扫描方向Y上有非常小的距离。
现在首先描述转动枢轴50A。如图7所示,左侧的转动枢轴50A把第二连杆部件57A可转动地连接到支架件46的左臂部分46b。如图10所示,垂直销部件75固定地竖立在第二连杆部件57A的上表面上。滚珠轴承衬76在垂直方向安装在支架件46的左臂部分46b的顶端部分。销部件75以紧密配合状态穿过滚珠轴承衬76。垫片77、卷簧78和空心螺栓79安装在销部件75的突出部分75a,突出部分75a从滚珠轴承衬76伸出以防止滚珠轴承衬76从销部件75上脱落。当要使四杆连杆机构49与支架件46分离时,通过移去空心螺栓79、卷簧78和垫片77,销部件75可以从滚珠轴承衬76上移去。
转动枢轴50B的结构与转动枢轴50A类似。转动枢轴50B把第二连杆部件57B连接到支架件46的右臂部分46c。如图9和16所示,另一个垂直销部件75固定地竖立在第二连杆部件57B上。另一个滚珠轴承衬76竖立在右臂部分46c的前沿部分。垫片77、卷簧78和空心螺栓79安装在销部件75的突出部分,销部件75以紧密配合状态穿过滚珠轴承衬76。
下面描述示于图9的转动驱动机构80。设计转动驱动机构80给转动枢轴50B施加转动力矩以相对于转动枢轴50A和50B转动四杆连杆机构49。转动驱动机构80具有带有减速器的电动机82、杆件83、转动力输入轴84和电动机支撑板85。具有减速器的电动机82绕与转动枢轴50B一样的中心转动(见图7)。电动机支撑板85固定到Z轴滑动机构6的输出件40上。具有减速器的电动机82以面朝上的形式安装在这个电动机支撑板85上。
如图16所示,转动力输入轴84具有销部件87,销部件87在垂直方向上设在第二连杆部件57B上的转动枢轴50B的前面,还具有间隔件88、滚珠轴承衬89和空心螺栓90。如图20所示,杆件83具有从左侧和右侧支撑滚珠轴承衬89的主杆体83a和弹性板83b。如图8和11所示,主杆体83a的后部位置利用螺栓91固定到具有减速器的电动机82的输出轴82a上。弹性板83b利用螺栓92固定到主杆体83a的后部。
如图20所示,当具有减速器的电动机82的输出轴82a转动时,杆件83与转动力输入轴84一起绕输出轴82a转动。这时,由于转动力输入轴84如上所述固定到第二连杆部件57B上,第二连杆部件57B绕输出轴82a转动一个角度,这个角度与输出轴82a的转动角一样。这样第二连杆部件57A和57B以及三个头部固定器51转动同样的角度。在这个实施例中,第二连杆部件57A和57B可以相对于次扫描方向Y转动0到60度之间的任意想要角度。
现在描述示于图7的倾斜角探测编码器81。倾斜角探测编码器81是高精度转动编码器,它探测转动驱动机构80所转动的四杆连杆机构49相对于次扫描方向Y的转动角θ。如图7所示,编码器81的输入轴81a以面朝上的形式固定到支撑板47的延伸部分47a上。输入轴81a的轴心位于连接转动枢轴50A和50B轴心的直线BF上。臂95固定在输入轴81a上。辊95a绕臂95的前端部分转动。弹性件93在图7的逆时针方向弹性地挤压臂95,从而如图19所示,辊95a与第一连杆部件56B的突出部分60的右端表面弹性接触。图7中用虚线示出的支撑板47的止动槽96是当移走喷嘴头固定器7时把臂95保持在适当位置的止动槽。构造止动槽96使得当喷嘴头固定器7连接到支撑板47上时止动槽96能够防止喷嘴头固定器7与臂95相互干涉。
当四杆连杆机构49在图27(b)的顺时针方向绕转动枢轴50A和50B转动时,第一连杆部件56B移动到右侧。因此处于初始状态的、在次扫描方向Y延伸的、示于图27(a)中的臂95与第二连杆部件57A、57B平行地转动,如图27(b)所示。这个结构能够利用编码器81精确测量四杆连杆机构49的转角θ。
因此,如果在控制装置13控制具有减速器的电动机82时探测到的转角θ反馈回来,就能够得到任意想要的转角θ。如下所述,根据图案形成的预定分辨率R来确定想要的转角θ。
现在描述在次扫描方向Y上引导头部固定器51B和51G的引导机构52A和52B。应该注意由于引导机构52A和52B的结构相同,这里只描述引导机构52A,而略去了对引导机构52B的描述。设计引导机构52A来支撑头部固定器51B(喷嘴头8B)以移动它相对于第一连杆部件56A和56B与次扫描方向Y平行。如图21所示,引导机构52A具有前端引导机构100和后端引导机构101。
首先描述前端引导机构100。如图23所示,辊部件102A安装到头部固定器51的下表面从而能够绕垂直轴、支撑轴107A转动。如图16和21所示,凹陷结构103A形成在连接件56A的上表面,其中容纳着辊部件102A和压力件105A。如图21所示,凹陷结构103A的右侧表面形成了引导表面104A。压力件105A被支撑在连接件56A中使得压力件105A能够绕转轴105a转动。压力卷簧106A驱策压力件105A的一端使它顺时针转动。压力件105A的另一端与辊部件102A接触,把辊部件102A压到引导表面104A上。
现在描述后端引导机构101。后端引导机构101具有与前端引导机构100类似的结构。如图21所示,后端引导机构101具有辊部件102B、形成在第一连杆部件56B中的凹陷结构103B,凹陷结构103B的引导表面104B,压力件105B和压力卷簧106B。压力件105B被可转动地支撑,压力卷簧106B驱策压力件105B。这个结构使得辊部件102B被向后、向右压到引导表面104B上,从而与轴杆108接触。
设在头部固定器51R各个端部的一对辊部件102A和102B分别配合到第一连杆部件56A和56B的引导孔中,它防止头部固定器51R在次扫描方向Y上移动。
现在描述移动机构53A和53B。移动机构53A和53B是在次扫描方向Y上移动头部固定器51B和51C一小段距离的移动机构。由于移动机构53A和53B具有同样的结构,这里只描述移动机构53B。如图15所示,托架112固定在第一连杆部件56B的后表面。移动机构53B安装到托架112上。如图21所示,移动机构53B设有设在它前端部分的轴杆108,在它的后端部分设有输入部分114,还设有转动控制部分115。轴杆108部分地伸入到凹陷结构103B中。如上所述,轴杆108的前端从后面与辊部件102接触。输入部分114接收到下述位置调节驱动机构113的转动力,从而输入部分114转动。
当输入部分114在预定方向转动时,轴杆108向前移动。这时辊部件102B抵抗卷簧106B的压力向前移动。同时辊部件102A也在凹陷结构103A中向前移动。因此整个头部固定器51B向前移动。另一方面,当输入部分114在相反方向转动时,轴杆108向后移动从而压力卷簧106A和106B使得辊部件102B随着轴杆108的前端向后移动。因此整个头部固定器51B向后移动。如上所述,轴杆108可以在前后方向上移动一小段距离,这个距离正比于在与转动方向对应的预定方向上输入部分114的转动角(),所以可以在次扫描方向Y上调节头部固定器51B的位置。
另外,由于辊部件102A和102B随着对应的引导表面104A和104B前后移动,如图27(a)和27(b)所示,无论四杆连杆机构49怎样转动,头部固定器51B可以平行于次扫描方向Y移动。注意在输入部分114上的摩擦控制转动控制部分115以保证在打印过程中轴杆108不会自由转动。
现在参考图7、图16和图18描述包括头部固定器51的结构。如图7所示,压板58A和58B设置在三个头部固定器51的上表面,并且以可拆卸的形式通过多个螺栓97连接到第一连杆部件56A和56B上。如图18所示,间隔件59放置在压板58A、58B和第一连杆部件56A、56B之间,并且在相邻头部固定器51之间。每个间隔件59用多个螺栓97固定。由于形成的间隔件59比头部固定器51厚大约5μm,如图23所示,在头部固定器51和压板58A和58B之间形成了大约5μm间隙。这个间隙允许每个头部固定器51的两个端部相对于该对第一连杆部件56A和56B转动,因此如上所述在次扫描方向Y上移动每个头部固定器51。
如图23所示,这时,形成的支撑轴107A和107B从头部固定器51的上表面向上伸出。凹陷结构109A和109B形成在压板58A和58B的下表面中。支撑轴107A和107B的突出部分107a容纳在凹陷结构109A和109B中。压力卷簧110和弹簧容器罩111安装在每个突出部分107a(见图22)中。压力卷簧110的力向下驱策头部固定器51。因此,头部固定器51的下表面与第一连杆部件56A和56B的上表面接触。另一方面,辊部件102A和102B如图16所示与凹陷结构103A和103B的基底表面接触。因此,相对于第一连杆部件56A和56B精确设定头部固定器51在高度方向的位置。并且在垂直方向上定位喷嘴55。
下面描述驱动移动机构53A和53B的位置调节驱动机构113。如上所述,位置调节驱动机构113是使得头部固定器51B和51G在次扫描方向Y移动的机构。并且如图2和3所示,位置调节驱动机构113放置在第二层维护室16中开孔部分14a的后侧。
如图3所示,位置调节驱动机构113设有包括气缸的Y方向驱动机构116、包括气缸的X方向驱动机构117和伺服电动机118。设计Y方向驱动机构116来驱动X方向驱动机构117在次扫描方向Y上移动。设计X方向驱动机构117来驱动伺服电动机118在X方向移动。伺服电动机118具有面向前放置的输出部分119。设计输出部分119把电动机驱动力传递到移动机构53A和53B的输入部分114。下面描述位置调节驱动机构113所引起的头部固定器51B和51G在次扫描方向Y上的平行移动。
首先当已经使用Z轴滑动机构6把喷嘴头固定器7设定在监测/调节位置UP时,伺服电动机118侧向移动来调节要与移动机构53A和53B的输入部分114同心的输出部分119的位置。然后用Y方向驱动机构116向前移动伺服电动机118使得输出部分119与输入部分114配合。通过输出部分119传递到输入部分114的电动机驱动力转动输入部分114,使得头部固定器51B和51G以前述方式在次扫描方向Y上移动。
在图29(a)到29(c)示出了R、G、B点的喷涂示例,它们在EL发射光层中形成了一组像素。在图29(a)示出的示例中,G点或B点相对于R点在次扫描方向Y偏移。在图29(b)和29(c)示出的另外示例中,G点和B点相对于R点在次扫描方向Y偏移。如上所述,通过在次扫描方向Y独立调节头部固定器51B和51G的位置可以得到这些点的喷涂。
下面描述第二层维护室16及其内部的装置。在维护室16中,喷射监测机构121监测喷嘴头8R、8G、8B的多个喷嘴55的喷射状态。完成了对喷嘴头固定器7的维护。
维护室16的尺寸例如为1500×1500×700mm。在维护室16中放置着大部分Z轴滑动机构6、位置调节驱动机构113、一部分自动对齐调节机构36和监测/调节装置9。监测/调节装置9是监测和维护头部固定器51的喷嘴头8的装置。如图2所示,监测/调节装置9设有头部维护机构123和喷射监测机构121。
头部维护机构123设在维护室16中比开孔部分14a略微靠前的位置。
如图34所示,头部维护机构123具有电动圆柱体124、吸墨水纸馈送机构125、馈纸驱动机构126、加压清洗盘127、盖帽用的橡胶垫128和可移动台129。
吸墨水纸馈送机构125、盘127和橡胶垫128整体地支撑在可移动台129上。电动圆柱体124使得可移动台129能够在次扫描方向Y上被驱动,从而在监测/调节位置UP有选择地把吸墨水纸馈送机构125、盘127和橡胶垫128放置在喷嘴头8下面。
设计吸墨水纸馈送机构125以执行打印过程中的擦拭处理,从而用吸墨水纸136吸干留在喷嘴头8喷嘴表面上的液滴,这样在下述的加压清洗后把喷嘴55的新月液面恢复到正常状态。吸墨水纸馈送机构125设有驱动辊130、后张力机构132、从动辊133和134和支撑板135。驱动辊130是由馈纸驱动机构126驱动的单向离合型驱动辊。后张力机构132设有从动辊131a和皮带131b。皮带131b安装在驱动辊130和从动辊131a之间。吸墨水纸136设在从动辊131a上。利用转动驱动辊130吸墨水纸136通过从动辊133和134包绕驱动辊130。这时后张力机构132在与包绕方向相反的方向上在吸墨水纸136上施加了恒定张力。
馈纸驱动机构126设有伺服电动机137、X方向滑动机构138和用来滑动驱动的气缸139。具有高摩擦系数的橡胶件(图中未示出)环绕地固定到伺服电动机137的输出轴137a上。X方向滑动机构138在主扫描方向X以自由滑动的方式支撑伺服电动机137。设计用来滑动驱动的气缸139使它驱动伺服电动机137的输出轴137a以在预定的驱动力传递位置和非传递位置之间移动。
电动圆柱体124把可移动台129移动到预定的吸墨水纸包绕位置。同时用来滑动驱动的气缸139把伺服电动机137的输出轴137a转换到驱动力传递位置。伺服电动机137的转动驱动力传递到驱动辊130的输入轴上以在图34箭头示出的方向上馈送吸墨水纸136。
加压清洗盘127设有三个凹陷结构127B、127G和127R。喷嘴头8相对于加压清洗盘127移动到从上面面对这些凹陷结构127B、127G和127R的位置。通过给每个喷嘴头8B、8G和8R提供冲洗液体11和从喷嘴向凹陷结构127B、127G和127R喷射液体来清洗喷嘴55。在喷射监测的过程中,对每个喷嘴头8完成从喷嘴55的喷射。利用这种结构在喷射监测机构121的喷射监测过程中能够回收从喷嘴头8喷射到凹陷结构127B、127G和127R中的液滴而不会溅到周围环境中。
用来盖帽的橡胶垫128具有三个橡胶垫128B、128G和128R。相应的橡胶垫128B、128G和128R遮盖住相应的喷嘴头8B、8G和8R,从而防止在液滴喷射图案形成装置1闲置时喷嘴55变干。
下面描述喷射监测机构121。如图2所示,喷射监测机构121放置在第二层维护室16中,它在头部维护机构123附近开孔部分14a左右侧互相对称的位置。
如图3和30所示,喷射监测机构121具有成像位置转换机构141a和141b,对液滴的喷射状态成像的CCD相机142,和照亮CCD相机142的闪光照明灯143。
CCD相机142放在左侧,闪光照明灯143放在右侧。成像位置转换机构141a设有Y方向驱动机构140a以在次扫描方向Y上移动CCD相机142,还设有上部和下部两级气缸144以在主扫描方向X上的分两级移动CCD相机142。成像位置转换机构141b设有Y方向驱动机构140b以在次扫描方向Y上移动闪光照明灯143,还设有与上述气缸144类似的上部和下部两级气缸144。
现在描述详细的喷射监测方法。对每个喷嘴头8进行对三个喷嘴头8B、8G和8R的喷射状态的监测。由于在每个喷嘴头8中形成了64个喷嘴55,对每组喷嘴进行喷射监测,例如一组中可以具有16个喷嘴,一组中具有喷嘴No.1到No.16,另一组中具有喷嘴No.17到No.32。换言之,CCD相机142和闪光照明灯143设置在次扫描方向Y中的初始位置。然后监测第一组喷嘴No.1到No.16这16个喷嘴的喷射状态。随后Y方向驱动机构140a和140b把CCD相机142和闪光照明灯143向前移动16个喷嘴的距离,从而监测第二组喷嘴,即喷嘴No.17到No.32的喷射状态。以类似的方式监测第三和第四组喷嘴的喷射。
为了保证在这期间以同样的条件完成对喷嘴头8R、8G和8B的喷嘴55的喷射监测,CCD相机142和闪光照明灯143之间的距离总是保持恒定并且总是在CCD相机142和闪光照明灯143之间的中间位置喷射和成像液滴。所以根据正在被监测的三个喷嘴头8R、8G和8B中的那一个可以在主扫描方向X上在三级中转换CCD相机142和闪光照明灯143的位置。下面描述这个位置转换。
也就是说,当监测喷嘴头8R时,左侧的成像位置转换机构141a的两级气缸144延伸到最大位置处,而右侧的成像位置转换机构141b的两级气缸144被最大程度地压缩。当监测喷嘴头8G时,左侧的成像位置转换机构141a的两级气缸144中的一个收缩,而右侧的成像位置转换机构141b的两级气缸144中的一个延伸。另外,当监测喷嘴头8B时,左侧的成像位置转换机构141a的两级气缸144被最大程度地压缩,而右侧的成像位置转换机构141b的两级气缸144延伸到最大位置处。
由于设有Y方向驱动机构140a和140b以及成像位置转换机构141a和141b,CCD相机142和闪光照明灯143可以以这种方式在主扫描方向X或次扫描方向Y移动,从多个喷嘴头8的多个喷嘴55的喷射可以依次可靠地实现。由于能够在CCD相机142和闪光照明灯143相对于将要监测的喷嘴头8的相对位置总是保持恒定的状态下完成成像,可以增加喷射探测的可靠性。
下面描述确定喷嘴55的喷射质量的喷射监测技术。如图31所示,在CCD相机142的照相区域PA(大约6.5mm×5mm)内的次扫描方向Y上以等恒定间距设定与16个喷嘴55对应的16个观察窗151。每个观察窗151设定在离相应喷嘴55下端向下大约1.5mm的位置。如图32所示,观察窗151为长方形,长60像素,宽10像素。
例如液滴以大约7m/s的速率从正在监测的喷嘴组的16个喷嘴55的每个喷嘴中喷射出来,并且液滴通过观察窗151成像。假设CCD相机142的快门速度大约为1/10000秒。闪光发射时间大约为1μs。捕获的图像信号提供给控制装置13,然后再用预定的图像处理程序来处理。在图像处理过程中,例如,如果来自喷嘴8的大多数液滴在观察窗151内,那么就确定出状态是正常的,如果不是这样,那么就是异常的。在图31给出的示例中,来自喷嘴No.1到No.7、No.9、No.10和No.12到No.16的液滴在观察窗151内。另一方面,来自喷嘴No.8和No.11的液滴不在观察窗151内。以下一些因素被认为是喷射异常的原因,如异常喷射速率、失败的喷射或者异物的积聚(主要是EL聚合体的临时粘附)。
这时,CCD相机142对从多个喷嘴55喷射出的液滴成像,并且通过处理和确定图像数据能够以简单的方式确定喷射的质量。由于起到图像处理作用的、用来监测的控制装置13能够自动完成这个确定,因此能够有效地执行喷射监测。
由于在喷嘴头固定器7升高到监测/调节位置UP并且保持安装在Z轴滑动机构6的输出件40上时,能够完成喷射监测,因此在向玻璃基底4上进行喷射处理的暂停过程中可以实施喷射监测。所以更进一步提高液滴喷射图案形成装置1的操作效率。
现在描述对以各种记录分辨率在玻璃基底4上形成R、G和B点阵喷射记录的控制。注意这个控制由控制装置13的主控制单元173完成(见图38)。
由于喷嘴头8的喷嘴间距是前述的75dpi,喷嘴间距(喷嘴间距离)P为:P=(25.4/75)mm。如果三个头部固定器51和第二连杆部件57A和57B一起转动角度θ,在次扫描方向Y上的喷嘴间距Pθ是:Pθ=P×cosθ。如果角度θ在0到60度范围内变化,能够在P×(1.0)到P×(0.5)的范围内连续减小喷嘴间距。下面描述分辨率设定的特定例子。
a)对于75到150dpi的分辨率(见图35和36):
将喷嘴头8的角度θ设定为能够在次扫描方向Y上给出想要的dpi的角度,角度θ在0到60度范围内。并且对每次喷射记录在主扫描方向X上把玻璃基底4向后移动(在与次扫描方向Y相反的方向上)一个距离(64×P×cosθ)。例如对于75dpi,θ是0度,对于150dpi,θ是60度。
b)对于150到300dpi的分辨率(见图37):
可以通过交错的喷射记录来实现分辨率为150dpi的喷射记录,利用交错的喷射记录可以在以75dpi分辨率的喷射记录后如图中虚线所示只移动头部固定器51半个间距。把喷嘴头8的转角θ设定为能够在次扫描方向Y上实现想要dpi一半的dpi的角度,并且和上面一样转角在0到60度范围内。当在主扫描方向X上完成一次喷射记录后,略微向后移动玻璃基底0.5×P×cosθ并且完成另一次喷射记录。然后向后移动玻璃基底63.5×P×cosθ。例如对于150dpi,θ是0度,对于300dpi,θ是60度。
c)对于37.5到75dpi的分辨率:
把喷嘴头8的转角θ设定为能够在次扫描方向Y上给出想要dpi两倍的dpi的角度,并且角度在0到60度之间。使用编号为奇数的喷嘴No.1、No.3、No.5...在主扫描方向X上进行一次喷射记录,然后基底退后64×P×cosθ。例如对于37.5dpi,θ是0度,对于75dpi,θ是60度。
以这种形式,利用转动驱动机构80,根据任意的喷射分辨率在0到60度范围内控制喷嘴头8的转角θ。注意应用更加详细的交错能够执行225到450dpi、300到600dpi、或任意其它分辨率的喷射记录。
现在描述利用转角θ校正喷嘴头8喷嘴间距误差的校正控制。这个控制利用控制装置13的主控制单元173实现。由于根据喷嘴头8的级别来完成校正控制,因此首先描述喷嘴头8的级别。
如图24所示,如果在喷嘴头8的前后端喷嘴之间的实际尺寸是L1,而喷嘴间的理论尺寸是L0,那么它们之间的误差ΔL是:ΔL=(L1-L0)。因此,如果喷嘴数是n,喷嘴间距误差ΔP是:ΔP=ΔL(n-1)。一般来讲很少有多个喷嘴头8的喷嘴间距误差ΔP都是一样的情况。在液滴喷射图案形成装置1的制造过程中,实际的喷嘴间尺寸L1是对大量已经事先准备好的喷嘴头8测量出来的,并且如图25所示,根据测量的尺寸给喷嘴头8赋予1、2、...5等5个级别。当安装在一个喷嘴头固定器7中的三个喷嘴头8R、8G和8B是具有相同级别的喷嘴头8时,多个喷嘴头8的喷嘴间距误差ΔP是接近的。另外,给喷嘴头8赋予这样的级别也便于管理大量的喷嘴头8。
现在描述校正与喷嘴头8的级别对应的转角θ的详细校正控制。如果相邻喷嘴间距(设定的理论值)是P0并且喷嘴数目是n,那么L0表示为:L0=P0×(n-1)。喷嘴间距(实际测量值)P1可以利用实际喷嘴间尺寸L1、理论喷嘴间尺寸L0和喷嘴数目n表示为:
P1=L1/(n-1)=(ΔL+L0)/(n-1)
={ΔL+P0×(n-1)}/(n-1)
=ΔL/(n-1)+P0
如果记录图案在次扫描方向Y的分辨率是R并且使用转角θ,在次扫描方向Y的表观喷嘴间距PY为:PY=P1×cosθ。因此具有下面的关系:
PY=25.4/R=P1×cosθ
=[ΔL/(n-1)+P0]×cosθ
θ=cos-1(25.4/R)/[ΔL/(n-1)+P0]
换言之,理论上能够根据分辨率R计算转角θ。但是,由于存在喷嘴间距误差ΔP,不能从上述的方程得到想要的分辨率R。这时加上另外一个与喷嘴间距误差ΔP对应的转角Δθ能够基本消除喷嘴间距误差ΔP所引起的在喷射记录中的误差,并且可以据此增加形成图案的精度。换言之,如果喷嘴间距误差ΔP是正值,通过增加转角θ,如果喷嘴间距误差ΔP是负值,通过减少转角θ能够校正喷嘴间距误差ΔP以达到想要的分辨率R。
因此,如果得到了分辨率R和喷嘴间距误差ΔP,就能够计算实际的转角θ`(θ+Δθ)。在这个实施例中,利用图25所示的、针对每个级别的中心误差(+10,+5,0,-5,-10μm)得到角度Δθ。从角度Δθ得到中心误差通常能够得到精确的校正。由于在这个实施例中使用了具有相同级别的喷嘴头8,所以能够增加转角θ的校正精度。注意中心误差的值位于每个级别的喷嘴间尺寸误差ΔL的上限和下限之间。如果多个喷嘴头8的喷嘴间距误差ΔP都一样的话,在计算角度Δθ的方法中可以直接使用喷嘴间距误差ΔP来代替中心值。
注意当计算转动角度θ时,可以事先把校正处理程序储存在控制装置13中,校正处理程序使用与级别1到5的中心误差相对应的中心误差来校正转动角度θ。应该注意可以用相邻喷嘴间距误差(换言之,喷嘴间尺寸误差ΔL的值除以喷嘴间距离的数目)来代替喷嘴间尺寸误差ΔL。
上述方程能够通过转动转角θ来消除喷嘴间距误差ΔP,其中θ的范围满足条件0≤θ≤60°,或者,0.5≤cosθ≤1。但是应该注意初始θ=0°在P1×cosθ=25.4/R=P0时是合理的。但是,如果实际喷嘴间尺寸L1短一些的话,P1≤P0并且cosθ≥1,所以P1×cosθ=25.4/R=P0不能得到满足。另外,初始θ=60°在25.4/R=P0/2时应该是合理的。但是,如果实际喷嘴间尺寸L1长一些的话,P0≤P1并且cosθ≤0.5,所以25.4/R=P0/2=P1×cosθ不能得到满足。这时通过使把转动角度θ返回到0°并且***交错步骤能够完成喷射记录。
现在描述液体供应机构12。如图2所示,液体供应机构12设在外壳3的侧表面。如图26所示,液体供应机构12设有三个液体容器152R、152G和152B,一个废液回收容器153,和一个洗涤溶剂容器154。所以这些都可以容纳在手套式操作箱172内并且可以通过箱口(图中未示出)更换它们。
形成EL光发射层的R、G、B三种颜色喷射液体10分别容纳在液体容器152R、152G和152B中。液体容器152R、152G和152B中的喷射液体10通过阀门单元155提供给每个喷嘴头8R、8G和8B,然后作为液滴从多个喷嘴55中喷射出来。注意如下所述液体容器152R、152G和152B随着Z轴滑动机构6的升高和降低而升高和降低。
用来洗涤喷嘴头8的洗涤溶剂(冲洗液体)11容纳在洗涤溶剂容器154内。当洗涤喷嘴头8时,从洗涤溶剂容器154通过阀门单元155把冲洗液体11提供给喷嘴头8R、8G和8B以从多个喷嘴55来执行加压清洗。利用前述的头部维护机构123执行这个加压清洗。换言之,管(图中未示出)连接示于图34的加压清洗盘127的凹陷结构127B、127G和127R,并且利用负压通过管抽吸废液。这样回收的废液通过示于图26的阀门单元155回收到废液回收容器153中。注意利用真空泵或喷射器(图中未示出)产生的这个负压和它的排气释放到设备的有机排气管中。
管156连接废液回收容器153,并且废液回收容器153通过管156连接图外的喷雾分离桶。液体容器152R、152G和152B以及洗涤溶剂容器154分别通过管157、158、159和160以及阀门单元155连接压缩氮气管线。
现在描述随着Z轴滑动机构6的升高和降低来升高和降低液体容器152R、152G和152B的机构。如图26所示,液体供应机构12进一步设有支撑架161,可移动架(支撑台)162、液体容器提升机构163和三个液体表面位置维护机构166。可移动架162以在垂直方向可移动的形式连接到支撑架161上。液体容器提升机构163具有带有金属波纹管的电动圆柱体164。电动圆柱体164的杆164a的顶端连接到可移动架162上。利用可移动架162沿着支撑架161的向上和向下移动,电动圆柱体164的升高和降低与Z轴滑动机构6的升高和降低联系起来。这可以保证可移动架162和喷嘴头8R、8G和8B之间的高度关系为恒定。
液面位置维护机构166跟随液体容器152R、152G和152B内液体的消耗并且把它设计成能够保证152R、152G和152B每个液体容器内的液体表面高度保持在参考高度,其中参考高度比喷嘴55的位置低预定的距离(如50mm)。如图26所示,每个液面位置维护机构166设有垂直放置的圆柱形外壳168、轴形件169、起到弹性件作用的压缩卷簧170、套管171和固定相应液体容器152R、152G和152B的固定器165R、165G和165B。
凸缘168a形成在外壳168的上端部分,所以凸缘168a可拆卸地连接到可移动架162上。轴形件169整体安装在外壳168的内部并且它的上端部分连接相应的固定器165。套管171由滚珠花键形成并且通过施压进入外壳168。压缩卷簧170***外壳168、轴形件169和套管171环绕的环形空间内以弹性支撑液体容器152和固定器165。根据这个结构,当由于液体的消耗液面降低时,液体容器152内的液体重量降低相同的量,压缩卷簧170的弹性力把相应的液体固定器165和液体容器152向上升高与减轻对应的量,并且液面被校正到相对于喷嘴头8恒定的高度位置。
液体容器提升机构163的结构使得即使头部43升高或降低时它也能稳定喷嘴头8中的液压。这个结构能够可靠地防止液体从喷嘴头8中泄露出来,并且能够防止喷嘴头8内的液体的反向流动,还能稳定液滴的喷射。另外,由于不必提供液面传感器,可以简化结构。
给每个液面位置维护机构166还提供了闭锁机构167。闭锁机构167是保证在可移动架162的垂直运动过程中液体容器152和固定器165不会由于压缩卷簧170的弹性而产生垂直运动的机构。每个液面位置维护机构166具有一个小气缸,气缸具有杆(图中未示出)和固定到杆顶端部分的闭锁垫,气缸的主体在侧向固定到外壳168上半部分的侧壁上。杆的顶端部分伸入外壳168的内部从而为了闭锁闭锁垫能够压紧轴形件169。
下面参考图38和39描述包括液滴喷射图案形成装置1的控制装置13的控制***。注意控制装置13被设计成能够控制液滴喷射图案形成装置1的不同装置和机构。
控制装置13的主控制单元173具有包括CPU、ROM和RAM(图中未示出)的计算机。在ROM中储存了控制几个电动机、成像装置、闪光照明灯和液滴喷射图案形成装置1的其它部件的各个控制程序。主控制单元173连接着操作板174、外部存储设备175和电源176。在外部存储设备175中存储着要形成在玻璃基底4上的点阵图像数据、液滴喷射图案形成装置1的***常数和生成管理信息。
主控制单元173进一步通过输入输出线177连接数字信号处理器(DSP)178、多轴馈送脉冲发生器电路179、多轴馈送脉冲发生器电路180、输出寄存器181、输入寄存器182、对齐辊183、喷射监测控制器184和输入器界面185。DSP178利用信号输出电路186和驱动电路187连接喷嘴头8R、8G和8B。DSP178具有CPU、ROM和RAM。用来驱动喷嘴头8以执行喷射记录的喷射记录控制程序存储在ROM中。
驱动电路187具有脉冲发生电路,它产生驱动脉冲来驱动大量喷嘴驱动压电元件,并且连接到波形监测器188上以显示驱动脉冲。可以给喷嘴头8R、8G和8B设定公共的驱动脉冲波形,也可以独立地给每个喷嘴头8R、8G和8B设定驱动脉冲波形。
DSP178进一步连接多轴馈送脉冲发生器电路179、X轴线性标尺189和数据存储设备190。设计X轴线性标尺189能够精确探测X轴伺服电动机28驱动的X轴滑动机构20的移动量。X轴线性标尺189的探测信号通过放大器AMP提供给DSP178。
设计数据存储设备190使得它存储喷射记录数据和状态数据(给喷射设定定时的数据)。数据存储设备190存储已经从主控制单元173提供的数据,并且在喷射记录过程中把这些数据输出到DSP178。
驱动电路191到195和197连接到多轴馈送脉冲发生器电路179。驱动电路191根据编码器27的探测信号和X轴线性标尺189的探测信号控制对X轴伺服电动机28的驱动,其中编码器27包含在X轴伺服电动机28中。驱动电路192连接Y轴线性标尺198以精确探测Y轴滑动机构19在Y方向的移动量。驱动电路192根据编码器30的探测信号和Y轴线性标尺198的探测信号控制对Y轴伺服电动机31的驱动,其中编码器30包含在Y轴伺服电动机31中。根据这个结构,利用X轴和Y轴滑动机构20和19在主扫描方向X和次扫描方向Y精确移动玻璃基底4,以精确控制玻璃基底4在主扫描方向X和次扫描方向Y的位置。
设计驱动电路193使它驱动转动伺服电动机82,并且它连接用来放大编码器81的探测信号的放大器,编码器81探测转角θ。设计驱动电路194使它驱动位置调节伺服电动机118,电动机118调节头部固定器51G和51B在次扫描方向Y上的位置。设计驱动电路195使它驱动Z轴滑动伺服电动机410,电动机410使喷嘴头固定器7升高或降低。设计驱动电路197使它驱动电动圆柱体164的Z1轴滑动伺服电动机196,它使得可移动架162升高和降低。
多轴馈送脉冲发生器电路180连接驱动电路200、202、204、206和207。设计驱动电路200使它控制对对齐调节伺服电动机199的驱动以转动玻璃基底4,从而在初始设定位置调节玻璃基底4的对齐。设计驱动电路202和204使它们控制对伺服电动机201和伺服电动机203的驱动,电动机201用来移动喷射监测CCD相机,电动机203用来移动喷射监测闪光器。设计驱动电路206使它控制对移动维护机构的电动圆柱体124的伺服电动机205的驱动。设计驱动电路207使它控制伺服电动机137的驱动,电动机137用于使吸墨水纸包绕头部维护机构123。
如图39所示,输出寄存器181连接继电器电路209。继电器电路209控制多个设在液体供应机构12的阀门单元155中的螺线管阀门208。输入寄存器182通过界面(I/F)210连接多个探测开关。对齐控制器183连接四个CCD相机32a到32d、键盘和监视器211。设计喷射监测控制器184为喷射监测控制对CCD相机和闪光照明灯143的驱动。设计输入器界面185为传送基底把信号传递到外部输入器或从外部输入器接收信号。
现在参考图40到47描述对连续记录的控制,在记录中从三个喷嘴头8R、8G和8B喷射液滴从而把点阵喷射到玻璃基底4上,这样就在EL基底上产生诸如光发射层那样的图案。主控制单元173执行这个控制。在图中,用参考符号Si(I=1,2,3...)表示步骤。
如图40所示,通过操作手动开关打开液滴喷射图案形成装置1的主电源来开始连续记录控制。首先喷嘴头8与头部维护机构123的橡胶垫(帽)128R、128G和128B分开从而把喷嘴头8暴露出来(S1)。然后主控制单元173检查角度θ和喷嘴头固定器7的Z轴位置、基底容器21沿X轴和Y轴的位置以及相对于作为轴的销22的转角α;使得玻璃基底4把喷嘴头8移动到θ=0°、Z轴的原位置和X轴与Y轴的等待位置。把相对于销22的转角α设定为0°(S2)。
在S3,主控制单元173确定是否所有的玻璃基底4都已经完成了喷射记录(全部生成)。如果确定出已经完成了(S3为是),在S10执行监测过程A`,然后过程结束。这个监测过程A`将在下面描述。如果确定出还没有完成(83为否),主控制单元173确定工件是否与前一个一样(S4)。这里“一样的工件”是指所使用的玻璃基底4的类型一样(所有的尺寸、形状、和对齐标志一样),并且要在上面记录的点阵也一样。
如果确定出一样(S4为是),流程前进到S7。如果确定出不一样(S4为否),流程前进到S5,并且在RAM、数据存储设备190和主控制单元173中设定所有已经在主控制单元173中创建的、和喷射记录相关的数据(喷射相关数据)(S5)。根据包含在喷射相关数据中的G和B来进行调节过程。这里G和B是位置调节驱动机构113的转角。这导致头部固定器51G和51B的位置在次扫描方向Y变化了一个非常小的距离。换言之,如图29(c)所示,如果G点和B点相对于R点的位置在次扫描方向Y上变化了一个小量,可以在次扫描方向Y上移动头部固定器51G和51B。这个在次扫描方向Y上的移动可以通过把位置调节驱动机构113转动一个预定的角度来完成。当S6的调节过程结束时,流程前进到S7。
在S7,同时开始记录准备过程A和监测过程A`。在本说明书中,按顺序描述记录准备过程A和监测过程A`。
如图41所示,当记录准备过程A开始时,在等待位置WP使用馈送输入器H把玻璃基底4安放到基底容器21。然后把玻璃基底4吸到基底容器21上(S21)。然后利用X轴和Y轴滑动机构20和19把上面安放了玻璃基底4的基底容器21移动到自动对齐开始位置(S22)。利用Z轴滑动机构6得到校正移动量ΔX、ΔY和Δα,利用这些校正移动量来完成位置调节以把玻璃基底4设定在初始设定位置(S23)。X轴和Y轴滑动机构20和19移动玻璃基底4,使得参考喷嘴位于记录开始点(S24),并且过程结束。
当开始监测过程A`时,首先关闭一个标志(S31)并且完成喷射监测过程(S32)。喷射监测过程将在下面详细解释。把前一个玻璃基底的历史信息加入主控制单元173的存储器中(S33),并且主控制单元173确定是否完成了所有玻璃基底4的喷射记录(全部生成)(S34)。如果确定出已经完成了(S34为是),流程前进到S42。在S42,喷嘴头8R、8G和8B与要被遮盖住的橡胶垫128R、128G和128B接触,并且结束监测过程A`。
如果确定出不是所有的玻璃基底4都已经完成了喷射记录(S34为否),主控制单元173根据前面执行的喷射监测确定喷射状态是否正常(S35)。如果确定出正常(S35为是),把标志设定为开(S41)并且结束监测过程A`。如果确定出不正常(S35为否),主控制单元173确定出是否已经执行了预定次数的清洗过程(S36)。如果确定出还没有执行预定次数的清洗过程(S36为否),执行清洗过程和擦拭过程(S37),然后执行与S32类似的喷射监测过程(S38),并且流程前进到S35。
如果确定出已经执行了预定次数的清洗过程(S36为是),就确定出使用当前的喷嘴55进行记录是不可能的。于是主控制单元173就确定是否可能用替代喷嘴进行喷射记录(S39)。如果确定出是可能的(S39为是),标志设定为开(841),并且结束监测过程A`。如果确定出是不可能的(S39为否),执行连续记录暂停过程(S40),并且结束监测过程A`。这时保持把标志设定为关。
如图40所示,在S7后,主控制单元173确定记录准备过程A和监测过程A`是否已经完成(S8)。如果确定出过程A和A`中的一个或两个没有完成(S8为否),主控制单元173一直等到两个过程都结束。如果两个过程都结束了(S8为是),主控制单元173确定标志是否为开(S9)。如果确定出标志不是开(S9为否),过程结束。另一方面,如果确定出标志是开(S9为是),流程前进到图43的S51。
在S51,用Z轴滑动机构6把头部43降低到喷射位置DP(S51)。根据输入和设定的转角θ,如果需要把四杆连杆机构49转动到倾斜位置(S52)。如果前面的喷射监测结果是正常的(S53为是),在玻璃基底4相对于头部43在主扫描方向X和次扫描方向Y移动时,执行常规记录,即形成图案(S54),并且流程前进到S55。
另一方面,如果喷射记录的结果确定出喷射是不正常的(S53为否),执行跳跃喷嘴记录(S56)。这个跳跃喷嘴记录是这样一种记录状态,即暂停一些喷嘴55。跳跃喷嘴记录的一个例子是一个交错记录阶段,这时在一次记录中只操作奇数编号的喷嘴。然后产生替换喷嘴记录的数据并且将这些数据存储在数据存储设备190的页存储器或其它类型的寄存器中(S57)。然后执行替换喷嘴记录并且流程前进到S55。替换喷嘴记录是指当No.1和No.2喷嘴不可用时,不使用No.1和No.2喷嘴,而是再次使用No.3和No.4喷嘴在其上已经记录了的玻璃基底4上进行记录。
在S55,玻璃基底4的历史信息存储在主控制单元173的存储器中(S55),然后同时开始原位置返回过程和等待位置返回过程(S59)。如图44所示,原位置返回过程首先把四杆连杆机构49的转角θ返回到0度(S61),然后把喷嘴头固定器7升高到原位置HP(S62),随后过程结束。等待位置返回过程使得基底容器21和玻璃基底4移动到等待位置WP(S63),然后使用基底提升机构23把玻璃基底4从基底容器21提升一个预定的小距离,再把升高的基底4传递到馈送输入器H上(S64)。在S23中调节的ΔX、ΔY和Δα值返回到它们的原始值(S65)并且过程结束。
在图43中,在S59后,主控制单元173确定在S60中原位置返回过程和等待位置返回过程是否已经结束。如果至少一个过程还没有结束(S60为否),主控制单元173一直等到过程结束。如果两个过程都已经结束了(S60为是),流程返回图40的S3。
现在参考图46的流程图描述在S32和S38中执行的喷射监测过程。当这个过程开始时,主控制单元173首先确定喷嘴头固定器7是否在监测/调节位置UP(S70)。如果喷嘴头固定器7不在监测/调节位置UP(S70为否),Z轴滑动机构6把喷嘴头固定器7移动到监测/调节位置UP(S71),并且流程前进到S72。如果喷嘴头固定器7在监测/调节位置UP(S70为是),流程不执行S71直接前进到S72。在S72,主控制单元173确定头部维护机构123是否在监测位置(S72)。如果不在监测位置,(S72为否),把头部维护机构123移动到监测位置(S73)并且流程前进到S74。如果头部维护机构123在监测位置(S72为是),流程直接前进到S74。
在S74,执行喷嘴头8R的喷射监测并且在随后的S75和S76对喷嘴头8G和8B每一个执行喷射监测(S75和S76)。然后把CCD相机142和闪光照明灯143移动到它们的预定等待位置(S77),并且把头部维护机构123移动到它的预定等待位置(S78)。这样就完成了喷射监测过程。
现在描述在S74执行的喷嘴头8R的喷射监测。注意喷射监测对所有的喷嘴头8R、8G和8B是一样的,因此这里只根据图47的流程图描述喷嘴头8B的喷射监测,而略去在S75和S76中所执行的对喷嘴头8G和8B的喷射监测的描述。
在图47中,当过程开始时,首先把计数器i设定为1(S80),并且在成像位置寄存器中设定位置Ri(S81)。然后CCD相机142移动到位置Ri并且闪光照明灯143也移动到位置Ri(S82)。然后喷射指令输出到喷嘴头8R的第i组16个喷嘴55(S83)。因此,16个目标喷嘴15分别喷射液滴。注意位置Ri是与第i组喷嘴对应的位置。
然后启动定时器T1和定时器T2(S84)。在S85,主控制单元173确定定时器T1是否测量了预定时间α;如果定时器T1还没有测量这个时间(S85为否),主控制单元173一直等到定时器T1测量了时间α。如果定时器T1已经测量了这个时间(S85为是),主控制单元173发出操作CCD相机142快门的指令(S86)。然后主控制单元173确定定时器T2是否测量了预定时间β(S87)。如果定时器T2还没有测量这个时间(S87为否),主控制单元173一直等到定时器T2测量了时间β。如果定时器T2已经测量了这个时间(S87为是),主控制单元173发出操作闪光照明灯143的指令(S88)。因此对已经从16个喷嘴55喷射出的液滴成像。注意预定时间α和β是非常短的时间,它们几乎相等,所以几乎同时进行闪光照明和快门操作。
然后主控制单元173对捕获的液滴的图像的图像数据执行图像处理以确定喷射是否正常,并且把结果显示在操作板174的显示屏上(S89)。这时如果液滴的图像在CCD相机142的观察窗151内,就确定出每个喷嘴55是正常的。如果图像不在观察窗内就确定出喷嘴55是异常的(见图31和32)。然后主控制单元173给计数器i加1(S90)并且确定是否完成了对第四组喷嘴的成像(S91)。如果还没有完成(S91为否),流程返回S82并且按顺序执行同样的过程直到完成对第四组的成像。如果已经完成了对第四组的成像(S91为是),过程结束。
由于在执行记录准备过程A的过程中(移动玻璃基底4(S22)和执行自动对齐(S23))喷射监测机构121能够执行监测过程A`,所以能够以这种方式增加液滴喷射图案形成装置1的操作效率并且能够减少发生由于喷射误差所造成的有缺陷产品(有缺陷的EL基底)。
如上所述,本发明涉及设有四杆连杆机构49的喷嘴头固定器7,一对转动枢轴50A和50B,和头部固定器51,其中每个头部固定器51具有两个端部,它们以可转动的形式连接到一对第一连杆部件56A和56B上。因此喷嘴头固定器7可以很容易地连接到支撑喷嘴头固定器7的外部头部组件连接台25上或者从台25上拆卸下来。因此简化了在维修和更换时连接和拆卸喷嘴头8的结构,这样就保证了可维护性。
由于转动枢轴50A设在第二连杆部件57A和57B的中间部分,喷嘴头8的参考喷嘴(如No.1喷嘴)可以定位在连接转动枢轴50A和50B中心的直线BF上。即使转动喷嘴头8也不改变参考喷嘴的位置,或者即使喷嘴的位置变化了,变化量也很小。因此,不仅能够简化计算驱动数据和转角(它们引起玻璃基底4和喷嘴头8之间的相对移动)时的数据处理,还能够增加图案形成的精度。
另外,由于多个喷嘴头8R、8G和8B以预定间隔放置在主扫描方向X上,这些喷嘴头8R、8G和8B可以相对于次扫描方向Y倾斜,这样就可以为记录图案在次扫描方向Y上把喷射间距设定为想要的值,从而喷嘴头8R、8G和8B能够用来制造有机彩色EL显示器的滤色镜或EL基底。另外,由于这些喷嘴头8包括喷射多种不同颜色液滴以形成EL光发射层的喷嘴头,可以增加生产量并且能够生产彩色的EL基底。另外,使用喷嘴头固定器7还能够从这些喷嘴头8喷射和记录孔传输层。
注意如果技术的发展使得能够把孔传输层组分和EL光发射组分混合在单独一个液滴内,并且由此从单独一层得到光发射,就没有必要形成孔传输层了。
即使喷嘴头8G和8B相对于次扫描方向Y转动到倾斜的位置,喷嘴头8G和8B只在次扫描方向Y上移动,它们不在主扫描方向X上移动。因此,通过成对的辊部件102和引导表面104,喷嘴头8G和8B可以单独在次扫描方向Y上移动一个小量,这样就能够精确地、有效地并且自动地在次扫描方向Y上精细地调节喷嘴头8的位置。另外,由于不论喷嘴头8的转角是多少,该对辊部件102中的每个辊部件都相对于那对第一连杆部件56A和56B定位在预定位置上。因此,移动机构53A和53B可以安放在第一连杆部件56A和56B的预定位置上。并且可以在外部设有移动这些移动机构53A和53B的促动器,这样可以自动进行喷嘴头8在次扫描方向Y上的精细调节。
图案操作台120放置在第一层(下侧)的图案形成室15中,监测/调节台44放置在第二层(上侧)的维护室16中,并且头部43可以通过开孔部分14a在这两个台之间升高和降低。因此在停止喷射形成过程的待用期间,头部43可以移动到对喷嘴55执行喷射监测的监测/调节位置UP。在喷射监测后,头部43可以立刻移回喷射位置DP并且重新开始喷射形成过程。由于在喷射形成过程步骤中的过程停止期间可以执行喷射监测,能够减少发生有缺陷产品的可能并且提高了液滴喷射图案形成装置1的操作效率。由于两个台的放置具有在垂直方向的空间布局,能够增加液滴喷射图案形成装置1内的空间使用效率并且可以把装置制造得更紧凑,从安装花费的角度来看这样是有益的。另外,由于水平分隔板14基本上把装置1的上部和下部分开,即使可移动件移动到比水平分隔板14高的位置,灰尘和碎屑等异物不会落到固定在基底容器21上的玻璃基底4上,这样就能够防止产生有缺陷的产品。
能够通过把玻璃基底4安放并且固定在基底容器21上并且相对于喷嘴头8在主扫描方向X和次扫描方向Y上移动玻璃基底4来完成图案形成。
换言之,由于提供了介质传送机构24在主扫描方向X和次扫描方向Y上移动玻璃基底4,不必为了形成图案而在主扫描方向X或次扫描方向Y上移动头部43。所以可以简化Z轴滑动机构6升高和降低头部43的结构。因此能够在水平分隔板14下面的空间和上面的空间之间利用Z轴滑动机构6执行头部43位置的转换。通过提供喷射监测机构121以监测监测/调节台44上的多个喷嘴55的喷射状态和利用Z轴滑动机构6升高和降低头部43,能够有效地执行图案形成和喷射监测。
喷嘴头8固定在头部固定器51上。头部固定器51的两端和一对第一连杆部件56A、56B以可转动和可拆卸的形式用起到销作用的辊部件102连接在一起,并且这些辊部件102在垂直于喷嘴头8的头表面的方向上延伸。根据上述结构,可以简化头部主体500。从头部主体500能够平顺转动以及在次扫描方向Y上能够平顺移动的观点来看,优选使用可转动的辊部件102作为连接销。但是,不必把连接销限制为辊部件102。
头部主体500设有多个喷嘴头8,这些喷嘴头8可转动并且可拆卸地连接到四杆连杆机构49的第一连杆部件56A和56B上。因此这个四杆连杆机构49连接到头部组件连接台25上。因此喷射目标介质和头部主体500之间的距离可以非常精确地得以保持。这样能够以非常高的精度把RGB光发射层排列在基底上。由于在头部主体500和第一连杆部件56A和56B之间的可移动部分没有间隙产生,所以与传统丝网印刷方法相比,能够以更短的时间和更低的花费来制造EL显示器。
上面描述了本发明的实施例,但是本发明的范围内包括了各种改进和变化。因此除了上述的实施例外,还必须通过这里的权利要求来理解本发明的范围。
例如,上面描述的实施例主要是和给彩色EL显示器在玻璃基底上形成点阵的液滴喷射图案形成装置相关。但是本发明还有其它的应用。例如本发明用来在给彩色LCD制造滤色镜时、在制造大型喷墨打印机时、或者给其它应用中的液滴喷射图案形成装置形成点阵。
另外,导致四杆连杆机构49转动的电动机82的输出轴可以直接连接到转动枢轴50B的销部件75上以转动四杆连杆机构49。另外,可以使用用来向左精确移动和驱动前侧第一连杆部件56A的装置或用来向右移动和驱动后侧第一连杆部件56B的装置作为转动四杆连杆机构49的装置。可以使用电动圆柱体或螺线管促动器作为上述的装置。
探测四杆连杆机构49转角的装置不限于前述的编码器81。例如,可以与左侧转动枢轴50A共轴并且在其上方设有编码器以探测第二连杆部件57A的转角。与之类似,可以使用高精度伺服电动机作为电动机82来转动喷嘴头固定器。因此,根据来自这个伺服电动机的编码器的信号来探测四杆连杆机构49的倾斜转角。
有必要把四杆连杆机构49的一对转动枢轴50A和50B设在一对第二连杆部件57A和57B之间的中间位置(一对第一连杆部件56A和56B之间的中间位置)。但是,也可以把一对转动枢轴50A和50B设在一对第二连杆部件57A和57B在次扫描方向Y上的大致中心位置,并且在连接那对转动枢轴50A和50B的表面上的参考喷嘴头8R的喷嘴列的大致中心位置定位一个具有预定编号的喷嘴。
四杆连杆机构49的那对转动枢轴50A和50B主要设在固定在第二连杆部件57A和57B的销部件75上。但是,一对固定在支架件46侧的销部件可以以自由滑动的方式装配到形成在第二连杆部件57A和57B中的一对孔中。这时形成在第二连杆部件57A和57B中的那对孔起到那对转动枢轴的作用。
相对移动产生装置不限于介质传送机构24。能够在X和Y方向(主扫描方向X和次扫描方向Y)上、在喷嘴头和喷射目标介质之间产生相对移动的任何适当装置都可以用作相对移动产生装置。例如,可以在主扫描方向X上移动喷嘴头8,可以在次扫描方向Y上移动基底容器21。
另外,可以用与其它头部固定器51G、51B相同的方式支撑头部固定器51R使它能够在次扫描方向Y上自由移动。
喷嘴头固定器7不必是可拆卸的。也可以提供与液滴喷射图案形成装置1整体形成的喷嘴头固定器7。
Claims (24)
1.一个喷嘴头固定器(7),用来固定多个其中形成有多个喷嘴(55)的喷嘴头(500),多个喷嘴头以预定间隔放置在主扫描方向(X)上,喷嘴头固定器(7)包括:
一个四杆连杆机构(49),它具有一对第一连杆部件(56A和56B)和一对第二连杆部件(57A和57B),其中该对第一连杆部件(56A和56B)平行于主扫描方向(X)延伸,该对第二连杆部件(57A和57B)把所述对的第一连杆部件(56A和56B)连接在一起;和
移动装置(53A和53B),其在平行于与主扫描方向(X)垂直的次扫描方向(Y)上移动所述的多个喷嘴头中的至少一个喷嘴头;其中:
每个所述的喷嘴头(500)的两个端部连接到所述对第一连杆部件(56A和56B);和
所述的移动装置(53A和53B)相对于该对第一连杆部件(56A和56B)平行于次扫描方向(Y)移动所述至少一个所述的喷嘴头。
2.如权利要求1所述的喷嘴头固定器(7),其中:
在所述对第一连杆部件(56A和56B)中分别形成具有引导表面(104A和104B)的凹陷结构(103A和103B);
所述的移动装置(53A和53B)包括一对辊部件(102A和102B),它们可转动地设在所述的至少一个所述的喷嘴头的两个端部,还包括压力件(105A和105B),它们把辊部件(102A和102B)压靠在所述的引导表面(104A和104B);和
在把辊部件(102A和102B)压靠在引导表面(104A和104B)时,沿引导表面(104A和104B)在与次扫描方向(Y)平行的方向上移动所述压力件(105A和105B)。
3.如权利要求1所述的喷嘴头固定器(7),其中所述的多个喷嘴头(500)可拆卸地安装在所述对第一连杆部件(56A和56B)上。
4.如权利要求1所述的喷嘴头固定器(7),其中弹性件(110)驱策每个所述的喷嘴头固定器(500)的两个端部,从而两个端部与第一连杆部件(56A和56B)的上表面处于表面接触。
5.如权利要求1所述的喷嘴头固定器(7),其中每个所述的喷嘴头(500)包括一个喷嘴部分(8),在所述的喷嘴部分(8)中形成了多个喷嘴(55);和一个支撑所述的喷嘴部分(8)的头部固定器(15);所述的头部固定器(15)的两个端部连接到所述对第一连杆部件(56A和56B)。
6.一种喷嘴头(500),其特征在于在权利要求1所限定的喷嘴头固定器(7)中使用这种喷嘴头(500)。
7.一个液滴喷射图案形成装置(1),包括:
权利要求1所限定的喷嘴头固定器(7);
一个头部组件连接台(25),用来以可拆卸的方式安装所述的喷嘴头固定器(7);
一个介质固定器装置(21),用来固定喷射目标介质(4);
一个相对移动产生装置,用来相对于所述的喷嘴头(500)在主扫描方向(X)和次扫描方向(Y)移动所述的喷射目标介质(4);
转动装置(80),用来转动所述的四杆连杆机构(49);
转动枢轴(50A和50B),它们分别设在所述对第二连杆部件(57A和57B)的中间部分;其中
所述对第二连杆部件(57A和57B)能够绕所述的转动枢轴(50A和50B)转动;
所述的喷嘴头(500)的两个端部可转动地连接到所述对第一连杆部件(56A和56B)上;和
所述的转动装置(80)绕所述的转动枢轴(50A和50B)转动所述对第二连杆部件(57A和57B)以转动所述的四杆连杆机构(49)。
8.如权利要求7所述的液滴喷射图案形成装置(1),进一步包括一个移动驱动装置(113),它可拆卸地连接到所述的移动装置(53A和53B)上以驱动所述的移动装置(53A和53B),从而平行于次扫描方向(Y)移动至少一个喷嘴头。
9.如权利要求7所述的液滴喷射图案形成装置(1),进一步包括转动量探测装置(81),用来探测四杆连杆机构(49)的转动量,还包括转动量控制装置(13),用来根据探测到的转动量来控制所述的转动装置(80)。
10.一个喷嘴头固定器(7),用来固定一个喷嘴头(15),该喷嘴头具有多个喷嘴(15),喷嘴头固定器(7)包括:
一个四杆连杆机构(49),它包括一对平行于主扫描方向(X)延伸的第一连杆部件(56A和56B),和一对把所述对第一连杆部件(56A和56B)连接在一起的第二连杆部件(57A和57B);和
分别设在所述对第二连杆部件(57A和57B)中间部分处的转动枢轴(50A和50B)其中:
所述对第二连杆部件(57A和57B)能够绕所述的转动枢轴(50A和50B)转动;
所述的喷嘴头(500)的一个顶端部分可转动地连接到一个第一连杆部件(56A);和
所述的喷嘴头(500)的基端部分可转动地连接到另一个第一连杆部件(56B)。
11.如权利要求10所述的喷嘴头固定器(7),其中多个喷嘴头(500)在主扫描方向(X)以预定的间距放置在所述对第一连杆部件(56A和56B)上。
12.如权利要求11所述的喷嘴头固定器(7),其中所述的多个喷嘴头(500)喷射预定种颜色的液滴以分别形成所述种颜色的EL光发射层。
13.如权利要求11所述的喷嘴头固定器(7),其中所述的多个喷嘴头(500)为形成孔传输层喷射液滴,从而在EL光发射层内传输孔使得EL光发射层发射光。
14.如权利要求11所述的喷嘴头固定器(7),其中在至少一个喷嘴头(500)中形成的所述多个喷嘴中,与基端部分最靠近的一个是参考喷嘴,参考喷嘴位于连接所述对转动枢轴(50A和50B)的直线(BF)上。
15.如权利要求14所述的喷嘴头固定器(7),其中所述的多个喷嘴(500)可拆卸地安装到所述对第一连杆部件(56A和56B)上。
16.一种喷嘴头(500),其特征在于在权利要求10所限定的喷嘴头固定器(7)中使用这种喷嘴头(500)。
17.一个液滴喷射图案形成装置(1),包括:
权利要求1所限定的喷嘴头固定器(7);
一个头部组件连接台(25),用来以可拆卸的方式安装所述的喷嘴头固定器(7);
一个介质固定器装置(21),用来固定喷射目标介质(4);
转动装置(80),用来转动所述的四杆连杆机构(49);和
一个相对移动装置(24),用来相对于喷嘴头(500)在主扫描方向(X)和次扫描方向(Y)移动固定在介质固定器装置(21)中的喷射目标介质(4)。
18.如权利要求17所述的液滴喷射图案形成装置(1),进一步包括转动角探测装置(81),用来探测四杆连杆机构(49)的转动量,还包括转动量控制装置(13),用来根据探测到的转动量来控制所述的转动装置(80)。
19.如权利要求17所述的液滴喷射图案形成装置(1),其中所述的转动装置(80)具有和一个第二连杆部件(57B)连接的转动促动器(82),其中所述的转动促动器(82)绕一个转动枢轴(50B)转动所述的一个第二连杆部件(57B)。
20.一个液滴喷射图案形成装置(1),设有一个喷嘴头(500),喷嘴头(500)具有多个沿与主扫描方向(X)垂直的次扫描方向(Y)形成的喷嘴(55),用于从所述的多个喷嘴(55)中喷射液滴以在喷射目标介质(4)上形成图案,液滴喷射图案形成装置(1)包括:
一个固定器部件(49),它可转动地支撑所述的喷嘴头(500);
转动驱动装置(80),它相对于次扫描方向(Y)绕参考喷嘴的轴线或它附近的轴线在0到60度的范围内转动支撑在所述的固定器部件(49)上的喷嘴头(500),其中参考喷嘴靠近喷嘴头(500)在主扫描方向(X)上的基端;和
转动控制装置,它根据喷射分辨率(R)利用转动驱动装置(80)控制喷嘴头(500)的转角。
21.如权利要求20所述的液滴喷射图案形成装置(1),进一步包括相对移动装置(24),用来在次扫描方向(Y)上相对于喷嘴头(500)移动喷射目标介质(4);和馈送量控制装置(13),用来根据喷射分辨率(R)控制所述的相对移动装置(24),从而用交错方法在次扫描方向(Y)上执行喷嘴头的相对移动。
22.如权利要求20所述的液滴喷射图案形成装置(1),其中所述的固定器部件(49)包括一对平行主扫描方向(X)延伸的第一连杆部件(56A和56B),和一对把所述对第一连杆部件(56A和56B)连接在一起的第二连杆部件(57A和57B),其中所述的喷嘴头(500)的两个端部分别可转动地连接该对第一连杆部件(56A和56B)。
23.如权利要求22所述的液滴喷射图案形成装置(1),其中所述的固定器部件(49)进一步包括转动枢轴(50A和50B),用来在其中间部分支撑所述对第二连杆部件(57A和57B),其中所述对第二连杆部件(57A和57B)被支撑以绕所述的转动枢轴(50A和50B)转动。
24.如权利要求20所述的液滴喷射图案形成装置(1),其中所述的喷嘴头(500)在主扫描方向(X)上以预定间距放置。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP299972/2001 | 2001-09-28 | ||
JP300241/2001 | 2001-09-28 | ||
JP2001300069 | 2001-09-28 | ||
JP2001300241 | 2001-09-28 | ||
JP2001299972 | 2001-09-28 | ||
JP300069/2001 | 2001-09-28 | ||
PCT/JP2002/010088 WO2003029008A1 (fr) | 2001-09-28 | 2002-09-27 | Tete de gicleur, porte-tete de gicleur, dispositif d'impression par jet de gouttelettes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1561291A true CN1561291A (zh) | 2005-01-05 |
CN1326694C CN1326694C (zh) | 2007-07-18 |
Family
ID=27347606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB028191463A Expired - Fee Related CN1326694C (zh) | 2001-09-28 | 2002-09-27 | 喷嘴头、喷嘴头固定器和液滴喷射图案形成装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7008482B2 (zh) |
JP (1) | JP4352392B2 (zh) |
CN (1) | CN1326694C (zh) |
WO (1) | WO2003029008A1 (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103935122A (zh) * | 2013-01-17 | 2014-07-23 | 三星显示有限公司 | 印刷设备 |
CN104191822A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-10 | 上海中沧电子技术有限公司 | 一种单列12针式打印机移位打印的方法 |
CN104589796A (zh) * | 2013-10-30 | 2015-05-06 | 精工爱普生株式会社 | 行式打印机以及行式打印机的打印头移动方法 |
CN108688327A (zh) * | 2017-03-27 | 2018-10-23 | 海德堡印刷机械股份公司 | 用于将喷墨印刷头装入到保持件中的方法 |
CN115445835A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-12-09 | 晋江盛隆机械有限公司 | 一种纸筒多工位打胶机及其工作方法 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7438944B2 (en) | 2003-07-11 | 2008-10-21 | Seiko Epson Corporation | Droplet information measuring method and apparatus therefor, film pattern forming method, device manufacturing method, droplet discharge apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
JP2005324130A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器 |
JP2006154128A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sharp Corp | カラーフィルタ製造装置およびカラーフィルタ製造方法 |
US7887156B2 (en) * | 2005-04-25 | 2011-02-15 | Ulvac, Inc. | Integral printhead assembly |
WO2006116415A2 (en) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Litrex Corporation | Printhead maintenance station |
KR100942528B1 (ko) * | 2005-04-25 | 2010-02-16 | 가부시키가이샤 아루박 | 액적 분석 시스템 |
US7976123B2 (en) * | 2005-04-25 | 2011-07-12 | Ulvac, Inc. | Rotatable printhead array |
US8001924B2 (en) * | 2006-03-31 | 2011-08-23 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP4086878B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2008-05-14 | シャープ株式会社 | 液滴塗布装置 |
JP4086879B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2008-05-14 | シャープ株式会社 | 液滴塗布装置 |
JP5380767B2 (ja) * | 2006-08-04 | 2014-01-08 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニット組立方法 |
KR100792953B1 (ko) | 2006-11-24 | 2008-01-08 | 현대자동차주식회사 | 실러 센서노즐 |
US8765212B2 (en) * | 2007-09-21 | 2014-07-01 | Nordson Corporation | Methods for continuously moving a fluid dispenser while dispensing amounts of a fluid material |
JP4545207B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2010-09-15 | 本田技研工業株式会社 | ステータ製造装置 |
DE102008057005A1 (de) * | 2008-11-11 | 2010-05-12 | Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh | Verfahren zum Positionieren und/oder Führen mindestens eines beliebigen Prozesskopfes für die Metallisierung von dünnen Substraten in einem definierten Abstand über der Substratoberfläche |
KR20120079733A (ko) * | 2011-01-05 | 2012-07-13 | 삼성전자주식회사 | 박막트랜지스터 인쇄장치 및 이를 이용한 박막트랜지스터 인쇄방법 |
US9399322B2 (en) * | 2012-08-08 | 2016-07-26 | Makerbot Industries, Llc | Three dimensional printer with removable, replaceable print nozzle |
US20150136455A1 (en) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | Robert J. Fleming | Shape forming process and application thereof for creating structural elements and designed objects |
US10081206B1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-25 | Spgprints B.V. | Printing system having four-bar linkage mechanisms for positioning its print modules |
JP7047269B2 (ja) * | 2017-07-12 | 2022-04-05 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | インクジェット記録装置 |
JP6960543B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2021-11-05 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 可動式プリントヘッド |
EP3608114B1 (en) * | 2018-08-10 | 2023-06-07 | Canon Production Printing Holding B.V. | Assembly of a guiding structure and a print head carriage |
EP3838597A4 (en) * | 2018-08-17 | 2022-04-27 | Mimaki Engineering Co., Ltd. | PRINTING DEVICE AND PRINTING METHOD |
JP2022100023A (ja) * | 2020-12-23 | 2022-07-05 | ブラザー工業株式会社 | 画像記録装置、画像記録方法および画像記録プログラム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4814795A (en) * | 1987-05-01 | 1989-03-21 | Marsh Company | Ink jet head holder |
US6164746A (en) * | 1993-09-24 | 2000-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet printer method and apparatus, color filter, display device, apparatus having display device, ink-jet head unit adjusting device and method, and ink-jet head unit |
JP3121226B2 (ja) | 1995-04-20 | 2000-12-25 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタの製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法 |
JP3683983B2 (ja) * | 1996-05-15 | 2005-08-17 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 |
WO1999012395A1 (fr) | 1997-09-02 | 1999-03-11 | Seiko Epson Corporation | Procede de fabrication d'un element electroluminescent organique et element electroluminescent organique correspondant |
JP2000106278A (ja) * | 1997-09-02 | 2000-04-11 | Seiko Epson Corp | 有機el素子の製造方法及び有機el素子 |
JPH11334049A (ja) | 1998-05-27 | 1999-12-07 | Hitachi Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2000123975A (ja) | 1999-11-15 | 2000-04-28 | Seiko Epson Corp | アクティブマトリックス型有機el表示体 |
JP2002113849A (ja) | 2000-10-05 | 2002-04-16 | Sharp Corp | インクジェットプリンタ |
-
2002
- 2002-09-27 CN CNB028191463A patent/CN1326694C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-09-27 JP JP2003532297A patent/JP4352392B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-09-27 US US10/491,123 patent/US7008482B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-09-27 WO PCT/JP2002/010088 patent/WO2003029008A1/ja active Application Filing
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103935122A (zh) * | 2013-01-17 | 2014-07-23 | 三星显示有限公司 | 印刷设备 |
CN103935122B (zh) * | 2013-01-17 | 2018-02-09 | 三星显示有限公司 | 印刷设备 |
CN104589796A (zh) * | 2013-10-30 | 2015-05-06 | 精工爱普生株式会社 | 行式打印机以及行式打印机的打印头移动方法 |
CN104589796B (zh) * | 2013-10-30 | 2016-11-23 | 精工爱普生株式会社 | 行式打印机以及行式打印机的打印头移动方法 |
CN104191822A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-10 | 上海中沧电子技术有限公司 | 一种单列12针式打印机移位打印的方法 |
CN108688327A (zh) * | 2017-03-27 | 2018-10-23 | 海德堡印刷机械股份公司 | 用于将喷墨印刷头装入到保持件中的方法 |
CN115445835A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-12-09 | 晋江盛隆机械有限公司 | 一种纸筒多工位打胶机及其工作方法 |
CN115445835B (zh) * | 2022-09-07 | 2024-05-17 | 晋江盛隆机械有限公司 | 一种纸筒多工位打胶机及其工作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040250760A1 (en) | 2004-12-16 |
US7008482B2 (en) | 2006-03-07 |
CN1326694C (zh) | 2007-07-18 |
JPWO2003029008A1 (ja) | 2005-01-13 |
WO2003029008A1 (fr) | 2003-04-10 |
JP4352392B2 (ja) | 2009-10-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1561291A (zh) | 喷嘴头、喷嘴头固定器和液滴喷射图案形成装置 | |
CN1291626C (zh) | 有机el装置及其制造方法和制造装置、及液滴喷出装置 | |
CN1243644C (zh) | 喷墨打印头的制造方法 | |
CN1409131A (zh) | 液滴图案形成装置 | |
CN1236918C (zh) | 材料的喷出装置和方法及滤色器等的制造装置和方法 | |
CN1136472C (zh) | 滤色器制造方法和制造设备 | |
CN1274496C (zh) | 头单元装配装置及方法和用其制造诸装置的制造方法 | |
CN1272741C (zh) | 滤色器制造方法和设备 | |
CN1960879A (zh) | 供墨装置、记录装置、供墨方法和记录方法 | |
CN1302927C (zh) | 打印设备和所用的计算机程序打印方法以及计算机*** | |
CN1445028A (zh) | 成膜设备和喷头清洁方法以及设备制造***及设备 | |
CN1807097A (zh) | 液体排放设备和液体排放方法 | |
CN1644372A (zh) | 喷出装置、材料涂覆方法、滤色片基板的制造方法 | |
CN100340403C (zh) | 记录装置和记录方法 | |
CN1305680C (zh) | 液体排放设备和液体排放方法 | |
CN101031423A (zh) | 图像形成设备、数据产生设备及其程序、方法和记录介质 | |
CN1700959A (zh) | 小滴喷射装置和电光学装置及其制造方法和电子器件 | |
CN1413833A (zh) | 液滴排出头、其擦拭方法和用其制造诸装置的制造方法 | |
CN1483578A (zh) | 液体喷射装置及液体喷射方法 | |
US7556690B2 (en) | Nozzle head, nozzle head holder, and droplet jet patterning device | |
CN1974027A (zh) | 溶液涂敷装置及溶液供给量的计量方法、溶液的供给方法 | |
CN1611356A (zh) | 喷出装置、涂布方法、滤色器基板的制造方法 | |
CN1717327A (zh) | 液体喷射设备、液体喷射方法以及液体喷射*** | |
JP4702588B2 (ja) | 液滴ジェットパターニング装置 | |
CN1883820A (zh) | 颜色要素的形成方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20070718 Termination date: 20200927 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |